專利名稱：光學測量裝置和光學測量方法
技術領域：
本發(fā)明涉及光學儀器技術領域，尤其涉及ー種光學測量裝置和光學測量方法。
背景技術：
玻璃具有透明、強度高、不透氣的特點，在日常環(huán)境中呈化學惰性，也不會與生物起作用，因此用途非常廣泛。常見的玻璃包括汽車玻璃、平板玻璃、保溫玻璃等。在玻璃制造過程中，難免會在玻璃內部或玻璃表面形成諸如劃傷、污點、顆粒等的 缺陷。如何能檢查出玻璃內部或玻璃表面的上述缺陷成為本領域技術人員亟待解決的問題之一?，F(xiàn)有技術的測量裝置中通常采用自動光學檢測系統(tǒng)(Automatic OpticalInspection, A0I)檢測玻璃的缺陷，所述光學測量裝置結構比較復雜、成本較高。而現(xiàn)有技術成本較低測量裝置的測量準確度有限、無法獲知所述缺陷所在面，這樣就無法有針對性地改善玻璃制造エ藝，以避免玻璃表面缺陷的產生。更多關于測量玻璃缺陷的光學測量裝置的技術方案可參考公告號為CN101652625B的中國專利，所述中國專利公開的技術方案也未能解決上述技術問題。

發(fā)明內容
本發(fā)明解決的技術問題是提供一種測量準確度較高的光學測量裝置和光學測量方法。為了解決上述問題，本發(fā)明提供ー種光學測量裝置，用于測量透明基板，包括照明単元，用于照亮所述透明基板的待測面；成像単元，用于使所述待測面成像；數(shù)據(jù)獲取單元，位于所述待測面的像面位置處，用于根據(jù)所述待測面像獲取待測面的缺陷信息?？蛇x地，所述光學測量裝置還包括固定所述透明基板的固定器件，所述固定器件與所述透明基板的待測面相接觸。可選地，所述固定器件為支撐式固定器件，所述透明基板位于所述支撐式固定器件的上方，所述透明基板的待測面與所述支撐式固定器件的上表面相接觸。可選地，所述成像単元位于支撐式固定器件的上方，所述數(shù)據(jù)獲取單元位于所述成像單元的上方。可選地，所述支撐式固定器件為基臺。可選地，所述固定器件為懸掛式固定器件，所述透明基板的待測面與所述懸掛式固定器件的底部相接觸?？蛇x地，所述固定器件包括固定于透明基板上表面邊緣位置處的兩個懸掛式固定器件，所述透明基板位于所述兩個懸掛式固定器件的下方，所述透明基板的待測面與所述兩個懸掛式固定器件的底部相接觸?？蛇x地，所述成像単元位于透明基板下方，所述數(shù)據(jù)獲取單元位于所述成像単元的下方。
可選地，所述成像単元位于透明基板上方，所述數(shù)據(jù)獲取單元位于所述成像単元的上方?？蛇x地，所述懸掛式固定器件包括固定部、連接部、吸盤，所述固定部通過連接部與吸盤連接在一起，所述吸盤與所述透明基板上表面的邊緣位置處相接觸?？蛇x地，所述懸掛式固定器件包括固定部、連接部、夾持部，所述固定部通過連接部與夾持部的頂面連接在一起，透明基板的端部嵌入至所述夾持部內，與夾持部緊密接觸，以實現(xiàn)固定。可選地，所述照明単元包括至少ー個光源，所述光源發(fā)出的光掠入射至待測面?？蛇x地，所述照明単元包括位于待測面任意ー側的光源?？蛇x地，所述照明単元包括分別位于待測面相對側的兩個光源?？蛇x地，所述光學測量裝置還包括用于承載所述透明基板的基臺，所述透明基板的待測面與基臺表面相接觸，所述兩個光源裝配于基臺側面，所述兩個光源的發(fā)光面朝向基臺?？蛇x地，所述光源為線性燈或線性激光。可選地，所述光源發(fā)出的光入射待測面的入射角在80 90°的范圍內?？蛇x地，所述成像単元為凸透鏡?？蛇x地，所述數(shù)據(jù)獲取單元為圖像傳感器?？蛇x地，所述圖像傳感器為CMOS圖像傳感器或CXD圖像傳感器?？蛇x地，所述成像単元和所述數(shù)據(jù)獲取單元集成在一起。可選地，所述光學測量裝置還包括掃描單元，所述掃描単元與成像単元和數(shù)據(jù)獲取単元固定在一起，所述掃描単元能沿與待測面平行的平面移動，以帶動所述成像単元和所述數(shù)據(jù)獲取單元移動，獲取待測面不同位置處的缺陷信息?？蛇x地,還包括掃描單元,所述掃描單元與所述數(shù)據(jù)獲取單元固定在一起,所述掃描単元用于沿與待測面垂直的方向移動，用于帶動數(shù)據(jù)獲取単元移動，以使數(shù)據(jù)獲取単元位于所述待測面像的像面位置處?？蛇x地，所述透明基板為玻璃。相應地，本發(fā)明還提供ー種光學測量方法，包括提供透明基板；提供照明光，使所述照明光照亮所述透明基板的待測面；使所述透明基板的待測面成像，形成待測面像；基于所述待測面像，獲取待測面的缺陷信息。可選地，所述提供透明基板的步驟包括，提供固定所述透明基板的固定器件，使所述固定器件與所述透明基板的待測面相接觸?？蛇x地，提供至少ー個光源，以提供照明光，使所述光源發(fā)出的照明光掠入射至待測面?？蛇x地，所述提供至少ー個光源的步驟包括提供一個位于待測面任意一側的光源?？蛇x地，所述提供至少ー個光源的步驟包括提供分別位于待測面相對側的兩個 光源?？蛇x地，所述提供透明基板的步驟包括提供用于承載所述透明基板的基臺，使所述透明基板的待測面與基臺表面相接觸；所述提供分別位于待測面相對側的兩個光源的步驟包括將所述兩個光源裝 配在基臺側面，并且使所述兩個光源的發(fā)光面朝向基臺?？蛇x地，提供光源的步驟包括提供線性燈或線性激光?？蛇x地，使所述光源發(fā)出的照明光掠入射至待測面的步驟包括使所述照明光以80 90°的入射角入射至待測面?？蛇x地，使所述透明基板的待測面成像，形成待測面像的步驟包括通過凸透鏡使所述透明基板的待測面成像，形成待測面像?？蛇x地，所述基于所述待測面像，獲取待測面的缺陷信息的步驟包括將待測面像轉換為電信號；根據(jù)所述電信號獲得缺陷信息?？蛇x地，通過成像単元使所述透明基板的待測面成像，形成待測面像；通過數(shù)據(jù)獲取單元獲取待測面的缺陷信息；使所述成像単元和所述數(shù)據(jù)獲取單元沿與待測面平行的平面同步移動，以獲取待測面不同位置處缺陷信息?？蛇x地，通過數(shù)據(jù)獲取單元獲取待測面的缺陷信息；使所述數(shù)據(jù)獲取單元沿與待測面垂直的方向移動，以使所述數(shù)據(jù)獲取單元位于所述待測面像的像面位置處。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點I.照明単元只照亮待測面，位于待測面上的缺陷因為光的散射而在待測面像上形成亮點，數(shù)據(jù)獲取単元僅獲取待測面像的信息，由于照明単元的照亮，數(shù)據(jù)獲取單元獲得的待測面像中缺陷所對應的信息得到加強，數(shù)據(jù)獲取単元可以基于所述待測面像的分析獲得了待測面上缺陷數(shù)量、分布、大小等缺陷信息，所述缺陷信息是針對待測面的信息，信息更加準確。2.可選方案中，使待測面與所述固定器件相接觸，由于固定器件的位置不變，相應地，待測面的位置不變，即使是對不同厚度的透明基板進行測量，待測面始終是與固定器件相接觸的面，從而使待測面與成像単元之間的距離不變，也就是物距不變，這樣成像単元所形成的待測面像的位置不變，數(shù)據(jù)獲取単元只要固定在待測面像的位置即可，無需采用自動光學檢測系統(tǒng)對不同待測面進行重新聚焦，就可以實現(xiàn)對多種玻璃的檢測，從而使結構簡單、成本較低，還簡化了測量步驟。3.可選方案中，光源為線性燈，以使待測面像中缺陷所對應的亮點最清晰，進而利于獲得準確的測量信息。4.可選方案中，掃描單元可以帶動所述成像単元和數(shù)據(jù)獲取単元沿與待測面平行的平面移動，以完成對透明基板不同位置處進行光學檢測，以獲得整個大尺寸透明基板的缺陷信息。


圖I是本發(fā)明光學測量裝置第一實施例的示意圖；圖2是本發(fā)明光學測量裝置第二實施例的示意圖；圖3是本發(fā)明光學測量裝置第三實施例的示意圖；圖4是本發(fā)明光學測量裝置第四實施例的示意圖；圖5是本發(fā)明光學測量方法ー實施方式的流程示意圖。
具體實施方式
在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本發(fā)明。但是本發(fā)明能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領域技術人員可以在不違背本發(fā)明內涵的情況下做類似推廣，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實施的限制。其次，本發(fā)明利用示意圖進行詳細描述，在詳述本發(fā)明實施例時，為便于說明，所述示意圖只是實例，其在此不應限制本發(fā)明保護的范圍。為了解決現(xiàn)有技術的問題，本發(fā)明提供ー種光學測量裝置，參考圖I示出了本發(fā)明光學測量裝置第一實施例的示意圖。本發(fā)明光學測量裝置用于測量透明基板100，包括基臺101、照明單元102、成像單元103和數(shù)據(jù)獲取單元104。其中，基臺101，用于承載所述透明基板100 ；
照明単元102，用于照亮所述透明基板100的待測面；成像単元103，用于使所述待測面成像；數(shù)據(jù)獲取単元104，位于所述待測面像的像面位置處，用于根據(jù)所述待測面像獲取待測面的缺陷信息。所述照明単元102的光投射至透明基板100的待測面，位于待測面上的缺陷因為光的散射而在待測面像上形成亮點，通過所述亮點可以獲得缺陷的位置，此外，所述亮點的大小還與缺陷的尺寸相關，因此，基于待測面像可以獲得待測面上缺陷的數(shù)量、尺寸、分布等的缺陷信息，本發(fā)明可對透明基板100的某一待測面進行缺陷信息的測量，從而可以獲得更豐富的缺陷數(shù)據(jù)。下面結合圖I和具體實施例對本發(fā)明的技術方案做進ー步說明。本實施例中透明基板100以玻璃為例，但是本發(fā)明對此不做限制?；_101，用于承載玻璃。本實施例中，將玻璃的待測面與所述基臺101表面相接觸。這樣即使是對不同厚度的玻璃進行測量，玻璃的待測面始終與基臺101的表面齊平，因此玻璃的待測面與成像単元103之間的距離不變，也就是物距不變，這樣成像単元103所形成的待測面像的位置不變。因此，無需采用自動光學檢測系統(tǒng)對不同待測面進行重新聚焦，就可以實現(xiàn)對多種玻璃的檢測，本實施例的光學測量裝置結構簡單、成本較低。照明単元102包括至少ー個光源，所述光源發(fā)出的光掠入射至基臺101表面(即玻璃的待測面)。此處所述光掠入射至待測面的入射角在80 90°的范圍內。具體地，所述照明単元102可以包括位于待測面任意ー側的ー個光源，或者包括位于待測面相對側的兩個光源。如圖I所示，本實施例中，所述照明単元102包括分別位于基臺101相對側的兩個光源 1021、1022。兩個光源1021、1022裝配于基臺101兩側的側面上，所述兩個光源1021、1022的發(fā)光面朝向基臺101，從而使其發(fā)出的光以掠入射方式入射至基臺101表面，即使光源1021、1022發(fā)出的光以掠入射方式入射至玻璃的待測面。具體地，所述光源1021、1022可以是線性燈(line light)或線性激光(linelaser)。其中，所述光源1021、1022為線性燈時形成的待測面像中缺陷所對應的亮點最清晰，進而利于獲得準確的測量信息。因此優(yōu)選方案中，所述光源1021、1022為線性燈。成像単元103，用于使玻璃的待測面成像。具體地，所述成像単元103可以是凸透鏡或者是透鏡組。數(shù)據(jù)獲取単元104，可以是用于將待測面像轉換為電信號的圖像傳感器，所述圖像傳感器位于玻璃的待測面的像面位置處，可以顯示待測面像。具體地，待測面像中亮點所在位置即為缺陷位置，數(shù)據(jù)獲取単元104可以基于亮點的數(shù)量獲得缺陷的數(shù)量，可以基于亮點在待測面像中的相對位置可以獲得缺陷分布信息。此外，亮點的尺寸和缺陷尺寸成正比，所述數(shù)據(jù)獲取單元104基于亮點的尺寸還可以獲得不同位置處缺陷的相對大小。具體 地，所述圖像傳感器可以是電荷I禹合器件(Charge Coupled Device, CO))或互補金屬氧化物半導體(Complementary Metal Oxide Semiconductor, CMOS)等的常用圖像傳感器。在其他實施例中，所述成像単元103還可以與所述數(shù)據(jù)獲取單元104集成在一起，例如，照相機。本實施例中，由于照明単元102只照亮了待測面(如圖I所示的與基臺100相接觸的玻璃表面)，而數(shù)據(jù)獲取單元104僅獲取了所述待測面像的信息。由于照明単元102的照亮，數(shù)據(jù)獲取単元104獲得的待測面像中缺陷所對應的信息得到加強，有利于獲得準確的缺陷信息。所述數(shù)據(jù)獲取單元104可以基于所述待測面像的分析獲得了待測面的缺陷信息。本實施例提供的缺陷信息是更有針對性的基于待測面的信息，信息更加準確。需要說明的是在圖I所示的實施例中，以基臺101作為固定器件固定所述透明基板100，但是本發(fā)明對此不做限制，還可以采用其他固定器件對所述透明基板100進行固定。參考圖2，示出了本發(fā)明光學測量裝置第二實施例的示意圖。需要說明的是，為了使附圖更加清楚、簡潔，圖2中省略了照明単元。本實施例中與圖I所示第一實施例的相同之處不再贅述，本實施例與第一實施例的不同之處在于，本實施例中，用于固定透明基板100的固定器件為懸掛式固定器件204。如圖2所示，所述光學測量裝置包括兩個懸掛式固定器件204，分別與透明基板100的上表面的邊緣位置處相接觸，以實現(xiàn)對透明基板100固定。具體地，所述懸掛式固定器件204包括固定部201、連接部202、吸盤203，所述固定部201通過連接部202與吸盤203連接在一起。例如所述固定部201為剛性支撐架，所述連接部202為剛性條狀連接件。所述吸盤203可以通過吸力吸附所述透明基板100的上表面，從而實現(xiàn)對透明基板100的固定。本實施例中，透明基板100的上表面為待測面。成像単元103位于所述透明基板100的上方，使所述數(shù)據(jù)獲取單元104位于成像単元103上方、待測面像的像面位置處，根據(jù)所述待測面像獲得待測面的缺陷信息。對不同的透明基板100進行測試時，由于懸掛式固定器件204中吸盤203的位置不變，并且待測面始終與所述吸盤203相接觸，因此待測面的位置是固定的，相應地，成像単元103和數(shù)據(jù)獲取単元104之間的距離可以保持不變，無需采用自動光學測量系統(tǒng)，結構較為簡單。繼續(xù)參考圖2，需要說明的是，由于所述透明基板100為透光性器件，同時，懸掛式固定器件204固定于透明基板100的上表面的邊緣位置處，因此，所述懸掛式固定器件204不會擋光。因此，透明基板100的上表面(待測面)還可以透過透明基板100而在其下方形成待測面像。因此，成像単元103還可以位于透明基板100的下方，相應地，所述數(shù)據(jù)獲取單元104位于所述成像単元103下方。同樣地，與懸掛式固定器件204相接觸的所述待測面的位置固定，也就是說物距不變，相應地，成像単元103和數(shù)據(jù)獲取単元104之間的距離可以保持不變，無需采用自動光學測量系統(tǒng)，結構較為簡単。與第一實施例相比，第二實施例采用懸掛式固定器件，所述成像単元103和所述數(shù)據(jù)獲取単元104既可以位于透明基板100的上方，也可以位于透明基板100的下方，具有較高的靈活性。 需要說明的是，在其他實施例中，所述光學測量裝置還可以只包括一個懸掛式固定器件204，所述懸掛式固定器件204位于透明基板100上方，且與透明基板100的上表面的中心位置處相接觸，以實現(xiàn)對透明基板100的固定。成像単元103和數(shù)據(jù)獲取単元104依次位于所述懸掛式固定器件204的下方。在其他實施例中，所述懸掛式固定器件還可以具有不同的結構。參考圖3示出了本發(fā)明光學測量裝置第三實施例的示意圖。需要說明的是，為了使附圖更加清楚、簡潔，圖3中省略了照明単元。如圖3所示，懸掛式固定器件300包括固定部301、連接部302、夾持部303，所述固定部301通過連接部302與夾持部303的頂面連接在一起。所述固定部301可以是剛性支撐架，所述連接部302為剛性條狀連接件。本實施例中，所述夾持部303為橫截面呈“c”型的夾持件，但是本發(fā)明對此不做限制。透明基板100的端部嵌入至“ c”型的夾持件的開口內，與“ c”型的夾持件緊密接觸，以實現(xiàn)固定。本實施例中，透明基板100的上表面為待測面。對于不同厚度的透明基板100，可以采用不同開ロ尺寸的夾持部303。由于夾持部303的頂面位置不變，所述待測面的位置也不變，物距不變，相應地，成像単元103和數(shù)據(jù)獲取単元104之間的距離可以保持不變，無需采用自動光學測量系統(tǒng)，結構較為簡単。需要說明的是，上述實施例的光學測量裝置適用于小尺寸的透明基板，如果透明基板的面積較大，而成像単元的視場又有所限制，這樣，光學測量裝置只能對透明基板的局部區(qū)域進行測量。對此，本發(fā)明還提供了改進的技術方案。結合參考圖4，示出了本發(fā)明光學測量裝置第四實施例的局部示意圖。為了使附圖更加清楚、簡潔，附圖4省略了照明単元、固定器件。本實施例的光學測量裝置與圖I所示實施例的相同之處不再贅述，本實施例與圖I所示實施例的區(qū)別之處在于，本實施例的光學測量裝置還包括掃描單元205。如圖4所示，透明基板200在X軸和Y軸所在的平面內，所述掃描單元205包括沿X軸的第一滑軌2051和沿Y軸的第二滑軌2052，成像単元和數(shù)據(jù)獲取単元裝配于所述掃描単元205上，所述掃描単元205可以帶動所述成像単元和數(shù)據(jù)獲取単元沿第一滑軌2051和第二滑軌2052移動，從而使成像単元和圖像傳感器沿與待測面平行的平面移動，對透明基板200不同位置處進行光學檢測，以獲得整個透明基板200的缺陷信息。具體地，所述成像単元和數(shù)據(jù)獲取単元可以先沿第二滑軌2052對Y軸上透明基板200不同位置進行掃描，之后，沿第一滑軌2051移動至X軸另ー測量位置再沿第二滑軌2052進行，直至完成對整個透明基板200的掃描。繼續(xù)參考圖4，所述掃描單元205還包括第三滑軌2053，所述第三滑軌2053沿與待測面垂直的Z軸延伸，所述掃描単元2053與所述數(shù)據(jù)獲取單元固定在一起，所述掃描單元2053可以沿著第三滑軌2053移動，也就是說所述掃描單元2053用于沿與待測面垂直的方向移動，以調節(jié)數(shù)據(jù)獲取単元與成像系統(tǒng)之間的間距，以保證數(shù)據(jù)獲取単元位于所述待測面的像面位置處。相應地，本發(fā)明還提供ー種光學 測量方法，參考圖5，示出了所述光學測量方法一實施方式的流程示意圖，所述光學測量方法大致包括以下步驟步驟SI，提供透明基板；步驟S2，提供照明光，使所述照明光照亮所述透明基板的待測面；步驟S3，使所述透明基板的待測面成像，形成待測面像；步驟S4，基于所述待測面像，獲取待測面的缺陷信息。下面結合具體實施例對本發(fā)明光學測量方法的技術方案做進ー步說明。執(zhí)行步驟SI，提供透明基板，本實施例中透明基板以玻璃為例，但是本發(fā)明對此不做限制。本實施例中，在提供玻璃時，使所述玻璃的待測面與用于固定所述玻璃的固定器件相接觸，本實施例中，所述玻璃的待測面與用于承載所述透明基板的基臺相接觸。在其他實施例中，所述玻璃的待測面還可以與懸掛式固定器件的相接觸。這樣無需采用自動光學檢測系統(tǒng)對不同待測面進行重新聚焦，就可以實現(xiàn)對不同厚度玻璃的檢測，簡化步驟。執(zhí)行步驟S2，提供至少ー個光源，本實施例中，使所述光源發(fā)出的照明光掠入射至基臺表面，以照亮與基臺表面相接觸的待測面。具體地，在使所述光源發(fā)出的照明光掠入射至基臺表面(即待測面)時，使入射角在80 90°的范圍內。在提供光源時可以提供一個位于待測面任意ー側的光源，或者提供分別位于待測面相對側的兩個光源。對于提供兩個光源的情況，具體地，將所述兩個光源裝配在基臺側面，并且使所述兩個光源的發(fā)光面朝向基臺，從而使光源發(fā)出的光掠入射至基臺表面，以照亮玻璃的待測面。其中，所提供的光源可以是線性燈或線性激光。優(yōu)選地，提供線性燈，以使形成的待測面像中缺陷所對應的亮點比較清晰。執(zhí)行步驟S3，通過成像単元使所述透明基板的待測面成像，形成待測面像。具體地，可以通過凸透鏡使所述透明基板的待測面成像，以形成待測面像，但是本發(fā)明對此不做限制，所述成像單元還可以是包括多個透鏡的透鏡組。執(zhí)行步驟S4，通過數(shù)據(jù)獲取單元獲取缺陷信息，本實施例中，數(shù)據(jù)獲取単元先將待測面像轉換為電信號，之后，根據(jù)所述電信號分析待測面的缺陷信息。需要說明的是，為了對較大尺寸的透明基板進行光學檢測。所述光學測量方法還包括使所述成像単元和所述數(shù)據(jù)獲取單元沿與待測面平行的平面同步移動，以獲取待測面不同位置處缺陷信息。具體地，所述成像単元和數(shù)據(jù)獲取単元可以先沿Y軸上透明基板不同位置進行掃描，之后，再沿X軸移動到達另ー測量位置再沿Y軸進行掃描，以完成對整個透明基板的掃描。在其他實施例中，還可以使所述數(shù)據(jù)獲取單元沿與待測面垂直的Z軸移動，以改變數(shù)據(jù)獲取單元與成像単元之間的間距，進而保證數(shù)據(jù)獲取單元位于所述待測面像的像面位置處。綜上，本發(fā)明提供ー種光學測量裝置和光學測量方法，通過照亮透明基板的待測面，對所述待測面進行成像，并基于對待測面像的分析獲得待測面的缺陷信息，從而使所述缺陷信息更加準確和具有針對性。本發(fā)明雖然已以較佳實施例公開如上，但其并不是用來限定本發(fā)明，任何本領域技術人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內，都可以利用上述掲示的方法和技術內容對本發(fā)明技術方案做出可能的變動和修改，因此，凡是未脫離本發(fā)明技術方案的內容，依據(jù)本發(fā)明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化及修飾，均屬于本發(fā)明技術方案 的保護范圍。
權利要求
1.ー種光學測量裝置，用于測量透明基板，其特征在于，包括 照明単元，用于照亮所述透明基板的待測面； 成像単元，用于使所述待測面成像； 數(shù)據(jù)獲取単元，位于所述待測面的像面位置處，用于根據(jù)所述待測面像獲取待測面的缺陷信息。
2.如權利要求I所述的光學測量裝置，其特征在于，所述光學測量裝置還包括固定所述透明基板的固定器件，所述固定器件與所述透明基板的待測面相接觸。
3.如權利要求2所述的光學測量裝置，其特征在于，所述固定器件為支撐式固定器件，所述透明基板位于所述支撐式固定器件的上方，所述透明基板的待測面與所述支撐式固定 器件的上表面相接觸。
4.如權利要求3所述的光學測量裝置，其特征在于，所述成像単元位于支撐式固定器件的上方，所述數(shù)據(jù)獲取單元位于所述成像單元的上方。
5.如權利要求3所述的光學測量裝置，其特征在于，所述支撐式固定器件為基臺。
6.如權利要求2所述的光學測量裝置，其特征在于，所述固定器件為懸掛式固定器件，所述透明基板的待測面與所述懸掛式固定器件的底部相接觸。
7.如權利要求6所述的光學測量裝置，其特征在于，所述固定器件包括固定于透明基板上表面邊緣位置處的兩個懸掛式固定器件，所述透明基板位于所述兩個懸掛式固定器件的下方，所述透明基板的待測面與所述兩個懸掛式固定器件的底部相接觸。
8.如權利要求6或7所述的光學測量裝置，其特征在于，所述成像単元位于透明基板下方，所述數(shù)據(jù)獲取單元位于所述成像単元的下方。
9.如權利要求7所述的光學測量裝置，其特征在于，所述成像単元位于透明基板上方，所述數(shù)據(jù)獲取單元位于所述成像單元的上方。
10.如權利要求7所述的光學測量裝置，其特征在于，所述懸掛式固定器件包括固定部、連接部、吸盤，所述固定部通過連接部與吸盤連接在一起，所述吸盤與所述透明基板上表面的邊緣位置處相接觸。
11.如權利要求7所述的光學測量裝置，其特征在于，所述懸掛式固定器件包括固定部、連接部、夾持部，所述固定部通過連接部與夾持部的頂面連接在一起，透明基板的端部嵌入至所述夾持部內，與夾持部緊密接觸，以實現(xiàn)固定。
12.如權利要求I所述的光學測量裝置，其特征在于，所述照明単元包括至少ー個光源，所述光源發(fā)出的光掠入射至待測面。
13.如權利要求12所述的光學測量裝置，其特征在于，所述照明単元包括位于待測面任意ー側的光源。
14.如權利要求12所述的光學測量裝置，其特征在于，所述照明単元包括分別位于待測面相對側的兩個光源。
15.如權利要求14所述的光學測量裝置，其特征在于，所述光學測量裝置還包括用于承載所述透明基板的基臺，所述透明基板的待測面與基臺表面相接觸，所述兩個光源裝配于 基臺側面，所述兩個光源的發(fā)光面朝向基臺。
16.如權利要求12 15任意ー權利要求所述的光學測量裝置，其特征在于，所述光源為線性燈或線性激光。
17.如權利要求12所述的光學測量裝置，其特征在于，所述光源發(fā)出的光入射待測面的入射角在80 90°的范圍內。
18.如權利要求I所述的光學測量裝置，其特征在于，所述成像単元為凸透鏡。
19.如權利要求I所述的光學測量裝置，其特征在于，所述數(shù)據(jù)獲取單元為圖像傳感器。
20.如權利要求19所述的光學式測量裝置，其特征在于，所述圖像傳感器為CMOS圖像傳感器或CXD圖像傳感器。
21.如權利要求I所述的光學式測量裝置，其特征在于，所述成像単元和所述數(shù)據(jù)獲取單元集成在一起。
22.如權利要求I所述的光學測量裝置，其特征在于，所述光學測量裝置還包括掃描單元，所述掃描單元與成像單元和數(shù)據(jù)獲取單元固定在一起，所述掃描單元能沿與待測面平行的平面移動，以帶動所述成像単元和所述數(shù)據(jù)獲取單元移動，獲取待測面不同位置處的缺陷信息。
23.如權利要求I所述的光學測量裝置，其特征在于，還包括掃描單元，所述掃描単元與所述數(shù)據(jù)獲取單元固定在一起，所述掃描単元用于沿與待測面垂直的方向移動，用于帶動數(shù)據(jù)獲取單元移動，以使數(shù)據(jù)獲取単元位于所述待測面像的像面位置處。
24.如權利要求I所述的光學測量裝置，其特征在于，所述透明基板為玻璃。
25.—種光學測量方法,其特征在于,包括 提供透明基板； 提供照明光，使所述照明光照亮所述透明基板的待測面； 使所述透明基板的待測面成像，形成待測面像； 基于所述待測面像，獲取待測面的缺陷信息。
26.如權利要求25所述的光學測量方法，其特征在于，所述提供透明基板的步驟包括提供固定所述透明基板的固定器件，使所述固定器件與所述透明基板的待測面相接觸。。
27.如權利要求25所述的光學測量方法，其特征在于，提供至少ー個光源，以提供照明光，使所述光源發(fā)出的照明光掠入射至待測面。
28.如權利要求27所述的光學測量方法，其特征在干，所述提供至少ー個光源的步驟包括提供一個位于待測面任意ー側的光源。
29.如權利要求27所述的光學測量方法，其特征在于，所述提供至少ー個光源的步驟包括提供分別位于待測面相對側的兩個光源。
30.如權利要求29所述的光學測量方法，其特征在于，所述提供透明基板的步驟包括，提供用于承載所述透明基板的基臺，使所述透明基板的待測面與基臺表面相接觸；所述提供分別位于待測面相對側的兩個光源的步驟包括將所述兩個光源裝配在基臺側面，并且使所述兩個光源的發(fā)光面朝向基臺。
31.如權利要求27 30任意ー權利要求所述的光學測量方法,其特征在于,提供光源的步驟包括提供線性燈或線性激光。
32.如權利要求27所述的光學測量方法，其特征在于，使所述光源發(fā)出的照明光掠入射至待測面的步驟包括使所述照明光以80 90°的入射角入射至待測面。
33.如權利要求25所述的光學測量方法，其特征在于，使所述透明基板的待測面成像，形成待測面像的步驟包括通過凸透鏡使所述透明基板的待測面成像，形成待測面像。
34.如權利要求25所述的光學測量方法，其特征在于，所述基于所述待測面像，獲取待測面的缺陷信息的步驟包括 將待測面像轉換為電信號； 根據(jù)所述電信號獲得缺陷信息。
35.如權利要求25所述的光學測量方法,其特征在于， 通過成像単元使所述透明基板的待測面成像，形成待測面像； 通過數(shù)據(jù)獲取單元獲取待測面的缺陷信息； 使所述成像単元和所述數(shù)據(jù)獲取單元沿與待測面平行的平面同步移動，以獲取待測面不同位置處缺陷信息。
36.如權利要求25所述的光學測量方法，其特征在干，通過數(shù)據(jù)獲取單元獲取待測面的缺陷信息；使所述數(shù)據(jù)獲取單元沿與待測面垂直的方向移動，以使所述數(shù)據(jù)獲取單元位于所述待測面像的像面位置處。
全文摘要
一種光學測量裝置和光學測量方法，用于測量透明基板，所述光學測量裝置包括照明單元，用于照亮所述透明基板的待測面；成像單元，用于使所述待測面成像；數(shù)據(jù)獲取單元，位于所述待測面的像面位置處，用于根據(jù)所述待測面像獲取待測面的缺陷信息。所述光學測量方法包括提供透明基板；提供照明光，使所述照明光照亮所述透明基板的待測面；使所述透明基板的待測面成像，形成待測面像；基于所述待測面像，獲取待測面的缺陷信息。本發(fā)明可以獲得較高的測量準確度。
文檔編號G01N21/958GK102645437SQ20121010637
公開日2012年8月22日 申請日期2012年4月11日 優(yōu)先權日2012年4月11日
發(fā)明者史偉杰, 孫曉偉, 鄭媛, 陳大志 申請人:法國圣戈班玻璃公司