專利名稱：一種自相關(guān)儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及激光參數(shù)測量技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于測量超短激光脈沖寬度的自相關(guān)儀。
背景技術(shù)：
隨著激光技術(shù)的飛速發(fā)展，激光脈沖寬度不斷變窄，在超短、超快激光領(lǐng)域，人們已經(jīng)通過實(shí)驗(yàn)手段壓縮獲得脈沖寬度小于IOfs (飛秒)的飛秒激光，超短激光脈沖寬度的測量是超短激光參數(shù)測量中最重要的問題。傳統(tǒng)的用于測量激光脈沖寬度的方法是利用光電雙光子探測器直接顯示脈沖波形，然而現(xiàn)有的光電響應(yīng)器件的最快響應(yīng)時(shí)間為皮秒量級(jí)，無法用于測量飛秒量級(jí)的超短激光脈沖信息，這就需要飛秒激光脈沖對(duì)自己本身進(jìn)行掃描，利用光與物質(zhì)相互作用的非線性效應(yīng)，將時(shí)間測量轉(zhuǎn)化為空間測量，從而得到飛秒激光脈沖的自相關(guān)信號(hào)。測量飛秒激光脈沖寬度的基本過程是待測飛秒激光被分光鏡分成兩束，其中一束光通過一個(gè)延遲器，另一束光則不經(jīng)過延遲器，然后將上述經(jīng)過不同路徑的兩束光重合，再利用倍頻晶體的二階非線性效應(yīng)或者采用有雙光子吸收效應(yīng)的光電轉(zhuǎn)換介質(zhì)，將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)來測量，調(diào)整兩路徑的光程差可以得到二階相關(guān)信號(hào)，從而推算出超短脈沖的寬度。二次諧波法只需雙光子探測器測出光強(qiáng)的相對(duì)平均值，不需要快速響應(yīng)的雙光子探測器，也不需要定標(biāo)，目前獲得的飛秒級(jí)光脈沖主要是采用自相關(guān)方法測量?，F(xiàn)有技術(shù)中有多種用于測量飛秒脈沖時(shí)域波形和光譜位相的方法，如頻率分辨光學(xué)開關(guān)法(Frequency-Resolved Optical Gating, FROG)和光譜位相相干直接電場重建法(Spectral Phase Interfere Didrect Electic-Field Reconstruction, SPIDER)等，但步頁率分辨光學(xué)開關(guān)法只能測放大的脈沖，而光譜位相相干直接電場重建法不能直接測得其脈沖寬度。自相關(guān)儀由于結(jié)構(gòu)簡單，且可實(shí)現(xiàn)飛秒量級(jí)到皮秒量級(jí)的脈沖寬度的測量而得到廣泛應(yīng)用。目前在自相關(guān)儀設(shè)計(jì)領(lǐng)域，申請(qǐng)?zhí)枮?2202596. 0的中國實(shí)用新型專利提供了一種“雙功能小型超短激光脈沖自相關(guān)測量儀”，申請(qǐng)?zhí)枮?01010217215.0的中國實(shí)用新型專利公開了一種“多功能大量程超短脈沖激光自相關(guān)儀”，兩者均以邁克爾遜干涉儀為基本框架結(jié)構(gòu)，采用由兩片兩面平行的分束片構(gòu)成的分光鏡將被測激光脈沖一分為二，調(diào)節(jié)其中一路光程，使兩路光有相應(yīng)的時(shí)間延遲，合并后(共線)或者獨(dú)自(非共線)經(jīng)過透鏡或者凹面鏡聚焦，再通過倍頻晶體由雙光子探測器接收產(chǎn)生的二次諧波信號(hào)并最終轉(zhuǎn)變成電信號(hào)輸出，或者直接通過具有雙光子吸收效應(yīng)的雙光子探測器接收脈沖信號(hào)。由于現(xiàn)有技術(shù)中的自相關(guān)儀的分光鏡由兩片兩面平行的分束片構(gòu)成，且均沒有提供校準(zhǔn)光路，導(dǎo)致其光路結(jié)構(gòu)復(fù)雜，光路調(diào)節(jié)的難度大，且測量時(shí)分束片的兩表面多次反射 后形成的干涉場信號(hào)和重合后出射光路的干涉信號(hào)完全重合疊加在一起，帶來了額外的噪聲。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型解決的技術(shù)問題是由于現(xiàn)有技術(shù)中的自相關(guān)儀的分光鏡由兩片兩面平行的分束片構(gòu)成，且均沒有提供校準(zhǔn)光路，而導(dǎo)致其光路結(jié)構(gòu)復(fù)雜，光路調(diào)節(jié)的難度大，且測量時(shí)分束片的兩表面多次反射后形成的干涉場信號(hào)和重合后光路的干涉信號(hào)完全重合疊加在一起，帶來了額外的噪聲。為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，本實(shí)用新型的目的是提供一種自相關(guān)儀，用于測量超短激光脈沖寬度，包括用于等高平直入射的被測激光通過以形成入射光路的入射參考小孔；楔形分光鏡，位于所述入射光路上，所述楔形分光鏡與入射光路的夾角為45° ;第一直角反射鏡，包括第一平面反射鏡和第二平面反射鏡；所述第一平面反射鏡位于所述入射光路經(jīng)所述楔形分光鏡反射后形成的第三光路上，所述第三光路與第一平面反射鏡的夾角為45° ;所述第二平面反射鏡與第一平面反射鏡垂直以將所述第三光路原方向返回形成第四光路；第二直角反射鏡，包括第三平面反射鏡和第四平面反射鏡；所述第三平面反射鏡位于所述入射光路經(jīng)所述楔形分光鏡透射后形成的第一光路上，所述第一光路與第三平面反射鏡的夾角為45° ;所述第四平面反射鏡與第三平面反射鏡垂直以將所述第一光路原方向返回形成第二光路；所述第二直角反射鏡設(shè)于可平行于所述第一光路周期往復(fù)運(yùn)動(dòng)的掃描裝置平臺(tái)上；拋物面鏡，位于所述第二光路經(jīng)所述楔形分光鏡反射后形成的光路上；探測器，位于所述出射光路經(jīng)所述拋物面鏡聚光后的光路上以采集所述出射光路聚焦后的光信號(hào)并將采集到的光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)；控制裝置，分別與所述探測器和掃描裝置平臺(tái)電連接以采集所述探測器生成的電信號(hào)并控制所述掃描裝置平臺(tái)的周期往復(fù)運(yùn)動(dòng)。作為優(yōu)選，還包括位于所述第二光路經(jīng)所述楔形分光鏡透射形成的光路上的光路校準(zhǔn)窗口，所述光路校準(zhǔn)窗口包括一個(gè)用于對(duì)所述自相關(guān)儀進(jìn)行校準(zhǔn)的檢測點(diǎn)，所述第一直角反射鏡設(shè)置于一可平行于所述第三光路和第一光路移動(dòng)的二維精密平移臺(tái)上。作為進(jìn)一步地優(yōu)選，所述檢測點(diǎn)是一個(gè)十字叉絲的中心點(diǎn)。作為優(yōu)選，所述楔形分光鏡包括透射面和反射面，所述透射面鍍有增透膜，所述反射面鍍有反射膜。作為進(jìn)一步地優(yōu)選，所述反射膜是光線45°入射時(shí)反射透射光強(qiáng)比為I : I的寬波段膜系。作為優(yōu)選，所述楔形分光鏡的楔角的范圍是0. 3° 0.8°。作為進(jìn)一步地優(yōu)選，所述楔形分光鏡的楔角是0.5°。作為優(yōu)選，所述探測器位于所述拋物面鏡的焦點(diǎn)處。作為優(yōu)選，所述拋物面鏡是凹面鏡或凸透鏡。作為優(yōu)選，所述探測器為雙光子探測器。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果(I)由于采用楔形分光鏡代替了現(xiàn)有技術(shù)中采用的兩片兩面平行的分束片，使得自相關(guān)儀的光路結(jié)構(gòu)簡單，且楔形分光鏡的兩表面的多次反射形成的干涉場信號(hào)不再與出、射光路重合在一起，從而使探測器能夠檢測到干凈的自相關(guān)信號(hào)；(2)由于提供了光路校準(zhǔn)窗口和校準(zhǔn)光路，大大降低了自相關(guān)儀的光路調(diào)節(jié)難度，節(jié)約了光路調(diào)節(jié)所花費(fèi)的時(shí)間。

[0029]圖I為本實(shí)用新型的自相關(guān)儀的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖I所示的自相關(guān)儀的楔形分光鏡的主視示意圖。圖3為圖I所示的自相關(guān)儀的楔形分光鏡的右視示意圖。圖4為采用本實(shí)用新型的自相關(guān)儀測量脈沖寬度為40fs的飛秒光纖激光器的共線干涉自相關(guān)信號(hào)圖。主要附圖標(biāo)記說明10、入射光路11、第一光路12、第二光路13、第三光路14、第四光路15、第五光路16、出射光路17、被測激光20、楔形分光鏡21、第一直角反射鏡22、第二直角反射鏡 23、入射參考小孔24、光路校準(zhǔn)窗口 25、拋物面鏡30、二維精密平移臺(tái) 31、掃描裝置平臺(tái)40、探測器41、控制裝置201、透射面202、反射面211、第一平面反射鏡212、第二平面反射鏡221、第三平面反射鏡222、第四平面反射鏡
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖I所示，本實(shí)用新型的實(shí)施例的自相關(guān)儀包括入射參考小孔23，等高平直入射的被測激光17通過該入射參考小孔23后形成入射光路10 ；楔形分光鏡20，位于入射光路10上，其與入射光路10的夾角為45°，入射光路10經(jīng)楔形分光鏡20透射和反射后分別形成第一光路11和第三光路13,第一光路11與第三光路13相互垂直；第一直角反射鏡21，包括第一平面反射鏡211和第二平面反射鏡212 ;第一平面反射鏡211位于入射光路10經(jīng)楔形分光鏡20反射后形成的第三光路13上，第三光路13與第一平面反射鏡211的夾角為45° ;第二平面反射鏡212與第一平面反射鏡211垂直以將第三光路13原方向返回形成第四光路14 ;第一平面反射鏡211和第二平面反射鏡212相互垂直，且二者之間有一定距離，以避免超短激光返回到產(chǎn)生激光的激光諧振腔內(nèi)，破壞激光鎖模的運(yùn)轉(zhuǎn)；二維精密平移臺(tái)30，其上固定有第一直角反射鏡21，二維精密平移臺(tái)30的位置是可平行于第三光路13(即圖中y軸方向)和第一光路11 (即圖中X軸方向)移動(dòng)調(diào)節(jié)的；第二直角反射鏡22，其包括第三平面反射鏡221和第四平面反射鏡222 ;第三平面反射鏡221位于入射光路10經(jīng)楔形分光鏡20透射后形成的第一光路11上，第一光路11與第三平面反射鏡221的夾角為45° ;第四平面反射鏡222與第三平面反射鏡221垂直以將第一光路11原方向返回形成第二光路12 ;第二光路12經(jīng)楔形分光鏡20透射的光路部分與第四光路14經(jīng)楔形分光鏡20反射的光路部分重合形成第五光路15，第二光路12經(jīng)楔形分光鏡20反射的光路部分與第四光路14經(jīng)楔形分光鏡20透射的光路部分重合形成出射光路16 ； 掃描裝置平臺(tái)31，其上固定有第二直角反射鏡22，在測量所述超短激光脈沖寬度時(shí)，掃描裝置平臺(tái)31接收控制裝置41發(fā)出的周期掃描的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，可平行于第一光路11 (即圖I中X軸方向)做周期往復(fù)運(yùn)動(dòng)；拋物面鏡25，位于第二光路12經(jīng)楔形分光鏡20反射后形成的光路上，用于使出射光路16聚焦；在本實(shí)施例中，作為優(yōu)選方案，拋物面鏡25可以采用凹面鏡或凸透鏡，實(shí)現(xiàn)光束聚焦，增強(qiáng)超短激光脈沖的非線性，由探測器40接收探測；探測器40，位于出射光路16經(jīng)拋物面鏡25聚光后的光路上以采集出射光路16聚焦后的光信號(hào)并將采集到的光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)；在本實(shí)施例中，作為優(yōu)選方案，探測器40位于拋物面鏡25的焦點(diǎn)處；探測器40可以選用雙光子探測器；控制裝置41，分別與探測器40和掃描裝置平臺(tái)31電連接以采集探測器40生成的電信號(hào)并控制掃描裝置平臺(tái)31的周期往復(fù)運(yùn)動(dòng)。在本實(shí)施例中，作為優(yōu)選方案，所述自相關(guān)儀還包括位于第二光路12經(jīng)所述楔形分光鏡20透射形成的光路上的光路校準(zhǔn)窗口 24，光路校準(zhǔn)窗口 24包括一個(gè)用于對(duì)所述自相關(guān)儀進(jìn)行校準(zhǔn)的檢測點(diǎn)，所述第一直角反射鏡21設(shè)置于一可平行于第三光路13和第一光路11移動(dòng)的二維精密平移臺(tái)30上；對(duì)所述自相關(guān)儀的光路進(jìn)行校準(zhǔn)時(shí)，若第二光路12經(jīng)楔形分光鏡20透射的光路部分與第四光路14經(jīng)楔形分光鏡20反射的光路部分重合形成的第五光路15投射到所述檢測點(diǎn)上，則該自相關(guān)儀的光路校準(zhǔn)完成；所述檢測點(diǎn)可以是一個(gè)十字叉絲的中心點(diǎn)。如圖I至圖3所示，本實(shí)用新型的實(shí)施例的自相關(guān)儀的楔形分光鏡20包括透射面201和反射面202，透射面201鍍有增透膜，反射面202鍍有反射膜，在本實(shí)施例中，所述反射膜采用光線45°入射時(shí)反射與透射光強(qiáng)比為I : I的寬波段600nm-1000nm膜系；楔形分光鏡20的楔角的范圍是O. 3° O. 8°，在本實(shí)施例中楔角為O. 5°。采用本實(shí)用新型的實(shí)施例的自相關(guān)儀測量超短激光脈沖寬度的過程為入射前已經(jīng)調(diào)節(jié)至等高平直狀態(tài)的被測激光17通過入射參考小孔23后形成入射光路10 ；入射光路10照射到楔形分光鏡20上，經(jīng)楔形分光鏡20透射和反射后分別形成第一光路11和第三光路13，第一光路11與第三光路13相互垂直；第一光路11照射到第二直角反射鏡22上，經(jīng)第二直角反射鏡22反射后原方向返回，形成第二光路12 ;第三光路13照射到第一直角反射鏡21上，經(jīng)第一直角反射鏡21反射后原方向返回，形成第四光路14 ;第二光路12與第四光路14的交點(diǎn)位于楔形分光鏡20上；[0063]第二光路12經(jīng)楔形分光鏡20透射的光路部分與第四光路14經(jīng)楔形分光鏡20反射的光路部分在空間上處處重合形成第五光路15，第二光路12經(jīng)楔形分光鏡20反射的光路部分與第四光路14經(jīng)楔形分光鏡20透射的光路部分在空間上處處重合形成出射光路16 ； 調(diào)整二維精密平移臺(tái)30在y軸方向上的位置，使第一光路11和第二光路12分別與第三光路13和第四光路14的光程一致，這時(shí)可以在出射光路16中用掃描的方式觀察到明顯的干涉光斑；拋物面鏡25使出射光路16聚焦，探測器40采集出射光路16聚焦后的光信號(hào)并將該光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，然后將電信號(hào)傳送至控制裝置41，在示波器上顯示干涉條紋產(chǎn)生的信號(hào)圖像，以此來推算所述超短激光脈沖寬度。如圖4所示，采用本實(shí)用新型的實(shí)施例的自相關(guān)儀測量脈沖寬度為40fs的飛秒光纖激光器的共線干涉自相關(guān)信號(hào)時(shí)，由圖4可推算出此高斯型飛秒激光脈沖寬度為40. 95fs，測量結(jié)果與激光器輸出脈寬基本相符，測量精度很高。在第一次采用本實(shí)用新型的實(shí)施例的自相關(guān)儀測量超短激光脈沖寬度之前，需要對(duì)該自相關(guān)儀的光路進(jìn)行校準(zhǔn)，光路校準(zhǔn)的過程是將入射前已經(jīng)調(diào)節(jié)至等高平直狀態(tài)的被測激光17通過入射參考小孔23射入；觀察第四光路14經(jīng)楔形分光鏡20反射的光路部分是否與第二光路12經(jīng)楔形分光鏡20透射的光路部分重合形成第五光路15并投射到光路校準(zhǔn)窗口 24上的十字叉絲的中心點(diǎn)上，如果是，則該自相關(guān)儀的光路已經(jīng)準(zhǔn)確，無需對(duì)該自相關(guān)儀的各個(gè)部件進(jìn)行調(diào)整，如果否，則根據(jù)第四光路14經(jīng)楔形分光鏡20反射的光路部分在光路校準(zhǔn)窗口 24上的投射光點(diǎn)與十字叉絲的中心點(diǎn)的相對(duì)位置對(duì)該自相關(guān)儀的各個(gè)部件進(jìn)行調(diào)整，使第五光路15投射到十字叉絲的中心點(diǎn)上，完成光路校準(zhǔn)過程。該自相關(guān)儀的光路校準(zhǔn)過程一旦完成，以后測量時(shí)均不需要重新調(diào)節(jié)該自相關(guān)儀中的各個(gè)部件，只要保證被測激光17以等高平直狀態(tài)進(jìn)入入射參考小孔23，通過觀察第五光路15在光路校準(zhǔn)窗口 24上的投射光點(diǎn)與十字叉絲的中心點(diǎn)的相對(duì)位置，微調(diào)入射的被測激光17或者微調(diào)整個(gè)自相關(guān)儀，使第五光路15在光路校準(zhǔn)窗口 24上的投射光點(diǎn)與十字叉絲的中心點(diǎn)重合，即完成光路調(diào)節(jié)。本實(shí)用新型的自相關(guān)儀由于采用楔形分光鏡代替了現(xiàn)有技術(shù)中采用的兩片兩面平行的分束片，使得自相關(guān)儀的光路結(jié)構(gòu)簡單，且楔形分光鏡的兩表面的多次反射形成的干涉場信號(hào)不再與出射光路重合在一起，從而使探測器能夠檢測到干凈的自相關(guān)信號(hào)；此夕卜，本實(shí)用新型的自相關(guān)儀由于提供了光路校準(zhǔn)窗口和校準(zhǔn)光路，大大降低了自相關(guān)儀的光路調(diào)節(jié)難度，節(jié)約了光路調(diào)節(jié)所花費(fèi)的時(shí)間。以上實(shí)施例僅為本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例，不用于限制本實(shí)用新型，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍由權(quán)利要求書限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)和保護(hù)范圍內(nèi)，對(duì)本實(shí)用新型做出各種修改或等同替換，這種修改或等同替換也應(yīng)視為落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種自相關(guān)儀，用于測量超短激光脈沖寬度，其特征在于，包括 用于等高平直入射的被測激光(17)通過以形成入射光路(10)的入射參考小孔(23)；楔形分光鏡(20)，位于所述入射光路(10)上，所述楔形分光鏡(20)與入射光路(10)的夾角為45° ; 第一直角反射鏡(21)，包括第一平面反射鏡(211)和第二平面反射鏡(212);所述第一平面反射鏡(211)位于所述入射光路(10)經(jīng)所述楔形分光鏡(20)反射后形成的第三光路(13)上，所述第三光路(13)與第一平面反射鏡(211)的夾角為45°;所述第二平面反射鏡(212)與第一平面反射鏡(211)垂直以將所述第三光路(13)原方向返回形成第四光路(14)； 第二直角反射鏡(22)，包括第三平面反射鏡(221)和第四平面反射鏡(222);所述第三平面反射鏡(221)位于所述入射光路(10)經(jīng)所述楔形分光鏡(20)透射后形成的第一光路 (11)上，所述第一光路(11)與第三平面反射鏡(221)的夾角為45°;所述第四平面反射鏡(222)與第三平面反射鏡(221)垂直以將所述第一光路(11)原方向返回形成第二光路(12);所述第二直角反射鏡(22)設(shè)于可平行于所述第一光路(11)周期往復(fù)運(yùn)動(dòng)的掃描裝置平臺(tái)(31)上； 拋物面鏡(25)，位于所述第二光路(12)經(jīng)所述楔形分光鏡(20)反射后形成的光路上； 探測器(40)，位于所述出射光路(16)經(jīng)所述拋物面鏡(25)聚光后的光路上以采集所述出射光路(16)聚焦后的光信號(hào)并將采集到的光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)； 控制裝置(41)，分別與所述探測器(40)和掃描裝置平臺(tái)(31)電連接以采集所述探測器(40)生成的電信號(hào)并控制所述掃描裝置平臺(tái)(31)的周期往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
2.如權(quán)利要求I所述的自相關(guān)儀，其特征在于，還包括位于所述第二光路(12)經(jīng)所述楔形分光鏡(20)透射形成的光路上的光路校準(zhǔn)窗口(24)，所述光路校準(zhǔn)窗口(24)包括一個(gè)用于對(duì)所述自相關(guān)儀進(jìn)行校準(zhǔn)的檢測點(diǎn)，所述第一直角反射鏡(21)設(shè)置于一可平行于所述第三光路(13)和第一光路(11)移動(dòng)的二維精密平移臺(tái)(30)上。
3.如權(quán)利要求2所述的自相關(guān)儀，其特征在于，所述檢測點(diǎn)是一個(gè)十字叉絲的中心點(diǎn)。
4.如權(quán)利要求I所述的自相關(guān)儀，其特征在于，所述楔形分光鏡(20)包括透射面(201)和反射面(202)，所述透射面(201)鍍有增透膜，所述反射面(202)鍍有反射膜。
5.如權(quán)利要求4所述的自相關(guān)儀，其特征在于，所述反射膜是光線45°入射時(shí)反射透射光強(qiáng)比為I:I的寬波段膜系。
6.如權(quán)利要求I所述的自相關(guān)儀，其特征在于，所述楔形分光鏡(20)的楔角的范圍是0. 3。 0. 8。。
7.如權(quán)利要求6所述的自相關(guān)儀，其特征在于，所述楔形分光鏡(20)的楔角是0.5°。
8.如權(quán)利要求I所述的自相關(guān)儀，其特征在于，所述探測器(40)位于所述拋物面鏡(25)的焦點(diǎn)處。
9.如權(quán)利要求I所述的自相關(guān)儀，其特征在于，所述拋物面鏡(25)是凹面鏡或凸透鏡。
10.如權(quán)利要求I所述的自相關(guān)儀，其特征在于，所述探測器(40)為雙光子探測器。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種自相關(guān)儀，用于測量超短激光脈沖寬度，包括入射參考小孔、楔形分光鏡、第一直角反射鏡、第二直角反射鏡、掃描裝置平臺(tái)、拋物面鏡、探測器以及控制裝置，所述入射參考小孔用于等高平直入射的被測激光通過以形成入射光路，所述楔形分光鏡位于所述入射光路上，其與所述入射光路的夾角為45°。本實(shí)用新型的自相關(guān)儀由于采用楔形分光鏡代替了現(xiàn)有技術(shù)中采用的兩片兩面平行的分束片，使得自相關(guān)儀的光路結(jié)構(gòu)簡單，且楔形分光鏡的兩表面的多次反射形成的干涉場信號(hào)不再與出射光路重合在一起，從而使探測器能夠檢測到干凈的自相關(guān)信號(hào)。
文檔編號(hào)G01J11/00GK202362081SQ20112047073
公開日2012年8月1日 申請(qǐng)日期2011年11月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月23日
發(fā)明者張志剛, 熊桂生, 王樹雨, 祝傳文 申請(qǐng)人:北京量子光通科技有限公司