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太陽能硅片檢查裝置的制作方法

文檔序號(hào):5912088閱讀:130來源:國知局
專利名稱:太陽能硅片檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及太陽能硅片,尤其涉及一種太陽能硅片檢查裝置。
背景技術(shù)
目前,在太陽能電池硅片的生產(chǎn)過程中,太陽能晶片洗凈后要經(jīng)過操作人員目檢。 在目檢過程中,操作人員需要將晶片進(jìn)行規(guī)格檢查,根據(jù)規(guī)格要求將不良挑出,確定無明顯的物理缺陷后方可進(jìn)入下一步的機(jī)械檢測(cè)。目前檢測(cè)不良硅片的裝置為放大10倍的放大鏡,由于硅片硬度較大,極易磨損放大鏡片,使放大鏡的使用壽命縮短,因此需要研制一種成本低且不易磨損的工具,用來對(duì)太陽能硅片進(jìn)行檢查。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種太陽能硅片檢查裝置,以方便對(duì)太陽能硅片進(jìn)行各項(xiàng)檢驗(yàn)。為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型的技術(shù)方案是太陽能硅片檢查裝置,包括透明的基板,所述基板的板面上設(shè)有亮點(diǎn)和亮線測(cè)量部,包括設(shè)于板面邊緣的刻度線;所述板面上設(shè)有污染測(cè)量部,包括若干個(gè)根據(jù)尺寸大小依次排列的檢驗(yàn)框;所述板面上設(shè)有雜質(zhì)和黑點(diǎn)測(cè)量部,包括填充有顏色的條狀區(qū)域,所述條狀區(qū)域上設(shè)有未填充顏色的若干個(gè)根據(jù)直徑大小依次排列的透明圓點(diǎn),還包括設(shè)于所述板面上的若干個(gè)根據(jù)直徑大小依次排列的有色圓點(diǎn)。作為一種改進(jìn),所述檢驗(yàn)框包括一排根據(jù)尺寸大小依次排列的正方形檢驗(yàn)框和一排根據(jù)尺寸大小依次排列的圓形檢驗(yàn)框。作為一種改進(jìn),在所述雜質(zhì)和黑點(diǎn)測(cè)量部中,所述有色圓點(diǎn)與所述透明圓點(diǎn)一一對(duì)應(yīng),相對(duì)應(yīng)的有色圓點(diǎn)和透明圓點(diǎn)直徑相同。作為一種改進(jìn),所述板面上設(shè)有黑線到硅片邊緣距離測(cè)量部,包括若干個(gè)根據(jù)線寬大小依次排列的有色線條。作為一種改進(jìn),所述有色線條設(shè)于所述有色圓點(diǎn)的一側(cè)且與所述有色圓點(diǎn)一一對(duì)應(yīng),相對(duì)應(yīng)的有色線條的線寬與有色圓點(diǎn)的直徑相同。作為一種改進(jìn),所述板面上設(shè)有微晶數(shù)量測(cè)量部,包括固定面積的檢驗(yàn)面。作為一種改進(jìn),所述檢驗(yàn)面包括兩個(gè)。作為一種改進(jìn),所述兩個(gè)檢驗(yàn)面的形狀分別為長方形和正方形。作為一種改進(jìn),所述兩個(gè)檢驗(yàn)面的面積均為2cm2。由于采用了以上技術(shù)方案,本實(shí)用新型可以方便對(duì)太陽能硅片的質(zhì)量進(jìn)行檢驗(yàn), 檢驗(yàn)方法簡單易行,方便操作人員按照要求進(jìn)行檢片,與使用放大鏡檢片相比,操作方法簡單,降低了檢片過程中的破片率,節(jié)約成本,提高生產(chǎn)效率。

[0014]
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;圖中10-基板;11-刻度線;12-長方形檢驗(yàn)框;13-圓形檢驗(yàn)框;14-條狀區(qū)域; 141-透明圓點(diǎn);15-有色圓點(diǎn);16-有色線條;17-正方形檢驗(yàn)面;18-長方形檢驗(yàn)面;19-標(biāo)貼欄。
具體實(shí)施方式
如圖1所示,太陽能硅片檢查裝置包括有透明材質(zhì)作成的基板10,基板10上設(shè)有亮點(diǎn)和亮線測(cè)量部,包括位于基板10的邊緣部設(shè)有刻度線11,亥Ij度線11用來測(cè)量太陽能硅片在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的亮點(diǎn)、亮線的長度或深度?;?0的板面上設(shè)有污染測(cè)量部,包括用來測(cè)量污染的大小檢驗(yàn)框,太陽能硅片上的水漬的大小和污染塊的形狀不一,因此本實(shí)施例中,檢驗(yàn)框的形狀包括圓形和正方形兩種,長方形檢驗(yàn)框12和圓形的檢驗(yàn)框13皆包括多個(gè)尺寸規(guī)格不同的檢驗(yàn)框,如圖1中所示,長方形檢驗(yàn)框12包括邊長為0. 5mm-10mm的共15個(gè)長方形,15個(gè)長方形根據(jù)尺寸大小依次排列成一排,圓形檢驗(yàn)框13也包括直徑為0. 5mm-10mm的15個(gè)圓,按照直徑大小依次排列,在本實(shí)施例中,為節(jié)省空間,長方形檢驗(yàn)框12從左向右尺寸逐漸減小排列成一排,圓形檢驗(yàn)框13從左到右直徑逐漸增大的排列成一排,長方形檢驗(yàn)框12位于圓形檢驗(yàn)框13的上方。檢驗(yàn)時(shí),例如,要求污染塊的大小不超過2mm,選定邊長或直徑為2mm的檢驗(yàn)框,將基板10覆蓋在太陽能硅片上,若污染塊的形狀為長方形,挪動(dòng)基板10將邊長為2mm的檢驗(yàn)框覆蓋在污染塊上,若污染塊完全位于該檢驗(yàn)框內(nèi),該太陽能硅片為合格品,反之,為不合格
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ΡΠ O本實(shí)施例中,基板10的板面上設(shè)有雜質(zhì)和黑點(diǎn)的測(cè)量部,包括位于檢驗(yàn)框下方且填充有顏色的條狀區(qū)域14,條狀區(qū)域14內(nèi)設(shè)有若干個(gè)未填充顏色的透明圓點(diǎn)141,透明圓點(diǎn)141由左到右依次排列且直徑逐漸增大,條狀區(qū)域14的下方設(shè)有填充有黑色的有色圓點(diǎn) 15,有色圓點(diǎn)15與透明圓點(diǎn)141 一一對(duì)應(yīng),相對(duì)應(yīng)的有色圓點(diǎn)15和透明圓點(diǎn)141的直徑大小相同?;?0上位于有色圓點(diǎn)15下方的位置還設(shè)有黑線到硅片邊緣距離的測(cè)量部,包括有色線條16,有色線條16與有色圓點(diǎn)15和透明圓點(diǎn)141 一一對(duì)應(yīng),且有色線條16的線寬大小與有色圓點(diǎn)15和透明圓點(diǎn)141的直徑相同。有色圓點(diǎn)15和條狀區(qū)域14上的透明圓點(diǎn)141用來檢驗(yàn)太陽能硅片上的黑點(diǎn)或雜質(zhì),例如,產(chǎn)品要求太陽能硅片上的雜質(zhì)會(huì)黑點(diǎn)的直徑不得超過0. 5mm,選定直徑為0. 5mm 的圓點(diǎn)進(jìn)行比對(duì),若黑點(diǎn)的邊緣位于透明圓點(diǎn)內(nèi)部,或黑點(diǎn)的邊緣沒有超出有色圓點(diǎn)的邊界,則該太陽能硅片為合格品,反之,為不合格品。有色線條16用來測(cè)量黑線到硅片邊緣的距離,在的生產(chǎn)過程中,太陽能硅片的邊緣處產(chǎn)生一些黑線,產(chǎn)品要求黑線到邊緣的距離不得超過某一數(shù)值,例如,產(chǎn)品要求黑線到邊緣的距離不超過0. 5mm,選定線寬為0. 5mm的有色線條,若黑線不超出有色線條的寬度, 則為合格品,反之,為不合格品。由于太陽能硅片的表面會(huì)產(chǎn)生微晶,在生產(chǎn)過程中,要求每2cm2的面積內(nèi)微晶的數(shù)量不超過某一數(shù)值,因此基板10上設(shè)有微晶數(shù)量測(cè)量部,包括固定面積的檢驗(yàn)面,用于
4檢測(cè)每2cm2的面積內(nèi)微晶數(shù)量,檢驗(yàn)面包括正方形檢驗(yàn)面17和長方形18檢驗(yàn)面兩種,且面積相同,皆為2cm2,檢驗(yàn)時(shí),將基板10覆蓋在太陽能硅片上,觀察太陽能硅片落在檢驗(yàn)面內(nèi)的微晶的數(shù)量,若微晶數(shù)量小于規(guī)定值,則為合格品,反之為不合格品。檢驗(yàn)裝置的角部設(shè)有標(biāo)貼欄19,方便用戶進(jìn)行儀器分類存檔。由于采用了以上技術(shù)方案,本實(shí)用新型可以方便對(duì)太陽能硅片的質(zhì)量進(jìn)行檢驗(yàn), 檢驗(yàn)方法簡單易行,方便操作人員按照要求進(jìn)行檢片,與使用放大鏡檢片相比,操作方法簡單,降低了檢片過程中的破片率,節(jié)約成本,提高生產(chǎn)效率。以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解,本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制,在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下,本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn),這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求1.太陽能硅片檢查裝置,包括透明的基板,其特征在于所述基板的板面上設(shè)有亮點(diǎn)和亮線測(cè)量部,包括設(shè)于板面邊緣的刻度線;所述板面上設(shè)有污染測(cè)量部,包括若干個(gè)根據(jù)尺寸大小依次排列的檢驗(yàn)框;所述板面上設(shè)有雜質(zhì)和黑點(diǎn)測(cè)量部,包括填充有顏色的條狀區(qū)域,所述條狀區(qū)域上設(shè)有未填充顏色的若干個(gè)根據(jù)直徑大小依次排列的透明圓點(diǎn),還包括設(shè)于所述板面上的若干個(gè)根據(jù)直徑大小依次排列的有色圓點(diǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的太陽能硅片檢查裝置,其特征在于所述檢驗(yàn)框包括一排根據(jù)尺寸大小依次排列的正方形檢驗(yàn)框和一排根據(jù)尺寸大小依次排列的圓形檢驗(yàn)框。
3.如權(quán)利要求1所述的太陽能硅片檢查裝置,其特征在于在所述雜質(zhì)和黑點(diǎn)測(cè)量部中,所述有色圓點(diǎn)與所述透明圓點(diǎn)一一對(duì)應(yīng),相對(duì)應(yīng)的有色圓點(diǎn)和透明圓點(diǎn)直徑相同。
4.如權(quán)利要求1、2或3所述的太陽能硅片檢查裝置,其特征在于所述板面上設(shè)有黑線到硅片邊緣距離測(cè)量部,包括若干個(gè)根據(jù)線寬大小依次排列的有色線條。
5.如權(quán)利要求4所述的太陽能硅片檢查裝置,其特征在于所述有色線條設(shè)于所述有色圓點(diǎn)的一側(cè)且與所述有色圓點(diǎn)一一對(duì)應(yīng),相對(duì)應(yīng)的有色線條的線寬與有色圓點(diǎn)的直徑相同。
6.如權(quán)利要求1、2或3所述的太陽能硅片檢查裝置,其特征在于所述板面上設(shè)有微晶數(shù)量測(cè)量部,包括固定面積的檢驗(yàn)面。
7.如權(quán)利要求6所述的太陽能硅片檢查裝置,其特征在于所述檢驗(yàn)面包括兩個(gè)。
8.如權(quán)利要求7所述的太陽能硅片檢查裝置,其特征在于所述兩個(gè)檢驗(yàn)面的形狀分別為長方形和正方形。
9.如權(quán)利要求8所述的太陽能硅片檢查裝置,其特征在于所述兩個(gè)檢驗(yàn)面的面積均為 2cm2。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種太陽能硅片檢查裝置,包括透明的基板,所述基板的板面上設(shè)有亮點(diǎn)和亮線測(cè)量部,包括設(shè)于板面邊緣的刻度線;所述板面上設(shè)有污染測(cè)量部,包括若干個(gè)根據(jù)尺寸大小依次排列的檢驗(yàn)框;所述板面上設(shè)有雜質(zhì)和黑點(diǎn)測(cè)量部,包括填充有顏色的條狀區(qū)域,所述條狀區(qū)域上設(shè)有未填充顏色的若干個(gè)根據(jù)直徑大小依次排列的透明圓點(diǎn),還包括設(shè)于所述板面上的若干個(gè)根據(jù)直徑大小依次排列的有色圓點(diǎn)。由于采用了以上技術(shù)方案,本實(shí)用新型可以方便對(duì)太陽能硅片的質(zhì)量進(jìn)行檢驗(yàn),檢驗(yàn)方法簡單易行,方便操作人員按照要求進(jìn)行檢片,與使用放大鏡檢片相比,操作方法簡單,降低了檢片過程中的破片率,節(jié)約成本,提高生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)G01B3/04GK202041135SQ20112012435
公開日2011年11月16日 申請(qǐng)日期2011年4月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月25日
發(fā)明者管延平, 陳艷 申請(qǐng)人:宇駿(濰坊)新能源科技有限公司
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