專利名稱：一種陣列基板檢測設備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種陣列基板檢測設備。
背景技術(shù)：
近年來，平板顯示技術(shù)發(fā)展迅速，產(chǎn)品的不良也多種多祥。為了既滿足客戶的需求，又達到低成本的目的，提高產(chǎn)品的良品率是每個廠家一直追求的目標。相應地，在制作產(chǎn)品的過程中，有多種陣列基板檢測設備，用于在制作完每一道エ序之后檢測產(chǎn)品是否存在導致不良的因素，以便后續(xù)及時處理導致不良的因素。在制作薄膜晶體管(Thin Film Transistor,TFT)液晶顯示器件的陣列基板的過程中，涉及到對陣列
基板上的電路(簡稱陣列電路)的檢測。陣列電路光學檢測設備(Pattern Inspection,PI)專門用于檢測陣列基板上的陣列電路的顆粒。該顆?？赡軄碜钥諝庵械膲m?；蛘邅碜藻兡み^程中的污潰，但是當該顆粒足夠大時，可以損壞后續(xù)陣列電路電學檢測設備。因此，PI將陣列電路中存在的顆粒及時檢測出來，將高度較高的顆粒加以標記，并在電學檢測設備檢測電路之前，及時處理掉這些較大的顆粒。這些顆粒一旦沒有被及時處理，不但損壞檢測設備還會造成產(chǎn)品的不良。即所述顆?？梢詫е庐a(chǎn)品不良。PI設備是ー種光學陣列基板檢測設備，具體地，通過PI設備中的圖像采集裝置，如相機，獲取陣列基板上的顆粒的灰度圖像，通過對顆粒圖像的觀測和分析對可能會導致產(chǎn)品不良的顆粒進行處理。對陣列電路的檢測還包括ー種電學檢測設備(Array Tester,AT)，用于在陣列基板上的陣列電路上電的情況下，檢測陣列電路是否存在導致不良的因素。這種檢測設備主要檢測電路部件被劃傷等問題。當陣列基板上存在導致不良的顆粒，并且該顆粒的高度較高時，會將AT檢測設備上的相關(guān)薄膜損壞，導致AT檢測設備的破損。由于AT檢測設備非常昂貴。因此，對電路進行AT檢測之前需要將陣列電路上的高度較高的顆粒處理掉，避免后續(xù)エ藝中損壞AT檢測設備。如圖I所示，現(xiàn)有的PI設備中的圖像采集設備30的鏡頭的出射光線40的方向為垂直方向，即出射光線與陣列基板10的夾角為90度。檢測出來的顆粒圖像無法顯示陣列基板10上的顆粒20的高度。因此，目前還沒有專門的檢測陣列基板10上的顆粒20的高度的陣列基板檢測設備。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實施例提供一種陣列基板檢測設備，用以通過從不同角度照射被測物從同一角度采集被測物的圖像，或者從不同角度采集被測物同一部位的圖像，通過所述采集到的圖像檢測被測物的高度。本發(fā)明實施例提供的一種陣列基板檢測設備，包括檢測設備本體、設置于所述檢測設備本體上的圖像采集裝置、高度計算裝置以及報警裝置，所述圖像采集裝置采集被測物在不同于垂直方向上的至少兩個角度上的圖像的數(shù)據(jù)信息，并傳送給所述高度計算裝置；所述高度計算裝置用于根據(jù)所述圖像采集裝置采集的所述圖像的數(shù)據(jù)信息，計算出所述被測物的高度；所述報警裝置與所述高度計算裝置進行通訊，用于在被測物的高度超過預設值時實施報警。本發(fā)明提供的陣列基板檢測設備，通過從不同角度照射或者以圖像采集裝置從不同角度采集被測物同一部位的圖像的數(shù)據(jù)信息(該數(shù)據(jù)信息可以是被測物的圖像，也可以是被測物的影子圖像)，由高度計算裝置利用所述圖像采集裝置采集到的圖像計算出所述被測物的高度。優(yōu)選地，所述不同的角度是不同于垂直方向的至少兩個角度。通過所述檢測設備檢測陣列基板上的被測物(如顆?；蛭蹪?的高度，可以避免較高的被測物對后續(xù)電學檢測設備造成一定的影響或損壞電學檢測設備。


圖I為現(xiàn)有陣列檢測設備檢測被測物是否存在的簡單系統(tǒng)示意圖；
圖2為本發(fā)明實施例一提供的陣列基板檢測設備結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明實施例ニ提供的陣列基板檢測設備結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實施例三提供的陣列基板檢測設備結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明實施例四提供的陣列基板檢測設備結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本發(fā)明實施例五提供的陣列基板檢測設備結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本發(fā)明實施例六提供的陣列基板檢測設備結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式本發(fā)明實施例提供了一種陣列基板檢測設備，用以通過從不同角度照射被測物從同一角度采集被測物的圖像，或者從不同角度采集被測物同一部位的圖像，檢測被測物的高度。本發(fā)明實施例提供的陣列基板檢測設備，通過從不同角度照射被測物從同一角度采集被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息，或者從不同角度采集被測物同一部位的圖像的數(shù)據(jù)信息，將采集到的圖像的數(shù)據(jù)信息發(fā)送至高度計算裝置，高度計算裝置根據(jù)接收到的數(shù)據(jù)信息計算出被測物的高度。本發(fā)明實施例提供的陣列基板檢測設備，包括檢測設備本體、設置于所述檢測設備本體上的圖像采集裝置、高度計算裝置以及報警裝置，所述圖像采集裝置采集被測物在不同于垂直方向上的至少兩個角度上的圖像的數(shù)據(jù)信息，并將所述數(shù)據(jù)信息傳送給所述高度計算裝置；所述高度計算裝置根據(jù)接收到的數(shù)據(jù)信息，計算出所述被測物的高度；所述報警裝置與所述高度計算裝置進行通訊，用于在被測物的高度超過預設值時實施報警。所述圖像采集裝置可以為エ業(yè)CXD相機，且可以是一臺或兩臺甚至多臺相機，不同的圖像采集裝置(相機)采集被測物不同角度的圖像。較佳地，所述圖像采集裝置包括第一圖像采集裝置和第二圖像采集裝置，所述第一圖像采集裝置從第一角度采集所述被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息，所述第二圖像采集裝置從第二角度采集所述被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息，所述第一圖像采集裝置和第二圖像采集裝置分別將采集到的數(shù)據(jù)信息傳送給所述高度計算裝置。較佳地，所述圖像采集裝置還至少包括第三圖像采集裝置，所述第三圖像采集裝置從不同于所述第一角度和所述第二角度的第三角度采集所述被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息，并將采集到的數(shù)據(jù)信息傳送給所述高度計算裝置，所述高度計算裝置根據(jù)第三圖像采集裝置采集的數(shù)據(jù)信息、第一圖像采集裝置采集的數(shù)據(jù)信息及所述第二圖像采集裝置采集的數(shù)據(jù)信息，計算出所述被測物的多個估計高度，并在所述多個估計高度中選取最大的估計高度作為被測物的高度。較佳地，圖像采集裝置為一臺相機時，所述陣列基板檢測設備還包括圖像采集裝置移動機構(gòu)，用于使所述圖像采集裝置沿水平方向由第一位置移動到第二位置，圖像采集裝置在第一位置沿第一角度采集所述被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息，以及在第二位置沿第二角度采集所述被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息。當圖像采集裝置為一臺相機吋，較佳 ，所述陣列基板檢測設備，還包括被測物移動機構(gòu)，用于使所述被測物沿水平方向移動，所述圖像采集裝置先后沿第一角度和第二角度采集所述被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息。所述圖像采集裝置上可以設置照明裝置，可以是ー個、兩個，或者多個。較佳地，所述陣列基板檢測設備設有ー個照明裝置，所述照明裝置先后沿第一角度和第二角度照射所述被測物，圖像采集裝置分別在照明裝置沿第一角度和第二角度照射所述被測物時，采集被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息。較佳地，所述陣列基板檢測設備設有至少兩個照明裝置，第一照明裝置和第二照明裝置，所述第一照明裝置沿第一角度照射所述被測物，第二照明裝置沿第二角度照射所述被測物，圖像采集裝置分別在第一照明裝置沿第一角度和第二角度照射所述被測物時采集被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息。較佳地，所述高度計算裝置中包括計算模塊，用于根據(jù)公式h=AlV(l/tana-l/tan ￠)來計算所述被測物的高度h，其中，a為所述第一角度與水平面的夾角，^為所述第ニ角度與水平面的夾角，AL為所述被測物分別沿所述第一角度和所述第二角度而在水平面上的投影的長度之差。需要說明的是，本發(fā)明實施例提供的陣列基板檢測設備可以用于檢測任意微小物體的高度，應用領(lǐng)域不受限制。如可以應用到液晶顯示行業(yè)、醫(yī)藥研究領(lǐng)域等。例如，在液晶顯示行業(yè)，本發(fā)明實施例提供的陣列基板檢測設備可以用于檢測陣列基板上的雜質(zhì)或者灰塵顆粒，簡稱顆粒。這些顆粒是導致產(chǎn)品不良的ー個因素。這就需要使用光學或電學檢測設備檢測陣列基板上的不良的因素。如果所述顆粒較高會損壞電學檢測設備的鏡頭。因此在利用電學檢測設備檢測陣列基板之前，需要使用陣列基板檢測設備檢測顆粒的高度，將高度較高的或超過預設值的顆粒標記出來并進行相應的處理。下面以液晶顯示行業(yè)為例結(jié)合附圖具體說明本發(fā)明實施例提供的技術(shù)方案。圖像采集裝置為相機，設每臺相機的分辨率相同為m，每臺相機的放大倍數(shù)相同，每臺相機的鏡頭距離顆粒的垂直距離大致相同。通過結(jié)合相機距被測物的距離對圖像的尺寸進行換算，使得每臺相機拍到的ー個像素對應于陣列基板上Lu m的長度也固定。下面的實施例一和實施例ニ，圖像采集裝置為至少兩臺相機。實施例一參見圖2，本實施例提供的陣列基板檢測設備，包括檢測設備本體I、設置于檢測設備本體I上的第一相機2和第二相機3、高度計算裝置4以及報警裝置5。較佳地，第一相機2和第二相機3可以固定于檢測設備本體I的頂部或者側(cè)部。當?shù)诙鄼C3固定于檢測設備本體I的頂部或是側(cè)部時，優(yōu)選地保證第二相機3距被測物的垂直距離和第一相機2距被測物的垂直距離大致相等。從而，通過簡單的換算，可使拍攝的圖像的大小具有可比性。圖2中各部件的工作原理簡述如下第一相機2從第一角度(與水平方向的夾角為a的角度，aデ90° )采集被測物10的圖像的數(shù)據(jù)信息，第二相機3從第二角度(與水平方向的夾角為P的角度，Pデ90°，a ^ ￠)采集被測物10的圖像的數(shù)據(jù)信息。第一相機2和第二相機3分別將采集到的圖像的數(shù)據(jù)信息傳送給高度計算裝置4。高度計算裝置4根據(jù)接收到的數(shù)據(jù)信息，計算出被測 物10的高度；報警裝置5與高度計算裝置4進行通訊，在被測物10的高度超過預設值時實施報警。在具體實施過程中，當陣列基板檢測設備放置于承載陣列基板的設備機臺上合適的位置吋，檢測陣列基板上的被測物，如檢測被測物的高度的過程包括以下三個步驟步驟一、參見圖2，第一相機2對被測物10進行拍照，得到被測物10的a邊的長度LI，將長度LI發(fā)送給高度計算裝置4 ;第二相機3對被測物10進行拍照，得到a邊的長度L2，將長度L2發(fā)送給高度計算裝置4。步驟ニ、高度計算裝置4接收第一相機2和第二相機3發(fā)送的數(shù)據(jù)信息LI和L2。根據(jù)預先設置的計算公式(1-1)，計算出被測物的高度h。h=| (L1-L2) / (1/tan a-1/tan P ) I = I A L/(1/tan a-1/tan P ) I(1-1)步驟三、報警裝置5與高度計算裝置4進行通訊，在被測物10的高度超過預設值時實施報警，否則什么都不做。該被測物10的高度超過預設值時，可以通過顯示裝置顯示給工作人員的方式實施報警，或者也可以是通過顯示裝置顯示給工作人員以及配合聲音實施報警。工作人員及時對該被測物進行標記，以便后續(xù)在AT檢測流程之前對該被測物進行處理。需要說明的是，第一相機和第二相機對被測物拍照的過程是相互獨立的，為了提高對被測物高度的檢測效率，所述第一相機和第二相機的拍照時間可以為同一時間。所述被測物的長度是根據(jù)被測物的a邊所占的像素個數(shù)得到的。如果a邊所占的像素個數(shù)為X，并且ー個像素對應于陣列基板上Li! m的長度，則測量得到的a邊的長度為x*L。從不同角度測量得到的a邊所占的像素個數(shù)不同，得到的a邊的長度也不同。所述高度計算裝置可以通過軟件中的計算模塊實現(xiàn)，計算模塊計算出被測物的高度。本實施例可以檢測出陣列基板上的被測物(如顆?；蛭蹪?的高度，可以避免較高的被測物對后續(xù)電學檢測設備造成一定的影響或損壞電學檢測設備。而且由于角度均不同于90度，故對于非柱狀(例如球形或其他頂面凸起的形狀)的顆粒，本實施例的測量方式更加精確。實施例ニ參見圖3，本發(fā)明實施例提供的陣列基板檢測設備，在圖2所示的整列基板檢測設備的基礎上，増加一臺相機，為第三相機6 ;第三相機6在第三角度(與水平方向的夾角為Y的角度，Yデ90°，a ^ ^ ^ Y )對被測物10進行拍照，并將采集到的數(shù)據(jù)信息傳送給所述高度計算裝置4，高度計算裝置4根據(jù)第一相機2、第二相機3，以及第三相機6采集的數(shù)據(jù)信息，計算出被測物10的三個估計高度hi、h2、h3，并在三個估計高度中選取最大的估計高度作為被測物的
高度h。參見圖3，在具體實施過程中，檢測被測物的高度的過程和實施例一中檢測被測物的高度的過程類似，不同之處在于實施例ー步驟一中，除了第一相機2對被測物10進行拍照，得到被測物10的a邊的長度LI，將長度LI發(fā)送給高度計算裝置4，以及第二相機3對被測物10進行拍照，得到a邊的長度L2，將長度L2發(fā)送給高度計算裝置4之外，還包括第三相機6對被測物10進行拍照，得到被測物10的a邊的長度L3，將長度L3發(fā)送給高度計算裝置4。實施例一步驟ニ中，出了根據(jù)公式(1-1)計算被測物的高度hi之外，還包括根據(jù) 公式(1-2)和公式(1-3)計算被測物的高度h2和h3。h2=| (L1-L3) / (1/tan a-1/tan Y ) I = I A L/(1/tan a-1/tan Y ) I (1-2)h3=| (L2-L3) / (I/tan ^ -I/tan y ) | = | AL/ (I/tan ^ -I/tan y ) (1-3)計算出被測物10的三個估計高度hl、h2、h3之后，比較hl、h2和h3的大小，選取最大的估計高度作為被測物的高度h。實施例一步驟三中，報警裝置5根據(jù)被測物的高度h判斷是否報警。本發(fā)明實施例ニ，采用多個相機采集圖像的數(shù)據(jù)信息，高度計算裝置根據(jù)數(shù)據(jù)信息計算被測物的多個估計高度，從中選擇ー個最大的值，作為被測物的高度，測量的被測物的高度更加準確，避免了因測量值小于實際值造成器件損壞。需要說明的是，實施例一和實施例ニ僅是對本發(fā)明進行了示例性的介紹，實施例一或?qū)嵤├酥羞€可以設置更多臺相機，如設置四臺或五臺或者更多。每一臺相機拍攝的角度唯一，高度計算裝置計算出多個被測物的高度，選取最大的估計高度作為被測物的高度h。相比于實施例一，本實施例可以進一歩提高陣列基板檢測設備檢測被測物高度的準確性。下面的實施例，圖像采集裝置為可以為一臺相機，或者兩臺相機或者多臺相機。實施例三至實施例六以設置一臺相機為例說明本發(fā)明實施例提供的技術(shù)方案。實施例三為了減小相機的個數(shù)，且提高檢測被測物高度的準確性。本實施例三提供的陣列檢測設備包括圖像采集裝置移動機構(gòu)，也就是相機移動機構(gòu)。參見圖4，本發(fā)明實施例提供的陣列基板檢測設備，包括檢測設備本體I、設置于檢測設備本體I上的第一相機2、相機移動機構(gòu)7、高度計算裝置4以及報警裝置5。參見圖4,相機移動機構(gòu)7,用于移動第一相機2,使第一相機2沿水平方向由第一位置(位置A)移動到第二位置(位置B)，第一相機2在第一位置沿第一角度(與水平方向的夾角為a的角度，aデ90° )采集被測物10的圖像的數(shù)據(jù)信息，以及在第二位置沿第二角度(與水平方向的夾角為P的角度，Pデ90°，aデP )采集被測物10的圖像的數(shù)據(jù)信息。為了便于描述圖4中包括兩個第一相機2，以虛線所示的第一相機2為相機移動機構(gòu)7移動第一相機2之后處于B位置的第二相機2，以實線所示的第一相機2為移動前位于A位置的第一相機2。水平方向帶箭頭的線段表不第一相機2移動的方向。在具體實施過程中，本實施例三檢測被測物的高度的過程和實施例ー檢測被測物的高度的過程類似，不同之處在于步驟一中，第一相機2先后對被測物10進行拍照，得到被測物10的a邊的長度LI和L2，將長度LI和L2發(fā)送給高度計算裝置4。其他步驟同實施例一中的步驟，這里不再贅述。本發(fā)明實施例三提供的陣列基板檢測設備，僅設置一臺相機，就可以實現(xiàn)對被測物高度的檢測，由此可以降低所述陣列基板檢測設備的構(gòu)造成本。
較佳地，相機移動機構(gòu)可以移動相機一次、兩次，或者更多次。例如將相機由第一位置移動到第二位置，接著將相機由第二位置移動到第三位置。相機處于每個位置吋，都會對被測物拍照，獲取同一部位的圖像的數(shù)據(jù)信息。例如獲取a邊的長度L1、L2、L3，將獲取的多個數(shù)據(jù)信息傳送給高度計算裝置，計算被測物的高度。較佳地，相機移動機構(gòu)還可以設置在具有不止ー個相機的陣列基板檢測設備中。例如，可以設置在具有兩個相機的陣列基板檢測設備中?？梢詾樗邢鄼C裝設ー個相機移動機構(gòu)，也可以是為每ー個相機裝設ー個相機移動機構(gòu)。例如，可以為實施例一中的相機裝設相機移動機構(gòu)，也可以為實施例ニ中的相機裝設相機移動機構(gòu)，使得高度計算裝置計算更多個被測物的估計高度，提高檢測被測物高度的準確性。實施例四實施例三是通過移動相機使得相機從不同角度對被測物拍照，本實施例四與實施例三不同，通過移動被測物所處的位置，使得相機相對被測物先后從兩個角度對被測物拍照，獲取圖像的同一部位的數(shù)據(jù)信息。參見圖5，本發(fā)明實施例提供的陣列基板檢測設備，包括檢測設備本體I、設置于檢測設備本體I上的第一相機2、高度計算裝置4以及報警裝置5，以及被測物移動機構(gòu)8 ；被測物移動機構(gòu)8可以是可伸縮的機械手。參見圖5，被測物移動機構(gòu)8，用于使被測物10沿水平方向移動，由第一位置(位置A)移動到第二位置(B位置)，相應地第一相機在被測物10處于第一位置時，沿第一角度(與水平方向的夾角為a的角度，aデ90° )采集被測物10的圖像的數(shù)據(jù)信息，第一相機被測物10處于二位置時，沿第二角度(與水平方向的夾角為P的角度，Pデ90°，aデ￠)采集被測物10的圖像的數(shù)據(jù)信息。需要說明的是，實施例三中的相機移動機構(gòu)7，以及實施例四中的被測物移動機構(gòu)8還可以同時設置于ー個陣列基板檢測設備中，按照實際需求可以靈活移動相機的位置或者被測物的位置。實施例四可以達到與實施例三基本相同的效果。實施例五參見圖6，本發(fā)明實施例提供的陣列基板檢測設備，包括檢測設備本體I、設置于檢測設備本體I上的第一相機2、照明裝置9、高度計算裝置4以及報警裝置5。
照明裝置9用于先后沿第一角度(與水平方向的夾角為a的角度，aデ90° )和第二角度(與水平方向的夾角為P的角度，Pデ90°，aデP )照射被測物10，以此得到被測物10在不同角度上的影子以作為所述被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息。為了便于描述圖6中出現(xiàn)兩個照明裝置9，以實線所示的照明裝置9為沿第一角度照射被測物的照明裝置所在的位置。以虛線所示的照明裝置9為沿第二角度照射被測物的照明裝置所在的位置。參見圖6，在具體實施過程中，檢測被測物的高度的過程包括以下三個步驟步驟一、當照明裝置9沿第一角度(與水平方向的夾角為a的角度，aデ90° )照射被測物10時，第一相機2采集被測物10的影子LI以作為所述被測物的圖像的數(shù)據(jù)信 息；當照明裝置9沿第二角度(與水平方向的夾角為P的角度，Pデ90°，aデ￠)照射被測物10時，第一相機2采集被測物10的影子的長度L2以作為所述被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息。步驟ニ、高度計算裝置4接收第一相機2發(fā)送的數(shù)據(jù)信息LI和L2。根據(jù)預先設置的計算公式(1-1)，計算出被測物的高度h。h=| (L1-L2) / (1/tan a-1/tan P ) I = I A L/(1/tan a-1/tan P ) I (1-1)步驟三、報警裝置5與高度計算裝置4進行通訊，在被測物10的高度超過預設值時實施報警，否則什么都不做。本實施例中的相機與照明裝置分離，可以在相機與顆粒的位置保持不變的情況下得到不同角度的影子信息，以作為被測物的圖像信息。這樣，可以減少因相機與被測物的位置變換而帶來的換算誤差，從而使算得的數(shù)據(jù)更加可信。實施例六參見圖7，本發(fā)明實施例提供的陣列基板檢測設備，包括檢測設備本體I、設置于檢測設備本體I上的第一相機2、第一照明裝置11和第二照明裝置12、高度計算裝置4以及報警裝置5。第一照明裝置11沿第一角度照射所述被測物，第二照明裝置12沿第二角度照射所述被測物，以此得到所述被測物在第一角度和第二角度上的影子以作為所述被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息。該實施例六和實施例五提供的陣列基板檢測設備結(jié)構(gòu)類似，不同之處在于，實施例五中，用ー個照明裝置兩次沿不同的角度照射被測物，實施例六中，同時用兩個照明裝置沿不同的角度照射被測物，實現(xiàn)對被測物高度的檢測。高度計算裝置接收到數(shù)據(jù)信息后和實施例五中的處理過程相同，這里不再贅述。本實施例的測高效果與實施例五的大致相同，而且相比于實施例五，本實施例可以減少照明裝置的數(shù)量以節(jié)省成本，并且可以進ー步增加光照角度變換的靈活性。實施例五和實施例六提供的陣列基板檢測裝置中的照明裝置的個數(shù)不限于為ー個或者兩個，還可以是多個。各照明裝置的照射角度不同，每ー照明裝置在照射被測物吋，相機會在該照射角度下拍照，實現(xiàn)被測物高度的檢測。實施例四至實施例六的陣列基板檢測裝置中的相機不限于為ー個，可以是兩個或者多個，實現(xiàn)原理基本一致。需要說明的是，上述所有實施例中所述相機的參數(shù)，照明裝置的參數(shù)等都預置在高度計算裝置中，具體地，通過程序代碼實現(xiàn)。所述相機為エ業(yè)用相機或者其他分辨率更高的相機。較佳地，陣列基板檢測設備為ー個獨立的檢測設備，也可以是對PI設備的改進。需要說明的是，本發(fā)明提供的陣列基板檢測設備不僅可以適用于檢測陣列基板的被測物，還可以用于其它エ序中基板上出現(xiàn)的被測物，如彩膜基板上的被測物?；蛘哌€可以用于其它領(lǐng)域中，只要需要檢測因被測物引起的產(chǎn)品的不良，并需要檢測被測物的高度的情況，均可使用本發(fā)明實施例提供的陣列基板檢測設備?；蛘哌€可以用于其它任何需要檢測被測物的高度的領(lǐng)域。本發(fā)明提供的陣列基板檢測設備通過一臺相機或至少兩臺相機采集被測物同一部位的圖像，高度計算裝置利用所述圖像采集裝置采集到的圖像計算出所述被測物的高
度。相比較現(xiàn)有技術(shù)，提高了檢測被測物高度的準確性。以上通過優(yōu)選的實施例對本發(fā)明進行了示例性的介紹。然而，本領(lǐng)域的技術(shù)人員應當明白，可以對本發(fā)明的實施例作出各種改動。例如，數(shù)學模型及三角函數(shù)關(guān)系的公式不限于以上所述，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以根據(jù)具體情形對數(shù)學模型及三角函數(shù)關(guān)系的公式做出增加參數(shù)、展開、化簡等變化，以使計算出的高度更接近于真實的高度。相機拍攝得到的圖像數(shù)據(jù)信息既可以是被測物本身的照片圖像，也可以是被測物的影子圖像。
權(quán)利要求
1.一種陣列基板檢測設備，其特征在于，包括 檢測設備本體、設置于所述檢測設備本體上的圖像采集裝置、高度計算裝置以及報警裝置，所述圖像采集裝置采集被測物在不同于垂直方向上的至少兩個角度上的圖像的數(shù)據(jù)信息，并將所述數(shù)據(jù)信息傳送給所述高度計算裝置；所述高度計算裝置根據(jù)接收到的數(shù)據(jù)信息，計算出所述被測物的高度；所述報警裝置與所述高度計算裝置進行通訊，用于在被測物的高度超過預設值時實施報警。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的陣列基板檢測設備，其特征在于，所述圖像采集裝置包括第一圖像采集裝置和第二圖像采集裝置，所述第一圖像采集裝置從第一角度采集所述被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息，所述第二圖像采集裝置從第二角度采集所述被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息，所述第一圖像采集裝置和第二圖像采集裝置分別將采集到的數(shù)據(jù)信息傳送給所述高度計算裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的陣列基板檢測設備，其特征在于，所述圖像采集裝置還至少 包括第三圖像采集裝置，所述第三圖像采集裝置從不同于所述第一角度和所述第二角度的第三角度采集所述被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息，并將采集到的數(shù)據(jù)信息傳送給所述高度計算裝置，所述高度計算裝置根據(jù)第三圖像采集裝置采集的數(shù)據(jù)信息、第一圖像采集裝置采集的數(shù)據(jù)信息及所述第二圖像采集裝置采集的數(shù)據(jù)信息，計算出所述被測物的多個估計高度，并在所述多個估計高度中選取最大的估計高度作為被測物的高度。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的陣列基板檢測設備，其特征在于，所述陣列基板檢測設備還包括圖像采集裝置移動機構(gòu)，用于使所述圖像采集裝置沿水平方向由第一位置移動到第二位置，圖像采集裝置在第一位置沿第一角度采集所述被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息，以及在第二位置沿第二角度采集所述被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的陣列基板檢測設備，其特征在于，還包括被測物移動機構(gòu)，用于使所述被測物沿水平方向移動，所述圖像采集裝置先后沿第一角度和第二角度采集所述被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的陣列基板檢測設備，其特征在于，所述陣列基板檢測設備設有ー個照明裝置，所述照明裝置先后沿第一角度和第二角度照射所述被測物，圖像采集裝置分別在照明裝置沿第一角度和第二角度照射所述被測物時，采集被測物的圖像的數(shù)據(jù)信 o
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的陣列基板檢測設備，其特征在于，所述陣列基板檢測設備設有至少兩個照明裝置，第一照明裝置和第二照明裝置，所述第一照明裝置沿第一角度照射所述被測物，第二照明裝置沿第二角度照射所述被測物，圖像采集裝置分別在第一照明裝置沿第一角度和第二角度照射所述被測物時采集被測物的圖像的數(shù)據(jù)信息。
8.根據(jù)權(quán)利要求2、4 7之任一項所述的陣列基板檢測設備，其特征在于，所述高度計算裝置中包括計算模塊，用于根據(jù)公式h= AlVd/tana -1/tanP )來計算所述被測物的高度h，其中，a為所述第一角度與水平面的夾角，^為所述第二角度與水平面的夾角，AL為所述被測物分別沿所述第一角度和所述第二角度而在水平面上的投影的長度之差。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種陣列基板檢測設備，用以通過采集到的被測物的圖像確定被測物的高度。本發(fā)明提供的陣列基板檢測設備包括檢測設備本體、設置于所述檢測設備本體上的圖像采集裝置、高度計算裝置以及報警裝置，所述圖像采集裝置采集被測物在不同于垂直方向上的至少兩個角度上的圖像的數(shù)據(jù)信息，并將所述數(shù)據(jù)信息傳送給所述高度計算裝置；所述高度計算裝置根據(jù)接收到的數(shù)據(jù)信息，計算出所述被測物的高度；所述報警裝置與所述高度計算裝置進行通訊，用于在被測物的高度超過預設值時實施報警。
文檔編號G01N21/94GK102854200SQ201210328378
公開日2013年1月2日 申請日期2012年9月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月6日
發(fā)明者趙海生, 林子錦, 裴曉光, 田超, 張鐵林, 林金升, 韓金永 申請人:北京京東方光電科技有限公司