專利名稱：太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片以及電磁波處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種作為太赫茲帶的光學(xué)元件使用的線柵偏振片、以及使用該線柵偏振片的電磁波處理裝置。
背景技術(shù)：
線柵偏振片是在光學(xué)或電磁波的領(lǐng)域中，被一般地使用的光學(xué)元件(例如，參照非專利文獻1)，作為一個例子，揭示了在太赫茲帶的偏光解析裝置上使用線柵的實例(例如，專利文獻1)。在專利文獻1中記載的線柵是將細長的金屬線、例如數(shù)十μ m直徑的鎢絲在直徑 IOOmm左右的框中以100 μ m左右的間距、等間隔地固定。這樣的線柵存在由于張力而導(dǎo)致金屬線斷開、或者金屬線的間隔變得不均的問題。又，這樣的線柵作為部件價格昂貴，且由于易破損，在使用或保管的條件上存在限制。除這樣的線柵以外，還販賣有在玻璃基材上形成金屬薄膜，通過由蝕刻金屬薄膜等形成細線圖案而制造的線柵。又，也販賣有在樹脂或玻璃等的母體材料內(nèi)通過細線化制造的線柵。這些在玻璃基材上形成有細線圖案的線柵或在母材內(nèi)使金屬細線化設(shè)置的線柵，由于基體材料或母體材料的折射率、反射率、吸收率等的物理特性，會發(fā)生多重反射或干涉等的不理想現(xiàn)象，因此，為了回避這個現(xiàn)象需要特別的處理。而且采用玻璃這樣的基體材料時，存在易于破損的問題。在專利文獻2中，為了解決上述的課題，揭示有不使用基體材料或母體材料，設(shè)有與柵格垂直相交的橫條部的線柵。但是在這樣的結(jié)構(gòu)中，存在不能得到充分的消光比的問題?，F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1特開2003-14620號公報專利文獻2再公表W02007/138813號公報非專利文獻非專利文獻1吉原邦夫著“物理光學(xué)”(共立出版、昭和41年初版)P. 21
實用新型內(nèi)容實用新型要解決的問題本實用新型的目的在于提供一種易于處理、保管，價格便宜，且有良好的光學(xué)性能的，作為太赫茲帶的光學(xué)元件使用的線柵偏振片。進一步提供一種通過提高線柵偏振片的處理性、維修性和可靠性而大幅度地提高功能以及維護性的電磁波處理裝置。解決問題的手段本實用新型者等的研究的結(jié)果是在特定的樹脂基體材料上，形成有在表面有特定的規(guī)律的凸凹結(jié)構(gòu)的、厚度極其薄的樹脂皮膜，在該樹脂皮膜上形成金屬線而構(gòu)成的線柵偏振片在能夠満足上述的課題的基礎(chǔ)上，即使受到彎曲等的物理的應(yīng)力其光學(xué)性能的降低也較少，且具有高可靠性，由此可見，使用這個線柵偏振片，能夠進行信息量較多的測定，也可以構(gòu)成在分析精密度以及重現(xiàn)性、維護性等方面優(yōu)良的電磁波處理裝置，并得到本實用新型。即，本實用新型如以下所述。本實用新型太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片具有樹脂基材；在上述樹脂基材上形成的樹脂皮膜；和在上述樹脂皮膜上形成的金屬線，其特征在于，上述樹脂皮膜是在表面具有規(guī)律性凸凹結(jié)構(gòu)、厚度為0. 01 μ m 3 μ m的光固化性成形體，在0. 5Thz 1. 5Thz的帶寬中的消光比為20dB以上，上述凸凹結(jié)構(gòu)的規(guī)律是，高度為0. 01 μ m 20 μ m、至少一個方向的間距在0. 01 μ m 20 μ m的范圍內(nèi)。在本實用新型太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片中，優(yōu)選為金屬線至少存在于格子狀凸部的頂部的上方，并且在與特定方向垂直的截面中，通過金屬線的頂部、且沿著金屬線的立設(shè)方向的金屬線軸，與通過格子狀凸部的頂部、且沿著格子狀凸部的立設(shè)方向的格子狀凸部軸是錯位的。在本實用新型的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片中，優(yōu)選為入射了 0.5THZ 1. 5THz的帶寬的脈沖波時，在樹脂基材的內(nèi)部多重反射的脈沖波的強度是觀測對象的脈沖波的強度的50%以下。在本實用新型的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片中，優(yōu)選為施加彎曲半徑20mm 的彎曲應(yīng)力前后的消光比的變化率在5 %以下。在本實用新型的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片中，優(yōu)選為金屬線由保護膜覆
至
ΓΤΠ ο本實用新型的太赫茲時間區(qū)域分光分析裝置，其特征在于，將上述的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片作為光學(xué)元件使用。本實用新型的檢查裝置，其特征在于，上述的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片、將太赫茲脈沖光照射至樣本的光源、檢測透過/反射脈沖光的單元和透過/反射脈沖光的太赫茲時間區(qū)域測量單元組合而構(gòu)成。本實用新型的光線處理裝置，其特征在于，上述的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片作為使從可見光到太赫茲光的任意帶寬的多個光線的光軸重疊的光學(xué)元件使用。本實用新型的檢體信息取得裝置，其特征在于，具有上述的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片；太赫茲波產(chǎn)生單元；檢體保持單元；分別檢測入射光、透過光和反射光的檢測單元；和處理由所述檢測單元檢測到的信號、取得所述檢體的信息的處理單元。本實用新型的信息通信裝置，其特征在于，具有上述的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片；具有太赫茲波發(fā)送元件、朝向接收機發(fā)射太赫茲波的太赫茲波發(fā)送機；具有太赫茲波接收元件、檢測從發(fā)送機被發(fā)射并在空中傳播來的太赫茲波的太赫茲波接收機。實用新型的效果本實用新型的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片由于利用卷對卷生產(chǎn)中的納米印刷技術(shù)制造，所以可以以便宜的價格提供消光比高的、面內(nèi)均勻性優(yōu)良的制品。由于可以選擇對光學(xué)性能的影響少的低折射率、低反射率、低吸收率的基體材料，所以本實用新型的線柵偏振片易于處理、保管的同時，多重反射或干涉等的問題較少，還具有高透射率的高性能。又，通過在厚度極薄的樹脂皮膜上支撐有金屬線，使得由彎曲或沖撞等的物理性的應(yīng)力而導(dǎo)致的面內(nèi)均勻性或光學(xué)性能的降低不會產(chǎn)生，所以本實用新型的線柵偏振片也可以安裝在裝置的可動部。進一步，本實用新型的線柵偏振片可以剪斷加工為任意的形狀，且有高可靠性。而且由于金屬線可以用保護膜覆蓋，所以即使線柵偏振片被污染也可以清洗。從以上列舉的優(yōu)點考慮，將本實用新型的太赫茲帶光學(xué)元件用的線柵偏振片作為光學(xué)元件使用的電磁波處理裝置能夠進行信息量多的測定，并在分析精密度以及重現(xiàn)性、 進一步在維護性等方面也有優(yōu)良的性能。

圖1是表示在本實用新型實施形態(tài)中涉及的線柵偏振片的一部分的概略截面圖。圖2是表示線柵偏振片1以及2的透過率的圖。圖3是表示線柵偏振片1以及2的消光比的圖。圖4是表示太赫茲時間區(qū)域分光分析裝置的構(gòu)成例的概略圖。圖5是表示基于太赫茲分光透過率的檢查裝置的構(gòu)成例的概略圖。圖6是表示使太赫茲光、紅外光或可見光重疊的構(gòu)成例的概略圖。圖7是表示可以大致同時取得透過信息和反射信息的樣品信息取得裝置的構(gòu)成例的概略圖。
具體實施方式
關(guān)于本實用新型，下面具體的進行說明。首先，對太赫茲帶光學(xué)元件用的線柵的構(gòu)成進行說明。本實用新型的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片包含樹脂基體材料、在上述樹脂基體材料上形成的樹脂皮膜和在上述樹脂皮膜上形成的金屬線，上述樹脂皮膜在表面具有高度為0. 01 μ m 20 μ m、至少一個方向的間距在0. 01 μ m 20 μ m的范圍的、規(guī)則的凸凹構(gòu)造，上述樹脂皮膜是厚度為0. 01 μ m 3 μ m的光固化性成形體，在0. 5Thz 1. 5Thz的帶寬的消光比為20dB以上。本實用新型實施形態(tài)中涉及的線柵偏振片的一部分的概略截面圖如圖I(A)所示。圖1 (A)所示的線柵偏振片具有在樹脂基體材料151上形成的樹脂皮膜152和隔著誘電體層153在樹脂皮膜152上形成的金屬線154。又，樹脂皮膜152在表面形成有由格子狀凸部155構(gòu)成的凹凸結(jié)構(gòu)，在樹脂基體材料151和樹脂皮膜152之間形成有混合層156。 又，在圖I(A)中，Hl表示凹凸結(jié)構(gòu)(格子狀凸部15 的高度，H2表示樹脂皮膜152的厚度， H3表示金屬線154的高度，W表示金屬線154的寬度，P表示凸凹結(jié)構(gòu)(格子狀凸部155) 的間距。又，在圖I(B)中表示的線柵偏振片可以是如下的構(gòu)造，即在與線柵偏振片的特定方向垂直的截面中，通過金屬線巧4的頂部、且沿著金屬線巧4的立設(shè)方向的金屬線軸A和通過樹脂皮膜152的格子狀凸部155的頂部、且沿著格子狀凸部155的立設(shè)方向的格子狀凸部軸B錯位的構(gòu)造。金屬線軸A和格子狀凸部軸B為錯位的結(jié)構(gòu)的情況下，金屬線IM 的保持性提高，因此這種結(jié)構(gòu)比較理想。從金屬線154的保持性以及線柵偏振片的光學(xué)特性的方面考慮，這些軸的錯位相對于凸凹結(jié)構(gòu)的間距優(yōu)選為0. 50%的范圍、更優(yōu)選為0. 40%的范圍，特別優(yōu)選為0. 30%的范圍。金屬線154的保持性提高的理由被推測是由于金屬線和電介體覆蓋的格子狀凸部的界面的形狀接近平坦，因此可以抑制在線柵偏振片彎曲的情況或濕熱變形的情況中伴隨的應(yīng)力集中。(樹脂基體材料)作為構(gòu)成線柵偏振片的樹脂基體材料151，優(yōu)選為透明、有彎曲性、厚度均勻的薄膜材料，而且優(yōu)選在太赫茲帶具有低折射率、低反射率、低吸收率的材料。特別地，太赫茲時間區(qū)域分光分析裝置用的線柵偏振片的情況下，照射了脈沖波時，若在樹脂基體材料的內(nèi)部多重反射的話，觀測對象的脈沖波與由于多重反射而延遲出現(xiàn)的脈沖波重疊，若將這些脈沖波原樣的進行傅立葉變換的話光譜會出現(xiàn)強的干涉條紋，存在數(shù)據(jù)解析復(fù)雜的問題。 在本實用新型的線柵偏振片中，優(yōu)選使用進行這樣的測定時候、多重反射的脈沖波的強度小的樹脂基體材料。例如，入射了 0. 5THz 1. 5THz的帶寬的脈沖波至線柵偏振片時，樹脂基體材料的內(nèi)部的多重反射的脈沖波的強度優(yōu)選為觀測對象的脈沖波的強度的50%以下， 更優(yōu)選為40%以下，進一步優(yōu)選為30%以下，特別優(yōu)選為20%以下，更特別優(yōu)選為10% 以下，最優(yōu)選為5%以下，實際上最優(yōu)選為沒有多重反射。這里太赫茲脈沖波是通過歷來公知的方法產(chǎn)生的，例如可以通過使用超短脈沖激光激發(fā)半導(dǎo)體的光傳導(dǎo)開關(guān)元件的方法來產(chǎn)生太赫茲脈沖波，并將與電流計連接的光傳導(dǎo)開關(guān)作為太赫茲脈沖波的檢測器來進行評價。作為樹脂基體材料151，從價格和性能方面考慮，優(yōu)選使用例如以下的樹脂聚乙烯(PE)樹脂、聚丙烯樹脂(PP)、交聯(lián)聚乙烯樹脂、聚氯乙烯樹脂、環(huán)烯烴(COP)樹脂、環(huán)烯烴共聚物(COC)樹脂、聚苯乙烯(PST)樹脂、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)樹脂、聚對苯二甲酸丁二醇酯(PBT)樹脂、聚萘二甲酸酯乙二醇酯(PEN)樹脂、聚芳酯(PAR)樹脂、聚碳酸酯 (PC)樹脂、聚酰胺樹脂(PA)、聚酰亞胺(PI)樹脂、聚醚酰亞胺(PEI)樹脂、聚苯醚樹脂、改性聚苯醚樹脂、聚醚砜(PEQ樹脂、聚砜樹脂、聚醚酮樹脂、聚甲醛樹脂(POM)、聚甲基丙烯酸甲酯樹脂、三醋酸纖維素(TAC)樹脂等。從太赫茲帶的吸收小的方面考慮，進一步優(yōu)選為 ΡΕ、PP、COP、COC、PET、PBT, PEN，從加工性、強度、耐熱性優(yōu)良方面考慮，進一步優(yōu)選為PET、 C0P、C0C、TAC。從在太赫茲帶的吸收小、加工性、強度、耐熱性優(yōu)良方面考慮，最優(yōu)選為COP、 COC、PET。樹脂基體材料151的厚度沒有特別的限制，通?？梢允褂玫暮穸仍?μπι 2mm 的范圍，從制造的容易度和處理的方面考慮，優(yōu)選8 μ m 500 μ m的范圍，從裝載線柵偏振片的裝置可以更小型化的方面考慮，特別優(yōu)選15μπι IOOym的范圍。從樹脂基體材料 151的強度和可靠性、價格等方面考慮，特別優(yōu)選PET等的芳香族聚酯系的、厚度在4μ m 100 μ m的范圍的材料。優(yōu)選對樹脂基體材料151實施使其和樹脂皮膜152的粘結(jié)性提高的處理，例如，優(yōu)選在被粘結(jié)的表面實施與樹脂皮膜152的化學(xué)結(jié)合處理、用于浸透等的物理結(jié)合的易粘結(jié)表面涂層、預(yù)處理、電暈處理、等離子體處理、高能線照射處理、表面粗糙化處理、多孔質(zhì)化處理等。沒有形成金屬線154的背面也可以不處理，但是由于控制太赫茲光帶寬或可見光帶寬的反射率的目的，優(yōu)選形成電介體薄膜、蛾眼結(jié)構(gòu)。樹脂基體材料151與目的對應(yīng)地，優(yōu)選為與可塑劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、染料、顏料、難燃劑、有氣體阻隔功能的材料、粘著劑等配合，或使用作為層疊體復(fù)合化了的材料。(樹脂皮膜)[0048]在樹脂基體材料151上形成有樹脂皮膜152，該樹脂皮膜152是在表面具有規(guī)律性凸凹結(jié)構(gòu)、厚度H2為0. 01 μ m 3 μ m的光固化性成形體，在0. 5Thz 1. 5Thz的帶寬中的消光比為20dB以上，該所述凸凹結(jié)構(gòu)的規(guī)律是，高度Hl為0. 01 μ m 20 μ m、至少一個方向的間距P在0. 01 μ m 20 μ m的范圍內(nèi)。進一步在樹脂皮膜152的凸凹結(jié)構(gòu)上形成有金屬線 154。作為線柵偏振片的特性，金屬線154的間距為作為對象的光的波長的四分之一以下時，得到充分的偏光性能，進一步得知間距越小越能夠提高偏光性能?？紤]太赫茲帶寬的偏光特性時，支撐金屬線154的樹脂皮膜152表面的凸凹結(jié)構(gòu)的間距P優(yōu)選為0. 01 μ m 20 μ m的范圍。為了使該波長區(qū)域的偏光性能穩(wěn)定的同時提高消光比，更優(yōu)選為縮小間距。 本實用新型的線柵偏振片優(yōu)選為在太赫茲時間區(qū)域分光分析中使用的帶寬有高的消光比， 例如在0. 5THz 1. 5THz的帶寬的消光比優(yōu)選在20dB以上。又，消光比更優(yōu)選為25dB以上， 進一步優(yōu)選為30dB以上，特別優(yōu)選為35dB以上，最優(yōu)選為40dB以上，特別最優(yōu)選為45dB 以上。樹脂皮膜152表面的凸凹結(jié)構(gòu)以及金屬線154的間距在150nm以下的話，除了具有太赫茲光帶寬的偏光特性之外，還具有至可見光區(qū)域的偏光特性，間隔在在120nm以下的話，還具有至400nm附近的短波長光的偏光特性，間隔在IOnm左右的話，還具有至紫外區(qū)域的偏光特性也可以合并。又，與這樣的間距變小對應(yīng)地，在任意的波長區(qū)域消光比也進一步提高，因此較為理想。為了提高光學(xué)性能構(gòu)成包含金屬線154周圍的空氣的層，和為了固定地牢固地保持金屬線巧4的間隔而具有充分的強度，從上述兩個目的考慮，樹脂皮膜152的表面的凸凹結(jié)構(gòu)的高度Hl優(yōu)選為該凸凹結(jié)構(gòu)的間距P的0. 5倍 2. 0倍的范圍，特別優(yōu)選為1. 0倍 2.0倍的范圍。樹脂皮膜152表面的凸凹結(jié)構(gòu)的截面形狀沒有限制。這些截面形狀可以是梯形、 矩形、方形、棱柱狀或半圓狀等的正弦波狀。這里，正弦波狀是指具有由重復(fù)的凹部和凸部構(gòu)成的曲線部。曲線部只要是彎曲的曲線即可，例如，在凸部具有縮頸的形狀也包含在正弦波狀中。又，從樹脂皮膜152的凸部以及其側(cè)面的至少一部分易于覆蓋電介體的目的出發(fā)， 優(yōu)選為上述形狀的端部或者頂點、波谷為有緩和的曲率的彎曲形狀。樹脂皮膜152的厚度越薄，則具有如下的較好的效果(a)能夠抑制在樹脂皮膜的光的吸收，提高透過率。(b)可以減少樹脂皮膜中的揮發(fā)性殘留成分量，防止由于揮發(fā)等而導(dǎo)致的污染。(c)減小由于光固化性樹脂的固化收縮產(chǎn)生的卷曲，提高線柵偏振片的平面性。(d)提高樹脂皮膜的彎曲性，可以抑制使線柵偏振片變形時的裂縫的產(chǎn)生。(e)可以提高向由于溫度或濕度的變化在樹脂基體材料或金屬線的層間產(chǎn)生的應(yīng)力的追從性，并增加可靠性。與之相反，想要利用納米印刷技術(shù)，使樹脂皮膜的厚度變薄，制造轉(zhuǎn)印物的話，存在如下問題(f)在光固化性樹脂混入有微小異物或在生產(chǎn)設(shè)備的周圍浮游的微小異物混入轉(zhuǎn)印轉(zhuǎn)寫表面時，在異物的周圍產(chǎn)生透鏡狀缺陷的頻率增高。(g)由于涂抹線或液體飛濺等的不良情況，光固化性樹脂難以均勻地塗在樹脂基體材料上，產(chǎn)生轉(zhuǎn)印轉(zhuǎn)寫缺陷的頻率增高。(h)光固化性樹脂變得易于受到氧氣阻礙，存在未反應(yīng)成分殘留、產(chǎn)生轉(zhuǎn)印轉(zhuǎn)寫缺陷的頻率變高等，成品率降低的問題。偏振片根據(jù)后述那樣的光固化性樹脂的組成、反應(yīng)條件的最合適化、轉(zhuǎn)印轉(zhuǎn)寫工序，本實用新型的線柵偏振片的樹脂皮膜的厚度可以在0. 01 μ m 3μπι的范圍來制造。在本實施形態(tài)中所示的線柵偏振片為了在樹脂基體材料151上形成而具有彎曲性，由于支撐金屬線154的樹脂皮膜152的厚度在3μπι以下是極薄的，使得線柵偏振片變形時的質(zhì)量降低微小。例如，增加彎曲半徑20mm的彎曲應(yīng)力時，也沒有樹脂皮膜152以及金屬線IM破裂或者折斷這樣的損傷，光學(xué)性能也沒有出現(xiàn)影響，因此，樹脂皮膜152的厚度優(yōu)選為3μπι以下，為了耐受彎曲半徑5mm的彎曲應(yīng)力，優(yōu)選為厚度在Ιμπι以下，進一步優(yōu)選為厚度在0. 5μπι以下。這樣一來，線柵偏振片由于對彎曲、振動等的應(yīng)力的適應(yīng)性強，也可以裝載在裝置的可動部。又，由于也易于裁斷，在剪斷線的周圍樹脂皮膜152部的裂紋或者折斷也不擴大，因此可以切分為任意的形狀或數(shù)毫米方形的小片，所以在裝載線柵的裝置的小型化或量產(chǎn)性的方面也十分理想。又，通過可以使樹脂皮膜152的厚度可變薄，確認了偏振片對于溫度或濕度的變化也有高的可靠性。一般地材料的比表面積增加的情況下，其可靠性有降低的傾向，但是對于線柵偏振片來說，通過使厚度變薄，使得向在樹脂基體材料或金屬線的層間產(chǎn)生的應(yīng)力的追從性提高，結(jié)果相反地可以推測出可靠性增加。為了使樹脂皮膜152的厚度變薄、且轉(zhuǎn)寫轉(zhuǎn)印缺陷的產(chǎn)生減少，要求使用的光固化性樹脂的粘度減小，壓膜機壓膜的離型性良好，和樹脂基體材料的粘結(jié)性良好。光固化性樹脂優(yōu)選為同時滿足以下三個條件的組成物含有在1個分子中包含3 個以上的丙烯基以及/或者甲基丙烯基的1種以上的單體在20 60重量份％的范圍；通過光固化反應(yīng)結(jié)合成為固體的成分在98重量份％以上；在250C的粘度為IOmPa · s以下。 進一步，光固化性樹脂更優(yōu)選為含有N-乙烯基化合物的單體在5 40重量份％的范圍的情況，含有包含丙烯基以及/或者甲基丙烯基的硅化合物在0. 1 10重量份％的范圍的情況，以黏性的調(diào)整以及調(diào)整固化物的儲物性為目的進一步配合其他的單體的情況。向光固化性樹脂組成物放入的光聚合引發(fā)劑的配合比優(yōu)選為0. 1 5. 0重量份％的范圍。光固化性樹脂組成物優(yōu)選為用過濾等方法除去異物(顆粒)。采用過濾的情況下，優(yōu)選為使用能夠捕捉的最小粒子直徑為1 μ m以下的過濾器，對于樹脂皮膜變薄時，使成品率提高則進一步優(yōu)選為能夠捕捉的最小粒子直徑為0. 5 μ m以下的過濾器。對于任何一個最小粒子直徑，優(yōu)選為過濾器的捕捉效率在99. 9%以上。在光固化性樹脂組成物中，在不損失本來的目的范圍，根據(jù)需要可以包含其它的現(xiàn)有的添加物，例如流動調(diào)整劑、均染劑、有機以及無機的染料以及顏料、增量劑、可塑劑、 潤滑劑、加強劑、抗氧化劑、變黃防止劑、紫外線吸收劑、發(fā)藍劑、沉淀防止劑、消泡劑、耐磨耗賦予劑、摩擦減少劑、帶電防止劑、防暈劑等。樹脂皮膜152優(yōu)選為利用在卷對卷生產(chǎn)中的光納米印刷技術(shù)而成形。例如通過在有作為樹脂皮膜152表面的凸凹結(jié)構(gòu)的反轉(zhuǎn)形狀的凹凸結(jié)構(gòu)的模具上，澆注固化性樹脂組成物，通過光固化而成形。作為光固化性樹脂組成物澆注至模具的方法例如是在樹脂基體材料151上將光固化性樹脂組成物以薄膜狀涂敷后，使之與模具接觸，在模具的凹凸結(jié)構(gòu)和樹脂基體材料之間填充的方法；或在模具的表面將光固化性樹脂組成物以薄膜狀涂敷后，通過使之和樹脂基體材料151接觸，填充在模具的凹凸結(jié)構(gòu)和樹脂基體材料151之間的方法。[0061]涂敷光固化性樹脂組成物的方法沒有特別地限制，例如是輥涂法、(微)凹版涂布法、空氣刮刀涂布法、刮涂法、刀涂法、桿涂法、簾式淋涂法、接觸涂布法、液滴涂布法、鼓式涂鑄法、篩網(wǎng)印涂法、浸漬涂裝法、孔式涂布法、棒式涂布法、噴涂法、旋涂法、押涂法、噴注涂布法等。不論是哪一種方法，重要的是不在模具的凹凸結(jié)構(gòu)內(nèi)混入氣泡以及使保持在模具和樹脂基體材料151之間的光固化性樹脂組成物的膜厚不均的程度變小。模具的溫度優(yōu)選為在25°C 100°C的范圍調(diào)節(jié)為恒定。模具的溫度在25°C以上的話，在提高光固化性樹脂的流動性的同時，還具有提高樹脂皮膜152和樹脂基體材料151的粘結(jié)力的效果，或具有提高樹脂皮膜152的固化反應(yīng)后的模具的離型性的效果，因此，較為理想。模具的溫度在100°C以下的話，由于樹脂基體材料151的熱變形小而較為理想。模具的溫度更優(yōu)選為30°C 80°C的范圍，進一步優(yōu)選為35°C 70°C的范圍，特別優(yōu)選為40°C 65°C的范圍。樹脂皮膜152的厚度可以通過光固化性樹脂組成物向模具的填充量、樹脂基體材料以及模具的壓力來調(diào)整。又轉(zhuǎn)寫設(shè)備周邊的清潔度優(yōu)選為10000級以上，更優(yōu)選為1000級以上，進一步優(yōu)選為100級以上，特別優(yōu)選為10級以上。(電介體層)為了提高樹脂皮膜152和金屬線IM的粘結(jié)性，優(yōu)選為在形成金屬線IM之前，設(shè)置電介體層153覆蓋樹脂皮膜152表面的凸部以及其側(cè)面部的至少一部分。構(gòu)成電介體層 153的電介體優(yōu)選為在使用線柵偏振片的光的帶寬實際上是透明的，還優(yōu)選為與樹脂皮膜 152以及構(gòu)成金屬線154的金屬的粘結(jié)力強的材料。例如，可以使用硅(Si)的氧化物、氮化物、鹵素化物、碳化物的單體或者其復(fù)合物，或鋁(Al)、鉻(Cr)、釔(Y)、鋯(&)、鉭(Ta)、 鈦(Ti)、鋇(Ba)、銦 an)、錫(Sn)、鋅(Si)、鎂(Mg)、鈣(Ca)、鈰(Ce)、銅(Cu)等金屬的氧化物、氮化物、鹵素化物、碳化物的單體或者他們的復(fù)合物(在電介體單體中混合其它的元素、單體或者化合物的電介體)。為了提高和金屬的粘結(jié)力，電介體層153的厚度優(yōu)選為 0. Inm以上，為了提高生產(chǎn)率，電介體層153的厚度優(yōu)選為30nm以下。在電介體層153中， 金屬線IM形成時，雖然也有抑制從樹脂皮膜152的揮發(fā)成分的放出的效果，但樹脂皮膜 152的厚度在3 μ m以下的話，揮發(fā)成分量少，因此，電介體層153的厚度不到5nm也可以發(fā)揮充分的效果。電介體層153的厚度更優(yōu)選為4nm以下，進一步優(yōu)選為3nm以下。作為使電介體層153覆蓋在樹脂皮膜152上的方法是通過構(gòu)成電介體層153的材料來適當(dāng)?shù)剡x擇的。例如，可以適宜地使用噴鍍法、真空蒸鍍法等的物理蒸鍍方法。從粘結(jié)強度的觀點出發(fā)優(yōu)選為噴鍍法。(金屬線)作為構(gòu)成金屬線IM的金屬，沒有特別地限制，例如，優(yōu)選為由銀(Ag)、金(Au)、銅 (Cu)、鎢(W)、鋁(Al)，或者它們的合金來構(gòu)成。尤其，從成本和耐久性的觀點出發(fā)，更優(yōu)選為由鋁或者其合金構(gòu)成。又，從提高消光比的觀點出發(fā)，優(yōu)選為使用鎢或者其合金。金屬線巧4形成在樹脂皮膜152之上的方法，或優(yōu)選地形成在預(yù)先覆蓋樹脂皮膜 152的凸部以及其側(cè)面部的至少一部分而形成電介體層153上的方法沒有特別地限制，例如，優(yōu)選為真空蒸鍍法、噴鍍法、離子鍍法等的物理蒸鍍方法，尤其，優(yōu)選可以對金屬在凸部選擇地，或者偏向凸部的一個側(cè)面選擇層疊的方法，例如真空蒸鍍法。金屬線154的寬度如圖1的W所示，是從線柵表面的法線方向觀測的最大寬度，從光學(xué)特性以及線柵的構(gòu)造強度的觀點出發(fā)，金屬線154的寬度優(yōu)選為在樹脂皮膜152的表面的凸凹結(jié)構(gòu)的間距的0. 2倍至0. 6倍的范圍。又，從線柵偏振片的光學(xué)特性、線柵的構(gòu)造強度以及金屬線巧4和凸凹結(jié)構(gòu)的粘結(jié)力考慮，金屬線154的高度H3優(yōu)選為在20nm至 220nm的范圍，更優(yōu)選為在50nm至200nm的范圍。以防止污漬和有清洗性為目的，線柵偏振片優(yōu)選為通過保護膜覆蓋金屬線154。 對于保護膜沒有特別地限制，例如可以通過將金屬線1 表面用樹脂等進行表面涂覆的方法，用粘著材料或粘結(jié)材料使其他的樹脂薄膜和金屬線1 表面貼合的方法等。作為保護膜的材質(zhì)，優(yōu)選為對金屬線1 腐蝕性小的材質(zhì)，又優(yōu)選為如上述的在太赫茲帶低折射率、 低反射率、低吸收率的材料。又在保護膜的表面，為了控制太赫茲光帶寬或可見光區(qū)域的反射率，優(yōu)選為形成電介體薄膜或蛾眼結(jié)構(gòu)。本實施形態(tài)中所示的線柵偏振片由于如上所述對彎曲或振動等的應(yīng)力的適應(yīng)性強，所以易于覆蓋加工。又用保護膜覆蓋的線柵偏振片被污染時，可以用擦拭布或棉花棒等清洗，通過清洗也不會在樹脂覆蓋層產(chǎn)生裂開或光學(xué)性能降低的情況。(金屬線的制造方法)金屬線154的制造方法沒有特別地限定，從制造成本或生產(chǎn)率的觀點考慮，優(yōu)選為在真空下的傾斜蒸鍍法。傾斜蒸鍍法是指在與格子狀凸部155的延伸方向垂直交叉平面內(nèi)，蒸鍍源相對于基體材料151的法線保持入射角度α的同時蒸鍍金屬、使其層積的方法。 入射角度α是由格子狀凸部巧5和制作的金屬線1 的截面形狀來確定優(yōu)選范圍的，一般地入射角度α優(yōu)選為5° 40°，更優(yōu)選為10° 30°。進一步，考慮在蒸鍍中層疊的金屬的射影效果的同時，使入射角度α慢慢地減少或者增加，適宜地控制金屬線154的高度等截面形狀。又，根據(jù)這樣的制法，使得格子狀凸部巧5和金屬線的延伸向變得相同。用于達到金屬線154的形狀的金屬蒸鍍量雖然根據(jù)格子狀凸部155的形狀來決定，但是一般地，平均蒸鍍厚度在50nm 150nm左右。這里說的平均厚度是指假定使物質(zhì)在平滑玻璃基板上從與玻璃表面垂直方向蒸鍍時的蒸鍍物的厚度，作為金屬蒸鍍量的基準來使用。從光學(xué)特性的觀點考慮，根據(jù)需要利用蝕刻除去積層在凹凸格子的凹部底部的金屬。對于蝕刻法沒有特別限定，只要是不給基體材料151或電介體層153帶來壞影響且可以除去必須量的金屬的方法即可，從生產(chǎn)率或裝置成本的觀點考慮，優(yōu)選為使其浸泡在酸或堿水溶液的方法。(電磁波處理裝置)上述的線柵偏振片能夠作為太赫茲帶光學(xué)元件適宜地應(yīng)用，例如，優(yōu)選作為太赫茲時間區(qū)域分光分析裝置、檢查裝置(光線處理裝置)、樣品信息取得裝置、信息通信裝置用途來使用。(太赫茲時間區(qū)域分光分析裝置)本實施方式中所示的線柵偏振片如上所述，由于不僅在從太赫茲光帶寬到可見光區(qū)域的廣闊帶寬內(nèi)具有良好的偏振特性，而且有易加工性、小型薄膜、高可靠性、耐振動性、 清洗性等的特征，所以優(yōu)選為可以用于應(yīng)用太赫茲光的廣泛的用途。[0083]作為代表性的用途，可以例舉太赫茲時間區(qū)域分光分析裝置。本實施方式中所示的線柵偏振片不僅在太赫茲區(qū)域具有良好的偏振特性，不需要金屬框或保護框那樣的有重量的附屬部件，可以作為薄膜單體使用。進一步，由于易加工性，且小型、薄膜化，固定于裝置時也可以選擇嵌入盒體或者選擇用粘著材料或粘結(jié)材料粘貼這樣的簡易方法，所以可以構(gòu)成小型且適用于量化生產(chǎn)的太赫茲時間區(qū)域分光分析裝置。又，由于本實用新型的線柵偏振片在輕量、耐振動性方面也很優(yōu)良，可以作為可動部件拆裝，也可以以高速旋轉(zhuǎn)。由此， 在分光器或合光器以外，還可以作為光路切換裝置或偏振面的切換裝置使用，因此，例如可以在1臺裝置內(nèi)完成透過測定和反射測定的兩個測定，可以降低裝置成本以及減小設(shè)置面積。此外，可以進行如下的高度分析，例如通過獲取由試樣反射的s偏振光和P偏振光的振幅以及相位差信息，不需要測定反射就可以導(dǎo)出復(fù)光學(xué)常數(shù)光譜等。進而，由于具有可清潔性，因此能夠構(gòu)成具有能夠進行戶外分析以及具有經(jīng)時再現(xiàn)性的分析等優(yōu)點的太赫茲時間區(qū)域分光分析裝置。在圖4中表示太赫茲時間區(qū)域分光分析裝置的構(gòu)成的一個例子。在圖4中表示的太赫茲時間區(qū)域分光分析裝置的構(gòu)成有激光源1，分光器2、10， 光傳導(dǎo)天線3，曲面鏡4、7、12，線柵偏振片5，旋轉(zhuǎn)裝置5A，反光鏡6、11，光檢測器8、13，可動鏡9，測定電路30，控制、運算處理部31、顯示部32。又，Tl 5表示太赫茲脈沖光，Ll 5表示脈沖光。該裝置通過利用線柵偏振片5使從光傳導(dǎo)天線3放射的太赫茲光旋轉(zhuǎn)，能夠在引導(dǎo)至透過測定用的樣本(Si)的狀態(tài)和引導(dǎo)至反射測定用的樣本(S2)的狀態(tài)之間進行切換，該裝置具有接受透過太赫茲光的光檢測器(8)和接受反射太赫茲光的光檢測器(13)。 這樣的線柵偏振片作為可動部件使用時，使用金屬框支撐現(xiàn)有的(金屬)線的類型的偏振片的話，由于線的強度不充分易于破損，所以特性不穩(wěn)定。重量或尺寸變大，需要大型的旋轉(zhuǎn)裝置。由于線的強度、重量或尺寸的問題，存在不能使其以高速旋轉(zhuǎn)使用等的問題。相對于此，本實用新型的線柵偏振片即使是大面積也輕量且有充分的強度和可靠性。例如直徑 IOOmm的線柵偏振片的圓板以IOOOrpm的轉(zhuǎn)速圍繞中心軸旋轉(zhuǎn)10分鐘，旋轉(zhuǎn)前后線柵偏振片的外表或光學(xué)特性沒有發(fā)生變化。這里例示了線柵偏振片用作為光路切換裝置使用的例子，除此以外也可以作為分光器0、10)使用，有如前所述的裝置的輕量化、小型化、可靠性高等的各種優(yōu)點。(檢查裝置)本實施方式中所示的線柵偏振片組合將太赫茲脈沖光照射在樣本的光源、透過/ 反射脈沖光的檢測裝置和透過/反射脈沖光的太赫茲時間區(qū)域測量裝置，可以構(gòu)成基于分光透過率的檢查裝置。檢查裝置更優(yōu)選為具有將樣本的雜質(zhì)濃度等的分析對象作為空間分布進行二維、三維地圖像化的圖像處理裝置。檢查裝置可以運用在半導(dǎo)體材料的雜質(zhì)濃度檢查或不良解析的用途，農(nóng)作物、食品的生長狀態(tài)、新鮮度、農(nóng)殘或產(chǎn)地確定等的質(zhì)量管理的用途，探知被隱藏的危險物或違禁藥物的用途，評估電子設(shè)備內(nèi)的電子分布(移動狀態(tài)) 的用途，材料內(nèi)部的纖維結(jié)構(gòu)或結(jié)構(gòu)缺陷的評價用途，進一步可以用于從宇宙探索地球資源等的用途。這些都是基于如前所述的優(yōu)點以及由于可以利用頻率帶寬不同的多個太赫茲光的測量，或者同時利用太赫茲光和紅外光以及可見光的測量，通過使這些檢查光重疊， 有可以利用各種測定目的的優(yōu)點，使太赫茲光和可見光重疊模擬可以目視的優(yōu)點，可以將太赫茲分光信息、紅外分光信息、可見圖像位置以高精度組合的多方面分析的優(yōu)點，在檢查中沒有以往的線柵偏振片那樣的線的斷裂或基材的缺陷，沒有自身構(gòu)成污染源的問題的優(yōu)點。在圖5中表示檢查裝置的一個構(gòu)成例。在圖5中，檢查裝置的構(gòu)成有激光源501，分光器502、503，光傳導(dǎo)天線504，半導(dǎo)體部件505，線柵偏振片506、517，曲面鏡507、508、512、513，樣本支架509，太赫茲波產(chǎn)生裝置 510，太赫茲檢測部520，驅(qū)動結(jié)構(gòu)511、523，反光鏡521、524、525、526，可動鏡522，光檢測器527，測定電路530，控制、運算處理部531，顯示部532，光路長變化部MO。S表示樣本， Tl 4表示太赫茲脈沖光，Ll 3表示脈沖光。在該檢查裝置中，從激光源501被輻射的脈沖光(Li)用分光器(50 分割為2個脈沖光(L2和L3)。脈沖光(Li)是中心波長為780 800nm，重復(fù)周期為IkHz 100MHz, 脈沖寬度為10 150fs的直線偏振光的脈沖光。脈沖光(U)進一步用分光器(50 分割為2個脈沖光(L4和L5)。一個脈沖光(L4)被照射至光傳導(dǎo)天線。脈沖光(L4)成為用于激發(fā)光傳導(dǎo)天線、產(chǎn)生太赫茲脈沖光泵光(激發(fā)光)，從光傳導(dǎo)天線產(chǎn)生太赫茲脈沖光(Tl)。 另一個脈沖光(U)被照射至在GaAs基板上形成外延膜的部件。脈沖光(U)成為用于激發(fā)半導(dǎo)體部件、產(chǎn)生太赫茲脈沖光的泵光，從半導(dǎo)體部件產(chǎn)生太赫茲脈沖光(T2)。光傳導(dǎo)天線504以及半導(dǎo)體部件505雖然可以是任意一種太赫茲光源，但放射的太赫茲脈沖光的頻率帶寬是不同的。又，也可以在分光器(50 和光傳導(dǎo)天線504之間以及分光器(50 和半導(dǎo)體部件505之間，分別插入聚光鏡，將脈沖光(L4，L5)的光束聚在一起。太赫茲脈沖光(Tl和T2)是在0. 01 X IO12 100X IO12赫茲(0. OlThz IOOTHz)的頻率帶寬所包含的光。太赫茲脈沖光(Tl)透過線柵(506)，經(jīng)過曲面鏡(507、508)，到達樣本。太赫茲脈沖光0 在線柵(506)反射，經(jīng)過曲面鏡(507、508)，到達樣本。S卩，太赫茲脈沖光(Tl)和(1 利用線柵(506)被合成為太赫茲脈沖光(T3)，到達樣本。作為曲面鏡(507、508)，例如使用拋物面反光鏡或橢圓鏡等。透過試料的太赫茲脈沖光(T4)依次途經(jīng)曲面鏡(512、513)，線柵(514)，入射至太赫茲光檢測器。線柵(514) 和太赫茲光檢測器構(gòu)成太赫茲光檢測部。在太赫茲光檢測器中，入射太赫茲脈沖光(T4)的話，成為產(chǎn)生電場的狀態(tài)。在該部分照射探針光的話，與電場強度對應(yīng)的光電流流動，通過在測定電路中測定這個光電流，可以得到在該瞬間到達太赫茲光檢測器的脈沖光的電場強度。探針光由以下的光路入射至太赫茲光檢測器。用分光器(50 分割的另一個脈沖光(L3)是探針光。脈沖光(L3)用反射鏡(521)彎曲光路，入射至2個或者3個反光鏡構(gòu)成的可以移動的可動鏡。脈沖光(U)在可動鏡反射，順次途經(jīng)反光鏡(5對、525、5沈)，入射至太赫茲光檢測器。又，在反光鏡(526)和太赫茲光檢測器之間插入聚光鏡，可以將脈沖光 (L3)的光束聚在一起。通過使可動鏡通過驅(qū)動結(jié)構(gòu)如圖5中箭頭A那樣移動，可以使脈沖光(U)的光路長對應(yīng)于可動鏡的移動量而變化。該結(jié)果是脈沖光(U)到達太赫茲光檢測器的時間延遲。驅(qū)動結(jié)構(gòu)是通過控制、運算處理部的控制信號來控制。像這樣，變化延遲時間的同時，通過測定在太赫茲光檢測檢驗出的光的電場強度，可以成為時間序列太赫茲分光。進一步，通過在控制、運算處理部基于規(guī)定的理論式的運算，可以從該結(jié)果得到樣本的電特性或雜質(zhì)濃度等。又，根據(jù)需要，測定值等也可以表示在顯示器上。用從控制、運算部輸出的信號控制驅(qū)動裝置，可以使支撐樣本的支持架在與CH)的光軸垂直的面內(nèi)二維地掃描。[0095]對合成來自多個太赫茲光源的光的方法更詳細地進行說明。太赫茲脈沖光(Tl)透過線柵偏振片(506)，太赫茲脈沖光(1 在線柵偏振片 (506)反射，兩者合成成為太赫茲脈沖光(T3)。這時，以線柵偏振片(506)的線方向為基準， 預(yù)先調(diào)整太赫茲脈沖光(T1，T2)的偏光方向以使其透過效率、反射效率均為100%，可以降低合成的太赫茲脈沖光CH)的損失。太赫茲脈沖光CH)是包含有太赫茲脈沖光(Tl)和 (Τ2)兩者的頻率帶寬的光。例如，使太赫茲脈沖光(Tl)具有0. 1 1.8ΤΗΖ的頻率帶寬、 太赫茲脈沖光0 具有1. 5 3. OTHz的頻率帶寬的話，太赫茲脈沖光CH)則具有0. 1 3. OTHz廣闊的頻率帶寬。太赫茲脈沖光(Tl，T2)是直線偏振光的光時，對兩者的合成進行說明。太赫茲脈沖光(Tl)的偏振方向是通過光傳導(dǎo)天線504的天線模式的朝向來決定。 因此，利用光傳導(dǎo)天線504圍繞光軸AXl旋轉(zhuǎn)，可以調(diào)整太赫茲脈沖光(Tl)的偏振方向。利用沒有用圖表示的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，通過使支撐光傳導(dǎo)天線504的支持架旋轉(zhuǎn)，可以使光傳導(dǎo)天線504在放射的太赫茲脈沖光(Tl)的光軸四周旋轉(zhuǎn)。雖然光傳導(dǎo)天線504是偶極型天線， 但與碟型模式、帶狀型模式的情況同樣，可以調(diào)整太赫茲脈沖光的偏振方向。另一方面，在半導(dǎo)體部件505中，激光(U)(泵光)入射到半導(dǎo)體表面時產(chǎn)生的太赫茲脈沖光(T2)的偏振方向是取決于激光(L5)的入射角度。由于相對于激光(L5)的入射方向，太赫茲脈沖光0 的偏振方向是一定的，例如，為了將偏振方向旋轉(zhuǎn)90°，要將半導(dǎo)體部件505的表面設(shè)定為垂直于TL表面且對于紙面為45°的角度，從垂直于紙面的方向使激光入射向半導(dǎo)體部件505。像這樣，維持對于Y方向45°的角度，改變半導(dǎo)體部件 505的朝向，使激光入射向半導(dǎo)體部件505以使得產(chǎn)生的太赫茲脈沖光(1 與線柵偏振片 (506)相向的話，太赫茲脈沖光(1 的偏振方向可以任意地改變。又，使用作為太赫茲光源的非線形光學(xué)晶體部件時，通過改變?nèi)肷渲练蔷€形光學(xué)晶體部件的激發(fā)激光(泵光)的偏振方向，可以調(diào)整放射的太赫茲脈沖光的偏振方向。這時，將沒有用圖表示的偏振方向轉(zhuǎn)換元件配置在偏光器(50 和非線形光學(xué)晶體部件之間，改變?nèi)肷渲练蔷€形光學(xué)結(jié)晶部件的激光的偏振方向。作為偏振方向轉(zhuǎn)換元件，例如使用單個1/2波長相位板等的波長相位板，或者多個這樣的波長相位板組合的波長相位板，波長相位板和偏振元件組合的元件。改變?nèi)肷渲练蔷€形光學(xué)晶體部件的激光的偏振方向時， 與該偏振方向?qū)?yīng)地配合非線形光學(xué)晶體部件的晶體方位軸的話，由于太赫茲脈沖光的產(chǎn)生效率提高而更加理想。像這樣，通過調(diào)整太赫茲脈沖光(Tl)、(T2)的偏振方向，使入射至線柵偏振片 (506)，合成的太赫茲脈沖光CH)不僅合成時的結(jié)合損失減少還有廣闊的頻率帶寬。接著，對有偏振成分的太赫茲脈沖光的檢測進行說明。太赫茲脈沖光(Tl)、(T2)是直線偏振的光，沒有由于樣本引起的偏振作用或者該作用微小時，透過樣本的太赫茲脈沖光(T4)包含有來自太赫茲脈沖光(Tl和1 的彼此垂直相交的2個偏振方向的光。檢測太赫茲脈沖光(T4)的光傳導(dǎo)天線504僅應(yīng)答沿天線模式的偏振方向的光。因此，為了也能應(yīng)答太赫茲脈沖光(Tl)和(1 的任意的偏振方向，光傳導(dǎo)天線504在光軸AX3周圍旋轉(zhuǎn)，沿天線模式的方向，即配置信號檢測方向以使其相對于任意的偏振方向均為45°的角度。由此，可以將2個偏振成分的光相同地受光。又，如本實施方式，在太赫茲脈沖光(Tl)和(1 中太赫茲光源的結(jié)構(gòu)不同時，例如考慮0 比(Tl)強這樣的情況。這時，用上述的方法調(diào)整各太赫茲脈沖光的偏振方向， 通過抑制強的太赫茲脈沖光0 的檢測效率，且提高弱的太赫茲脈沖光(τι)的檢測效率， 可以得到所希望的頻率特性。進一步，通過利用沒有用圖表示的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，使支撐光傳導(dǎo)天線504的支持架在光軸AX3周圍旋轉(zhuǎn)，將光傳導(dǎo)天線504的模式方向(信號檢測方向)相對于太赫茲脈沖光 (Tl)和(1 的偏振方向設(shè)定為任意的角度，可以以規(guī)定的比例重點地檢測太赫茲脈沖光 (Tl)或者(T2)中的一個。進一步，在光傳導(dǎo)天線504的前側(cè)設(shè)置線柵偏振片(514)，由于偏振方向可以周密地調(diào)整，所以能夠得到更準確的測定值。又，碟型模式的情況也同樣，通過使天線模式的信號檢測方向為45°的角度，可以得到更準確的測定值。如以上所說明的，利用合成來自多個太赫茲光源的光，可以得到比來自單獨的太赫茲光源的光更廣的頻率帶寬的光。進一步，考慮多個太赫茲脈沖光的光方向，不僅可以減少合成時的結(jié)合損失還可以得到廣的頻率帶寬的光。進一步，組合紅外光或可見光產(chǎn)生裝置，可以作為使這些檢測光重疊使用的光線處理裝置。在圖6中表示使太赫茲光、紅外光或可見光重疊的裝置的構(gòu)成的一個例子。在圖6 中表示的裝置的構(gòu)成有光闌601 603，線柵偏振片604，太赫茲波產(chǎn)生裝置610，太赫茲波 611，紅外光或可見光(引導(dǎo)光)612，引導(dǎo)光導(dǎo)入鏡621、622。在該裝置中，利用引導(dǎo)光導(dǎo)入鏡(621)和(622)的設(shè)定角度調(diào)整，使引導(dǎo)光612重疊至太赫茲波的同軸上。在本處理中， 調(diào)整引導(dǎo)光導(dǎo)入鏡(621)和(622)的設(shè)定位置、設(shè)定角度等以使引導(dǎo)光的光軸重疊至向線柵偏振片的太赫茲波的軸上。利用該位置設(shè)定角度調(diào)整，使引導(dǎo)光的光軸重疊至太赫茲波的光軸上。除了在確認Si輻射熱測量器等的檢測器的輸出信號的同時調(diào)整引導(dǎo)光的光軸， 由于是可見光，也可以在目視確認的同時調(diào)整引導(dǎo)光的光軸。利用本調(diào)整，可以使引導(dǎo)光的光軸和太赫茲光的光軸成為相同的軸。弓丨導(dǎo)光和太赫茲光重疊為相同的軸后的太赫茲光的光軸構(gòu)成模擬的、疑似的可見狀態(tài)。在引導(dǎo)光和太赫茲光的合成中，通過和重疊上述的多個太赫茲脈沖光的例子同樣地考慮偏振方向，不僅可以減少合成時的結(jié)合損失還可以得到廣的頻率帶寬的光。(樣品信息取得裝置)本實施方式中表示的線柵偏振片除了上述優(yōu)點外，還具有如下優(yōu)點高強度且可清洗性優(yōu)異，即使和樣品接近或者直接接觸也能夠?qū)崿F(xiàn)具有重現(xiàn)性的分析，而且通過卷對卷加工可以制造大面積的線柵偏振片。因此，可以構(gòu)成具有線柵偏振片、太赫茲波產(chǎn)生單元、樣品保持單元、分別檢測入射光、透過光和反射光的單元和處理在上述檢測單元被檢測的信號、取得上述樣品的信息的處理單元，結(jié)構(gòu)簡單、能夠小型化，可靠性也優(yōu)良，基本可以同時取得圖像等的透過信息和反射信息的樣品信息取得裝置。在圖7中表示樣品信息取得裝置的一個構(gòu)成例。圖7中表示的樣品信息取得裝置的構(gòu)成有檢查部100 (線柵偏振片)、樣品103、電磁波產(chǎn)生部201、電磁波檢測部202、丄偏波成分信號204、//偏波成分信號205、運算處理部 206。在該裝置中，電磁波產(chǎn)生部201是相對于在檢查部中被保持的樣品，產(chǎn)生電磁波，照射的部分。在本實用新型中，特別地作為電磁波使用太赫茲波。在本實施方式中，從電磁波產(chǎn)生部201產(chǎn)生的太赫茲波的偏波方向(偏波狀態(tài))相對于在檢查部100使用的偏振元件的偏振軸旋轉(zhuǎn)。因此，從電磁波產(chǎn)生部201產(chǎn)生的太赫茲波可以視為圓偏波信號形成的波。作為太赫茲波的產(chǎn)生方法，例如，可以使用在半導(dǎo)體基板上形成的天線結(jié)構(gòu)。在本實施方式中，作為半導(dǎo)體基板，使用在表面有厚度1. 5 μ m的LT-GaAs外延增長層的厚度 100μ m 的 GaAs 基板。而且，作為天線結(jié)構(gòu)，使用在中心有5μπι的間隙的偶極天線結(jié)構(gòu)。該偶極天線結(jié)構(gòu)的天線長為30 μ m，使用金(AuGe/Ni/Au)，通過通常的蒸鍍工序制作。這時，從天線產(chǎn)生的太赫茲波的偏波方向被規(guī)定為天線結(jié)構(gòu)的偶極軸方向。因此，為了使該太赫茲波信號作為圓偏波信號，使用沒有用圖表示的光學(xué)系統(tǒng)，例如，需要有控制1/4波長板等的偏波狀態(tài)的結(jié)構(gòu)。不限定偏波狀態(tài)的控制方法，例如，可以控制從電磁波產(chǎn)生部產(chǎn)生的太赫茲波的偏波方向和在檢查部中使用的偏振元件的偏振軸方向相對地變化。例如，可以采用使用使電磁波產(chǎn)生部或者檢查部機械地旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)(未圖示)的方法。根據(jù)情況，可以是同時控制電磁波產(chǎn)生部和檢查部的方式。由此，也可以精細微小地調(diào)整上述偏波狀態(tài)。而且，當(dāng)然天線結(jié)構(gòu)也不限于上述的情況。根據(jù)處理的電磁波的頻率特性或偏波特性，天線的尺寸或形狀會有所變化。例如，作為天線構(gòu)造，適應(yīng)螺旋形天線構(gòu)造的話，產(chǎn)生的太赫茲波形成圓偏波信號。在本實施方式中，在如上述的天線的間隙，施加偏壓，使用飛秒激光器，將間隙光學(xué)性地選通，使用這時產(chǎn)生的太赫茲波。但是，產(chǎn)生方法不限于該方式， 例如，也可以使用激光波長不同的兩種類的激光的周波差來選通的方法或，使用量子氣體選通激光器或共振通道二極管那樣的負阻元件的方式。而且，也可以是利用非線形光學(xué)晶體的振蕩器或者、使用BWO (Backward-Wave-Oscillator后進波振蕩管)那樣的電子管的振蕩器。這樣得到的圓偏波信號被照射至上述的檢查部的樣品。這里，對使用線柵作為檢查部的偏振元件時的圓偏波信號的動作進行說明。線柵是垂直于偏振軸的電場成分的太赫茲波透過(丄偏波成分信號)。而且，平行于偏振軸的電場成分的太赫茲波反射(//偏波成分信號)。上述太赫茲波假定在相對于偏振元件的偏振軸，偏波面相對地旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)，但是并不限定于該形態(tài)。例如，上述太赫茲波的偏波面也可以是直線偏波。對于上述線柵的偏振軸，入射的太赫茲波的偏波方向控制在 45°傾斜狀態(tài)的話，入射太赫茲波可以分支。而且，相對于偏振軸的直線偏波的角度也不限定于此。由于樣品的存在，透過電磁波和反射電磁波的分支比改變時，調(diào)整該角度，可以將分支比調(diào)整為相同。而且，透過電磁波和反射電磁波的分支比可以不同時，即使角度從45°開始改變，也可以有同樣的動作。電磁波檢測部是檢測每個這些丄偏波成分信號和//偏波成分信號的裝置。在圖7中，電磁波檢測部可以是一個，也可以是多個。作為太赫茲波的檢測方法，例如有下面的做法。這里，有和上述電磁波產(chǎn)生部同樣的構(gòu)成，在天線的間隙施加偏壓，使用飛秒激光，利用光學(xué)性選通間隙，檢測太赫茲波。這時，通過飛秒激光可以檢測選通的瞬間的太赫茲波的任意點的強度。因此，通過掃描該選通的時刻，可以取得時間區(qū)域的太赫茲波。當(dāng)然，不限于該檢測方式。例如，有測熱輻射計那樣的熱檢測器或利用光電效果的方式。而且，也有利用肖特基二極管那樣的半導(dǎo)體元件的方式。在本實施方式中，入射至樣品的太赫茲波是相對于偏振元件的偏振軸，偏波方向相對地變化的圓偏波信號。因此，這些丄偏波成分信號和//偏波成分信號的強度隨時間變化(但是，兩者的時間變化在相位上相差90° )。目前，太赫茲波區(qū)域的電磁波難以實時地取得。因此，在現(xiàn)有技術(shù)中，使用斷續(xù)器等，調(diào)制太赫茲波來檢測。采用本實施方式時，經(jīng)樣品后的太赫茲波通過偏振元件，成為強度變調(diào)的方式。因此，作為現(xiàn)有技術(shù)需要的斷續(xù)器等的調(diào)制結(jié)構(gòu)不再需要，可以實現(xiàn)裝置構(gòu)成的簡單地、小型化。而且，通過檢測被調(diào)制的該強度太赫茲波，有可以進行微小信號的檢測這樣的效果。運算處理部是作為使用在電磁波檢測部得到的太赫茲波的信號，分析樣品的性狀等的部分。例如，在運算處理部中，使用從電磁波檢測得到的信號，構(gòu)筑時間區(qū)域的太赫茲波。而且，將該太赫茲波變換為頻率帶寬的強度光譜，取得樣品的頻率特性。這樣，例如，通過利用樣品的有無比較相位變化或強度變化，可以取得樣品的復(fù)變折射率等的各種特性。 這時，在運算處理部中，希望預(yù)先取得作為參照信號的沒有樣品狀態(tài)的信號。而且，不僅可以檢測樣品的有無，也可以檢測例如，在DNA、蛋白質(zhì)、氨基酸等的生物分子中，樣品自身的結(jié)構(gòu)變化或特性變化。而且，運算處理部預(yù)先有關(guān)于樣品的數(shù)據(jù)庫時，通過將測定結(jié)果和數(shù)據(jù)庫對照查對，可以進行樣品的鑒定。這樣，在本實施方式中，通過在樣品保持部使用偏振元件，可以同時或同時并行地進行過去分別進行的透過測定和反射測定。因此，伴有樣品的性狀或測定環(huán)境經(jīng)時變化的情況下也可以進行大致嚴格相同條件下的測定。而且，由于透過測定和反射測定是同時進行的，可以同時并行地進行嚴格相同位置的測定。而且，通過沒有用圖表示的掃描結(jié)構(gòu)，可以掃描照射在樣品上的太赫茲波。作為沒有用圖表示的掃描結(jié)構(gòu)，例如，有驅(qū)動檢查部或者電磁波產(chǎn)生部的驅(qū)動器。而且，具有使從電磁波產(chǎn)生部產(chǎn)生的太赫茲波的光路光學(xué)地變化的光學(xué)系統(tǒng)。而且，也可以控制從電磁波產(chǎn)生部201產(chǎn)生的太赫茲波的指向性。關(guān)鍵是，在與入射電磁波的入射方向相對的樣品的表面內(nèi)的方向(例如，在垂直于入射方向的表面內(nèi)的方向)，入射至樣品的太赫茲波的位置相對于樣品相對地變化。通過使用這樣的方法掃描太赫茲波，在本實施方式中，可以同時取得透過圖像和反射圖像。因此，可以取得樣品的嚴格相同的地方的透過圖像和反射圖像。相對于此，例如，對分別取得的這些圖像進行比較時，在比較之前，有必要進行各圖像的位置的校準。采用本實施方式時，由于同時取得這些圖像，可以省略位置校準的工序，有提高測定速度這樣的效果。而且，偏振元件的頻率特性會由于在附近存在的物質(zhì)而變化。這是由于包圍偏振元件的折射率的狀態(tài)發(fā)生變化。利用該現(xiàn)象，例如，把由在偏振元件附近存在的樣品所引起的折射率變化作為偏振元件的頻率特性的變化，用于檢測的微量檢測器。檢測頻率固定時， 通過模擬太赫茲波的透過強度的變化ΔΙ，進行樣品的微量檢測。或者，檢驗的透過強度固定時，模擬與所希望的的透過強度對應(yīng)的頻率的變化Δ ·，進行樣品的微量檢測。在以上的說明中，本實施方式的裝置以及方法是對于支撐樣品的樣品臺，附加偏振元件的功能，將入射至樣品的電磁波分支為透過電磁波和反射電磁波，檢驗出每個電磁波。該結(jié)果是有樣品的透過測定和反射測定可以同時進行的效果，可以縮短測定時間。而且，由于透過測定和反射測定使用的光學(xué)系統(tǒng)沒有必要分開，有易于裝置的小型化這樣的效果。而且，由于適用于圖像裝置時，透過圖像和反射圖像同時進行，有各圖像結(jié)果的對應(yīng)變得容易這樣的效果。而且，對于相同的樣品，由于透過測定和反射測定同時進行，有排除樣品或測定環(huán)境的經(jīng)時變化的效果。因此，由于可以不考慮樣品之間的差異或?qū)嶒灄l件的變化而比較透過測定結(jié)果和反射測定結(jié)果，因此有提高實驗精密度這樣的效果。(信息通信裝置)在本實施方式表示的線柵偏振片在上述優(yōu)點上還有，大面積、輕量、耐振動性的優(yōu)點，可靠性高、可以在廣泛的溫度、濕度環(huán)境下使用的優(yōu)點，因清洗性優(yōu)良可以在屋外使用的優(yōu)點，可以固定地保持光學(xué)特性的優(yōu)點，可以重疊運用太赫茲光和紅外光或可見光的優(yōu)點等，因此，可以構(gòu)成由線柵偏振片、具有太赫茲波發(fā)送元件、朝向接收機發(fā)射太赫茲波的太赫茲波發(fā)送機、具有太赫茲波接收元件、檢測從發(fā)送機被發(fā)射并在空中傳播來的太赫茲波的太赫茲波接收機構(gòu)成的信息通信裝置。線柵偏振片可以使用以上述那樣的簡單的構(gòu)成使太赫茲光產(chǎn)生的單元，光路的切換單元，以防止干涉等為目的、切換偏振面的單元和以具有可見性等為目的、重疊太赫茲光和紅外光或可見光的單元等。上述接收機優(yōu)選為具有用于匯集來自上述發(fā)送機的太赫茲波的匯集器。實施例接著，對為了明確地實施本實用新型而進行的實施例進行說明。(實施例1)(線柵偏振片的制造)混合作為有三個以上官能團的丙烯酸酯化合物的單體的三羥甲基丙烷三丙烯酸酯32質(zhì)量份％、作為N-乙烯基化合物的單體的氮-乙烯-2-吡咯烷酮32質(zhì)量份％、作為其他單體的1，9_壬二醇二丙烯酸酯33質(zhì)量份％、作為光聚合引發(fā)劑的2，4，6_三甲基苯甲酰基-二苯基-氧化膦2質(zhì)量份％、有機硅二丙烯酸酯1質(zhì)量份％，過濾，調(diào)制光固化性樹脂。粘度為7. 9mPa · s。在厚度為80 μ m、寬度為250mm、長度為200m的卷狀TAC樹脂薄膜上，連續(xù)地涂敷上述光固化性樹脂，通過一邊使和在表面有細微格子圖案的圓筒形的壓膜機接觸，一邊進行紫外線固化，連續(xù)地轉(zhuǎn)印細微格子圖案。利用電子顯微鏡觀察該轉(zhuǎn)印膜的截面時，可以確認有細微格子圖案的形狀是圓筒形壓膜機的準確的反轉(zhuǎn)形狀，間距為140nm，高度為150nm 的線性和空間結(jié)構(gòu)。樹脂皮膜的厚度是0. 3 μ m。通過連續(xù)制膜裝置，在轉(zhuǎn)印膜的轉(zhuǎn)印面?zhèn)刃纬傻璞∧?。接著通過在氮化硅薄膜上形成鋁線來制造線柵偏振片1。又，通過把由在厚度50 μ m的PET樹脂膜的一面形成有厚25 μ m硅酮粘著層構(gòu)成的保護膜貼在線柵偏振片1的形成鋁線的一側(cè)的表面，來制造鋁線部被保護的線柵偏振片 2。(線柵偏振片1以及2的評價)(1)太赫茲光帶的偏振性能利用太赫茲時間區(qū)域分光裝置，在頻率0. 2 2. 5THz的范圍評估上述的線柵偏振片1以及2的透過率。結(jié)果在圖2和圖3中表示。特別地，在頻率0.5 1.5THz的消光比是45dB以上為良好。這里，消光比是以10Xlog(TTM/TTE)來定義。在太赫茲脈沖波的時間波形中，在TAC樹脂薄膜基體材料的內(nèi)部完全看不到由于多重反射引起的脈沖波的存在。(2)可見光區(qū)域的偏振性能利用分光光度計(V-7100日本分光制)來評估上述的線柵偏振片1以及2在可見光區(qū)域的偏振性能。其結(jié)果如表1所示。在可見光區(qū)域的偏振性能也能夠在光學(xué)解析用途或圖像顯示用途等得到充分地運用。這里，測定與直線偏振相對的平行尼科耳、垂直相交尼科耳狀態(tài)下的透過光強度，通過下述方式算出偏振度和光線透過率。而且，測定波長是 550nmo偏振度=[(Imax-Imin)/ (Imax+Imin) ] X 100 %光線透過率=[(Imax+Imin)/2]X 100%Imax是平行尼科耳時的透過光強度，Imin是垂直相交尼科耳時的透過光強度。(3)彎曲應(yīng)力耐久性為了評估上述的線柵偏振片1以及2的彎曲應(yīng)力耐久性，將半徑為20mm、10mm、5mm 的3種圓筒上卷繞線柵偏振片，在這樣的狀態(tài)下，20°C、50% RH的氣氛下保持M小時后，將線柵偏振片從圓筒上拆下，評估在施加應(yīng)力前后有無外觀和偏振性能的變化。這時，卷曲為使線柵偏振片的透過軸和圓筒的長度方向形成的角大約為45度。結(jié)果在表1中表示。在線柵偏振片1以及2的外觀以及偏振性能中沒有看到明顯的變化，與現(xiàn)有的線柵偏振片相比，可以確認操作性明顯地提高了。進一步，在SUS平板上放置線柵偏振片2，TAC樹脂膜的表面朝上，一邊用棉棒施加 IOOg負載，一邊在1平方厘米的區(qū)域內(nèi)以畫圈的方式擦拭100次，評價擦拭前后外觀和偏振性能有無變化。沒有觀察到線柵偏振片2的外觀以及偏振性能的有意義的變化，萬一在線柵偏振片的表面附著異物，也可以進行清洗而不會對性能造成損傷。(4)剪斷加工性為了評估上述的線柵偏振片1以及2的剪斷加工性，用剪刀切為圍棋盤網(wǎng)格狀，對于切分為邊長5mm的正方形的25個薄片，使用倍率為10倍的放大鏡來評估在樹脂皮膜上有無裂縫等的異常。結(jié)果在表1中表示。線柵偏振片1以及2的薄片的周圍被剪斷得很光滑，沒有裂縫或缺陷。這樣，本實用新型的線柵偏振片的樹脂皮膜耐沖擊性強，就連在剪斷線的周圍也不產(chǎn)生裂縫。由于該特征，可以確認極其小的薄片也可以裁剪。(5)可靠性為了評估上述的線柵偏振片1以及2的可靠性，切成各邊分別和透過軸大致平行以及大致垂直相交的3cm的正方形，在60°C、85%相對濕度條件下的恒溫恒濕槽保持1000 小時，評價前后的外觀和偏振性能有無變化。結(jié)果在表1中表示?？梢源_認線柵偏振片1 以及2的變形以及偏振性能的變化小，能夠耐受在過于苛刻的環(huán)境下的使用或保管。(比較例1)(現(xiàn)有的線柵偏振片)將美國MICROTECH instruments, inc.生產(chǎn)的線柵偏振片模型G25 X 10-S (鎢線直徑 ομπκ線間隔25μπι)作為線柵偏振片3，對該線柵偏振片3進行以下評價。(線柵偏振片3的評價)(1)太赫茲光帶的偏振性能利用太赫茲時間區(qū)域分光裝置，在頻率0. 5 1. 5ΤΗζ的范圍評價線柵偏振片3的透過率，結(jié)果，消光比在27 40dB的范圍。(2)可見光區(qū)域的偏振性能線柵偏振片3在可見光區(qū)域沒有偏振性能。[0160](3)彎曲應(yīng)力耐久性線柵偏振片3被固定在金屬框，沒有彎曲性。由于鎢線的強度弱，通過接觸易于切斷，因此，就算線柵偏振片的表面附著有異物，也無法在不對性能造成損傷的情況下進行清洗。(4)剪斷加工性線柵偏振片3是將線張掛在40mm直徑的金屬框上形成的線柵偏振片，不能裁剪使用。由于線的強度弱，墜落或僅僅施加振動程度的沖擊，線也會斷。(比較例2)(線柵偏振片的制造)用光固化性樹脂代替市售的光固化性樹脂組成物PAK-Ol (東洋合成制)，嘗試和實施例1同樣地線柵偏振片的制造。該樹脂組成物的粘度是72. OmPa. · S。但是在連續(xù)轉(zhuǎn)印的工序中，樹脂的涂敷厚度不均勻，且和圓筒形壓膜機接觸時，氣泡容易進入，剛剛開始轉(zhuǎn)印后，圓筒形壓膜機就被樹脂的附著殘留物污染。因此，無法用于連續(xù)工序的制造，雖然可以通過使用棒式涂布機再次在厚度80 μ m、寬度200mm、長度200mm的正方形的TAC樹脂膜上涂敷PAK-01，一邊使其與表面有細微格子圖案的寬度100mm、長度IOOmm的平板狀壓膜機接觸一邊使其紫外線使固化，來轉(zhuǎn)印細微格子圖案，但是壓膜機上部分產(chǎn)生樹脂的附著殘留物。利用電子顯微鏡觀察該轉(zhuǎn)印膜的截面時，可以確認細微格子圖案的形狀是大致為圓筒形壓膜機的反轉(zhuǎn)形狀，間距為140nm，高度為150nm的線性和空間結(jié)構(gòu)，但是在壓膜機上產(chǎn)生樹脂的附著殘留物的地方，存在多個平均直徑為50-500 μ m的細微格子圖案的不存在區(qū)域。而且樹脂皮膜的厚度在5 8μπι的范圍有若干的不均勻。除該轉(zhuǎn)印薄膜使用批量式的制膜裝置以外，和實施例1同樣地，在轉(zhuǎn)印膜的轉(zhuǎn)印面?zhèn)刃纬傻璞∧?。接著通過在氮化硅薄膜上形成鋁線來制造線柵偏振片4。(線柵偏振片4的評價)(1)太赫茲光帶的偏振性能利用太赫茲時間區(qū)域分光裝置，在頻率0. 5 1. 5ΤΗζ的范圍評價上述的線柵偏振片4透過率。結(jié)果在表1中表示。消光比根據(jù)測定地方不同在19 15dB的范圍變動。這是因為在線柵偏振片4的表面內(nèi)存在多個沒有細微轉(zhuǎn)印圖案的區(qū)域。(2)可見光區(qū)域的偏振性能和實施例1同樣地評價在線柵偏振片4的可見光區(qū)域的偏振性能。結(jié)果在表1中表示。偏振性能根據(jù)地方的不同而有所變動，用5點測定的偏振度的中間數(shù)據(jù)表示。(3)彎曲應(yīng)力耐久性和實施例1同樣地評價線柵偏振片4的彎曲應(yīng)力。結(jié)果在表1中表示。就連用半徑最大的20mm的圓筒的評價中，也有裂縫進入樹脂皮膜，從TAC樹脂膜部分地剝離。(4)剪斷加工性和實施例1同樣地評價線柵偏振片4的剪斷加工性。結(jié)果在表1中表示。在切斷線周圍的25個薄片全部都有裂縫進入樹脂皮膜，從TAC樹脂膜部分地剝離。(5)可靠性和實施例1同樣地評價線柵偏振片4的可靠性。結(jié)果在表1中表示。樣本在試驗中產(chǎn)生很大的彎曲變形，樹脂皮膜從TAC樹脂膜剝離。[0178](實施例2)(線柵偏振片的制造)除了將光固化性樹脂替換成實施例1中使用的光固化性樹脂以外，和比較例2同樣地，在厚度80 μ m、寬度200mm、長度200mm的正方形的TAC樹脂膜上，使用棒式涂布機涂敷光固化性樹脂，一邊使其和表面有細微格子圖案的寬度100mm、長度IOOmm的平板狀壓膜機接觸一邊通過紫外線使其固化，轉(zhuǎn)印細微格子圖案。在轉(zhuǎn)印機中，沒有看到樹脂的附著殘留物，利用電子顯微鏡觀察該轉(zhuǎn)印膜的截面時，可以確認細微格子圖案的形狀成為平板狀轉(zhuǎn)印機的反轉(zhuǎn)形狀，間距為140nm，高度為150nm的線性和空間結(jié)構(gòu)。樹脂皮膜的厚度在 2 3 μ m的范圍。該轉(zhuǎn)印膜使用批量式的制膜裝置，在轉(zhuǎn)印膜的轉(zhuǎn)印表面?zhèn)刃纬傻璞∧ぁ＝又ㄟ^在氮化硅薄膜上形成鋁線來制造線柵偏振片5。(1)太赫茲光帶的偏振性能利用太赫茲時間區(qū)域分光裝置，在頻率0. 5 1. 5THz的范圍評價上述的線柵偏振片5的透過率。結(jié)果在表1中表示。消光比不根據(jù)測定地方變動，為45dB以上，消光比良好。(2)可見光區(qū)域的偏振性能和實施例1同樣地評價線柵偏振片5的在可見光區(qū)域的偏振性能。結(jié)果在表1中表示。偏振性能不根據(jù)測定地方變動，偏振性能良好。(3)彎曲應(yīng)力耐久性和實施例1同樣地評價線柵偏振片5的彎曲應(yīng)力。結(jié)果在表1中表示。在用半徑最小5mm的圓筒的評價中，確認在樹脂皮膜有幾個長度Imm以下的裂縫。在偏振性能沒有有意義的變化。(4)剪斷加工性和實施例1同樣地評價線柵偏振片5的剪斷加工性。結(jié)果在表1中表示。在切斷線周圍的12個薄片中，確認在樹脂皮膜有長度Imm以下的裂縫。(5)可靠性和實施例1同樣地評價線柵偏振片5的可靠性。結(jié)果在表1中表示。雖然有微小的彎曲變形，但是沒有裂縫產(chǎn)生，偏振性能的變化小。(實施例3)(線柵偏振片的制造)除了改變圓筒形壓模機的細微圖案形狀以外，和實施例1同樣地，制作連續(xù)轉(zhuǎn)印膜。利用電子顯微鏡觀察該轉(zhuǎn)印膜的截面，可以確認細微格子圖案的形狀是圓筒形壓膜機的準確的反轉(zhuǎn)形狀，間距為250nm，高度為270nm的線性和空間結(jié)構(gòu)。樹脂皮膜的厚度是 0. 3 μ m。接著和實施例1同樣地通過連續(xù)制膜來制造線柵偏振片6。(1)太赫茲光帶的偏振性能利用太赫茲時間區(qū)域分光裝置，在頻率0. 5 1. 5THz的范圍評價線柵偏振片6的透過率。結(jié)果在表1中表示。消光比不隨測定地方變動，為43dB以上，消光比良好。(2)可見光區(qū)域的偏振性能和實施例1同樣地評價線柵偏振片6在可見光區(qū)域的偏振性能。結(jié)果在表1中表示。雖然偏振性能比線柵偏振片1低，但是沒有隨測定地方變動，偏振性能良好。[0198](3)彎曲應(yīng)力耐久性和實施例1同樣地評價線柵偏振片6的彎曲應(yīng)力。結(jié)果在表1中表示。就連在用半徑最小的5mm的圓筒的評價中，也沒有看到外觀或偏振性能有有意義的變化。(4)剪斷加工性和實施例1同樣地評價線柵偏振片6的剪斷加工性。結(jié)果在表1中表示。線柵偏振片6的薄片的周圍剪斷光滑，沒有裂縫或缺陷。(5)可靠性和實施例1同樣地評價線柵偏振片6的可靠性。結(jié)果在表1中表示?？梢源_認線柵偏振片6的變形以及偏振性能的變化小，能夠耐受在過于苛刻的環(huán)境下的使用或保管。本實用新型不限定于上述實施方式，可以進行各種改變來實施。例如，上述實施方式中的部件的材質(zhì)、配置、形狀等只是舉例說明，可以進行適宜的改變來實施。另外，在不脫離本實用新型的宗旨的范圍，可以適當(dāng)?shù)馗淖儗嵤１?權(quán)利要求1.一種太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片，其具有樹脂基材；在所述樹脂基材上形成的樹脂皮膜；和在所述樹脂皮膜上形成的金屬線，其特征在于，所述樹脂皮膜是在表面具有規(guī)律性凸凹結(jié)構(gòu)、厚度為0. 01 μ m 3 μ m的光固化性成形體，在0. 5Thz 1. 5Thz的帶寬中的消光比為20dB以上，所述凸凹結(jié)構(gòu)的規(guī)律是，高度為 0. 01 μ m 20 μ m、至少一個方向的間距在0. 01 μ m 20 μ m的范圍內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片，其特征在于，所述金屬線至少存在于格子狀凸部的頂部的上方，并且在與特定方向垂直的截面中， 通過所述金屬線的頂部、且沿著所述金屬線的立設(shè)方向的金屬線軸，與通過所述格子狀凸部的頂部、且沿著所述格子狀凸部的立設(shè)方向的格子狀凸部軸是錯位的。
3.如權(quán)利要求1或2所述的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片，其特征在于，入射了 0. 5THz 1. 5THz的帶寬的脈沖波時，在所述樹脂基材的內(nèi)部多重反射的脈沖波的強度是觀測對象的脈沖波的強度的50%以下。
4.如權(quán)利要求1或2所述的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片，其特征在于，施加彎曲半徑20mm的彎曲應(yīng)力前后的消光比的變化率在5%以下。
5.如權(quán)利要求1或2所述的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片，其特征在于，所述金屬線由保護膜覆蓋。
6.一種太赫茲時間區(qū)域分光分析裝置，其特征在于，所述太赫茲時間區(qū)域分光分析裝置將權(quán)利要求1-5中任意一項記載的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片作為光學(xué)元件使用。
7.一種基于分光穿透率的檢查裝置，其特征在于，所述檢查裝置通過組合權(quán)利要求 1-5中任意一項記載的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片、將太赫茲脈沖光照射至樣本的光源、檢測透過/反射脈沖光的單元和透過/反射脈沖光的太赫茲時間區(qū)域測量單元而構(gòu)成。
8.一種光線處理裝置，其特征在于，所述光線處理裝置將在權(quán)利要求1-5中任意一項記載的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片作為使從可見光到太赫茲光的任意帶寬的多個光線的光軸重疊的光學(xué)元件使用。
9.一種檢體信息取得裝置，其特征在于，具有權(quán)利要求1-5中任意一項記載的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片；太赫茲波產(chǎn)生單元；檢體保持單元；分別檢測入射光、透過光和反射光的檢測單元；和處理由所述檢測單元檢測到的信號、取得所述檢體的信息的處理單兀。
10.一種信息通信裝置，其特征在于，具有權(quán)利要求1-5中任意一項記載的太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片；具有太赫茲波發(fā)送元件、朝向接收機發(fā)射太赫茲波的太赫茲波發(fā)送機；具有太赫茲波接收元件、檢測從發(fā)送機被發(fā)射并在空中傳播來的太赫茲波的太赫茲波接收機。
專利摘要目前作為太赫茲帶的光學(xué)元件使用的線柵偏振片價格非常高，而且容易破損，因此對使用或保管的條件有限制。而且，使用基材或母材的線柵、設(shè)置了與柵格垂直相交的橫條部的線柵，存在光學(xué)性能上的問題。本實用新型提供一種太赫茲帶光學(xué)元件用線柵偏振片，具有樹脂基材；在所述樹脂基材上形成的樹脂皮膜；和在所述樹脂皮膜上形成的金屬線，所述樹脂皮膜是在表面具有規(guī)律性凸凹結(jié)構(gòu)、厚度為0.01μm～3μm的光固化性成形體，在0.5Thz～1.5Thz的帶寬中的消光比為20dB以上，所述凸凹結(jié)構(gòu)的規(guī)律是，高度為0.01μm～20μm、至少一個方向的間距在0.01μm～20μm的范圍內(nèi)。
文檔編號G01N21/41GK202267757SQ20112029605
公開日2012年6月6日 申請日期2011年8月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月15日
發(fā)明者橫山宏, 田中裕二 申請人:旭化成電子材料株式會社