專利名稱：紅外線檢測(cè)元件以及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及紅外線檢測(cè)元件及電子設(shè)備，尤其涉及檢測(cè)紅外線的照射量的元件。
背景技術(shù)：
在專利文獻(xiàn)I中公開有將檢測(cè)部設(shè)計(jì)在支撐基板上，再將支撐基板形成為中空結(jié)構(gòu)的測(cè)輻射熱計(jì)型紅外線檢測(cè)元件。依照該元件，在相當(dāng)于檢測(cè)部的測(cè)輻射熱計(jì)的上部設(shè)有吸收部。由吸收部將紅外線轉(zhuǎn)換為熱量，利用該熱量而對(duì)檢測(cè)部進(jìn)行加熱。然后，通過讀取檢測(cè)部的電阻溫度變化，作為紅外線檢測(cè)元件而發(fā)揮作用。在專利文獻(xiàn)2中公開有通過芯片焊接(die bonding)將具有中空結(jié)構(gòu)的傳感器芯片封裝于基板的方法。依照該方法，在接合傳感器芯片的基臺(tái)上設(shè)置有通氣單元。并且，中空結(jié)構(gòu)的空間與外部氣體由通氣單元連通。由此，在加熱時(shí)和冷卻時(shí)，使氣壓的變化變小。在專利文獻(xiàn)3中公開有使具有中空結(jié)構(gòu)的熱電偶的傳感器芯片的靈敏度提高的·方法。依照該方法，在安裝傳感器芯片的基部集管(base portion header)設(shè)置有用于使中空結(jié)構(gòu)的空間變寬廣的空腔。由此，可以抑制從傳感器芯片的放熱。以下，將傳感器芯片稱為紅外線檢測(cè)元件。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本專利特開2006-226890號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本專利特開平6-77504號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 :日本專利特開2004-361386號(hào)公報(bào)在將具有中空結(jié)構(gòu)的紅外線檢測(cè)元件固定在基板上時(shí)，將粘接劑涂覆在紅外線檢測(cè)元件或者基板上后粘接。此時(shí)，在粘接劑固化后的粘接膜位于中空結(jié)構(gòu)的空間時(shí)，由于空間變窄，因而傳感器會(huì)被絕熱。因此，一直希望如下結(jié)構(gòu)的紅外線檢測(cè)元件即使使用粘接劑粘接在基板上，粘接膜也難以形成在中空結(jié)構(gòu)的空間中。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了解決上述問題的至少一部分而提出的，其能夠作為以下的方式或者適用例來實(shí)現(xiàn)。[適用例I]本適用例涉及的紅外線檢測(cè)元件具有第一基板，具有第一面以及所述第一面的相反側(cè)的第二面，所述第一基板在所述第二面上具有第一凹部，且所述第一基板在所述第一面的與所述第一凹部相對(duì)的地方具有檢測(cè)紅外線的紅外線檢測(cè)部；第二基板，具有第三面以及第三面的相反側(cè)的第四面，所述第二基板在所述第四面的與所述第一凹部相對(duì)的地方具有第二凹部；以及粘接膜，粘接所述第二面與所述第四面，其中，所述第二凹部與所述第四面交叉而成的第二外周部包圍所述第一凹部與所述第二面交叉而成的第一外周部。依照本適用例，紅外線檢測(cè)元件的第一基板與第二基板通過粘接膜粘合。而且，第一基板在第二面上具有第一凹部。此外，第二基板在與第一凹部相對(duì)的地方具有第二凹部。因此，由第一凹部與第二凹部所夾的地方成為空腔。而且，紅外線檢測(cè)元件在第一面的與第一凹部相對(duì)的地方具有紅外線檢測(cè)部。紅外線檢測(cè)元件通過檢測(cè)由所照射的紅外線加熱而上升的溫度來檢測(cè)紅外線的照射量。因此，必須將從紅外線檢測(cè)部放出熱量的速度變?yōu)橐?guī)定的速度。在第一基板上，與紅外線檢測(cè)部相對(duì)的地方 成為空腔。由于熱量在空腔中的傳導(dǎo)比第一基板慢，因而能夠?qū)崃繌募t外線檢測(cè)部放出的速度變慢。粘接膜是液狀的粘接劑固化而成的膜。在粘接劑固化的過程中粘接劑流入第一凹部時(shí)，粘接膜會(huì)位于第一凹部?jī)?nèi)。此時(shí)，由于空腔變小，因而熱量會(huì)易于從由紅外線加熱后的紅外線檢測(cè)部流出。于是，紅外線檢測(cè)部的靈敏度下降。在本實(shí)施方式中，在與第一凹部相對(duì)的地方配置有第二凹部。因此，在粘接劑向第一凹部行進(jìn)時(shí)，也向第二凹部行進(jìn)。而且，作為第二凹部的外周的第二外周部包圍作為第一凹部的外周的第一外周部，因而在粘接劑流入第一凹部之前，粘接劑將流入第二凹部。因此，能夠使粘接膜難以形成于第一凹部。并且，在粘接劑附著于第三面時(shí)，在第一凹部與第三面之間配置有第二基板。因此，與不使用第二基板而粘接劑直接被附著于第一基板時(shí)相比，能夠使附著于紅外線檢測(cè)元件的粘接劑難以流入第一凹部。[適用例2]在上述適用例涉及的紅外線檢測(cè)元件中，所述第二凹部的側(cè)壁為相對(duì)于所述第四面傾斜的斜面。依照本適用例，第二凹部的側(cè)壁為相對(duì)于第四面傾斜的斜面。形成粘接膜的粘接劑沿第四面流動(dòng)。于是，由于側(cè)壁為相對(duì)于第四面傾斜的斜面，因而粘接劑在流動(dòng)時(shí)，會(huì)易于從第四面沿側(cè)壁流動(dòng)。因此，粘接劑會(huì)易于向第二凹部流動(dòng)，因而能夠使粘接膜難以形成于第一凹部。[適用例3]在上述適用例涉及的紅外線檢測(cè)元件中，在所述第一基板上設(shè)置有多個(gè)所述第一凹部和所述紅外線檢測(cè)部，多個(gè)所述第一凹部位于與一個(gè)所述第二凹部相對(duì)的地方。依照本適用例，多個(gè)第一凹部位于與一個(gè)第二凹部相對(duì)的地方。因此，能夠使第二凹部的寬度形成得比第一凹部寬。因此，能夠使可以流入第二凹部的粘接劑的量增多，因而能夠抑制粘接劑從第二凹部溢出而進(jìn)入第一凹部。其結(jié)果，能夠使粘接膜難以形成于第一凹部。[適用例4]在上述適用例涉及的紅外線檢測(cè)元件中，所述第二基板具有側(cè)面，在所述第二凹部與所述側(cè)面之間具有槽部。依照本適用例，紅外線檢測(cè)元件在第二凹部與第二基板的側(cè)面之間具有槽部。因此，流入第二凹部的粘接劑能夠通過槽部流動(dòng)至第二基板的側(cè)面。其結(jié)果，第二凹部會(huì)難以由粘接劑充滿，因而能夠使粘接膜難以形成于第一凹部。[適用例5]在上述適用例涉及的紅外線檢測(cè)元件中，所述第二基板具有多個(gè)所述第二凹部，在多個(gè)所述第二凹部之間具有槽部。
依照本適用例，紅外線檢測(cè)元件在多個(gè)第二凹部之間具有槽部。由此，流入第二凹部的粘接劑能夠通過槽部而流動(dòng)至其他的第二凹部。因此，在大量的粘接劑流入到一個(gè)第二凹部且流入到其他的第二凹部的粘接劑的量較少時(shí)，粘接劑會(huì)通過槽部流動(dòng)到粘接劑量少的第二凹部。其結(jié)果，第二凹部會(huì)難以由粘接劑充滿，因而能夠使粘接膜難以形成于第一凹部。[適用例6]在上述適用例涉及的紅外線檢測(cè)元件中，所述第二凹部的底部從所述第三面遮蔽被所述第一凹部和所述第二凹部包圍的空腔部。依照本適用例，被第一凹部和第二凹部包圍的空腔部由底部從第三面遮蔽。因此，在粘接劑附著于第三面時(shí)，粘接劑也不會(huì)從第三面流入到第一凹部。其結(jié)果，能夠使粘接膜難以形成于第一凹部。[適用例7] 本適用例涉及的電子設(shè)備具備檢測(cè)紅外線的光檢測(cè)部，其中，所述光檢測(cè)部具備上述適用例中記載的紅外線檢測(cè)元件。依照本適用例，電子設(shè)備具備檢測(cè)紅外線的光檢測(cè)部。而且，光檢測(cè)部具備上述適用例中記載的紅外線檢測(cè)元件。上述適用例中記載的紅外線檢測(cè)元件是粘接膜難以形成于第一凹部且靈敏度高的元件。因此，本適用例的電子設(shè)備能夠設(shè)定為在光檢測(cè)部具備高靈敏度的紅外線檢測(cè)元件的電子設(shè)備。


圖I涉及第一實(shí)施方式，Ca)是表示紅外線檢測(cè)元件的結(jié)構(gòu)的概略分解立體圖，(b)和(C)是第一實(shí)施方式涉及的表示紅外線檢測(cè)元件的結(jié)構(gòu)的截面示意圖。圖2的(a)是表示紅外線檢測(cè)部的結(jié)構(gòu)的主要部分側(cè)截面示意圖，圖2的(b)是表示電極和布線的結(jié)構(gòu)的主要部分側(cè)截面示意圖。圖3是用于說明紅外線檢測(cè)元件的組裝方法的示意圖。圖4是用于說明紅外線檢測(cè)元件的組裝方法的示意圖。圖5是表示第二實(shí)施方式涉及的紅外線檢測(cè)元件的結(jié)構(gòu)的主要部分側(cè)截面示意圖。圖6是表示第三實(shí)施方式涉及的紅外線攝像機(jī)的結(jié)構(gòu)的框圖。圖7是表示第四實(shí)施方式涉及的駕駛輔助裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。圖8是表示安裝有駕駛輔助裝置的汽車的立體示意圖。圖9是表示第五實(shí)施方式涉及的安全設(shè)備的結(jié)構(gòu)的框圖。圖10是表示設(shè)置有安全設(shè)備的房屋的示意圖。圖11是表示第六實(shí)施方式涉及的游戲設(shè)備的控制器的結(jié)構(gòu)的框圖。圖12是用于說明控制器的使用方法的示意圖。圖13是表示第七實(shí)施方式涉及的體溫測(cè)定裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。圖14是表示第八實(shí)施方式涉及的指定物質(zhì)探測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。圖15是表示變形例涉及的紅外線檢測(cè)元件的結(jié)構(gòu)的主要部分側(cè)截面示意圖。
具體實(shí)施例方式下面，將按照附圖來說明在構(gòu)造上具有特征的紅外線檢測(cè)元件的實(shí)施方式。此外，為了使各附圖中的各部件變?yōu)樵诟鲌D面中可識(shí)別程度的大小，使每個(gè)各部件比例尺不同地進(jìn)行圖示。(第一實(shí)施方式)在本實(shí)施方式中，將根據(jù)圖f圖4來說明紅外線檢測(cè)元件和紅外線檢測(cè)元件的組裝方法的特征例。(紅外線檢測(cè)元件)圖I的(a)是表示紅外線檢測(cè)元件的結(jié)構(gòu)的分解立體示意圖，圖I的(b)和圖I的(C)是表示紅外線檢測(cè)元件的結(jié)構(gòu)的截面示意圖。圖I的(b)是沿圖I的(a)的A-A’線的 截面圖，圖I的(c)沿圖I的(a)的B-B’線的截面圖。如圖I所示，紅外線檢測(cè)元件I的俯視圖具備矩形的第一基板2。將在第一基板2的矩形中的正交的兩邊的方向設(shè)為X方向和Y方向。并且，將垂直方向設(shè)為-Z方向。將第一基板2的Z方向的面設(shè)為作為第一面的第一表面2a，將第一基板2的-Z方向的面設(shè)為作為第二面的第一背面2b。也就是說，第一表面2a與第一背面2b成為朝向相反側(cè)的面。第一基板2的材料只要是具有剛性且具有絕緣性的材料就可以，能夠使用硅、玻璃、陶瓷、強(qiáng)化塑料等。在第一基板2上形成半導(dǎo)體的電路時(shí)，使用由硅等構(gòu)成的半導(dǎo)體基板。在本實(shí)施方式中，在例如第一基板2使用半導(dǎo)體基板。在第一基板2的第一表面2a上，16個(gè)紅外線檢測(cè)部3被配置為縱橫各四列的矩陣狀。紅外線檢測(cè)部3是接收紅外線并輸出對(duì)應(yīng)于受光量的電信號(hào)的元件。在第一背面2b上，在與各紅外線檢測(cè)部3相對(duì)的地方，形成有第一凹部4。對(duì)應(yīng)一個(gè)紅外線檢測(cè)部3，形成有一個(gè)第一凹部4。由此，在設(shè)置有紅外線檢測(cè)部3的地方，第一基板2的厚度變薄。在照射紅外線時(shí)，紅外線檢測(cè)部3檢測(cè)溫度的上升量。因此，熱難以從紅外線檢測(cè)部3傳導(dǎo)的紅外線檢測(cè)部3更能夠高靈敏度地檢測(cè)紅外線的照射量。在紅外線檢測(cè)部3所處的地方，由于第一基板2已經(jīng)變薄，因而熱就難以從紅外線檢測(cè)部3傳導(dǎo)至第一基板2。另外，將由第一凹部4包圍的空間作為第一空腔部5。在第一空腔部5中填充有空氣。于是，由于第一空腔部5的空氣難以流動(dòng)，因而紅外線檢測(cè)元件I就難以將紅外線檢測(cè)部3的熱放出至第一空腔部5。在第一表面2a上，電極6配置為一列。電極6是用于輸出對(duì)應(yīng)于紅外線檢測(cè)部3所檢測(cè)的紅外線的照射量的電信號(hào)的端子。在第一基板2的-Z方向上，粘接膜7與第二基板8重疊配置。將第二基板8的Z方向的面設(shè)為作為第四面的第二背面8b，將第二基板8的-Z方向的面設(shè)為作為第三面的第二表面8a。也就是說，第二表面8a與第二背面8b成為朝向相反側(cè)的面。于是，粘接膜7被配置在第一背面2b與第二背面Sb之間，成為粘合第一背面2b與第二背面Sb的膜。粘接膜7是將粘接劑固化而形成的膜。作為用于本實(shí)施方式的粘接劑，能夠使用環(huán)氧類、聚氨酯類、丙烯酸類、硅類、聚酯類、酰亞胺類、聚酰胺酰亞胺類等。并且，也可以添加熱固化引發(fā)劑等添加劑。第二基板8在第二背面Sb的與第一凹部4相對(duì)的地方形成有第二凹部9。另外，如果將由第二凹部9包圍的空間設(shè)為第二空腔部10，則在第二空腔部10中填充空氣。于是，由于第二空腔部10的空氣難以流動(dòng)，因而就能夠抑制紅外線檢測(cè)元件I將紅外線檢測(cè)部3的熱量放出至第二基板8。第二空腔部10與第一空腔部5形成一個(gè)空腔部11。而且，以第二空腔部10的體積比第一空腔部5的體積大的方式形成第二空腔部10。第一凹部4的側(cè)壁4a為相對(duì)于第一背面2b傾斜的斜面，第二凹部9的側(cè)壁9a為相對(duì)于第二背面Sb傾斜的斜面。而且，將第一凹部4的側(cè)壁4a與第一背面2b交叉的地方作為第一外周部4b，將第二凹部9的側(cè)壁9a與第二背面8b交叉的地方作為第二外周部9b。此時(shí)，第一外周部4b位于第二外周部9b的內(nèi)側(cè)，第一外周部4b以被第二外周部9b包圍的方式配置。
在粘接膜7固化之前，粘接膜7是具有粘性的液狀的粘接劑，當(dāng)向粘接劑施加壓力時(shí)，粘接劑就會(huì)向空腔部11流動(dòng)。此時(shí)，粘接劑在與第一外周部4b接觸之前與第二外周部9b接觸。然后，沿側(cè)壁9a向第二凹部9流動(dòng)。因此，通過使粘接劑向第二凹部9流動(dòng)，從而能夠使粘接膜7難以形成在第一凹部4上。側(cè)壁9a為相對(duì)于第二背面Sb傾斜的斜面。因此，向空腔部11流動(dòng)的粘接膜7易于沿側(cè)壁9a流動(dòng)。其結(jié)果，粘接膜7向第二凹部9流動(dòng)，能夠使其難以附著于第一凹部4。另外，由于第二空腔部10的體積是比第一空腔部5的體積大的體積，因而粘接劑就難以填滿第二凹部9。因此，能夠使粘接膜7難以形成于第一凹部4。在第二基板8上互相鄰接的第二凹部9之間，形成有作為槽部的凹部間槽部12。凹部間槽部12使各第二凹部9中的第二空腔部10連通。于是，在作為粘接膜7的材料的粘接劑積存在一個(gè)第二空腔部10中時(shí)，粘接劑通過在凹部間槽部12中流動(dòng)，能夠移動(dòng)至相鄰的第二空腔部10。因此，粘接劑就難以填滿第二空腔部10，能夠使粘接膜7難以形成于第一凹部4。在接近于第二基板8的側(cè)面8c處的第二凹部9上，在第二凹部9與側(cè)面8c之間形成有作為槽部的外部連通槽部13。外部連通槽部13使第二凹部9中的第二空腔部10和與側(cè)面8c接觸的外部氣體連通。于是，在作為粘接膜7的材料的粘接劑積存在第二空腔部10中時(shí)，粘接劑能夠在外部連通槽部13中流動(dòng)并從側(cè)面Sc移動(dòng)至紅外線檢測(cè)元件I的外部。因此，粘接劑就難以填滿第二空腔部10，能夠使粘接膜7難以形成于第一凹部4。在第二基板8的第二表面8a上，經(jīng)由粘接膜14設(shè)置有封裝基板15。而且，在封裝基板15上形成有各種電路，封裝基板15的電路與電極6被電連接。由此，能夠輸出紅外線檢測(cè)部3檢測(cè)的紅外線照射量的信號(hào)。圖2的(a)是表示紅外線檢測(cè)部的結(jié)構(gòu)的主要部分側(cè)截面示意圖，圖2的(b)是表示電極和布線的結(jié)構(gòu)的主要部分側(cè)截面示意圖。如圖2的(a)所示，在第一基板2的第一表面2a上形成有第一絕緣膜18。第一絕緣膜18是使由硅構(gòu)成的第一基板2氧化而得的氧化膜，且具有電絕緣性的特性。在第一絕緣膜18的與第一凹部4相對(duì)的地方設(shè)置有下部電極19，并與下部電極19重疊地設(shè)置有熱電體20。并且，在熱電體20上設(shè)置有上部電極21。由下部電極19、熱電體20、上部電極21等構(gòu)成電容器22，電容器22的極化量根據(jù)溫度不同而變化。以覆蓋電容器22的方式設(shè)置有第二絕緣膜23。在第二絕緣膜23上形成有通到下部電極19的第一接觸孔23a、和通到上部電極21的第二接觸孔23b。在第一絕緣膜18和第二絕緣膜23上設(shè)置有第一布線24和第二布線25。第一布線24通過第一接觸孔23a與下部電極19連接。同樣，第二布線25通過第二接觸孔23b與上部電極21連接。于是，紅外線檢測(cè)部3由第一絕緣膜18、電容器22、第二絕緣膜23、第一布線24以及第二布線25等構(gòu)成。此外，可以與電容器22重疊地設(shè)置紅外線吸收部件。由此，能夠進(jìn)一步改良紅外線檢測(cè)元件I的靈敏度。 在第一基板2上形成有導(dǎo)通孔2c，在導(dǎo)通孔2c內(nèi)的側(cè)壁上形成有第三絕緣膜26。在第一背面2b和第一凹部4上還形成有第四絕緣膜27。第三絕緣膜26和第四絕緣膜27通過加熱氧化而形成。在導(dǎo)通孔2c內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)電體28，由導(dǎo)通孔2c和導(dǎo)電體28構(gòu)成貫通電極。在一個(gè)紅外線檢測(cè)部3中設(shè)置有兩個(gè)貫通電極。貫通電極中的一個(gè)是與第一布線24連接的第一貫通電極29，貫通電極中的另一個(gè)是與第二布線25連接的第二貫通電極30。在第一背面2b上，與第一貫通電極29連接地設(shè)置有背面第一布線33，與第二貫通電極30連接地設(shè)置有背面第二布線34。背面第一布線33經(jīng)由第一貫通電極29、第一布線24與下部電極19連接。而且，背面第二布線34經(jīng)由第二貫通電極30、第二布線25與上部電極21連接。因此，能夠通過背面第一布線33和背面第二布線34來檢測(cè)電容器22的極 化量。如圖2的(b)所示，在第一基板2的第一背面2b上形成有集成電路35。在集成電路35上包括驅(qū)動(dòng)紅外線檢測(cè)部3的驅(qū)動(dòng)電路、切換多個(gè)紅外線檢測(cè)部3的輸出的控制電路等。集成電路35具備多個(gè)輸入端子35a和輸出端子35b。在輸入端子35a上連接有背面第一布線33和背面第二布線34。而且，與輸出端子35b連接地設(shè)置有背面第三布線36。并且，與背面第三布線36連接地形成有貫通第一基板2的第三貫通電極37。第三貫通電極37是與第一貫通電極29同樣的結(jié)構(gòu)。在第一表面2a上，與第三貫通電極37連接地設(shè)置有電極6。在封裝基板15中的設(shè)置有紅外線檢測(cè)元件I的面上設(shè)置有布線39，電極6與布線39用接合線40連接。由此，集成電路35輸出至輸出端子35b的電信號(hào)經(jīng)由背面第三布線36、第三貫通電極37、電極6、接合線40被輸出至布線39。(紅外線檢測(cè)元件的組裝方法)接下來，將使用圖3和圖4來說明紅外線檢測(cè)元件的組裝方法。圖3和圖4是用于說明紅外線檢測(cè)元件的組裝方法的示意圖。如圖3的(a)所示，準(zhǔn)備第二基板8。在第二基板8上形成有第二凹部9。第二凹部9能夠采用光刻法和蝕刻法來形成。其形成方法是眾所周知的，將省略說明。接著，在第二背面8b上涂覆粘接劑41。粘接劑41是固化時(shí)成為粘接膜7的材料。粘接劑41優(yōu)選涂覆性良好、低粘度的材料。通過使粘接劑41擴(kuò)展，能夠在想要粘合的全部地方上形成粘接膜7。粘接劑41的涂覆方法能夠采用網(wǎng)板印刷、凸版印刷、膠版印刷、噴墨法等印刷方法或者使用注射器進(jìn)行涂覆的方法等。在本實(shí)施方式中，利用例如噴墨法來涂覆粘接劑41。接著，如圖3的(b)所示，準(zhǔn)備第一基板2。在第一基板2上形成有第一空腔部5、第一貫通電極29、第二貫通電極30、紅外線檢測(cè)部3和各種布線。另外，在圖中未顯示的地方的第一基板2上形成有第三貫通電極37。這些構(gòu)成要素能夠采用濺射法或者蒸鍍法等涂膜法、光刻法以及蝕刻法來形成。其形成方法是眾所周知的，省略說明。然后，通過使涂覆有粘接劑41的第二背面Sb與第一背面2b重合而在第二基板8上重疊設(shè)置第一基板2。此時(shí)，粘接劑41被第二基板8與第一基板2夾著加壓。于是，粘接劑41向空腔部11流動(dòng)。此時(shí)，由于第二外周部9b位于包圍第一外周部4b的地方，因而與第一外周部4b相比,粘接劑41會(huì)先到達(dá)第二外周部9b。側(cè)壁9a與第二外周部9b連接,側(cè)壁9a為相對(duì)于第二背面Sb傾斜的斜面。于是，由于重力和表面張力作用于粘接劑41，因而粘接劑41就會(huì)沿側(cè)壁9a而向第二凹部9流動(dòng)。其結(jié)果，粘接劑41會(huì)難以附著于第一凹部4。接著，通過加熱干燥第二基板8和第一基板2而使粘接劑41固化。由此，粘接劑41變?yōu)檎辰幽?，第二基板8與第一基板2粘合。由此，紅外線檢測(cè)元件I完成。然后，如圖3的(C)所示，準(zhǔn)備封裝基板15，在封裝基板15的、設(shè)置有紅外線檢測(cè)元件I的預(yù)定的地方涂覆粘接劑42。粘接劑42是固化時(shí)變?yōu)檎辰幽?4的材料。涂覆粘接劑42的方法沒有特別限定，能夠采用與涂覆粘接劑41的方法同樣的方法。接著，如圖4的(a)所示，以重疊于粘接劑42的方式設(shè)置紅外線檢測(cè)元件I。然 后，通過加熱干燥設(shè)置有紅外線檢測(cè)元件I的封裝基板15而將粘接劑42固化。由此，粘接劑42變?yōu)檎辰幽?4，紅外線檢測(cè)元件I被固定在封裝基板15上。在第二基板8中作為第二凹部9的底的底部9c將空腔部11遮蔽。因此，在粘接劑42被涂覆到第二表面8a上時(shí)，粘接劑42不會(huì)從第二表面8a流入第一凹部4。其結(jié)果，能夠使粘接膜14難以形成于第一凹部4。然后，如圖4的(b)所示，用接合線40連接紅外線檢測(cè)元件I上的電極6與封裝基板15上的布線39之間。使用接合線40的接合方法是眾所周知的，將省略詳細(xì)的說明。通過以上的工序，紅外線檢測(cè)元件I被組裝，并被封裝于封裝基板15。如上所述，依照本實(shí)施方式，具有以下的效果(I)依照本實(shí)施方式，第二外周部9b包圍第一外周部4b。由此，在粘接劑41流入第一凹部4之前，粘接劑41將流入第二凹部9。因此，能夠使粘接膜7難以形成于第一凹部4。(2)依照本實(shí)施方式，第二基板8位于第一凹部4與第二表面8a之間。于是，底部9c將空腔部11遮蔽。因此，在為了封裝紅外線檢測(cè)元件I而將粘接劑42附著于第二表面8a時(shí)，粘接劑42不會(huì)從第二表面8a流入空腔部11。其結(jié)果，能夠防止粘接劑42附著于第一凹部4。(3)依照本實(shí)施方式，第二凹部9的側(cè)壁9a為相對(duì)于第二背面Sb傾斜的斜面。通過使粘接劑41流動(dòng)時(shí)沿著斜面，則就會(huì)易于流動(dòng)。因此，與第一凹部4相比，粘接劑41將流動(dòng)至第二凹部9，因而能夠使粘接膜難以形成于第一凹部4。(4)依照本實(shí)施方式，在第二凹部9與第二基板8的側(cè)面Sc之間具有外部連通槽部13。因此，流入第二凹部9的粘接劑41能夠通過外部連通槽部13向第二基板8的側(cè)面Sc流動(dòng)。其結(jié)果，第二凹部9會(huì)難以由粘接劑41充滿，因而就能夠使粘接膜難以形成于第一凹部4。(5)依照本實(shí)施方式，以連接多個(gè)第二凹部9之間的方式設(shè)置有凹部間槽部12。因此，流入第二凹部9的粘接劑41能夠通過槽部而流動(dòng)至其他的第二凹部9。其結(jié)果，第二凹部9會(huì)難以由粘接劑41充滿，因而就能夠使粘接膜難以形成于第一凹部4。(6)依照本實(shí)施方式，凹部間槽部12以及外部連通槽部13使各空腔部11與外部氣體連通。由此，在粘接劑41固化而成為粘接膜7的過程中產(chǎn)生氣體時(shí)，也能夠防止空腔部11的壓力上升。由此，能夠使粘接膜7的厚度均勻化。通過使粘接膜7的厚度均勻化，能夠使熱量從第一基板2向第二基板8傳導(dǎo)的速度變?yōu)橄嗤?。其結(jié)果，能夠使紅外線檢測(cè)部3檢測(cè)紅外線的靈敏度的分散性縮小。(第二實(shí)施方式)接下來，將使用圖5的表示紅外線檢測(cè)元件的結(jié)構(gòu)的主要部分側(cè)截面示意圖來說明紅外線檢測(cè)元件的一個(gè)實(shí)施方式。本實(shí)施方式與第一實(shí)施方式不同之處在于，圖I的(b)所示的第二凹部9的形狀不同這點(diǎn)。此外，關(guān)于與第一實(shí)施方式相同的方面，將省略說明。S卩，在本實(shí)施方式中，如圖5所示，紅外線檢測(cè)元件45具備第一基板2，在第一基板2上設(shè)置有多個(gè)紅外線檢測(cè)部3。而且，第一基板2與第二基板8通過粘接膜7粘合。對(duì)應(yīng)一個(gè)紅外線檢測(cè)部3，在第一基板2上形成有一個(gè)第一凹部4。在第二基板8上，相對(duì)于 兩個(gè)第一凹部4，形成有一個(gè)第二凹部46。而且，由被第一凹部4包圍的第一空腔部5和被第二凹部46包圍的第二空腔部47形成一個(gè)空腔部48。因此，紅外線檢測(cè)部3與第一凹部4是相同的個(gè)數(shù)，而第二凹部46是比紅外線檢測(cè)部3少的個(gè)數(shù)。此外，在第二基板8上，可以對(duì)應(yīng)三個(gè)以上的第一凹部4而形成有一個(gè)第二凹部46。由于能夠簡(jiǎn)單地形成第二基板8的圖案，因而能夠易于檢查第二基板8的形狀。如上所述，依照本實(shí)施方式，具有以下的效果(I)依照本實(shí)施方式，多個(gè)第一凹部4位于與一個(gè)第二凹部46相對(duì)的地方。因此，能夠使第二凹部46的寬度變得比第一凹部4寬。因此，即使粘接劑41流入第二凹部46，第二凹部46也難以被粘接劑41充滿，因而能夠使粘接劑41難以附著在第一凹部4中。(2)依照本實(shí)施方式，第二凹部46的個(gè)數(shù)是比第一實(shí)施方式中的第二凹部9的個(gè)數(shù)少的個(gè)數(shù)。因此，能夠使蝕刻第二基板8的圖案的形狀簡(jiǎn)單化，因而能夠使第二基板8的成品率得以提高。其結(jié)果，能夠高生產(chǎn)性地制造第二基板8。(第三實(shí)施方式)接下來，將使用圖6的表示紅外線攝像機(jī)的結(jié)構(gòu)的框圖來說明作為在紅外線檢測(cè)部中具備紅外線檢測(cè)元件的電子設(shè)備之一的紅外線攝像機(jī)的一個(gè)實(shí)施方式。如圖6所示，作為電子設(shè)備的紅外線攝像機(jī)55包括光學(xué)系統(tǒng)56、光檢測(cè)部57、圖像處理部58、處理部59、存儲(chǔ)部60、操作部61以及顯示部62。光學(xué)系統(tǒng)56包括例如一個(gè)或者多個(gè)透鏡和驅(qū)動(dòng)透鏡的驅(qū)動(dòng)部等。而且，向光檢測(cè)部57進(jìn)行物像的成像。另外，如果必要，也進(jìn)行聚焦調(diào)整等。在光檢測(cè)部57中，使用上述實(shí)施方式的紅外線檢測(cè)元件I或者紅外線檢測(cè)元件45。光檢測(cè)部57除了被二維排列的檢測(cè)器以外，還能夠包括行選擇電路(行驅(qū)動(dòng)器)、經(jīng)由列線讀出來自檢測(cè)器的數(shù)據(jù)的讀取電路以及A/D轉(zhuǎn)換部等。通過依次讀取來自被二維排列的各檢測(cè)器的數(shù)據(jù)，從而能夠形成拍攝對(duì)象的圖像數(shù)據(jù)。圖像處理部58根據(jù)來自光檢測(cè)部57的數(shù)字圖像數(shù)據(jù)(像素?cái)?shù)據(jù))，進(jìn)行圖像補(bǔ)正處理等各種圖像處理。處理部59進(jìn)行紅外線攝像機(jī)55的整體控制，進(jìn)行紅外線攝像機(jī)55內(nèi)的各模塊的控制。該處理部59由例如CPU等實(shí)現(xiàn)。存儲(chǔ)部60用于存儲(chǔ)各種信息，存儲(chǔ)部60作為例如處理部59、圖像處理部58的工作區(qū)域而起作用。操作部61成為用于用戶操作紅外線攝像機(jī)55的界面,操作部61由例如各種按鈕或者⑶I (Graphical User Interface,圖形用戶接口)畫面等實(shí)現(xiàn)。顯示部62用于顯示例如由光檢測(cè)部57取得的圖像或者⑶I畫面等，顯示部62由液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等各種顯示器實(shí)現(xiàn)。這樣，使用沿正交兩軸方向二維配置紅外線檢測(cè)部3的光檢測(cè)部57，能夠提供熱(光)分布圖像。使用該光檢測(cè)部57，能夠構(gòu)成紅外線熱像儀、車載用夜視儀或者監(jiān)控?cái)z像機(jī)等電子設(shè)備。當(dāng)然，通過將一組(cell)或者多組的紅外線檢測(cè)部3用作傳感器，也能夠構(gòu)成進(jìn)行物體的物理信息分析(測(cè)定)的分析設(shè)備(測(cè)定設(shè)備)、檢測(cè)火或者發(fā)熱的安全設(shè)備、設(shè)置在工廠等中的FA (FactoryAutomation,工廠自動(dòng)化)設(shè)備等各種電子設(shè)備。如上所述，依照本實(shí)施方式，具有以下的效果(I)依照本實(shí)施方式，紅外線攝像機(jī)55具備光檢測(cè)部57，在光檢測(cè)部57中使用紅·外線檢測(cè)元件I或者紅外線檢測(cè)元件45。由于光檢測(cè)部57的紅外線元件I或者紅外線檢測(cè)元件45高靈敏度地檢測(cè)紅外線，因而紅外線攝像機(jī)55能夠作為具備高靈敏度地檢測(cè)紅外線的紅外線檢測(cè)元件的電子設(shè)備。(第四實(shí)施方式)接下來，將使用圖7和圖8來說明作為使用了在紅外線檢測(cè)部中具備紅外線檢測(cè)元件的紅外線攝像機(jī)的電子設(shè)備之一的駕駛輔助裝置的一個(gè)實(shí)施方式。圖7是表示駕駛輔助裝置的結(jié)構(gòu)的框圖，圖8是安裝有駕駛輔助裝置的汽車的立體示意圖。如圖7所示，作為電子設(shè)備的駕駛輔助裝置65構(gòu)成為包括處理單元66，具備控制駕駛輔助裝置65的CPU ;紅外線攝像機(jī)55，可以對(duì)車輛外部的規(guī)定攝像區(qū)域檢測(cè)紅外線；偏航速率傳感器68，檢測(cè)車輛的偏航速率；車速傳感器69，檢測(cè)車輛的行駛速度；制動(dòng)傳感器70，檢測(cè)有無駕駛員的制動(dòng)操作；揚(yáng)聲器71以及顯示裝置72。而且，本實(shí)施方式的紅外線攝像機(jī)55使用與上述實(shí)施方式中的紅外線攝像機(jī)55相同的照相機(jī)。該駕駛輔助裝置65的處理單元66根據(jù)例如通過紅外線攝像機(jī)55的拍攝得到的本汽車周邊的紅外線圖像、和由各傳感器68 70檢測(cè)的有關(guān)本汽車的行駛狀態(tài)的檢測(cè)信號(hào)，檢測(cè)存在于本汽車的行進(jìn)方向前方的物體和行人等對(duì)象物，在判斷為具有檢測(cè)到的對(duì)象物與汽車接觸的可能性時(shí)，由揚(yáng)聲器71或者顯示裝置72輸出警報(bào)。如圖8所示，紅外線攝像機(jī)55在汽車的前部被配置在車輛寬度方向的中心附近。顯示裝置72在前窗不妨礙駕駛員的前方視野的位置上具備顯示各種信息的HUD (Head UpDisplay,平視顯示器)73等而構(gòu)成。(I)依照本實(shí)施方式，駕駛輔助裝置65具備紅外線攝像機(jī)55。紅外線攝像機(jī)55具備光檢測(cè)部57，在光檢測(cè)部57中使用紅外線檢測(cè)元件I或者紅外線檢測(cè)元件45。因此，駕駛輔助裝置65能夠作為具備紅外線攝像機(jī)55的電子設(shè)備，該紅外線攝像機(jī)55具備高靈敏度地檢測(cè)紅外線的紅外線檢測(cè)元件。(第五實(shí)施方式)接下來，將使用圖9和圖10來說明作為使用了在紅外線檢測(cè)部中具備紅外線檢測(cè)元件的紅外線攝像機(jī)的電子設(shè)備之一的安全設(shè)備的一個(gè)實(shí)施方式。圖9是表示安全設(shè)備的結(jié)構(gòu)的框圖，圖10是表示設(shè)置有安全設(shè)備的房屋的示意圖。
如圖9所示，作為電子設(shè)備的安全設(shè)備76至少具備拍攝監(jiān)控區(qū)域的紅外線攝像機(jī)55和檢測(cè)侵入監(jiān)控區(qū)域的侵入者的人感傳感器77。并且，安全設(shè)備76還具備移動(dòng)檢測(cè)處理部78，通過處理從紅外線攝像機(jī)55輸出的圖像數(shù)據(jù)來檢測(cè)侵入監(jiān)控區(qū)域的移動(dòng)體；以及人感傳感器檢測(cè)處理部79，進(jìn)行人感傳感器77的檢測(cè)處理。并且，安全設(shè)備76還具備圖像壓縮部80，以規(guī)定的方式壓縮從紅外線攝像機(jī)55輸出的圖像數(shù)據(jù)；以及通信處理部81，發(fā)送被壓縮的圖像數(shù)據(jù)、侵入者檢測(cè)信息或者接收從外部裝置對(duì)安全設(shè)備76進(jìn)行的各種設(shè)定信息等。并且，安全設(shè)備76構(gòu)成為具備控制部82，該控制部82通過CPU對(duì)安全設(shè)備76的各處理部進(jìn)行條件設(shè)定、處理指令發(fā)送、響應(yīng)處理。而且，本實(shí)施方式的紅外線攝像機(jī)55使用與上述實(shí)施方式中的紅外線攝像機(jī)55相同的照相機(jī)。移動(dòng)檢測(cè)處理部78具備圖中未顯示的緩沖存儲(chǔ)器、輸入緩沖存儲(chǔ)器的輸出的數(shù)據(jù)塊(block data)平滑部以及輸入數(shù)據(jù)塊平滑部的輸出的狀態(tài)變化檢測(cè)部。而且，移動(dòng)檢測(cè)處理部78的狀態(tài)變化檢測(cè)部利用如下原理來檢測(cè)狀態(tài)變化如果監(jiān)控區(qū)域?yàn)殪o止?fàn)顟B(tài)，則即使動(dòng)態(tài)拍攝到的不同的幀也為相同的圖像數(shù)據(jù)，而如果具有狀態(tài)變化(移動(dòng)體的侵入)，則幀間的圖像數(shù)據(jù)就會(huì)產(chǎn)生差異。 如圖10所示，安全設(shè)備76在屋檐下設(shè)置有紅外線攝像機(jī)55和人感傳感器77。而且，紅外線攝像機(jī)55檢測(cè)攝像區(qū)域83，人感傳感器77檢測(cè)檢查區(qū)域84。(I)依照本實(shí)施方式，安全設(shè)備76具備紅外線攝像機(jī)55。紅外線攝像機(jī)55具備光檢測(cè)部57，在光檢測(cè)部57中使用紅外線檢測(cè)元件I或者紅外線檢測(cè)元件45。因此，安全設(shè)備76能夠作為具備紅外線攝像機(jī)55的電子設(shè)備，該紅外線攝像機(jī)55具備高靈敏度地檢測(cè)紅外線的紅外線檢測(cè)元件。(第六實(shí)施方式)接下來，將使用圖11和圖12來說明作為使用了在紅外線檢測(cè)部中具備紅外線檢測(cè)元件的紅外線攝像機(jī)的電子設(shè)備之一的游戲設(shè)備的一個(gè)實(shí)施方式。圖11是表示游戲設(shè)備的控制器的結(jié)構(gòu)的框圖，圖12是用于說明控制器的使用方法的示意圖。如圖11所示，作為游戲設(shè)備使用的電子設(shè)備的控制器87構(gòu)成為具備攝像信息運(yùn)算單元88、操作開關(guān)89、加速度傳感器90、連接器91、處理器92以及無線模塊93。攝像信息運(yùn)算單元88具有攝像單元94和用于處理由該攝像單元94拍攝到的圖像數(shù)據(jù)的圖像處理電路95。攝像單元94包括光檢測(cè)部96，在其前方，配置有僅使紅外線通過的作為濾波器的紅外線濾波器97以及透鏡等光學(xué)系統(tǒng)98。并且，圖像處理電路95處理由攝像單元94得到的紅外線圖像數(shù)據(jù)，檢測(cè)高亮度部分，檢測(cè)出其重心位置、面積并輸出這些數(shù)據(jù)。在本實(shí)施方式的光檢測(cè)部96中，使用紅外線檢測(cè)元件I或者紅外線檢測(cè)元件45。處理器92將從操作開關(guān)89發(fā)送的操作數(shù)據(jù)、從加速度傳感器90發(fā)送的加速度數(shù)據(jù)以及高亮度部分?jǐn)?shù)據(jù)作為一系列的控制數(shù)據(jù)而輸出。無線模塊93用該控制數(shù)據(jù)調(diào)制規(guī)定頻率的載波，并從天線890輸出作為電波信號(hào)。此外，通過設(shè)置在控制器87上的連接器91輸入的數(shù)據(jù)也由處理器92進(jìn)行與上述的數(shù)據(jù)同樣的處理，并作為控制數(shù)據(jù)經(jīng)由無線模塊93和天線890輸出。如圖12所示，游戲設(shè)備99具備控制器87、游戲設(shè)備主體100、顯示器10ULED模塊102以及LED模塊103，玩家104能夠用一只手握持控制器87玩游戲。于是，如果使控制器87的攝像單元94朝向顯示器101的畫面105，則由攝像單元94檢測(cè)從設(shè)置在顯示器101的附近的兩個(gè)LED模塊102和LED模塊103輸出的紅外線，控制器87將兩個(gè)LED模塊102、103的位置、面積信息取得作為高亮度點(diǎn)的信息。亮點(diǎn)的位置、大小的數(shù)據(jù)由控制器87以無線的方式發(fā)送至游戲設(shè)備主體100，由游戲設(shè)備主體100接收。如果玩家104使控制器87移動(dòng)，則亮點(diǎn)的位置、大小的數(shù)據(jù)就會(huì)變化，因而利用這一點(diǎn)，游戲設(shè)備主體100能夠取得對(duì)應(yīng)于控制器87的移動(dòng)的操作信號(hào)，因而能夠按照該移動(dòng)而進(jìn)行游戲。如上所述，依照本實(shí)施方式，具有以下的效果(I)依照本實(shí)施方式，游戲設(shè)備99的控制器87具備光檢測(cè)部96，在光檢測(cè)部96中使用紅外線檢測(cè)元件I或者紅外線檢測(cè)元件45。由于光檢測(cè)部96的紅外線元件I或者紅外線檢測(cè)元件45高靈敏度地檢測(cè)紅外線，因而游戲設(shè)備99能夠作為具有控制器87的電子設(shè)備，該控制器87具備高靈敏度地檢測(cè)紅外線的紅外線檢測(cè)元件。(第七實(shí)施方式) 接下來，將使用圖13來說明作為使用了在紅外線檢測(cè)部中具備紅外線檢測(cè)元件的紅外線攝像機(jī)的電子設(shè)備之一的體溫測(cè)定裝置的一個(gè)實(shí)施方式。圖13是表示體溫測(cè)定裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。如圖13所示，作為電子設(shè)備的體溫測(cè)定裝置108構(gòu)成為具備紅外線攝像機(jī)55、體溫分析裝置109、信息通信裝置110以及電纜111。本實(shí)施方式的紅外線攝像機(jī)55使用與第三實(shí)施方式的紅外線攝像機(jī)55相同的照相機(jī)。紅外線攝像機(jī)55拍攝規(guī)定的對(duì)象區(qū)域，并將拍攝到的對(duì)象者112的圖像信息經(jīng)由電纜111發(fā)送至體溫分析裝置109。體溫分析裝置109包括圖像讀取處理單元，讀取由紅外線攝像機(jī)55發(fā)送的熱分布圖像；以及體溫分析處理單元，根據(jù)由圖像讀取處理單元發(fā)送的數(shù)據(jù)和圖像分析設(shè)定表來制作體溫分析表，體溫分析裝置109根據(jù)體溫分析表而將體溫信息發(fā)送用數(shù)據(jù)發(fā)送給信息通信裝置110。該體溫信息發(fā)送用數(shù)據(jù)可以含有對(duì)應(yīng)于體溫異常情況的規(guī)定的數(shù)據(jù)。另外，在判斷為攝影區(qū)域內(nèi)含有多個(gè)對(duì)象者112時(shí)，可以將對(duì)象者112的人數(shù)和體溫異常者的人數(shù)的信息包含在體溫信息發(fā)送用數(shù)據(jù)中。如上所述，依照本實(shí)施方式，具有以下的效果(I)依照本實(shí)施方式，體溫測(cè)定裝置108具備紅外線攝像機(jī)55。紅外線攝像機(jī)55具備光檢測(cè)部57，在光檢測(cè)部57中使用紅外線檢測(cè)元件I或者紅外線檢測(cè)元件45。因此，體溫測(cè)定裝置108能夠作為具備紅外線攝像機(jī)55的電子設(shè)備，該紅外線攝像機(jī)55具備高靈敏度地檢測(cè)紅外線的紅外線檢測(cè)元件。(第八實(shí)施方式)接下來，將使用圖14的表示指定物質(zhì)探測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)的框圖來說明作為在光檢測(cè)部中具備紅外線檢測(cè)元件的電子設(shè)備之一的指定物質(zhì)探測(cè)裝置的一個(gè)實(shí)施方式。如圖14所示，作為電子設(shè)備的指定物質(zhì)探測(cè)裝置115構(gòu)成為具備控制單元116、照射光單元117、光學(xué)濾波器118、攝像單元119以及顯示部120。攝像單元119具備圖中未顯示的透鏡等光學(xué)系統(tǒng)和光檢測(cè)部，該光檢測(cè)部構(gòu)成為包括紅外線檢測(cè)元件1，紅外線檢測(cè)元件I將第一實(shí)施方式的紅外線檢測(cè)元件I的紅外線檢測(cè)部3所具備的光吸收材料的吸收波長(zhǎng)設(shè)定為太赫茲區(qū)域(terahertz range)?；蛘?該光檢測(cè)部構(gòu)成為包括紅外線檢測(cè)元件45，紅外線檢測(cè)元件45將第二實(shí)施方式的紅外線檢測(cè)元件45的紅外線檢測(cè)部3所具備的光吸收材料的吸收波長(zhǎng)設(shè)定為太赫茲區(qū)域?？刂茊卧?16包括控制本裝置整體的系統(tǒng)控制器，該系統(tǒng)控制器控制被包括在控制單元中的光源驅(qū)動(dòng)部和圖像處理單元。照射光單元117包括射出波長(zhǎng)在100μ m 1000 μ m范圍內(nèi)的作為電磁波的太赫茲光的激光裝置和光學(xué)系,將太赫茲光照射至檢查對(duì)象的人物121。從人物1 21發(fā)出的反射太赫茲光經(jīng)由僅使作為探測(cè)對(duì)象的指定物質(zhì)122的分光光譜通過的光學(xué)濾波器118而被攝像單元119所接收。由攝像單元119生成的圖像信號(hào)由控制單元116的圖像處理單元實(shí)施規(guī)定的圖像處理，其圖像信號(hào)被輸出給顯示部120。于是，接收信號(hào)的強(qiáng)度根據(jù)在人物121的衣服內(nèi)等是否存在指定物質(zhì)122而不同，因而能夠判別指定物質(zhì)122的存在。如上所述，依照本實(shí)施方式，具有以下的效果(I)依照本實(shí)施方式，指定物質(zhì)探測(cè)裝置115在攝像單元119中具備光檢測(cè)部，在光檢測(cè)部中使用紅外線檢測(cè)元件I或者紅外線檢測(cè)元件45。由于光檢測(cè)部57的紅外線元件I或者紅外線檢測(cè)元件45高靈敏度地檢測(cè)紅外線，因而指定物質(zhì)探測(cè)裝置115能夠作為在攝像單元119中具備高靈敏度地檢測(cè)紅外線的紅外線檢測(cè)元件的電子設(shè)備。以上，雖然對(duì)幾個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但是，能夠進(jìn)行在實(shí)質(zhì)上不脫離本發(fā)明的新穎事項(xiàng)和效果的多種變型，這一點(diǎn)對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，是能夠容易理解的。因此，這些變型實(shí)例應(yīng)當(dāng)全部被包括在本發(fā)明的范圍內(nèi)。例如，在說明書或者附圖中，至少一次與更加廣義或者同義的不同術(shù)語一起記載的術(shù)語，在說明書或者附圖中的任何地方都能夠替換為該不同的術(shù)語。本發(fā)明能夠廣泛地適用于各種熱電體型檢測(cè)器。不論要檢測(cè)的光的波長(zhǎng)如何。另外，熱電體型檢測(cè)器、熱電體型檢測(cè)裝置、或者具有它們的電子設(shè)備也能夠適用于例如在所供給的熱量與流體吸收的熱量均衡的條件下檢測(cè)流體的流量的流量傳感器(flow sensor)等。能夠設(shè)置本發(fā)明的熱電體型檢測(cè)器或者熱電體型檢測(cè)裝置來代替設(shè)在該流量傳感器上的熱電偶等，并能夠?qū)⒐庖酝庾鳛闄z測(cè)對(duì)象。此外，本實(shí)施方式并不僅限于上述的實(shí)施方式，也能夠施加各種變更或者改良。以下，將說明變形例。(變形例I)在上述第一實(shí)施方式中，形成在第二基板8上的第二凹部9的深度形成得比第二基板8的厚度淺。圖15是表示紅外線檢測(cè)元件的結(jié)構(gòu)的主要部分側(cè)截面示意圖。如圖15的紅外線檢測(cè)元件49所示的那樣，形成在第二基板8的與第一凹部4相對(duì)的地方的第二凹部50可以貫通第二基板8。于是，可以將被第二凹部50包圍的第二空腔部51的體積形成得比粘接劑41和粘接劑42流入第二凹部50的體積大的體積。在這種情況下，由于粘接劑41和粘接劑42也不會(huì)流入第一空腔部5，因而能夠使粘接劑41和粘接劑42難以附著于第一凹部4。(變形例2)在上述第一實(shí)施方式中，第一凹部4未貫通第一基板2，而第二凹部4可以貫通第一基板2。而且，可以用梁支撐紅外線檢測(cè)部3。此時(shí)，由于難以從紅外線檢測(cè)部3向第一基板2傳動(dòng)而放熱，因而能夠提高紅外線檢測(cè)部3的靈敏度。(變形例3)
在上述第一實(shí)施方式中，側(cè)壁9a為相對(duì)于第二背面Sb傾斜的斜面。在側(cè)壁9a相對(duì)于粘接劑41而表面張力高時(shí)，側(cè)壁9a可以與第二背面Sb正交。能夠使重力作用于粘接劑41而易于移動(dòng)至底部9c。(變形例4)在上述第一實(shí)施方式中，紅外線檢測(cè)元件I縱橫各配置四個(gè)紅外線檢測(cè)部3。紅外線檢測(cè)部3的個(gè)數(shù)沒有特別限定，可以為f 15個(gè)，也可以為17個(gè)以上。即使在這種情況下，通過設(shè)置形成有第二凹部9的第二基板8，也能夠防止粘接劑41附著于第一凹部4。(變形例5)在上述第一實(shí)施方式中，在相互鄰接的所有第二凹部9之間都設(shè)置有凹部間槽部12。凹部間槽部12可以不設(shè)置在相互鄰接的所有第二凹部9之間?？梢詮囊粋€(gè)第二凹部 9開始設(shè)置一個(gè)凹部間槽部12或者外部連通槽部13。由于能夠減少蝕刻第二基板8的量，因而能夠高生產(chǎn)性地制造第二基板8。(變形例6)在所述第一實(shí)施方式中，紅外線檢測(cè)元件I具備集成電路35。在紅外線檢測(cè)部3的個(gè)數(shù)較少時(shí)，可以不具備集成電路35?？梢詮呐c紅外線檢測(cè)部3連接的第一布線24和第二布線25直接通過接合線40與封裝基板15的布線39連接。由于沒有集成電路35，因而高能夠生產(chǎn)性地制造紅外線檢測(cè)元件。符號(hào)說明I紅外線檢測(cè)元件2第一基板2a作為第一面的第一表面 2b作為第二面的第一背面3紅外線檢測(cè)部4第一凹部4b第一外周部7粘接膜8第二基板8a作為第三面的第二表面8b作為第四面的第二背面8c側(cè)面9、46、50 第二凹部9a 側(cè)壁9b第二外周部9c底部11,48空腔部12作為槽部的凹部間槽部13作為槽部的外部連通槽部42粘接劑55作為電子設(shè)備的紅外線攝像機(jī) 57、96光檢測(cè)部65作為電子設(shè)備的駕駛輔助裝置 76作為電子設(shè)備的安全設(shè)備87作為電子設(shè)備的控制器108作為電子設(shè)備的體溫測(cè)定裝置115作為電子設(shè)備的指定物質(zhì)探測(cè)裝置
權(quán)利要求
1.一種紅外線檢測(cè)元件，其特征在于，具有 第一基板，具有第一面以及所述第一面的相反側(cè)的第二面，所述第一基板在所述第二面上具有第一凹部，且所述第一基板在所述第一面的與所述第一凹部相對(duì)的地方具有檢測(cè)紅外線的紅外線檢測(cè)部； 第二基板，具有第三面以及第三面的相反側(cè)的第四面，所述第二基板在所述第四面的與所述第一凹部相對(duì)的地方具有第二凹部；以及粘接膜，粘接所述第二面與所述第四面， 其中，所述第二凹部與所述第四面交叉而成的第二外周部包圍所述第一凹部與所述第二面交叉而成的第一外周部。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的紅外線檢測(cè)元件，其特征在于， 所述第二凹部的側(cè)壁為相對(duì)于所述第四面傾斜的斜面。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的紅外線檢測(cè)元件，其特征在于， 在所述第一基板上設(shè)置有多個(gè)所述第一凹部和所述紅外線檢測(cè)部，多個(gè)所述第一凹部位于與一個(gè)所述第二凹部相對(duì)的地方。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任一項(xiàng)所述的紅外線檢測(cè)元件，其特征在于， 所述第二基板具有側(cè)面，在所述第二凹部與所述側(cè)面之間具有槽部。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4中任一項(xiàng)所述的紅外線檢測(cè)元件，其特征在于， 所述第二基板具有多個(gè)所述第二凹部，在多個(gè)所述第二凹部之間具有槽部。
6.根據(jù)權(quán)利要求I至5中任一項(xiàng)所述的紅外線檢測(cè)元件，其特征在于， 所述第二凹部的底部從所述第三面遮蔽被所述第一凹部和所述第二凹部包圍的空腔部。
7.一種電子設(shè)備，其特征在于，具備檢測(cè)紅外線的光檢測(cè)部， 在所述光檢測(cè)部具備權(quán)利要求I至6中任一項(xiàng)所述的紅外線檢測(cè)元件。
全文摘要
本發(fā)明提供了即使使用粘接劑粘合在基板上，粘接膜也難以形成于中空結(jié)構(gòu)的空間的紅外線檢測(cè)元件及電子設(shè)備。該紅外線檢測(cè)元件具有第一基板(2)，具有第一表面(2a)和第一表面的相反側(cè)的第一背面(2b)，在第一背面上具有第一凹部(4)，在第一表面的與第一凹部(4)相對(duì)的地方具有檢測(cè)紅外線的紅外線檢測(cè)部(3)；第二基板(8)，具有第二表面(8a)和第二表面的相反側(cè)的第二背面(8b)，在第二背面的與第一凹部(4)相對(duì)的地方具有第二凹部(9)；以及粘接膜(7)，粘接第一背面和第二背面，使粘接劑附著在第二表面上使用，第二凹部(9)與第二背面交叉而成的第二外周部(9b)包圍第一凹部與第一背面交叉而成的第一外周部(4b)。
文檔編號(hào)G01J5/02GK102914372SQ201210273610
公開日2013年2月6日 申請(qǐng)日期2012年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月4日
發(fā)明者齊藤秀隆 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社