專利名稱:一種光學(xué)透鏡測污裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及光學(xué)儀器應(yīng)用領(lǐng)域,是一種基于光后向散射理論對光學(xué)透鏡表面污染進(jìn)行自動(dòng)監(jiān)測的裝置,適用于在外場在線運(yùn)行的光學(xué)儀器的透鏡污染測量。
背景技術(shù):
目前,很多光學(xué)儀器在外場安裝使用,進(jìn)行氣象、環(huán)境保護(hù)、生態(tài)通量、光通信等領(lǐng)域的在線測量。隨之而來的問題是由于光學(xué)透鏡暴露在外場,會(huì)受到灰塵或其它污染物的污染,透鏡鏡面的清潔度下降,透射率減小,導(dǎo)致接收或發(fā)射的光強(qiáng)變?nèi)酰绊懙綔y量結(jié)果, 嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致儀器無法正常工作。目前,還沒有有效的方法能自動(dòng)測量出透鏡是否受到污染,以及污染的程度,主要靠人工定時(shí)巡查,通過目測觀察透鏡的污染情況。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的問題是一種光學(xué)透鏡測污裝置,通過測量光的后向散射的強(qiáng)度變化,來判斷光學(xué)儀器透鏡是否受到了污染,并在污染嚴(yán)重時(shí)提供報(bào)警,告知需要進(jìn)行清潔維護(hù)。本發(fā)明解決技術(shù)問題采用如下技術(shù)方案一種光學(xué)透鏡測污裝置,包括光電信號探測部分和測量控制電路,所述光電信號探測部分由LED光源、PIN探測器、濾光片、固定支架構(gòu)成;LED光源通過固定支架安裝在光學(xué)儀器內(nèi)部被測透鏡后面中心位置,LED光源的發(fā)射方向指向透鏡;所述探測器采用PIN光電二極管,通過固定支架安裝在被測透鏡后面中心位置,位于LED光源旁,探測器面源方向朝向透鏡;濾光片粘在探測器面源前端,濾除非 LED光源波段的雜散光;LED光源發(fā)出光照射在透鏡面上,透鏡表面的塵埃等污染物會(huì)產(chǎn)生后向散射光,探測器接收透鏡面的后向散射光信號,該信號經(jīng)過測量控制電路的放大、處理后得到被測透鏡面受污染程度,并判斷是否需要輸出報(bào)警信號。所述測量控制電路包括單片機(jī)、光源驅(qū)動(dòng)電路,前置放大電路、濾波電路、信號解調(diào)電路、模數(shù)轉(zhuǎn)換電路、數(shù)據(jù)輸出電路、存儲(chǔ)器電路;其中LED光源驅(qū)動(dòng)電路,用于提供穩(wěn)定的LED光源穩(wěn)定工作電流,光源的開啟、關(guān)閉由單片機(jī)進(jìn)行控制。開啟時(shí),采用調(diào)制電路對光源進(jìn)行調(diào)制,在工作狀態(tài)下輸出的是2. 4K的脈沖光;前置放大電路采用高精度的運(yùn)放,型號為0PA602,將光電探測器的電流信號轉(zhuǎn)換成電壓信號,由二級放大電路放大;濾波電路,用于濾去不在調(diào)制波段上的干擾信號,由運(yùn)放TL084構(gòu)成的二階壓控電壓源帶通濾波電路,把濾波網(wǎng)絡(luò)接在運(yùn)放的同相輸入端,帶通范圍為2300-2500HZ,剛好覆蓋了調(diào)制信號所處的頻帶;信號解調(diào)電路,用于完成對信號的解調(diào)以及放大,采用有效值檢波的方式對信號進(jìn)行解調(diào),采用專用芯片AD763 ;模數(shù)轉(zhuǎn)換電路,用于把采集到的后向散射光信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字量;
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RS-232通信接口電路,用于實(shí)現(xiàn)將透鏡污染數(shù)據(jù)上傳到監(jiān)控計(jì)算機(jī)上,以便后臺(tái)處理;單片機(jī)負(fù)責(zé)整個(gè)測量系統(tǒng)的控制功能,協(xié)調(diào)各個(gè)部分,完成測量過程。包括開啟測量光源、采集控制、模數(shù)轉(zhuǎn)化、判斷污染程度及輸出報(bào)警信號。單片機(jī)啟動(dòng)測量時(shí),首先進(jìn)行系統(tǒng)初始化,再輸出控制信號,驅(qū)動(dòng)電路開啟LED光源,并加上脈沖調(diào)制,形成高頻脈沖光,用來去除雜散光的影響;照在透鏡表面的污染物產(chǎn)生后相散射光,被探測器接收,轉(zhuǎn)化為電流信號,并經(jīng)過前置放大電路放大;經(jīng)過放大的信號通過濾波電路,濾除噪聲信號,并通過解調(diào)電路進(jìn)行信號解調(diào),得到后相散射信號強(qiáng)度, 用V表示。在單片機(jī)的控制下,通過模數(shù)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號進(jìn)行存儲(chǔ),利用一元線性回歸方程 T = kV+b(k是比例系數(shù)、b是方程截距)求得透鏡的透過率T,當(dāng)透過率T超過警戒閥值, 即透鏡表面污染程度被認(rèn)為超過警戒閥值時(shí),通過RS232串口電路輸出報(bào)警信號,提醒需要進(jìn)行透鏡清潔。本發(fā)明的原理本發(fā)明是基于Mie散射理論,對透鏡面上覆蓋的污染物進(jìn)行后向散射光強(qiáng)的測量,其強(qiáng)度大小與透鏡面上污染物的堆積濃度相關(guān),可以得到透鏡的透過率, 反映出透鏡的污染程度。后向散射測量透鏡污染的原理如圖1,強(qiáng)度為I0的入射光通過透鏡中的污染顆粒后,光線減弱,鏡面上的污染顆粒將其散射到各個(gè)方向,對于與入射角方向夾角在90°到 270°范圍的這部分散射光被稱為后向散射光,如圖2。假設(shè)散射粒子為球形的,其半徑r與光的波長λ的比例關(guān)系,一股使用衍射參數(shù)P表示。P為顆粒周長與光的波長之比,即 P = 2πΓ/λ。顆粒散射光的特性主要取決于衍射參數(shù)P。可以劃分出三個(gè)基本范圍P << 1、P 1、P >> 1。每種范圍均有其顯著的特點(diǎn)。如果P ^ 1,散射光強(qiáng)度用Mie 氏方程計(jì)算。一股的灰塵是由于物體粉碎而產(chǎn)生和分散到空氣中的微粒,但成分與生成前的物質(zhì)相同,一股都在幾百nm到幾u(yù)m范圍內(nèi),基本上與常用的探測光波長處于同一數(shù)量級別。所以,可以用Mie散射理論來計(jì)算。根據(jù)Mie散射理論,球形顆粒光散射的完備分析解,可表述為以下方程
TIpac (0) = ^1^,0) + 1^0)]( 1)式中Ipa。( θ )- θ方向散射光的強(qiáng)度(按入射光的強(qiáng)度單位計(jì)算),R-觀察點(diǎn)至顆粒間的距離;λ -探測光波長;η-折射率;ρ -衍射參數(shù);ijp,η,θ )-垂直于散射平面的偏振散射光強(qiáng)度;i2(p,n, θ )-平行于散射平面的偏振散射光強(qiáng)度。這時(shí)若透鏡單位表面內(nèi)的顆粒數(shù)為N,即透鏡面上污染物的堆積濃度。這里用顆粒的平均粒徑來表示散射體中顆粒的粒徑分布,在某一方面向上的散射強(qiáng)度,就是散射體中個(gè)個(gè)粒子在這一方向上的散射強(qiáng)度的相加,那么當(dāng)光入射到一個(gè)單位散射體上時(shí),則在距離為R處的散射光強(qiáng)
In (Θ) = ^[/; (Α η, θ) + h (A η, θ)](2 )N-單位體積內(nèi)的粒子數(shù);式中,入射波長λ、入射光強(qiáng)Ici、探測距離R、被測粒徑的衍射參數(shù)P、折射率η是確定時(shí),后相散射光強(qiáng)的強(qiáng)度In(180° )與鏡面上堆積的粒子的濃度N成正比
/,(180°) = ^Γ/; (ΑIBO0) +/2 (Α ,180°)](3 )而透過透鏡的光強(qiáng)為,S卩θ =0°
姻=裝[如 0。)Η(Α ,0。)]⑷所以
/“0。)_ h(p,n,0°) + l2(p,n,00)⑴ /“180。)Z1 (A ,180。) + ,2( A ,180。)1即In (0° )=1(^1^180° )(6)透鏡的透過率可以表示為
/ (0°) K, */w(l80°), \
Κλ其中,I2 =T1為常量。從公式(7)可以看出,通過后相散射光強(qiáng)In(180° )與透鏡的透過率T成比例關(guān)系,它直接反應(yīng)出了透鏡受污染的程度,這就是用光后向散射法測量透鏡面污染的原理。因此,通過實(shí)驗(yàn)標(biāo)定,可以得到接收電壓強(qiáng)度V關(guān)于透鏡透過率的線性回歸方程T = kV+b(8)其中T-透鏡透過率;V-光電探測器的轉(zhuǎn)換電壓;k_是比例系數(shù);b_是方程截距。探測器與光源的位置保證了 探測器面源上可以接收到光源照射到透鏡面上的 180°后相散射光,公式(8)是單片機(jī)計(jì)算透過率的基本算法,給出了后向散射光強(qiáng)與透過率的確定關(guān)系,能夠判斷出鏡面的受污染的程度。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于(1)本發(fā)明利用Mie散射理論后向散射光強(qiáng)與透鏡透過率有很好的線性關(guān)系,通過測量后向光散射強(qiáng)度,判斷光學(xué)透鏡污染情況,實(shí)現(xiàn)了光學(xué)儀器的光學(xué)透鏡污染自動(dòng)監(jiān)測,靈敏度高、結(jié)構(gòu)簡單、易于安裝,為外場光學(xué)儀器的正常使用保障;(2)本發(fā)明中,LED光源驅(qū)動(dòng)電路實(shí)現(xiàn)了恒流供電,保證LED光源輻射出穩(wěn)定的光強(qiáng),保證測量的可靠性,并且通過脈沖發(fā)生電路實(shí)現(xiàn)光源高頻調(diào)制,避免了外界雜散光的干擾;(3)本發(fā)明中,探測器前端加入了濾光片,避免了外界雜散光的干擾;(4)本發(fā)明中,測污過程完全受到單片機(jī)控制,可以避免干擾光學(xué)儀器的正常使用;(5)本發(fā)明探測器及光源體積小、安裝簡易,安裝后不影響光學(xué)儀器本身的光學(xué)系統(tǒng)。
圖1為本發(fā)明的后向散射光信號探測部分組成框圖;圖2為本發(fā)明原理示意圖;圖3為本發(fā)明的測量控制電路組成框圖;圖4a、4b和如為本發(fā)明的電路原理圖;圖5為本發(fā)明的單片機(jī)實(shí)現(xiàn)流程圖;圖6為后相散射信號強(qiáng)度V與透過率T關(guān)系。
具體實(shí)施例方式如圖1所示,本發(fā)明后向散射光信號探測部分包括LED光源1、濾光片2、固定支架3、探測器4構(gòu)成,LED安裝儀器內(nèi)部透鏡后方中心位置,發(fā)光的方向指向透鏡;探測器采用PIN光電二極管,通過固定支架固定在被測透鏡后方中心位置,位于光源旁,探測器面源指向透鏡表面。濾光片固定在探測器面源前端,濾除雜散光的影響。如圖3所示,本發(fā)明的測量控制電路組成包括光源驅(qū)動(dòng)電路、前置放大電路、濾波電路、信號解調(diào)電路、模數(shù)轉(zhuǎn)換電路、單片機(jī)、輸出接口電路、存儲(chǔ)器電路。其中LED光源驅(qū)動(dòng)電路,用于提供穩(wěn)定的LED光源穩(wěn)定工作電流,光源的開啟、關(guān)閉由單片機(jī)進(jìn)行控制。開啟時(shí),采用調(diào)制電路對光源進(jìn)行調(diào)制,在工作狀態(tài)下輸出的是2. 4K的脈沖光。前置放大電路采用高精度的運(yùn)放Al,將光電探測器的電流信號轉(zhuǎn)換成電壓信號, 由二級放大電路A2A放大。濾波電路,用于濾去不在調(diào)制波段上的干擾信號,運(yùn)放A2B構(gòu)成的二階壓控電壓源帶通濾波電路,把濾波網(wǎng)絡(luò)接在集成運(yùn)放的同相輸入端,濾波范圍為 2300-2500HZ,剛好覆蓋了調(diào)制信號所處的頻帶。信號解調(diào)電路,用于完成對信號的解調(diào)以及放大,采用芯片AD763對信號檢波。模數(shù)轉(zhuǎn)換電路,用于把采集到的后向散射光信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字量。RS-232通信接口電路,用于實(shí)現(xiàn)將透鏡面污染程度的數(shù)據(jù)上傳到監(jiān)控計(jì)算機(jī)上, 以便后臺(tái)處理。單片機(jī)負(fù)責(zé)整個(gè)測量系統(tǒng)的控制功能,協(xié)調(diào)各個(gè)部分,完成測量過程,包括開啟測量光源,進(jìn)行采集控制,模數(shù)轉(zhuǎn)化,判斷污染程度及輸出報(bào)警信號;所述單片機(jī)啟動(dòng)測量程序,首先進(jìn)行系統(tǒng)初始化。通過控制光源驅(qū)動(dòng)電路,輸出光功率穩(wěn)定的光強(qiáng),并進(jìn)行了脈沖調(diào)制,調(diào)制頻率為2. 4K,波形為方波,形成高頻脈沖光,用來去除雜散光的影響。同時(shí),照在透鏡表面的污染物產(chǎn)生后相散射光,被探測器接收,轉(zhuǎn)化為電流信號,通過前置放大電路放大得到電壓信號進(jìn)行交流二次放大,經(jīng)過濾波電路濾除非
6測量光引起的干擾信號,并通過解調(diào)電路進(jìn)行信號解調(diào),得到后相散射信號強(qiáng)度。在單片機(jī)的控制下,通過模數(shù)轉(zhuǎn)電路換成數(shù)字信號進(jìn)行存儲(chǔ)記錄,用V表示,利用一元線性回歸方程 (8),求透鏡的透過率T的線性回歸方程T = kV+b,(k是比例系數(shù)、b是方程截距)(8)對該裝置的實(shí)驗(yàn)中首先,在鏡頭表面均勻的噴上一層灰塵粒子時(shí),由于粒子對光的后向散射,原本低電位的信號產(chǎn)生了一個(gè)高電位的信號,隨著將粒子漸漸吹去,信號電位又漸漸趨于降低,這就驗(yàn)證了其高靈敏度特性;然后,在鏡頭表面均勻的噴上一層不同厚度的灰塵粒子,模擬透鏡在外界不同的受到污染的狀態(tài),并測量其透過率T、后相散射光信號強(qiáng)度V,實(shí)驗(yàn)中,分別測量了透過率在1、0. 86,0.7,0. 52四個(gè)點(diǎn),對應(yīng)的后向散射光強(qiáng)度是 0. 2V、1. 16V、2. 84V、5. 04V。曲線如圖6,橫坐標(biāo)是后向散射光信號的強(qiáng)度,縱坐標(biāo)是測量出得透鏡透過率,結(jié)果顯示后向散射信號強(qiáng)度與鏡頭透過率具有很好的線性關(guān)系。利用一元線性回歸方程,得到電信號強(qiáng)度V關(guān)于透鏡的透過率T的線性回歸方程 T = -0.8976*V+0.9658??梢钥闯?,強(qiáng)度與濃度的比值系數(shù)k為-0. 8976,方程截距b是 0.9658。當(dāng)透過率低于50%時(shí),透鏡的污染程度相當(dāng)嚴(yán)重了,不需進(jìn)行計(jì)算了。如圖5所示,本發(fā)明中采用單片機(jī)89C52負(fù)責(zé)整個(gè)系統(tǒng)的控制功能,協(xié)調(diào)各個(gè)部分工作。系統(tǒng)上電或復(fù)位時(shí),首先進(jìn)行初始化操作,主要包括CPU工作時(shí)鐘、A/D電路、串口接口電路、存儲(chǔ)器初始化等操作??刂崎_啟光源,等光源穩(wěn)定后讀取后向光強(qiáng)值,經(jīng)過AD轉(zhuǎn)換后與原來的基準(zhǔn)值比較,如果后向散射光強(qiáng)度增加,說明有光學(xué)鏡頭上出現(xiàn)污染,根據(jù)前述的公式8判斷污染程度。具體實(shí)施中的電路結(jié)構(gòu)如圖如,4b,如所示,包括將光源LED的正極接端子X7,負(fù)極接地;89C52單片機(jī)啟動(dòng)后,完成初始化后,通過接線端LED_C0NTR的高低電平控制LED的開啟或關(guān)閉,當(dāng)LED_C0NTR為低時(shí),功率管處于關(guān)閉狀態(tài),這時(shí)LED不發(fā)光,當(dāng)進(jìn)入測量周期,單片機(jī)輸出高電平,LED_C0NTR為高,由CD4047 產(chǎn)生的2. 4K的頻率可以通過邏輯芯片DlC加載到后續(xù)的恒流源電路上。其中,2. 4K的頻率是由芯片⑶4047產(chǎn)生的,它可以輸出單穩(wěn)態(tài)的高低電平。在管腳1和3,管腳2和3之間分別接一個(gè)電容和電阻,電容C2和電阻R30的值決定了 CD4047單穩(wěn)態(tài)時(shí)輸出的脈沖寬度。 把管腳4、8和14接到高電平上,管腳5、7、9和12連接到低電平上,管腳6作為⑶4047單穩(wěn)態(tài)輸出的激勵(lì)信號,下降沿激發(fā)管腳10和11進(jìn)入單穩(wěn)態(tài)狀態(tài)。LED的功率管V3采用了大功率MOSFET管IRF640,與運(yùn)放A4B構(gòu)成恒定LED發(fā)光的壓控電流源。將PIN光電二極管正端掛地,負(fù)端接入TP6端,信號前置放大電路和信號探測器直接相連,采用低噪聲前置放大運(yùn)放Al (OPAeO》,該運(yùn)放其噪聲小、穩(wěn)定性好,并且符合增益和帶寬的要求。A2A構(gòu)成交流放大電路,對探測到的光信號進(jìn)行放大,并且與前級通過交流隔直電容C18連接,作用是抑制背景干擾,消除探測器上的直流電平,將探測器的Ι/f噪聲的干擾減至最小。為了降低噪聲,本發(fā)明在上述前置放大電路的后級增加了由A2B構(gòu)成的二階壓控電壓源帶通濾波電路,濾波范圍為2300-2500HZ,剛好覆蓋了調(diào)制信號所處的頻帶,具有所用元器件較少,性能調(diào)節(jié)比較方便,輸出阻抗小等特點(diǎn),濾波后的信號由A2B的7 腳輸出。在信號解調(diào)電路中完成對信號的解調(diào)以及放大,如圖4c。本發(fā)明中采用有效值檢波的方式對信號進(jìn)行解調(diào),采用芯片信號為AD763,CA的容值決定了平均值時(shí)間常數(shù),C2與內(nèi)部Rl電阻構(gòu)成RC高通濾波器。U3運(yùn)放LM318組成直流放大電路,便于后級的AD單元進(jìn)行模數(shù)轉(zhuǎn)換。 交流信號的有效值可由以下公式表達(dá)
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)透鏡測污裝置,包括光電信號探測部分和測量控制電路,其特征在于所述光電信號探測部分由LED光源、探測器、濾光片、固定支架構(gòu)成;LED光源通過固定支架安裝在光學(xué)儀器內(nèi)部被測透鏡后面中心位置,LED光源的發(fā)射方向指向透鏡;所述探測器通過固定支架安裝在被測透鏡后面中心位置,位于LED光源旁,探測器面源方向朝向透鏡;濾光片固定在探測器面源前端,濾光片僅能通過LED光源波段的測量光,用于去除背景光的干擾;LED光源發(fā)出的測量光照射在透鏡面上,透鏡表面的污染物會(huì)產(chǎn)生后向散射光,探測器接收所述后向散射光信號后,由測量控制電路的放大、處理后得到透鏡表面污染程度,在超過預(yù)警閥值時(shí)輸出報(bào)警信號。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)透鏡測污裝置,其特征在于所述測量控制電路包括單片機(jī)、光源驅(qū)動(dòng)電路、前置放大電路、濾波電路、信號解調(diào)電路、模數(shù)轉(zhuǎn)換電路、數(shù)據(jù)輸出電路,其中光源驅(qū)動(dòng)電路,用于提供LED光源穩(wěn)定工作電流,并進(jìn)行脈沖調(diào)制,產(chǎn)生頻率在2. 4k的脈沖光,光源的開啟、關(guān)閉由單片機(jī)進(jìn)行控制;前置放大電路,將光電探測器的電流信號轉(zhuǎn)換成電壓信號,由二級放大電路放大后至濾波電路;濾波電路,用于濾去干擾信號;信號解調(diào)電路,用于完成對測量信號的解調(diào)以及放大,采用有效值檢波的方式對信號進(jìn)行解調(diào);模數(shù)轉(zhuǎn)換電路,用于把采集到的后向散射光信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字量;RS-232通信接口電路,實(shí)現(xiàn)將透鏡污染程度數(shù)據(jù)上傳到監(jiān)控計(jì)算機(jī)上,以便后臺(tái)處理;單片機(jī),負(fù)責(zé)整個(gè)測量系統(tǒng)的控制功能,協(xié)調(diào)各個(gè)部分,完成測量過程,包括開啟測量光源,進(jìn)行采集控制,模數(shù)轉(zhuǎn)化,判斷透鏡表面污染程度及輸出報(bào)警信號;具體實(shí)現(xiàn)為測量時(shí),單片機(jī)首先進(jìn)行初始化,然后輸出控制信號開啟LED光源;光源驅(qū)動(dòng)電路提供穩(wěn)定的光功率輸出,并進(jìn)行脈沖調(diào)制,形成高頻脈沖測量光,避免測量時(shí)受到雜散光的影響;光照在透鏡表面的污染物上產(chǎn)生后相散射光被探測器接收,轉(zhuǎn)化為電流信號后,并經(jīng)過前置放大電路放大;經(jīng)過放大的信號通過濾波電路濾除噪聲,再通過解調(diào)電路進(jìn)行信號解調(diào),得到后相散射光信號強(qiáng)度,用V表示;然后通過模數(shù)轉(zhuǎn)換成將V轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號進(jìn)行存儲(chǔ),并利用一元線性回歸方程T = kV+b,求出透鏡的透過率T ;當(dāng)透過率T超過警戒閥,即透鏡表面污染程度被認(rèn)為超過警戒閥值時(shí),通過RS232串口電路輸出報(bào)警信號,提醒需要進(jìn)行透鏡清潔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)透鏡測污裝置,其特征在于所述探測器采用PIN光電二極管。
全文摘要
一種光學(xué)透鏡測污裝置,光電信號探測部分由紅外LED光源、探測器、濾光片、安裝支架構(gòu)成。紅外LED光源通過固定支架安裝在光學(xué)儀器內(nèi)部被測透鏡后方,發(fā)射方向指向透鏡;探測器通過固定支架固定在被測透鏡后方;濾光片粘在探測器面源前端,用于去除雜散光的干擾;測量控制電路包括單片機(jī)、光源驅(qū)動(dòng)電路、前置放大電路、濾波電路、信號解調(diào)電路、模數(shù)轉(zhuǎn)換電路、數(shù)據(jù)輸出電路、存儲(chǔ)器電路。探測器接收到的后向散射光信號經(jīng)過測量電路放大、處理后,由中央處理器判斷透鏡面受到的污染程度,并當(dāng)透鏡表面污染程度超過預(yù)警閥值時(shí),輸出報(bào)警信號提醒需要進(jìn)行透鏡清潔。本發(fā)明用于監(jiān)測外場在線運(yùn)行的透鏡表面污染程度,為系統(tǒng)正常運(yùn)行提供保障。
文檔編號G01N21/94GK102445458SQ201110314929
公開日2012年5月9日 申請日期2011年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月18日
發(fā)明者劉建國, 劉文清, 桂華僑, 王亞平, 程寅, 陸亦懷, 陳軍 申請人:中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院