專利名稱：非相干x射線衍射成像裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及X射線衍射成像，是一種非相干X射線衍射成像裝置，它可應(yīng)用于X射線衍射成像技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的X射線傅里葉變換衍射成像方法，只有X射線相干衍射成像(X⑶I) 一種， 它是采用相干X射線，照射在待測(cè)物體上，利用物光場(chǎng)的夫瑯和費(fèi)衍射強(qiáng)度分布，得到該物體透過(guò)率函數(shù)的傅里葉變換強(qiáng)度分布，再采用迭代算法恢復(fù)待測(cè)物體的振幅或位相信息。 這種X射線相干衍射成像技術(shù)主要有以下幾個(gè)局限1)成像光束必須是相干X射線，待測(cè)樣品尺寸受X射線橫向相干尺度的限制。對(duì)第三代同步輻射X射線成像裝置而言，最大待測(cè)樣品尺寸僅為10微米量級(jí)；對(duì)于采用X光管的常規(guī)小型X射線成像裝置，由于其空間相干性較差，完全無(wú)法進(jìn)行X射線相干衍射成像。2)成像光束經(jīng)過(guò)物體后必須傳輸較長(zhǎng)的距離(滿足夫瑯和費(fèi)條件)，才能探測(cè)到物體透過(guò)率函數(shù)的傅里葉變換強(qiáng)度信息。對(duì)第四代同步輻射X射線成像裝置而言，雖然能滿足光束大面積相干的條件，但待測(cè)樣品尺寸受夫瑯和費(fèi)條件限制，如采用波長(zhǎng)Inrn的相干X射線對(duì)尺寸的樣品進(jìn)行衍射成像，所需的探測(cè)距離達(dá)到3公里。3)由于X射線具有極高的穿透性，進(jìn)行X射線相干衍射成像時(shí)在探測(cè)器中央對(duì)應(yīng)位置存在高強(qiáng)度透射光，實(shí)際成像裝置中往往采用beam stop將其吸收，因此，所得到的衍射強(qiáng)度分布中存在圖像的直流和低頻成分缺失。中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所的魏青等人提出了一種基于關(guān)聯(lián)分束的強(qiáng)度關(guān)聯(lián)衍射成像方法，并且利用可見(jiàn)光完成了強(qiáng)度關(guān)聯(lián)衍射實(shí)驗(yàn)(Phys.Rev.A 75， 021803(2007)) 0這種成像方法不需要相干光源就可以實(shí)現(xiàn)傅立葉變換衍射成像，但裝置的關(guān)鍵是需要采用分束器對(duì)熱光源發(fā)出的光進(jìn)行關(guān)聯(lián)分束，得到兩束空間分布完全關(guān)聯(lián)的光。然而，對(duì)于X射線而言，由于其極高的穿透性，不存在類似可見(jiàn)光分束器的關(guān)聯(lián)分束光學(xué)元件，通常是采用晶體衍射分光來(lái)實(shí)現(xiàn)X射線的分束。但是，這種晶體衍射分光并不具有類似可見(jiàn)光分束器的關(guān)聯(lián)分光性質(zhì)，采用這種晶體衍射分光方法得到的兩束X光空間關(guān)聯(lián)性較差，難以直接用于關(guān)聯(lián)成像。因此，這種基于可見(jiàn)光關(guān)聯(lián)分束的強(qiáng)度關(guān)聯(lián)成像方法并不適用于X射線成像領(lǐng)域。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題在于克服上述在先技術(shù)的缺陷，提供一種基于無(wú)分束強(qiáng)度關(guān)聯(lián)的非相干X射線衍射成像裝置，可以利用非相干X射線對(duì)常規(guī)尺寸待測(cè)樣品實(shí)現(xiàn)衍射成像。主要解決下列技術(shù)問(wèn)題1)本發(fā)明利用非相干X射線成像，可以解決現(xiàn)有相干X射線衍射成像技術(shù)中X射線橫向相干性對(duì)樣品尺寸的限制問(wèn)題；
2)本發(fā)明可以在離物體較近的位置(滿足傍軸近似條件)，探測(cè)到物體透過(guò)率函數(shù)的傅里葉變換強(qiáng)度信息，可以解決現(xiàn)有相干X射線衍射成像技術(shù)中探測(cè)距離(滿足夫瑯禾費(fèi)條件)對(duì)樣品尺寸的限制問(wèn)題；3)本發(fā)明不需要在成像裝置中使用beam stop來(lái)吸收透射X射線，可以解決現(xiàn)有相干X射線衍射成像技術(shù)所得衍射圖像的直流和低頻成分缺失的問(wèn)題；4)本發(fā)明不需要進(jìn)行關(guān)聯(lián)分束，可以解決X射線無(wú)類似可見(jiàn)光分束器的關(guān)聯(lián)分束光學(xué)元件，采用常規(guī)X射線衍射分光方法無(wú)法實(shí)現(xiàn)關(guān)聯(lián)分束的問(wèn)題。本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下一種非相干X射線衍射成像裝置，其特征在于<1>包括置于防輻射外殼內(nèi)的X射線源、電子光閘、校準(zhǔn)器、待測(cè)物體、底盤(pán)、電控平移臺(tái)、X射線面探測(cè)器和置于防輻射外殼外的計(jì)算機(jī)；所述的校準(zhǔn)器由入射窗和出射窗構(gòu)成；<2>所述的X射線源、電子光閘、校準(zhǔn)器、待測(cè)物體、底盤(pán)、X射線面探測(cè)器同軸；<3>所述的校準(zhǔn)器出射窗和待測(cè)物體固定于同一底盤(pán)上，該底盤(pán)固定于所述的電控平移臺(tái)上，在計(jì)算機(jī)的控制下，電控平移臺(tái)帶動(dòng)所述的校準(zhǔn)器出射窗和待測(cè)物體在垂直于光路的方向橫向移動(dòng)；<4>所述的置于防輻射外殼外的計(jì)算機(jī)與防輻射外殼內(nèi)的電子光閘、電控平移臺(tái)、 X射線面探測(cè)器以電纜相連，所述的計(jì)算機(jī)具有對(duì)關(guān)聯(lián)成像序列進(jìn)行關(guān)聯(lián)運(yùn)算的程序。所述的X射線源是真實(shí)熱X射線源，或贗熱X射線源。所述的置于防輻射外殼外的計(jì)算機(jī)，通過(guò)電纜控制防輻射外殼內(nèi)的電控平移臺(tái)平移，電子光閘開(kāi)關(guān)，X射線面探測(cè)器數(shù)據(jù)采集，并完成對(duì)關(guān)聯(lián)成像序列的關(guān)聯(lián)運(yùn)算，獲取物體的傅立葉衍射像。所述的非相干X射線衍射成像裝置，具有以下兩種工作狀態(tài)<1>所述的校準(zhǔn)器出射窗和待測(cè)物體在光路上，X射線源產(chǎn)生的空間非相干X射線沿光束前進(jìn)方向依次經(jīng)過(guò)電子光間、校準(zhǔn)器入射窗、校準(zhǔn)器出射窗、待測(cè)物體，最終到達(dá)X 射線面探測(cè)器，為探測(cè)狀態(tài)；<2>所述的校準(zhǔn)器出射窗和待測(cè)物體不在光路上，X射線源產(chǎn)生的空間非相干X射線沿光束前進(jìn)方向依次經(jīng)過(guò)電子光間和校準(zhǔn)器入射窗后，不經(jīng)過(guò)待測(cè)物體直接到達(dá)X射線面探測(cè)器，為參考狀態(tài)。利用所述的非相干X射線衍射成像裝置進(jìn)行成像的方法，其特征在于該成像方法包括以下步驟<1>計(jì)算機(jī)控制電控平移臺(tái)平移，使校準(zhǔn)器的出射窗和入射窗對(duì)準(zhǔn)，進(jìn)入探測(cè)狀態(tài)，打開(kāi)電子光閘，在X射線面探測(cè)器上獲得探測(cè)圖像Itl，為一次探測(cè)成像；<2>計(jì)算機(jī)控制電控平移臺(tái)平移，使校準(zhǔn)器的出射窗和待測(cè)物體一起離開(kāi)光路，進(jìn)入?yún)⒖紶顟B(tài)，在X射線面探測(cè)器上獲得參考圖像Iri為一次參考成像，關(guān)閉光閘；所述的探測(cè)圖像Itl和參考圖像Iri構(gòu)成一組關(guān)聯(lián)成像，一組關(guān)聯(lián)成像中獲得探測(cè)圖像和獲得參考圖像的時(shí)間間隔必須小于X射線源的相干時(shí)間，由所述的計(jì)算機(jī)控制；<3>多次重復(fù)步驟<1>、<2>，依次循環(huán)執(zhí)行探測(cè)成像和參考成像，獲取探測(cè)圖像 It2, It3···，Itn,…，和對(duì)應(yīng)的參考圖像序列Ir2，Ir3···，Irn,…，即獲得關(guān)聯(lián)成像序列Itl，It2,It3..., Itn'…，禾口 Irl，Ir2，Ir3...，Irn，…，其中 n=l， ···, N ；<4>對(duì)關(guān)聯(lián)成像序列進(jìn)行關(guān)聯(lián)運(yùn)算，其具體方法是①將某一組關(guān)聯(lián)成像中獲得的探測(cè)圖像Itn上某一固定點(diǎn)&的光強(qiáng)值Itn(Xt)和參考圖像Im上不同位置\處的光強(qiáng)值Im(X》進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，得到關(guān)聯(lián)成像序列中某一時(shí)刻的強(qiáng)度關(guān)聯(lián)分布Itn(Xt)ImOO,再將不同時(shí)刻的強(qiáng)度關(guān)聯(lián)分布進(jìn)行統(tǒng)計(jì)平均，得到關(guān)聯(lián)成像的互相關(guān)強(qiáng)度關(guān)聯(lián)分布<ItnUt)Im(x》> ；②計(jì)算探測(cè)圖像序列Itl，It2, It3-, Itn, -,η = 1，…，N，的平均值<Itn(xt) >，計(jì)算參考圖像序列Irl，Ir2，Ir3'"，Im，…，η = 1，…，N，的平均值<Irn(xr)>，最后計(jì)算<Itn(xt) Im(X》-<Itn(Xt)><ImOO>，得到待測(cè)物體復(fù)透過(guò)率函數(shù)傅里葉變換的模的平方，即物體的傅立葉衍射像。本發(fā)明的技術(shù)效果如下1)本發(fā)明可以利用非相干X射線，實(shí)現(xiàn)目前只有采用相干X射線才能完成的X射線傅立葉變換衍射成像，這是本發(fā)明最重要的技術(shù)效果；2)本發(fā)明克服現(xiàn)有相干X射線衍射成像技術(shù)只能對(duì)極小(10微米以下)樣品成像的局限，可以對(duì)常規(guī)尺寸(毫米量級(jí))樣品實(shí)現(xiàn)X射線傅立葉變換衍射成像；3)本發(fā)明不受夫瑯禾費(fèi)衍射條件限制，可以在離物體較近的位置(滿足傍軸近似條件)，探測(cè)到物體透過(guò)率函數(shù)的傅里葉變換強(qiáng)度信息；4)本發(fā)明不需要在成像裝置中使用beam stop來(lái)吸收透射X射線，所得衍射圖像中直流和低頻成分俱在，可以克服現(xiàn)有相干X射線衍射成像技術(shù)所得衍射圖像的直流和低頻成分缺失的缺陷；5)本發(fā)明不需要進(jìn)行關(guān)聯(lián)分束，可以解決X射線無(wú)類似可見(jiàn)光分束器的關(guān)聯(lián)分束光學(xué)元件，采用常規(guī)X射線衍射分光方法又無(wú)法實(shí)現(xiàn)關(guān)聯(lián)分束的問(wèn)題；6)本發(fā)明具有普適性，適用于進(jìn)行各種常規(guī)X光波長(zhǎng)(< IOOKeV)的非相干X射線衍射成像。


圖1是本發(fā)明非相干X射線衍射成像裝置的實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖，圖中1 :X射線源，2 電子光閘，3 校準(zhǔn)器，301 校準(zhǔn)器入射窗，302 校準(zhǔn)器出射窗，4: 待測(cè)物體，5 底盤(pán)，6 電控平移臺(tái)，7 :X射線面探測(cè)器(CXD)，8 防輻射外殼，9 運(yùn)動(dòng)控制、 時(shí)序控制、數(shù)據(jù)采集與處理計(jì)算機(jī)。圖2是本發(fā)明非相干X射線衍射成像裝置的實(shí)施例的探測(cè)狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖(俯視圖)。圖3是本發(fā)明非相干X射線衍射成像裝置的實(shí)施例的參考狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖(俯視圖)。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明是一種非相干X射線衍射成像裝置，如圖1所示，包括置于防輻射外殼8 內(nèi)的X射線源1、電子光閘2、校準(zhǔn)器3、待測(cè)物體4、底盤(pán)5、電控平移臺(tái)6、X射線面探測(cè)器 7和置于防輻射外殼8外的計(jì)算機(jī)9。校準(zhǔn)器3由入射窗301和出射窗302構(gòu)成。X射線源1、電子光閘2、校準(zhǔn)器3、待測(cè)物體4、底盤(pán)5、X射線面探測(cè)器7同軸；校準(zhǔn)器出射窗302 和待測(cè)物體4固定于同一底盤(pán)5上，底盤(pán)固定于電控平移臺(tái)6上，在計(jì)算機(jī)9的控制下，電控平移臺(tái)6帶動(dòng)所述的校準(zhǔn)器出射窗302和待測(cè)物體4在垂直于光路的方向橫向移動(dòng)；置于防輻射外殼8外的計(jì)算機(jī)9與防輻射外殼8內(nèi)的電子光閘2、電控平移臺(tái)6、X射線面探測(cè)器7以電纜相連，所述的計(jì)算機(jī)(9)具有對(duì)關(guān)聯(lián)成像序列進(jìn)行關(guān)聯(lián)運(yùn)算的程序。在成像過(guò)程中計(jì)算機(jī)9控制電子光閘2的開(kāi)關(guān)、電控平移臺(tái)6的平移、X射線面探測(cè)器7的數(shù)據(jù)采集，并完成對(duì)關(guān)聯(lián)成像序列的關(guān)聯(lián)運(yùn)算以獲取物體的傅立葉衍射像。本實(shí)施例非相干X射線衍射成像裝置，包括以下兩種工作狀態(tài)(1)探測(cè)狀態(tài)(如圖2所示)校準(zhǔn)器出射窗302和待測(cè)物體4在光路上，X射線源1產(chǎn)生的空間非相干X射線沿光束前進(jìn)方向依次經(jīng)過(guò)電子光閘2、校準(zhǔn)器入射窗301、校準(zhǔn)器出射窗302、待測(cè)物體4后，到達(dá)X射線面探測(cè)器7 ；(2)參考狀態(tài)(如圖3所示)校準(zhǔn)器出射窗302和待測(cè)物體4不在光路上，X射線源1產(chǎn)生的空間非相干X射線沿光束前進(jìn)方向依次經(jīng)過(guò)電子光閘2和校準(zhǔn)器入射窗301 后，不經(jīng)過(guò)待測(cè)物體4直接到達(dá)X射線面探測(cè)器7。利用本實(shí)施例的非相干X射線衍射成像裝置進(jìn)行成像，其成像方法包括以下步驟<1>計(jì)算機(jī)9通過(guò)電纜控制電控平移臺(tái)6平移，使校準(zhǔn)器3的出射窗302和入射窗 301對(duì)準(zhǔn)，進(jìn)入探測(cè)狀態(tài)，打開(kāi)電子光閘2，在X射線面探測(cè)器7上獲得探測(cè)圖像Itl，為一次探測(cè)成像；<2>計(jì)算機(jī)9通過(guò)電纜控制電控平移臺(tái)6平移，使校準(zhǔn)器3的出射窗302和待測(cè)物體4 一起離開(kāi)光路，進(jìn)入?yún)⒖紶顟B(tài)，在X射線面探測(cè)器7上獲得參考圖像Iri，為一次參考成像，關(guān)閉光間2，完成一組關(guān)聯(lián)成像；本實(shí)施例的X射線源1為贗熱光源(相干時(shí)間Ttl為30秒)。在計(jì)算機(jī)9控制下， 電控平移臺(tái)6每次平移時(shí)間為10秒，X射線面探測(cè)器7每次曝光采集時(shí)間為5秒。因此， 一組關(guān)聯(lián)成像中獲得探測(cè)圖像和獲得參考圖像的時(shí)間間隔T為20秒，滿足關(guān)聯(lián)成像條件 T<T0。<3>多次重復(fù)步驟<1>、<2>，依次循環(huán)執(zhí)行探測(cè)成像和參考成像，獲取探測(cè)圖像 It2,It3-,Itn,…，和對(duì)應(yīng)的參考圖像I⑴Iri…，Im，…，即獲得關(guān)聯(lián)成像序列Itl，It2，It3…， Itn,...,禾口 Irl, Ir2, Iri..., Irn,...，其中11 = 1, ".,N;<4>對(duì)關(guān)聯(lián)成像序列進(jìn)行關(guān)聯(lián)運(yùn)算，獲取待測(cè)物體的傅立葉衍射像，其具體方法是①將某一組關(guān)聯(lián)成像中獲得的探測(cè)圖像Itn上某一固定點(diǎn)&的光強(qiáng)值Itn(Xt)和參考圖像Im上不同位置\處的光強(qiáng)值Im(X》進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，得到關(guān)聯(lián)成像序列中某一時(shí)刻的強(qiáng)度關(guān)聯(lián)分布Itn(Xt)ImOO,再將不同時(shí)刻的強(qiáng)度關(guān)聯(lián)分布進(jìn)行統(tǒng)計(jì)平均，得到關(guān)聯(lián)成像的互相關(guān)強(qiáng)度關(guān)聯(lián)分布<Itn0ct)Im(X》> ；②計(jì)算探測(cè)圖像序列Itl，It2, It3-, Itn, -,η = 1，…，N，的平均值<Itn(xt) >，計(jì)算參考圖像序列Irl，Ir2，Ir3'"，Im，…，η = 1，…，N，的平均值<Irn(Xr)>;最后計(jì)算<Itn(xt) Irn(Xr) >-<Itn(xt) XIrn(Xr) >ο互相關(guān)強(qiáng)度關(guān)聯(lián)分布函數(shù)與物體透過(guò)率分布函數(shù)(包括振幅和位相)之間的關(guān)系可以用以下的公式來(lái)表示(Phys. Rev. Lett. 92,093903, 2004)
權(quán)利要求
1.一種非相干X射線衍射成像裝置，其特征在于構(gòu)成包括置于防輻射外殼(8)內(nèi)的X射線源(1)、電子光閘O)、校準(zhǔn)器(3)、待測(cè)物體 (4)、底盤(pán)(5)、電控平移臺(tái)(6)、X射線面探測(cè)器(7)和置于防輻射外殼(8)外的計(jì)算機(jī)(9)； 所述的校準(zhǔn)器(3)由入射窗(301)和出射窗(302)構(gòu)成；所述的X射線源(1)、電子光閘O)、校準(zhǔn)器(3)、待測(cè)物體、底盤(pán)(5)、X射線面探測(cè)器(7)同軸；所述的校準(zhǔn)器出射窗(30 和待測(cè)物體固定于同一底盤(pán)( 上，該底盤(pán)(5)固定于所述的電控平移臺(tái)(6)上，在計(jì)算機(jī)(9)的控制下，電控平移臺(tái)(6)帶動(dòng)所述的校準(zhǔn)器出射窗(30 和待測(cè)物體(4)在垂直于光路的方向橫向移動(dòng)；所述的計(jì)算機(jī)(9)與所述的電子光閘(3)、電控平移臺(tái)(6)和X射線面探測(cè)器(7)以電纜相連，所述的計(jì)算機(jī)(9)具有對(duì)關(guān)聯(lián)成像序列進(jìn)行關(guān)聯(lián)運(yùn)算的程序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非相干X射線衍射成像裝置，其特征在于所述的X射線源(1) 是真實(shí)熱X射線源，或贗熱X射線源。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非相干X射線衍射成像裝置，其特征在于所述的計(jì)算機(jī)(9) 通過(guò)電纜控制所述的電控平移臺(tái)(6)的平移，電子光閘(2)的開(kāi)關(guān)，X射線面探測(cè)器(7)的數(shù)據(jù)采集，并完成對(duì)關(guān)聯(lián)成像序列的關(guān)聯(lián)運(yùn)算，獲取物體的傅立葉衍射像。
4.利用權(quán)利要求1所述的非相干X射線衍射成像裝置進(jìn)行成像的方法，其特征在于該成像方法包括以下步驟<1>計(jì)算機(jī)(9)控制電控平移臺(tái)(6)平移，使校準(zhǔn)器的出射窗(302)和入射窗(301)對(duì)準(zhǔn)，進(jìn)入探測(cè)狀態(tài)，打開(kāi)電子光閘0)，在X射線面探測(cè)器(7)上獲得探測(cè)圖像Itl為一次探測(cè)成像；<2>計(jì)算機(jī)(9)控制電控平移臺(tái)(6)平移，使校準(zhǔn)器的出射窗(302)和待測(cè)物體⑷一起離開(kāi)光路，進(jìn)入?yún)⒖紶顟B(tài)，在X射線面探測(cè)器(7)上獲得參考圖像Iri為一次參考成像，關(guān)閉光閘；所述的探測(cè)圖像Itl和參考圖像Iri構(gòu)成一組關(guān)聯(lián)成像，一組關(guān)聯(lián)成像中獲得探測(cè)圖像和獲得參考圖像的時(shí)間間隔必須小于X射線源的相干時(shí)間，由所述的計(jì)算機(jī)(9)控制；<3>多次重復(fù)步驟<1>、<2>，依次循環(huán)執(zhí)行探測(cè)成像和參考成像，獲取探測(cè)圖像It2， It3-, Itn，…，和對(duì)應(yīng)的參考圖像Ir2，Ir3···，Irn,…，即獲得關(guān)聯(lián)成像序列Itl，It2, It3···， Itn,...,禾口 Irl, Ir2, Iri..., Irn,...，其中11 = 1, ".,N;<4>對(duì)關(guān)聯(lián)成像序列進(jìn)行關(guān)聯(lián)運(yùn)算，其具體方法是①將某一組關(guān)聯(lián)成像中獲得的探測(cè)圖像Itn上某一固定點(diǎn)A的光強(qiáng)值Itn(Xt)和參考圖像Im上不同位置\處的光強(qiáng)值進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算，得到關(guān)聯(lián)成像序列中某一時(shí)刻的強(qiáng)度關(guān)聯(lián)分布Itn(xt)ImOO，再將不同時(shí)刻的強(qiáng)度關(guān)聯(lián)分布進(jìn)行統(tǒng)計(jì)平均，得到關(guān)聯(lián)成像的互相關(guān)強(qiáng)度關(guān)聯(lián)分布<Itn(xt)ImOO> ；②計(jì)算探測(cè)圖像序列Itl，It2,It3···，Itn,…，η = 1，…，N，的平均值<Itn(xt)>，計(jì)算參考圖像序列Irl，Ir2, Ir3···，Irn,…，η = 1，…，N，的平均值<Irn(xr)>，最后計(jì)算<Itn(xt) ImOO >-<Itn(Xt) XImOO >，得到待測(cè)物體復(fù)透過(guò)率函數(shù)傅里葉變換的模的平方，即物體的傅立葉衍射像。
全文摘要
一種非相干X射線衍射成像裝置，包括置于防輻射外殼內(nèi)的X射線源、電子光閘、校準(zhǔn)器、待測(cè)物體、底盤(pán)、電控平移臺(tái)、X射線面探測(cè)器和置于防輻射外殼外的計(jì)算機(jī)。校準(zhǔn)器由入射窗和出射窗構(gòu)成。X射線源、電子光閘、校準(zhǔn)器、待測(cè)物體、底盤(pán)、X射線面探測(cè)器同軸；校準(zhǔn)器出射窗和待測(cè)物體固定于同一底盤(pán)上，底盤(pán)固定于電控平移臺(tái)上，在計(jì)算機(jī)的控制下，電控平移臺(tái)帶動(dòng)校準(zhǔn)器出射窗和待測(cè)物體在垂直于光路的方向橫向移動(dòng)；計(jì)算機(jī)與電子光閘、電控平移臺(tái)、X射線面探測(cè)器以電纜相連，具有對(duì)關(guān)聯(lián)成像序列進(jìn)行關(guān)聯(lián)運(yùn)算的程序。本發(fā)明利用非相干X射線，可以在菲涅爾區(qū)實(shí)現(xiàn)目前只有采用相干X射線，在夫瑯禾費(fèi)區(qū)才能完成的X射線傅立葉變換衍射成像。
文檔編號(hào)G01N23/207GK102353689SQ20111014847
公開(kāi)日2012年2月15日 申請(qǐng)日期2011年6月3日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月3日
發(fā)明者喻虹, 朱文選, 謝紅蘭, 韓申生 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所