專利名稱：高速高分辨率激光外差干涉測量方法與裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于激光應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域，主要涉及一種高速高分辨率激光外差干涉測量方法與裝置。
背景技術(shù)：
激光外差干涉測量因其具有抗干擾能力強(qiáng)、測量范圍大、信噪比高和易于實(shí)現(xiàn)高精度等特點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用于超精密加工、光刻機(jī)以及三坐標(biāo)測量機(jī)等領(lǐng)域。隨著超精密工程的不斷發(fā)展，對加工精度和生產(chǎn)效率提出越來越高的要求；同時(shí)也對外差干涉測量的測量精度、分辨率和速度都提出了新的挑戰(zhàn)。
在激光外差干涉測量中，非線性誤差嚴(yán)重限制了測量精度和分辨率的進(jìn)一步提高，國內(nèi)外學(xué)者對激光外差干涉非線性誤差進(jìn)行了大量的研究。非線性誤差源于干涉光路中的光學(xué)混疊，傳統(tǒng)的干涉測量系統(tǒng)無法避免干涉測量中的光學(xué)混疊，限制了其測量精度和分辨率的提高。T. L. Schmitz 和 J. F. Beckwith 提出了一種干涉儀改造的方法(Ascousto-opticdisplacement—measureing interferometer a new heterodyne interferometer withAnstromlevel periodic error. Journal of Modern Optics 49,pages 2105-2114)。相較于傳統(tǒng)的測量方法，該方法將聲光移頻器作為分光鏡，將測量光束和參考光束進(jìn)行分離。該方法可以減小參考光和測量光的頻率混疊，有利于減小測量的非線性誤差，從而提高測量精度和分辨率。但是，該裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜且特殊，無法廣泛應(yīng)用于超精密加工與測量中。Ki-Nam Joo等研制了一種新型激光干涉測量結(jié)構(gòu)(Simple heterodyne laserinterferometer with subnanometer periodic errors. Optics Letters/Vol. 34, No. 3/February 1,2009) 0該結(jié)構(gòu)是參考光束與測量光束在空間上分離，消除了干涉測量中的頻率混疊，完全消除非線性誤差，從而提高測量精度以及測量分辨率。此外，該裝置結(jié)構(gòu)簡單，成本低，相較于前一種測量方法，更有利于在超精密測量領(lǐng)域的應(yīng)用。但是該方法測量速度依舊受光源頻差的制約，限制了其在高速測量領(lǐng)域的廣泛使用。以上幾種干涉測量方法及裝置均存在測量速度受光源頻差制約的問題。隨著超精密加工對測量速度要求的不斷提高，干涉儀光源的頻差也不斷地增大，從而導(dǎo)致激光光源的結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜，成本越來越昂貴，嚴(yán)重限制了激光干涉測量的廣泛應(yīng)用。而且測量分辨率與測量速度存在沖突。為了同時(shí)提高干涉儀的測量速度與分辨率，國內(nèi)外學(xué)者對信號處理系統(tǒng)進(jìn)行了大量的研究并提出了相應(yīng)的解決方案，但現(xiàn)有信號處理系統(tǒng)一般都結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本昂貴且需要很多特殊設(shè)計(jì)的芯片；并且受現(xiàn)有半導(dǎo)體芯片水平的限制，干涉測量性能提升困難。綜上所述，現(xiàn)有激光外差干涉測量方法均無法同時(shí)滿足超精密加工測量對干涉儀的高精度和高測量速度的要求，嚴(yán)重限制了超精密加工測量領(lǐng)域的發(fā)展
發(fā)明內(nèi)容
針對上述現(xiàn)有激光外差干涉儀的不足，本發(fā)明提出了一種高速高分辨率激光外差干涉測量方法與裝置，提高激光外差干涉的測量精度，解決激光光源頻差對測量速度限制的問題。本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)一種高速高分辨率激光外差干涉測量方法，該方法步驟如下(I)穩(wěn)頻激光器輸出兩束頻率分別為f\、f2的平行光束；(2)兩平行光束的小部分直接經(jīng)探測后轉(zhuǎn)換為激光外差干涉測量的參考信號，其頻差值為 fb = ，表示為 Ir 00 COS (2 31 fbt)；(3)剩余的兩平行光束均被第一個(gè)偏振分光鏡分成兩部分，反射部分作為參考光束，透射部分作為測量光束；·
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(4)參考光束包含頻率分別為f\、f2的兩平行光束，參考光束經(jīng)四分之一波片和平面鏡作用后，重新返回第一個(gè)偏振分光鏡，此時(shí)參考光束偏振方向旋轉(zhuǎn)了 90°，被第一個(gè)偏振分光鏡透射，然后該投射光再被參考棱鏡反射回第一個(gè)偏振分光鏡，此時(shí)參考光束被第一個(gè)偏振分光鏡透射，然后經(jīng)四分之一波片和平面鏡作用后再次返回第一個(gè)偏振分光鏡，此時(shí)其偏振方向又旋轉(zhuǎn)了 90° ,會被第一個(gè)偏振分光鏡反射；(5)測量光束包含頻率分別為f\、f2的兩平行光束，測量光束進(jìn)入第二個(gè)偏振分光鏡后被透射，然后經(jīng)四分之一波片和平面鏡作用后返回第二個(gè)偏振分光鏡，此時(shí)測量光束的偏振方向旋轉(zhuǎn)了 90°，被反射進(jìn)測量棱鏡，然后被測量棱鏡和第二個(gè)偏振分光鏡反射，該反射光再次經(jīng)四分之一波片和平面鏡作用后返回第二個(gè)偏振分光鏡，此時(shí)測量光束的偏振方向又旋轉(zhuǎn)了 90° ,被第二個(gè)偏振分光鏡透射返回第一個(gè)偏振分光鏡；(6)通過調(diào)節(jié)參考棱鏡和測量棱鏡使得頻率為的測量光束與頻率為f2的參考光束進(jìn)行干涉，產(chǎn)生一路測量信號，表示為Iml~cos [2 π (fb+Af)t];頻率為f2的測量光束與頻率為的參考光束進(jìn)行干涉，產(chǎn)生另一路測量信號，表示為Im2 - cos [2 π (fb-Af)t],兩測量信號具有大小相同、符號相反的多普勒頻移，其頻率分別為fb+Af和fb-Af ;(7)兩測量信號經(jīng)光電探測器探測后分別送入兩個(gè)相同的相位計(jì)A和相位計(jì)B，其中，相位計(jì)A用于處理頻率為fb+Af的測量信號，相位計(jì)B用于處理頻率為fb_Af的測量信號;(8)根據(jù)被測目標(biāo)端平面鏡的運(yùn)動方向和運(yùn)動速度，使用開關(guān)電路在相位計(jì)A和相位計(jì)B之間進(jìn)行選擇；(9)根據(jù)所選擇的相位計(jì)A或者相位計(jì)B對被測目標(biāo)的位移進(jìn)行計(jì)算。所述的穩(wěn)頻激光器輸出的兩平行光束為偏振方向相同的線偏振光，且偏振方向與水平方向的夾角為45°。所述的相位計(jì)在使用開關(guān)電路進(jìn)行選擇時(shí)，當(dāng)被測量目標(biāo)端平面鏡正向運(yùn)動速度高于設(shè)定值V1時(shí)，選擇相位計(jì)B ；當(dāng)被測量目標(biāo)端平面鏡負(fù)向運(yùn)動速度高于設(shè)定值V2時(shí)，選擇相位計(jì)A ;其中，設(shè)被測量目標(biāo)端平面鏡遠(yuǎn)離第二個(gè)偏振分光鏡的方向?yàn)檎较?。一種高速高分辨率激光外差干涉測量裝置，該裝置包括穩(wěn)頻激光器、光電探測器A、光電探測器B，該裝置還包括偏振分光鏡A、光路補(bǔ)償塊、四分之一波片A、平面鏡A、參考棱鏡、偏振分光鏡B、測量棱鏡、四分之一波片B、平面鏡B、相位計(jì)A、相位計(jì)B、開關(guān)電路、測量電路；其中，偏振分光棱鏡A位于穩(wěn)頻激光器的輸出端；光路補(bǔ)償塊、四分之一波片A和平面鏡A依次放置在偏振分光棱鏡A的反射方向上,參考棱鏡放置在偏振分光棱鏡A反射方向的另一端；偏振分光鏡B位于偏振分光棱鏡A的透射方向,在偏振分光鏡B的透射方向依次放置四分之一波片B和平面鏡B,測量棱鏡位于偏振分光鏡B的反射方向；偏振分光棱鏡A輸出兩路干涉測量光束，其中一路接光電探測器A，另一路接光電探測器B，光電探測器A的輸出端接相位計(jì)A輸入端，光電探測器B輸出端接相位計(jì)B輸入端；穩(wěn)頻激光器的參考信號輸出端分別與相位計(jì)A和相位計(jì)B的輸入端連接，相位計(jì)A與相位計(jì)B的輸出端同時(shí)接開關(guān)電路輸入端；開關(guān)電路的輸出端接測量電路輸入端；所述的參考棱鏡為角錐棱鏡時(shí)，測量棱鏡為直角棱鏡。所述的參考棱鏡為直角棱鏡時(shí)，測量棱鏡為角錐棱鏡。所述的在參考棱鏡由兩個(gè)角錐棱鏡組成時(shí)，測量棱鏡為角錐棱鏡。所述的參考棱鏡為角錐棱鏡時(shí)，測量棱鏡由兩個(gè)角錐棱鏡組成。 所述的光路補(bǔ)償塊的厚度尺寸為偏振分光鏡A厚度尺寸的二分之一。本發(fā)明具有以下特點(diǎn)及良好效果(I)本發(fā)明中，參考光與測量光在空間上是分離的，在到達(dá)探測器之前沒出現(xiàn)過重疊，消除了干涉儀的非線性誤差產(chǎn)生的根源。(2)傳統(tǒng)干涉儀中采用偏振分光棱鏡進(jìn)行光束分離，干涉鏡組調(diào)節(jié)難度高且成本高；本發(fā)明中改用普通非偏振分光棱鏡代替偏振分光棱鏡，因其對激光光源的偏振態(tài)變化不敏感，從而大大降低了干涉鏡組的調(diào)節(jié)難度，同時(shí)，使用非偏振分光棱鏡能夠降低干涉儀成本。(3)本發(fā)明中，干涉儀產(chǎn)生的兩個(gè)測量信號具有大小相同、符號相反的多普勒頻移，根據(jù)物體運(yùn)動方向?qū)蓽y量信號進(jìn)行選擇，可以保證多普勒頻移始終使頻差增加。相較于傳統(tǒng)的干涉儀，本發(fā)明中的干涉儀使測量速度不再受激光光源頻差的限制，傳統(tǒng)的小頻差激光器也可以應(yīng)用于高速測量中。(4)本發(fā)明中，由于激光頻差較小，信號處理系統(tǒng)可以利用普通時(shí)鐘信號獲得高分辨率，簡化了信號測量系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，降低了系統(tǒng)的成本。


附圖為本發(fā)明裝置結(jié)構(gòu)示意中，I穩(wěn)頻激光器，2偏振分光鏡A，3光路補(bǔ)償塊，4四分之一波片A，5平面鏡A，6參考棱鏡，7偏振分光鏡B, 8測量棱鏡,9四分之一波片B, 10平面鏡B, 11光電探測器A,12光電探測器B，13相位計(jì)A，14相位計(jì)B，15開關(guān)電路，16測量電路。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖對本發(fā)明實(shí)例進(jìn)行詳細(xì)的描述。一種高速高分辨率激光外差干涉測量裝置，該裝置包括穩(wěn)頻激光器I、光電探測器All、光電探測器B12，該裝置還包括偏振分光鏡A2、光路補(bǔ)償塊3、四分之一波片A4、平面鏡A5、參考棱鏡6、偏振分光鏡B7、測量棱鏡8、四分之一波片B9、平面鏡BlO、相位計(jì)A13、相位計(jì)B14、開關(guān)電路15、測量電路16 ;其中，偏振分光棱鏡A2位于穩(wěn)頻激光器I的輸出端；光路補(bǔ)償塊3、四分之一波片A4和平面鏡A5依次放置在偏振分光棱鏡A2的反射方向上,參考棱鏡6放置在偏振分光棱鏡A2反射方向的另一端；偏振分光鏡B7位于偏振分光棱鏡A2的透射方向，在偏振分光鏡B7的透射方向依次放置四分之一波片B9和平面鏡B10，測量棱鏡8位于偏振分光鏡B7的反射方向；偏振分光棱鏡A2輸出兩路干涉測量光束,其中一路接光電探測器All，另一路接光電探測器B12，光電探測器All的輸出端接相位計(jì)A13輸入端，光電探測器B12輸出端接相位計(jì)B14輸入端；穩(wěn)頻激光器I的參考信號輸出端分別與相位計(jì)A13和相位計(jì)B14的輸入端連接，相位計(jì)A13與相位計(jì)B14的輸出端同時(shí)接開關(guān)電路15輸入端；開關(guān)電路15的輸出端接測量電路16輸入端；—種高速高分辨率激光外差干涉測量方法，該方法步驟如下(I)穩(wěn)頻激光器I輸出兩束頻率分別為f\、f2的平行光束；(2)兩平行光束的小部分直接經(jīng)探測后轉(zhuǎn)換為激光外差干涉測量的參考信號，其頻差值為 fb = ，表示為 Ir 00 cos (2 31 fbt)；(3)剩余的兩平行光束均被偏振分光鏡A2分成兩部分，反射部分作為參考光束，透射部分作為測量光束；(4)參考光束包含頻率分別為f\、f2的兩平行光束，參考光束經(jīng)四分之一波片A4和平面鏡A5作用后，重新返回偏振分光鏡A2，此時(shí)參考光束偏振方向旋轉(zhuǎn)了 90°，被偏振分光鏡A2透射,然后該投射光再被參考棱鏡6反射回偏振分光鏡A2,此時(shí)參考光束被偏振分光鏡A2透射，然后經(jīng)四分之一波片A4和平面鏡A5作用后再次返回偏振分光鏡A2，此時(shí)其偏振方向又旋轉(zhuǎn)了 90° ,會被第一個(gè)偏振分光鏡反射2 ;(5)測量光束包含頻率分別為f\、f2的兩平行光束，測量光束進(jìn)入第二個(gè)偏振分光鏡B7后被透射，然后經(jīng)四分之一波片B9和平面鏡BlO作用后返回第二個(gè)偏振分光鏡B7，此時(shí)測量光束的偏振方向旋轉(zhuǎn)了 90°，被反射進(jìn)測量棱鏡8，然后被測量棱鏡8和第二個(gè)偏振分光鏡反射7，該反射光再次經(jīng)四分之一波片B9和平面鏡BlO作用后返回第二個(gè)偏振分光鏡B7,此時(shí)測量光束的偏振方向又旋轉(zhuǎn)了 90° ,被第二個(gè)偏振分光鏡B7透射返回偏振分光鏡A2 ；(6)通過調(diào)節(jié)參考棱鏡6和測量棱鏡8使得頻率為的測量光束與頻率為f2的參考光束進(jìn)行干涉，產(chǎn)生一路測量信號，表示為Iml ~ cos [2 π (fb+Af)t];頻率為&的測量光束與頻率為的參考光束進(jìn)行干涉，產(chǎn)生另一路測量信號，表示為Im2 - cos[2 π (fb-Af)t]，兩測量信號具有大小相同、符號相反的多普勒頻移，其頻率分別為fb+Λ f和fb-Λ f ;(7)兩測量信號分別被光電探測器All和光電探測器B12探測；(8)光電探測器All輸出頻率為fb+Af的測量信號，并將信號送入相位計(jì)A13中進(jìn)行處理；(9)光電探測器B12輸出頻率為fb_A f的測量信號，并將信號送入相位計(jì)B14中進(jìn)行處理；(10)相位計(jì)A13和相位計(jì)B14的處理信號同時(shí)送入開關(guān)電路15，根據(jù)被測目標(biāo)端的平面鏡BlO運(yùn)動方向和運(yùn)動速度在兩相位計(jì)之間進(jìn)行選擇；相位計(jì)A13和相位計(jì)B14的測量范圍存在一部分重疊。將該重疊部分做為相位計(jì)切換的“滯回區(qū)”，當(dāng)平面鏡BlO正向運(yùn)動速度高于“滯回區(qū)”的上限V1時(shí)，由相位計(jì)A13切換為相位計(jì)B14，相位計(jì)B14輸出被送入相位累加器。同理，當(dāng)平面鏡BlO運(yùn)動速度低于“滯回區(qū)”的下限-V2時(shí)，由相位計(jì)B14切換回相位計(jì)A13。當(dāng)被測目標(biāo)速度在“滯回區(qū)”內(nèi)時(shí)，不進(jìn)行相位計(jì)切換操作，從而消除了電路噪聲和速度噪聲對切換操作的影響，其中，設(shè)平面鏡BlO遠(yuǎn)離偏振分光鏡B7的方向?yàn)檎较颉?11)將經(jīng)過開關(guān)電路15選擇后的信號送入測量電路16中進(jìn)行處理，從而獲得被 測目標(biāo)端的平面鏡BlO運(yùn)動信息。
權(quán)利要求
1.一種高速高分辨率激光外差干涉測量方法，其特征在于該方法步驟如下 (1)穩(wěn)頻激光器輸出兩束頻率分別為f\、f2的平行光束； (2)兩平行光束的小部分直接經(jīng)探測后轉(zhuǎn)換為激光外差干涉測量的參考信號，其頻差值為 fb = ，表示為 Ir 00 COS (2 31 fbt)； (3)剩余的兩平行光束均被第一個(gè)偏振分光鏡分成兩部分，反射部分作為參考光束，透射部分作為測量光束； (4)參考光束包含頻率分別為f\、f2的兩平行光束，參考光束經(jīng)四分之一波片和平面鏡作用后，重新返回第一個(gè)偏振分光鏡，此時(shí)參考光束偏振方向旋轉(zhuǎn)了 90°，被第一個(gè)偏振分光鏡透射，然后該投射光再被參考棱鏡反射回第一個(gè)偏振分光鏡，此時(shí)參考光束被第一個(gè)偏振分光鏡透射，然后經(jīng)四分之一波片和平面鏡作用后再次返回第一個(gè)偏振分光鏡，此時(shí)其偏振方向又旋轉(zhuǎn)了 90° ,會被第一個(gè)偏振分光鏡反射； (5)測量光束包含頻率分別為f\、f2的兩平行光束，測量光束進(jìn)入第二個(gè)偏振分光鏡后被透射，然后經(jīng)四分之一波片和平面鏡作用后返回第二個(gè)偏振分光鏡，此時(shí)測量光束的偏振方向旋轉(zhuǎn)了 90°，被反射進(jìn)測量棱鏡，然后被測量棱鏡和第二個(gè)偏振分光鏡反射，該反射光再次經(jīng)四分之一波片和平面鏡作用后返回第二個(gè)偏振分光鏡，此時(shí)測量光束的偏振方向又旋轉(zhuǎn)了 90° ,被第二個(gè)偏振分光鏡透射返回第一個(gè)偏振分光鏡； (6)通過調(diào)節(jié)參考棱鏡和測量棱鏡使得頻率為的測量光束與頻率為f2的參考光束進(jìn)行干涉，產(chǎn)生一路測量信號，表示為Iml~cos [2 π (fb+Af)t];頻率為&的測量光束與頻率為的參考光束進(jìn)行干涉，產(chǎn)生另一路測量信號，表示為Im2 - cos [2 π (fb_Af)t]，兩測量信號具有大小相同、符號相反的多普勒頻移，其頻率分別為fb+Af和fb_Af ; (7)兩測量信號經(jīng)光電探測器探測后分別送入兩個(gè)相同的相位計(jì)A和相位計(jì)B，其中，相位計(jì)A用于處理頻率為fb+ Δ f的測量信號，相位計(jì)B用于處理頻率為fb_ Δ f測量信號； (8)根據(jù)被測目標(biāo)端平面鏡的運(yùn)動方向和運(yùn)動速度，使用開關(guān)電路在相位計(jì)A和相位計(jì)B之間進(jìn)行選擇； (9)根據(jù)所選擇的相位計(jì)A或者相位計(jì)B對被測目標(biāo)的位移進(jìn)行計(jì)算。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的高速高分辨率激光外差干涉測量方法，其特征在于穩(wěn)頻激光器輸出的兩平行光束為偏振方向相同的線偏振光，且偏振方向與水平方向的夾角為45°。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的高速高分辨率激光外差干涉測量方法，其特征在于使用開關(guān)電路進(jìn)行選擇時(shí)，當(dāng)被測量目標(biāo)端平面鏡正向運(yùn)動速度高于設(shè)定值' 時(shí)，選擇相位計(jì)B ;當(dāng)被測量目標(biāo)端平面鏡負(fù)向運(yùn)動速度高于設(shè)定值V2時(shí)，選擇相位計(jì)A ;其中，設(shè)被測量目標(biāo)端平面鏡遠(yuǎn)離第二個(gè)偏振分光鏡的方向?yàn)檎较颉?br> 4.一種高速高分辨率激光外差干涉測量裝置，該裝置包括穩(wěn)頻激光器(I)，其特征在于該裝置還包括偏振分光鏡A (2)、光路補(bǔ)償塊(3)、四分之一波片A (4)、平面鏡A (5)、參考棱鏡(6)、偏振分光鏡B(7)、測量棱鏡(8)、四分之一波片B(9)、平面鏡B(IO)、光電探測器A(ll)、光電探測器B(12)、相位計(jì)A(13)、相位計(jì)B(14)、開關(guān)電路(15)、測量電路(16);其中，偏振分光棱鏡A(2)位于穩(wěn)頻激光器⑴的輸出端；光路補(bǔ)償塊(3)、四分之一波片A(4)和平面鏡A(5)依次放置在偏振分光棱鏡A(2)的反射方向上,參考棱鏡(6)放置在偏振分光棱鏡A (2)反射方向的另一端；偏振分光鏡B (7)位于偏振分光棱鏡A (2)的透射方向,在偏振分光鏡B(7)的透射方向依次放置四分之一波片B(9)和平面鏡B(10)，測量棱鏡(8)位于偏振分光鏡B(7)的反射方向；偏振分光棱鏡A(2)輸出兩路干涉測量光束,其中一路接光電探測器A(Il)，另一路接光電探測器B(12)，光電探測器A(Il)的輸出端接相位計(jì)A(13)輸入端，光電探測器B(12)輸出端接相位計(jì)B(14)輸入端；穩(wěn)頻激光器(I)的參考信號輸出端分別與相位計(jì)A(13)和相位計(jì)B(14)的輸入端連接，相位計(jì)A(13)與相位計(jì)B(14)的輸出端同時(shí)接開關(guān)電路(15)輸入端；開關(guān)電路(15)的輸出端接測量電路(16)輸入端。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高速高分辨率激光外差干涉測量裝置，其特征在于參考棱鏡(6)為角錐棱鏡時(shí)，測量棱鏡(8)為直角棱鏡。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高速高分辨率激光外差干涉測量裝置，其特征在于參考棱鏡(6)為直角棱鏡時(shí)，測量棱鏡(8)為角錐棱鏡。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高速高分辨率激光外差干涉測量裝置，其特征在于在參考棱鏡(6)由兩個(gè)角錐棱鏡組成時(shí)，測量棱鏡(8)為角錐棱鏡。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高速高分辨率激光外差干涉測量裝置，其特征在于參考棱鏡(6)為角錐棱鏡時(shí)，測量棱鏡(8)由兩個(gè)角錐棱鏡組成。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高速高分辨率激光外差干涉測量裝置，其特征在于光路補(bǔ)償塊(3)的厚度尺寸為偏振分光鏡A(2)厚度尺寸的二分之一。
全文摘要
高速高分辨率激光外差干涉測量方法與裝置屬于激光應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域；本發(fā)明采用了空間分離的參考光和測量光，并進(jìn)行測量光路平衡性設(shè)計(jì)，同時(shí)該方法產(chǎn)生了兩個(gè)具有相反多普勒頻移的干涉測量信號，并根據(jù)被測目標(biāo)的運(yùn)動方向和速度，選擇性使用兩測量信號來進(jìn)行干涉測量；本發(fā)明不僅減小了溫度變化對測量的影響，而且消除了干涉儀中的頻率混疊現(xiàn)象，提高了外差干涉測量的測量精度；同時(shí)解決了激光光源頻差對測量速度限制的問題。
文檔編號G01B11/02GK102853769SQ20121034684
公開日2013年1月2日 申請日期2012年9月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月19日
發(fā)明者譚久彬, 刁曉飛, 胡鵬程, 白洋, 楊千惠 申請人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)