專(zhuān)利名稱(chēng)：厚膜壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種壓カ傳感器，具體的說(shuō)，涉及了ー種厚膜壓カ傳感器。
背景技術(shù)：
厚膜壓カ傳感器是以高性能氧化鋁瓷為弾性體，以具有壓阻效應(yīng)的厚膜電阻為應(yīng)變電阻，采用厚膜印刷技術(shù)印刷在陶瓷弾性體上制成的器件，目前，使用的弾性體多為一體化的陶瓷基座；厚膜壓カ傳感器耐高溫、耐腐蝕、可直接接觸腐蝕性物質(zhì)而無(wú)需隔離，已成為壓カ傳感器中的主要產(chǎn)品之一。目前的厚膜壓カ傳感器制作普遍采用厚膜印刷技術(shù)，即在陶瓷基座的弾性膜片上印刷導(dǎo)電帶、厚膜應(yīng)變電阻，通過(guò)高溫?zé)Y(jié)エ藝制作厚膜應(yīng)變電阻，并組成全橋，以形成傳感器主體；抗過(guò)載及補(bǔ)償則通過(guò)在陶瓷基座的表面貼裝貼片電阻實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)，以達(dá)到零點(diǎn)補(bǔ)償、靈敏度補(bǔ)償?shù)饶康?；但是，由于貼片電阻選擇是依靠理論計(jì)算得來(lái)的，與實(shí)際需求會(huì)有一定偏差，補(bǔ)償一般不能達(dá)到理想效果，在環(huán)境條件影響時(shí)，如溫度變化的影響，傳感器性能容易出現(xiàn)波動(dòng)，從而影響產(chǎn)品應(yīng)用，制約傳感器在中高端應(yīng)用領(lǐng)域的推廣。為了解決以上存在的問(wèn)題，人們一直在尋求ー種理想的技術(shù)解決方案。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，從而提供了ー種零點(diǎn)及靈敏度漂移小、性能穩(wěn)定可靠、適應(yīng)環(huán)境能力強(qiáng)的厚膜壓カ傳感器。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是ー種厚膜壓カ傳感器，它包括陶瓷基座、導(dǎo)電帶、四個(gè)厚膜應(yīng)變電阻、兩個(gè)補(bǔ)償電阻和玻璃保護(hù)膜，所述厚膜應(yīng)變電阻采用厚膜印刷方式印刷在所述陶瓷基座的弾性膜片上，所述補(bǔ)償電阻采用厚膜印刷方式印刷在所述陶瓷基座上。基于上述，所述補(bǔ)償電阻靠近所述陶瓷基座的弾性膜片邊沿印刷。本實(shí)用新型相對(duì)現(xiàn)有技術(shù)具有實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和進(jìn)步，具體的說(shuō)，該厚膜壓カ傳感器采用一體化的設(shè)計(jì)，先將采用厚膜印刷技術(shù)印刷的補(bǔ)償電阻取代現(xiàn)有的貼片電阻，然后對(duì)厚膜壓カ傳感器進(jìn)行功能測(cè)試，并在功能測(cè)試狀態(tài)下利用激光調(diào)阻的方法調(diào)整補(bǔ)償電阻的阻值，以使補(bǔ)償電阻的阻值達(dá)到最佳使用狀態(tài)；該厚膜壓カ傳感器零點(diǎn)及靈敏度漂移小，性能穩(wěn)定可靠，適宜在不同條件下應(yīng)用，具有很高的推廣應(yīng)用價(jià)值。

圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面通過(guò)具體實(shí)施方式
，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案做進(jìn)ー步的詳細(xì)描述。如圖I所示，ー種厚膜壓カ傳感器，它包括陶瓷基座I、導(dǎo)電帶2、四個(gè)厚膜應(yīng)變電阻、兩個(gè)補(bǔ)償電阻和玻璃保護(hù)膜，所述厚膜應(yīng)變電阻采用厚膜印刷方式印刷在所述陶瓷基座I的弾性膜片3上，所述補(bǔ)償電阻采用厚膜印刷方式印刷在所述陶瓷基座I上，兩個(gè)所述補(bǔ)償電阻靠近所述陶瓷基座I的弾性膜片3邊沿印刷，即所述補(bǔ)償電阻印刷在所述彈性膜片3以外的區(qū)域，以保證激光調(diào)阻時(shí)不傷害所述彈性膜片3。一種厚膜壓カ傳感器的制作方法，它包括以下步驟步驟I、選取一體化的厚膜壓カ傳感器用陶瓷基座；所述陶瓷基座的材質(zhì)選用96%以上的三氧化ニ鋁，所述陶瓷基座的規(guī)格可依照需求選擇，主要參數(shù)是弾性膜片厚度、陶瓷 基座直徑等。步驟2、采用厚膜印刷方式，采用導(dǎo)電漿料在所述陶瓷基座上印刷導(dǎo)電帶，印刷完成后，先烘干，再燒結(jié)成型；所述導(dǎo)電漿料選用銀鈀漿料。步驟3、采用厚膜印刷方式，采用應(yīng)變電阻漿料在所述陶瓷基座的弾性膜片上印刷四個(gè)厚膜應(yīng)變電阻，即厚膜應(yīng)變電阻R1、厚膜應(yīng)變電阻R2、厚膜應(yīng)變電阻R3和厚膜應(yīng)變電阻R4 ;再采用補(bǔ)償電阻漿料在所述陶瓷基座上印刷兩個(gè)補(bǔ)償電阻，即補(bǔ)償電阻rl和補(bǔ)償電阻r4 ;印刷完成后，先烘干，再燒結(jié)成型；所述應(yīng)變電阻漿料和所述補(bǔ)償電阻漿料均選用溫度系數(shù)不大于50ppm/°C的釕系厚膜電阻漿料，且所述應(yīng)變電阻漿料和所述補(bǔ)償電阻漿料的溫度系數(shù)一致；由于所述厚膜應(yīng)變電阻與所述補(bǔ)償電阻的阻值不同，選用的所述應(yīng)變電阻漿料和所述補(bǔ)償電阻漿料的方阻不同，因此，所述厚膜應(yīng)變電阻與所述補(bǔ)償電阻需分別印刷。步驟4、采用玻璃保護(hù)漿料在所述陶瓷基座上印刷玻璃保護(hù)膜，烘干后燒結(jié)成型，使所述陶瓷基座上的所述厚膜應(yīng)變電阻和所述補(bǔ)償電阻得以保護(hù)，以此制得傳感器。步驟5、將所述傳感器置于測(cè)試裝置的恒溫恒濕試驗(yàn)箱中，并將所述傳感器與測(cè)試裝置的激光調(diào)阻機(jī)連接，然后，調(diào)節(jié)所述恒溫恒濕試驗(yàn)箱，在不同溫度下進(jìn)行加載試驗(yàn)，并通過(guò)所述激光調(diào)阻機(jī)對(duì)所述補(bǔ)償電阻進(jìn)行電阻調(diào)節(jié)，直至達(dá)到所述補(bǔ)償電阻的阻值設(shè)計(jì)要求，則完成厚膜壓カ傳感器的制作。最后應(yīng)當(dāng)說(shuō)明的是以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非對(duì)其限制；盡管參照較佳實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解依然可以對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
進(jìn)行修改或者對(duì)部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的精神，其均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型請(qǐng)求保護(hù)的技術(shù)方案范圍當(dāng)中。
權(quán)利要求1.ー種厚膜壓カ傳感器，包括陶瓷基座、導(dǎo)電帶、四個(gè)厚膜應(yīng)變電阻、兩個(gè)補(bǔ)償電阻和玻璃保護(hù)膜，其特征在干所述厚膜應(yīng)變電阻采用厚膜印刷方式印刷在所述陶瓷基座的彈性膜片上，所述補(bǔ)償電阻采用厚膜印刷方式印刷在所述陶瓷基座上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的厚膜壓カ傳感器，其特征在于所述補(bǔ)償電阻靠近所述陶瓷基座的弾性膜片邊沿印刷。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供一種厚膜壓力傳感器，它包括陶瓷基座、導(dǎo)電帶、四個(gè)厚膜應(yīng)變電阻、兩個(gè)補(bǔ)償電阻和玻璃保護(hù)膜，所述厚膜應(yīng)變電阻采用厚膜印刷方式印刷在所述陶瓷基座的彈性膜片上，所述補(bǔ)償電阻采用厚膜印刷方式印刷在所述陶瓷基座上；所述補(bǔ)償電阻靠近所述陶瓷基座的彈性膜片邊沿印刷。該傳感器具有零點(diǎn)及靈敏度漂移小、性能穩(wěn)定可靠、適應(yīng)環(huán)境能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01L1/18GK202403843SQ201120566640
公開(kāi)日2012年8月29日 申請(qǐng)日期2011年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月30日
發(fā)明者張小水, 祁明鋒, 鄭建民, 高勝?lài)?guó) 申請(qǐng)人:鄭州煒盛電子科技有限公司