專利名稱：一種中子反射譜儀單色器的調(diào)節(jié)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種具有水平樣品幾何的中子反射譜儀單色器的調(diào)節(jié)裝置，屬于中子反射技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
中子反射技術(shù)是80年代初、中期發(fā)展起來(lái)的中子散射技術(shù)的一個(gè)分支，已經(jīng)成為探測(cè)0. Inm-IOOnm范圍內(nèi)表面和界面結(jié)構(gòu)的一種強(qiáng)有力的手段。中子反射技術(shù)需要波長(zhǎng)為入，帶寬為Δ λ的單色中子束。反應(yīng)堆提供的中子通常都具有連續(xù)的能譜，這種中子源稱為白光中子源。用Bragg反射從白光中子源中獲取單色中子束的晶體稱為晶體單色器。當(dāng)反應(yīng)堆引出的白光中子源以ΘΜ角與晶體的晶面(hkl)相交時(shí)，根據(jù)Bragg定律，反射束的波長(zhǎng)λ和晶面間距dm、散射角2 θ Μ之間的關(guān)系為λ = 2dhklsin θ ΜΟ選擇不同的晶面間距dm或入射角θ M可獲得不同波長(zhǎng)的單色中子束。在中子反射實(shí)驗(yàn)中，最常用的晶體單色器為晶面(00 取向的高定向熱解石墨單色器。因此，為了從白光中子源中獲取滿足中子反射實(shí)驗(yàn)所需波長(zhǎng)λ的中子束，需要調(diào)節(jié)白光中子源與單色器之間的夾角ΘΜ。中子反射技術(shù)通過(guò)測(cè)量樣品反射率隨垂直樣品方向的散射矢量Q(散射矢量Q = 4Jisine/x，其中λ為中子束的波長(zhǎng)，Θ為中子束的入射角即中子束與樣品表面的夾角) 的變化關(guān)系，反映散射長(zhǎng)度密度沿垂直樣品方向的分布，通過(guò)分析反射率曲線得到樣品厚度、散射長(zhǎng)度密度、表面和界面的粗糙度等信息。根據(jù)樣品幾何的不同，中子反射譜儀通?？梢苑譃榫哂兴綐悠穾缀蔚闹凶臃瓷渥V儀和具有垂直樣品幾何的中子反射譜儀兩種。具有垂直樣品幾何的中子反射譜儀適用于固體樣品的測(cè)量，可以通過(guò)旋轉(zhuǎn)固體樣品而保持單色器不動(dòng)實(shí)現(xiàn)入射角度的變化，因而其單色器的調(diào)節(jié)裝置比較簡(jiǎn)單。具有水平樣品幾何的中子反射譜儀不僅適用于固體樣品的測(cè)量，也適用于液體樣品的測(cè)量。由于液體的表面在重力作用下只能保持水平面，因此不能通過(guò)旋轉(zhuǎn)或傾斜樣品來(lái)實(shí)現(xiàn)入射角度的變化。因此， 對(duì)于具有水平樣品幾何的中子反射譜儀，為獲得散射矢量變化量Δ9，中子束的入射角需改變?chǔ)?θ，需要傾斜晶體單色器偏離其反射平面△ Θ/2角來(lái)提供中子反射實(shí)驗(yàn)用的中子束。另外，液體的散射長(zhǎng)度密度較低，導(dǎo)致中子反射臨界角較小，且反射率較低，需要高強(qiáng)度的中子束。為提高中子反射實(shí)驗(yàn)所用的中子束強(qiáng)度，提高測(cè)試效率，在白光中子源通量一定的情況下，需要最大范圍的截取白光中子源，因此需要精確調(diào)整晶體單色器的幾何中心與白光中子源的相對(duì)位置。目前國(guó)內(nèi)沒(méi)有關(guān)于具有水平樣品幾何的中子反射譜儀的單色器調(diào)節(jié)裝置的報(bào)道。國(guó)際上最先進(jìn)的是美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(National Institute of Standards andTechnology)中子研究中心的水平樣品幾何中子反射譜儀，但未檢索到這臺(tái)譜儀使用的單色器調(diào)節(jié)裝置及方法的公開(kāi)報(bào)道。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種具有水平樣品幾何的中子反射譜儀單色器的調(diào)節(jié)裝置。本實(shí)用新型提供的具有水平樣品幾何的中子反射譜儀單色器的調(diào)節(jié)裝置包括支撐單色器的支撐塊、基座、精密角度位移臺(tái)、精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)、精密水平位移臺(tái)和精密高度位移臺(tái)；所述精密角度位移臺(tái)由固定座a和與所述固定座a活動(dòng)連接的可沿所述固定座a的弧形軌道進(jìn)行擺動(dòng)的精密角度位移弧形臺(tái)面組成；所述精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)由固定座b和設(shè)置于所述固定座b上的可旋轉(zhuǎn)的精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面組成；所述精密水平位移臺(tái)由固定座c和設(shè)置于所述固定座c上的可水平移動(dòng)的精密水平位移臺(tái)面組成；所述精密高度位移臺(tái)由固定座d和設(shè)置于所述固定座d上的可升降的精密高度位移臺(tái)面組成；所述支撐塊設(shè)于所述基座上；所述基座設(shè)于所述精密角度位移弧形臺(tái)面上，所述固定座a設(shè)于所述精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面上，所述固定座b設(shè)于所述精密水平位移臺(tái)面上，所述固定座c設(shè)于所述精密高度位移臺(tái)面上。上述的調(diào)節(jié)裝置中，所述單色器的入射面與水平面成90°角；所述單色器的幾何中心到所述基座的底面的高度等于所述精密角度位移臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線到所述精密角度位移弧形臺(tái)面的高度；所述精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面的回轉(zhuǎn)軸線通過(guò)所述單色器的幾何中心；所述精密水平位移臺(tái)的中軸線與所述精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面的回轉(zhuǎn)軸線垂直相交；所述精密高度位移臺(tái)的垂直中線與所述精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面的回轉(zhuǎn)軸線重合，所述精密高度位移臺(tái)的垂直中線與所述精密水平位移臺(tái)的中軸線垂直相交。上述的調(diào)節(jié)裝置中，所述精密角度位移臺(tái)的精密角度位移弧形臺(tái)面通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與能夠驅(qū)動(dòng)該精密角度位移弧形臺(tái)面轉(zhuǎn)動(dòng)的步進(jìn)電機(jī)相連；所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)可為現(xiàn)有的能夠?qū)崿F(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)功能的任何機(jī)構(gòu)。上述的調(diào)節(jié)裝置中，所述精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)的精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面通過(guò)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與能夠驅(qū)動(dòng)該精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面旋轉(zhuǎn)的步進(jìn)電機(jī)相連；所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)可為現(xiàn)有的能夠?qū)崿F(xiàn)旋轉(zhuǎn)功能的任何機(jī)構(gòu)。上述的調(diào)節(jié)裝置中，所述精密水平位移臺(tái)的精密水平位移臺(tái)面通過(guò)移動(dòng)機(jī)構(gòu)與能夠驅(qū)動(dòng)該精密水平位移臺(tái)面水平位移的步進(jìn)電機(jī)相連；所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)可為現(xiàn)有的能夠?qū)崿F(xiàn)移動(dòng)功能的任何機(jī)構(gòu)。上述的調(diào)節(jié)裝置中，所述精密高度位移臺(tái)的精密高度位移臺(tái)面通過(guò)升降機(jī)構(gòu)與能夠驅(qū)動(dòng)該精密高度位移臺(tái)面升降的步進(jìn)電機(jī)相連；所述升降機(jī)構(gòu)可為現(xiàn)有的能夠?qū)崿F(xiàn)升降功能的任何機(jī)構(gòu)。上述的調(diào)節(jié)裝置中，所述精密角度位移臺(tái)的角度精度可為士0.0015°。上述的調(diào)節(jié)裝置中，所述精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)的角度精度可為士0.005°。上述的調(diào)節(jié)裝置中，所述精密水平位移臺(tái)的定位精度可為士3μπι。上述的調(diào)節(jié)裝置中，所述精密高度位移臺(tái)的定位精度可為士3μπι。上述的調(diào)節(jié)裝置中，所述單色器可為高定向熱解石墨單色器，如晶面(00 取向的高定向熱解石墨單色器。上述的調(diào)節(jié)裝置中，可以根據(jù)中子反射實(shí)驗(yàn)中子束強(qiáng)度的需要和反應(yīng)堆引出的白光中子源束流面積，可將所述單色器設(shè)為多個(gè)或多組。利用上述調(diào)節(jié)裝置來(lái)調(diào)整單色器的方法，包括如下步驟(1)調(diào)節(jié)所述精密高度位移臺(tái)面和精密水平位移臺(tái)面，使所述單色器的幾何中心與白光中子源的中心重合；[0021](2)將所述精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)的精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面繞所述回轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)，并保持所述單色器的幾何中心位置不變；(3)將所述精密角度位移臺(tái)的精密角度位移弧形臺(tái)面繞所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸線旋轉(zhuǎn)，并保持所述單色器的幾何中心位置不變，則得到不同角度的單色中子束。本實(shí)用新型提供的調(diào)節(jié)裝置具有簡(jiǎn)單可靠的空間幾何關(guān)系的結(jié)構(gòu)，能夠清晰地進(jìn)行波長(zhǎng)的選擇和單色中子束角度的改變，定位精度高，易于獲取高強(qiáng)度的中子束。

圖1為本實(shí)用新型的調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型的調(diào)節(jié)裝置的使用狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中各標(biāo)記如下1高定向熱解石墨單色器、2支撐塊、3基座、4精密角度位移弧形臺(tái)面、5固定座a、6精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面、7固定座b、8精密水平位移臺(tái)面、9固定座c、10精密高度位移臺(tái)面、11固定座d。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說(shuō)明，但本實(shí)用新型并不局限于以下實(shí)施例。如圖1所示，本實(shí)施例的調(diào)節(jié)裝置包括垂直支持晶面(00 取向的高定向熱解石墨單色器1的支撐塊2、基座3、精密角度位移臺(tái)(角度精度為士0. 0015° )、精密旋轉(zhuǎn)臺(tái) (角度精度為士0.005° )、精密水平位移臺(tái)(定位精度為士3μπι)和精密高度位移臺(tái)(定位精度為士3μπι)；精密角度位移臺(tái)由固定座a5和與沿該固定座a5活動(dòng)連接的可沿固定座a5的弧形軌道進(jìn)行擺動(dòng)的精密角度位移弧形臺(tái)面4組成，精密角度位移弧形臺(tái)面4通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與能夠驅(qū)動(dòng)其轉(zhuǎn)動(dòng)的過(guò)步進(jìn)電機(jī)(圖中未示出)相連接，用于進(jìn)行調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)動(dòng)角度； 精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)由固定座b7和設(shè)置于該固定座b7上的可旋轉(zhuǎn)的精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面6組成，精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面6通過(guò)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與能夠驅(qū)動(dòng)其旋轉(zhuǎn)的步進(jìn)電機(jī)(圖中未示出)相連接，用于進(jìn)行調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)角度；精密水平位移臺(tái)由固定座c9和設(shè)置于該固定座c9上的可水平移動(dòng)的精密水平位移臺(tái)面8組成，精密水平位移臺(tái)面8通過(guò)位移機(jī)構(gòu)與能夠驅(qū)動(dòng)其水平移動(dòng)的步進(jìn)電機(jī) (圖中未示出)相連接，用于進(jìn)行調(diào)節(jié)水平位移；精密高度位移臺(tái)由固定座dll和設(shè)置于該固定座dll上的可升降的精密高度位移臺(tái)面10組成，精密高度位移臺(tái)面10通過(guò)升降機(jī)構(gòu)與能夠驅(qū)動(dòng)其升降的步進(jìn)電機(jī)(圖中未示出)相連接，用于進(jìn)行調(diào)節(jié)高度；支撐塊2設(shè)于3 基座上；基座3剛性固定于精密角度位移弧形臺(tái)面4上，單色器1的幾何中心0'到基座3 的底面的高度等于精密角度位移臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線到精密角度位移弧形臺(tái)面4的高度，保證精密角度位移臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線CC'通過(guò)高定向熱解石墨單色器1的水平中線AA'；固定座a5 剛性固定于精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面6上，精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面6的回轉(zhuǎn)軸線DD'通過(guò)單色器1的幾何中心 0'；固定座b7固定于精密水平位移臺(tái)面8上，精密水平位移臺(tái)的中軸線EE'與精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面6的回轉(zhuǎn)軸線DD'垂直相交；固定座c9固定于精密高度位移臺(tái)面10上，精密高度位移臺(tái)的ζ方向垂直中線FF'與精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面4的回轉(zhuǎn)軸線DD'重合，精密高度位移臺(tái)的ζ 方向垂直中線FF'與精密水平位移臺(tái)的中軸線EE'垂直相交；固定座dll安裝在幾何中子反射譜儀(圖中未示出)上，使得精密水平位移臺(tái)的中軸線EE'沿著χ軸方向。[0029]上述的調(diào)節(jié)裝置中，單色器還可以為鍺單晶中子單色器或鈹單晶中子單色器；精密角度位移臺(tái)4和精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)5的角度精度可以根據(jù)需要進(jìn)行調(diào)節(jié)；精密水平位移臺(tái)6和精密高度位移臺(tái)7的定位精度可以根據(jù)需要進(jìn)行調(diào)節(jié)；轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、位移機(jī)構(gòu)和升降機(jī)構(gòu)分別可為現(xiàn)有的能夠?qū)崿F(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、水平移動(dòng)和升降功能的任何機(jī)構(gòu)。使用上述調(diào)節(jié)裝置時(shí)，如圖2所示，首先運(yùn)行精密高度位移臺(tái)7和精密水平位移臺(tái) 6，調(diào)節(jié)單色器1的幾何中心0'與白光中子源的中心0重合；給精密高度位移臺(tái)7的步進(jìn)電機(jī)通電，帶動(dòng)精密高度位移臺(tái)7的精密細(xì)牙滑動(dòng)絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)及與精密細(xì)牙滑動(dòng)絲杠配合的螺母及下楔形塊移動(dòng)，從而帶動(dòng)與下楔形塊以斜面精密配合的上楔形塊及高度移動(dòng)工作臺(tái)面進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng)。安裝在精密高度位移臺(tái)7的步進(jìn)電機(jī)尾部的編碼器對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)角度進(jìn)行直接測(cè)量，通過(guò)計(jì)算精密細(xì)牙絲杠螺距尺寸及斜面的幾何關(guān)系得到精密高度位移臺(tái)7的實(shí)際位移量，定位精度為士3μπι;同時(shí)給精密水平位移臺(tái)6的步進(jìn)電機(jī)通電，帶動(dòng)精密水平位移臺(tái)6的滾珠絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)及與滾珠絲杠配合的螺母及水平位移工作臺(tái)面水平移動(dòng)。安裝在精密水平位移臺(tái)6的側(cè)面的光柵尺直接測(cè)量水平位移量，定位精度為士3μπι;其次運(yùn)行精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)5 ；根據(jù)Bragg定律得到白光中子源與高定向熱解石墨單色器1在水平面內(nèi)的夾角 θ M = 45°，即經(jīng)單色器1反射后起飛的單色中子束波長(zhǎng)A = 4.75Α，與白光中子源的夾角為 2Θμ = 90° ；給精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)5的步進(jìn)電機(jī)通電，帶動(dòng)精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)5的蝸桿蝸輪傳動(dòng)，引起精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)5的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)面及安裝其上的精密角度位移臺(tái)4、基座3、支撐塊2、單色器1繞著旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)面的回轉(zhuǎn)軸線DD'旋轉(zhuǎn)。安裝在精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)5的步進(jìn)電機(jī)尾部的編碼器直接測(cè)量轉(zhuǎn)角，經(jīng)過(guò)蝸桿蝸輪1 180的減速比，得到旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)面的實(shí)際轉(zhuǎn)角，角度精度可達(dá)到士 0.005° ；最后運(yùn)行精密角度位移臺(tái)4，提供給中子反射實(shí)驗(yàn)用的單色中子束的角度在θ =-10° 10°范圍內(nèi)變化，具體調(diào)節(jié)過(guò)程如下精密角度位移臺(tái)4的傾斜工作臺(tái)面保持水平，精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)5的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)面的回轉(zhuǎn)軸線DD'通過(guò)單色器的豎直中線BB'，如圖1所示，根據(jù)鏡面反射知，經(jīng)單色器1反射后的波長(zhǎng)A = 4.75Α的單色中子束平行χ軸飛行，即θ =0° ；單色器1繞著精密角度位移臺(tái)4的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線CC'旋轉(zhuǎn)Δ θ = -5°，經(jīng)單色器1反射后的單色中子束角度改變2 Δ θ =-10° ；當(dāng)單色器1繞著精密角度位移臺(tái)4的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線CC'旋轉(zhuǎn)Δ θ =5°，經(jīng)單色器 1反射后的單色中子束角度改變2 Δ θ =10°。單色器1繞著精密角度位移臺(tái)4的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線CC'旋轉(zhuǎn)Δ θ角，經(jīng)單色器反射后的單色中子束角度改變2Δ θ，對(duì)于任意角度的波長(zhǎng) / = 4.75Α的單色中子束都位于xOz平面內(nèi)；給精密角度位移臺(tái)4的步進(jìn)電機(jī)通電，帶動(dòng)精密角度位移臺(tái)4中的蝸桿蝸輪傳動(dòng)， 使精密角度位移臺(tái)4的傾斜工作臺(tái)面沿著蝸輪的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線CC'旋轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)基座3、支撐塊2、單色器1繞著精密角度位移臺(tái)4的轉(zhuǎn)動(dòng)軸CC'旋轉(zhuǎn)。安裝在精密角度位移臺(tái)4中的蝸桿軸端的編碼器讀出蝸桿的轉(zhuǎn)角，根據(jù)蝸桿蝸輪1 304減速比得到傾斜工作臺(tái)面的旋轉(zhuǎn)角度，角度精度士0.0015°。
權(quán)利要求1.中子反射譜儀單色器的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述裝置包括支撐單色器的支撐塊、基座、精密角度位移臺(tái)、精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)、精密水平位移臺(tái)和精密高度位移臺(tái)；所述精密角度位移臺(tái)由固定座a和與所述固定座a活動(dòng)連接的可沿所述固定座a的弧形軌道進(jìn)行擺動(dòng)的精密角度位移弧形臺(tái)面組成；所述精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)由固定座b和設(shè)置于所述固定座b上的可旋轉(zhuǎn)的精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面組成；所述精密水平位移臺(tái)由固定座c和設(shè)置于所述固定座c上的可水平移動(dòng)的精密水平位移臺(tái)面組成；所述精密高度位移臺(tái)由固定座d和設(shè)置于所述固定座d 上的可升降的精密高度位移臺(tái)面組成；所述支撐塊設(shè)于所述基座上；所述基座設(shè)于所述精密角度位移弧形臺(tái)面上，所述固定座a設(shè)于所述精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面上，所述固定座b設(shè)于所述精密水平位移臺(tái)面上，所述固定座c設(shè)于所述精密高度位移臺(tái)面上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述單色器的入射面與水平面成 90°角；所述單色器的幾何中心到所述基座的底面的高度等于所述精密角度位移臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線到所述精密角度位移弧形臺(tái)面的高度；所述精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面的回轉(zhuǎn)軸線通過(guò)所述單色器的幾何中心；所述精密水平位移臺(tái)的中軸線與所述精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面的回轉(zhuǎn)軸線垂直相交；所述精密高度位移臺(tái)的垂直中線與所述精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面的回轉(zhuǎn)軸線重合，所述精密高度位移臺(tái)的垂直中線與所述精密水平位移臺(tái)的中軸線垂直相交。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述精密角度位移臺(tái)的精密角度位移弧形臺(tái)面通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與能夠驅(qū)動(dòng)該精密角度位移弧形臺(tái)面轉(zhuǎn)動(dòng)的步進(jìn)電機(jī)相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)的精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面通過(guò)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與能夠驅(qū)動(dòng)該精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)面旋轉(zhuǎn)的步進(jìn)電機(jī)相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述精密水平位移臺(tái)的精密水平位移臺(tái)面通過(guò)移動(dòng)機(jī)構(gòu)與能夠驅(qū)動(dòng)該精密水平位移臺(tái)面水平位移的步進(jìn)電機(jī)相連。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述精密高度位移臺(tái)的精密高度位移臺(tái)面通過(guò)升降機(jī)構(gòu)與能夠驅(qū)動(dòng)該精密高度位移臺(tái)面升降的步進(jìn)電機(jī)相連。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)的角度精度為士0.005° ；所述精密角度位移臺(tái)的角度精度為士0.0015°。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述精密水平位移臺(tái)的定位精度為士3 μ m;所述精密高度位移臺(tái)的定位精度為士3μπι。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述單色器為高定向熱解石墨單色器。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種具有水平樣品幾何的中子反射譜儀單色器的調(diào)節(jié)裝置。該調(diào)節(jié)裝置包括上下依次固定連接的單色器、支撐塊、基座、精密角度位移臺(tái)、精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)、精密水平位移臺(tái)和精密高度位移臺(tái)。本實(shí)用新型的調(diào)節(jié)裝置能夠清晰地進(jìn)行波長(zhǎng)的選擇和單色中子束角度的改變，定位精度高，易于獲取高強(qiáng)度的中子束。
文檔編號(hào)G01T3/00GK201945692SQ20112007100
公開(kāi)日2011年8月24日 申請(qǐng)日期2011年3月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月17日
發(fā)明者張紅霞, 程賀, 袁光萃, 韓志超 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院化學(xué)研究所