專利名稱：一種可調(diào)整降低正交誤差的微陀螺儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種陀螺儀，特別是一種可調(diào)整降低正交誤差的微陀螺儀。
背景技術(shù)：
陀螺儀是一種可檢測(cè)角速度或者角度的測(cè)量裝置。微機(jī)械陀螺儀通過(guò)微電子機(jī)械系統(tǒng)加工工藝技術(shù)可以使陀螺儀具有體積小、重量輕、功耗低、抗過(guò)載能力強(qiáng)、能適用于較為惡劣的環(huán)境條件等優(yōu)點(diǎn)。近幾年市場(chǎng)對(duì)微機(jī)械陀螺儀的需求日益增加，譬如在汽車工業(yè)、 移動(dòng)通訊終端方面、民用慣性導(dǎo)航系統(tǒng)、消費(fèi)電子類產(chǎn)品等，實(shí)際應(yīng)用產(chǎn)品有防翻滾速率傳感器、空中姿態(tài)保持系統(tǒng)、自主導(dǎo)航系統(tǒng)、手機(jī)移動(dòng)終端、3D鼠標(biāo)、游戲手柄、游戲機(jī)、數(shù)碼產(chǎn)品圖像防抖以及玩具等。微機(jī)械陀螺儀基于哥式效應(yīng)，通過(guò)微機(jī)械加工工藝實(shí)現(xiàn)，通過(guò)檢測(cè)檢測(cè)質(zhì)量塊與檢測(cè)電極間相對(duì)位移，再由外部電路處理，最終得到物體角速度或角度信息。微硅陀螺儀機(jī)械結(jié)構(gòu)懸浮部分為一個(gè)整體，工作時(shí)存在驅(qū)動(dòng)模態(tài)以及檢測(cè)角速度的檢測(cè)模態(tài)。理想狀態(tài)下，驅(qū)動(dòng)模態(tài)諧振方向與檢測(cè)模態(tài)諧振方向正交。然而在實(shí)際工作中，由于機(jī)械結(jié)構(gòu)懸浮部分為互相連接的一個(gè)整體，驅(qū)動(dòng)模態(tài)運(yùn)動(dòng)無(wú)法避免的會(huì)影響檢測(cè)模態(tài)的運(yùn)動(dòng)，即在沒(méi)有外界角速度輸入時(shí)，檢測(cè)模態(tài)仍然會(huì)產(chǎn)生信號(hào)，由于該干擾信號(hào)與實(shí)際信號(hào)相差90°的相位， 因此該干擾信號(hào)引起的誤差通常稱作正交誤差。引起正交誤差的主要原因有1彈性支承梁同時(shí)提供兩個(gè)方向，即驅(qū)動(dòng)方向和檢測(cè)模態(tài)諧振方向的剛度，從而無(wú)法避免的產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)模態(tài)剛度與檢測(cè)模態(tài)剛度間的相互串?dāng)_；2由于制作誤差使得驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊與檢測(cè)質(zhì)量塊運(yùn)動(dòng)方向偏離原設(shè)計(jì)方向，且驅(qū)動(dòng)模態(tài)諧振方向與檢測(cè)模態(tài)諧振方向無(wú)法保持正交。在無(wú)角速度輸入時(shí)，檢測(cè)質(zhì)量塊被驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊帶動(dòng)引起干擾。2002年德國(guó)微機(jī)械及信息技術(shù)研究所(IMIT, Institute ofMicromachining and Information Technology)的 W. Geiger 教授(W. Geiger et al. ,Decoupledmicrogyros and the design principle DAVED, Sensors and Actuators A 95,2002,239-249)提出了關(guān)于解耦式陀螺的分類以及發(fā)展。振動(dòng)式微硅陀螺通過(guò)使用半解耦以及全解耦的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)對(duì)模態(tài)間串?dāng)_進(jìn)行抑制， 在半解耦全解耦設(shè)計(jì)中，其結(jié)構(gòu)至少包含兩個(gè)質(zhì)量塊，其驅(qū)動(dòng)模態(tài)和檢測(cè)模態(tài)的彈性支承梁只是提供單一方向的剛度，同時(shí)限制該模態(tài)質(zhì)量塊沿另一個(gè)模態(tài)的運(yùn)動(dòng)，該方法的優(yōu)點(diǎn)在于減小驅(qū)動(dòng)模態(tài)和檢測(cè)模態(tài)間的剛度耦合。該設(shè)計(jì)雖然減小模態(tài)間的剛度耦合，但是其在驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊與檢測(cè)質(zhì)量塊運(yùn)動(dòng)方向偏離原設(shè)計(jì)方向引起的正交誤差無(wú)法克服。1998 年，美國(guó)加州大學(xué)伯克利分校的 William A. Clark (William A. Clark et al.，Surface micromachined Z-axis vibratoryrate gyroscope, Technical Digest. Solid-State Sensor and Actuator Workshop, 1996, 283-287)提出通過(guò)外部電路施加靜電力產(chǎn)生扭矩從而矯正偏離設(shè)計(jì)方向的質(zhì)量塊諧振方向的方案，但是在該設(shè)計(jì)中驅(qū)動(dòng)模態(tài)彈性支承梁與檢測(cè)模態(tài)彈性支承梁共用，剛度耦合大，因此該陀螺儀的性能受到制約。中國(guó)專利200310101017. 8公開(kāi)一種可調(diào)整克服外界平動(dòng)加速度的微陀螺儀，將檢測(cè)電極設(shè)計(jì)為懸浮檢測(cè)，但是該設(shè)計(jì)無(wú)法克服正交誤差的影響。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種可調(diào)整降低正交誤差的微陀螺儀。本發(fā)明能實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)模態(tài)和檢測(cè)模態(tài)解耦、驅(qū)動(dòng)框架振動(dòng)方向和檢測(cè)質(zhì)量塊振動(dòng)方向之間相對(duì)角度可調(diào)，其懸浮檢測(cè)電極質(zhì)量塊與驅(qū)動(dòng)框架同步運(yùn)動(dòng)并由檢測(cè)質(zhì)量塊梳齒相對(duì)檢測(cè)電極梳齒沿感測(cè)方向產(chǎn)生位移來(lái)感測(cè)角速度信號(hào)，從而降低微陀螺驅(qū)動(dòng)模態(tài)對(duì)檢測(cè)模態(tài)的干擾，大幅抑制正
交誤差。本發(fā)明設(shè)有上下兩層，下層為襯底，襯底表面設(shè)有懸浮結(jié)構(gòu)層準(zhǔn)備的深槽；上層為單晶硅整體制作通過(guò)局部刻蝕形成陀螺機(jī)械結(jié)構(gòu)，所述陀螺機(jī)械結(jié)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)框架、檢測(cè)質(zhì)量塊、懸浮檢測(cè)電極質(zhì)量塊、電隔離梁、驅(qū)動(dòng)支承梁、檢測(cè)支承梁、檢測(cè)電極支承梁、檢測(cè)電極和驅(qū)動(dòng)電極，所述檢測(cè)質(zhì)量塊位于中心呈“王”字形，檢測(cè)質(zhì)量塊通過(guò)檢測(cè)支承梁與外圍的驅(qū)動(dòng)框架相連，驅(qū)動(dòng)框架呈“ 口 ”字形且左右兩側(cè)對(duì)稱分布著梳齒，所述梳齒與外側(cè)驅(qū)動(dòng)電極的梳齒交錯(cuò)分布形成驅(qū)動(dòng)電容，外圍的驅(qū)動(dòng)框架通過(guò)驅(qū)動(dòng)支撐梁與硅基底相連，檢測(cè)電極質(zhì)量塊一側(cè)與驅(qū)動(dòng)框架通過(guò)電隔離梁連接并分布在檢測(cè)質(zhì)量塊內(nèi)側(cè)4個(gè)角，檢測(cè)電極質(zhì)量塊另一側(cè)通過(guò)檢測(cè)電極支承梁與檢測(cè)電極相連。所述驅(qū)動(dòng)框架、檢測(cè)質(zhì)量塊、懸浮檢測(cè)電極質(zhì)量塊、電隔離梁、驅(qū)動(dòng)支承梁、檢測(cè)支承梁和檢測(cè)電極支承梁最好對(duì)應(yīng)于襯底的深槽位置并懸浮在襯底之上。所述襯底可采用玻璃襯底。所述驅(qū)動(dòng)電極、檢測(cè)電極和硅基底一起與襯底形成鍵合，并與其他陀螺機(jī)械部分分離。本發(fā)明是一種檢測(cè)模態(tài)不易受到驅(qū)動(dòng)模態(tài)干擾的微陀螺儀，通過(guò)固連在驅(qū)動(dòng)框架上可隨驅(qū)動(dòng)框架同步運(yùn)動(dòng)的懸浮檢測(cè)電極感測(cè)檢測(cè)質(zhì)量塊相對(duì)懸浮檢測(cè)電極在感測(cè)方向產(chǎn)生的位移，將傳統(tǒng)微硅陀螺中感測(cè)檢測(cè)質(zhì)量塊位移改進(jìn)為感測(cè)檢測(cè)質(zhì)量塊與懸浮檢測(cè)電極在感測(cè)方向的相對(duì)位移，使感測(cè)信號(hào)更易分離和讀取。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下突出優(yōu)點(diǎn)1)懸浮檢測(cè)電極質(zhì)量塊通過(guò)電隔離梁與驅(qū)動(dòng)框架結(jié)構(gòu)上連接，但在電學(xué)上隔離。 懸浮檢測(cè)電極質(zhì)量塊與驅(qū)動(dòng)框架在X軸方向同步運(yùn)動(dòng)。當(dāng)有Z軸方向角速度介入時(shí)，懸浮檢測(cè)電極梳齒與檢測(cè)質(zhì)量塊梳齒在X軸方向同步運(yùn)動(dòng)的同時(shí)在Y軸方向產(chǎn)生相對(duì)位移從而產(chǎn)生信號(hào)；2) 一種可調(diào)整降低正交誤差的微陀螺儀包含4對(duì)檢測(cè)電極，且各自相互獨(dú)立。通過(guò)施加偏壓，可調(diào)整懸浮的驅(qū)動(dòng)框架諧振方向與懸浮的檢測(cè)質(zhì)量塊諧振方向之間的相對(duì)角度，該方法在解耦設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上，同時(shí)可以實(shí)現(xiàn)調(diào)整補(bǔ)償由制作誤差引起的驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊與檢測(cè)質(zhì)量塊運(yùn)動(dòng)方向偏離原設(shè)計(jì)方向所產(chǎn)生的正交誤差。


圖1是本發(fā)明實(shí)施例的結(jié)構(gòu)組成俯視圖。圖2是圖1中的A-A剖面圖。圖3是圖1中的B-B剖面圖。圖4是本發(fā)明實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)框架和驅(qū)動(dòng)梳齒的結(jié)構(gòu)組成俯視圖。
圖5是本發(fā)明實(shí)施例的檢測(cè)質(zhì)量塊和檢測(cè)質(zhì)量塊梳齒的結(jié)構(gòu)組成俯視圖。圖6是本發(fā)明實(shí)施例的懸浮檢測(cè)電極部分的結(jié)構(gòu)組成俯視圖。圖7是本發(fā)明實(shí)施例的正交誤差調(diào)整示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說(shuō)明。參見(jiàn)圖1，本發(fā)明實(shí)施例用于測(cè)量Z軸方向即垂直于陀螺儀結(jié)構(gòu)平面的角速率。本發(fā)明實(shí)施例設(shè)有上下兩層，下層為玻璃襯底15，玻璃襯底15表面設(shè)有懸浮結(jié)構(gòu)層準(zhǔn)備的深槽16 ；上層為單晶硅整體制作通過(guò)局部刻蝕形成陀螺機(jī)械結(jié)構(gòu)，所述陀螺機(jī)械結(jié)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)框架4，檢測(cè)質(zhì)量塊5，懸浮檢測(cè)電極質(zhì)量塊6a、6b、6c、6d，電隔離梁10a、IObUOcUOd, 驅(qū)動(dòng)支承梁7a、7b、7c、7d，檢測(cè)支承梁8a、8b、8c、8d、8e、8f，檢測(cè)電極支承梁9a、9b、9c、9d、 96、9廠98、911，檢測(cè)電極加、213、2(；、2(1、加、2廠28、211和驅(qū)動(dòng)電極IaUbUcUd0所述檢測(cè)質(zhì)量塊5位于中心呈“王”字形，檢測(cè)質(zhì)量塊5通過(guò)檢測(cè)支承梁8a、8b、8C、8d、8e、8f與外圍的驅(qū)動(dòng)框架4相連，驅(qū)動(dòng)框架4呈“口”字形且左右兩側(cè)對(duì)稱分布著驅(qū)動(dòng)框架梳齒11。外圍的驅(qū)動(dòng)框架4通過(guò)驅(qū)動(dòng)支撐梁7a、7b、7c、7d與硅基底3相連，檢測(cè)電極質(zhì)量塊6a、6b、6c、6d — 側(cè)與驅(qū)動(dòng)框架4通過(guò)電隔離梁10a、IObUOcUOd連接并分布在檢測(cè)質(zhì)量塊5內(nèi)側(cè)4個(gè)角，檢測(cè)電極質(zhì)量塊6￡1、6以6(3、6(1另一側(cè)通過(guò)檢測(cè)電極支承梁9￡1、％、9(3、9(1、96、9廠98、911與檢測(cè)電極 2a、2b、2c、2d、2e、2f、2g、2h 相連；驅(qū)動(dòng)電極 la、lb、lc、ld，檢測(cè)電極 2a、2b、2c、2d、2e、 2f>2g,2h和硅基底3 —起與玻璃襯底15形成鍵合，并與其他陀螺機(jī)械部分分離；驅(qū)動(dòng)框架 4，檢測(cè)質(zhì)量塊5，懸浮檢測(cè)電極質(zhì)量塊6a、6b、6c、6d，電隔離梁10a、IObUOcUOd,驅(qū)動(dòng)支承梁 7a、7b、7c、7d，檢測(cè)支承梁 8a、8b、8c、8d、8e、8f 和檢測(cè)電極支承梁 9a、9b、9c、9d、9e、9f、 9g、9h對(duì)應(yīng)于玻璃襯底15的深槽位置并懸浮在玻璃襯底15之上。其中檢測(cè)支承梁8a、8b、8C、8d、8e、8f為折疊柔性梁，其被彈性地設(shè)計(jì)為限制檢測(cè)質(zhì)量塊5僅在Y軸方向振蕩；驅(qū)動(dòng)框架4的內(nèi)側(cè)通過(guò)檢測(cè)支承梁8a、8b、8c、8d、8e、8f與檢測(cè)質(zhì)量塊5相連，驅(qū)動(dòng)框架4的外側(cè)通過(guò)中心對(duì)稱分布的驅(qū)動(dòng)支承梁7a、7b、7c、7d與硅基底 3相連，其中驅(qū)動(dòng)支承梁7a、7b、7c、7d為折疊柔性梁，其被彈性地設(shè)計(jì)為限制驅(qū)動(dòng)框架4僅沿X軸方向振蕩；懸浮檢測(cè)電極質(zhì)量塊6a、6b、6c、6d通過(guò)電隔離梁10a、IObUOcUOd與驅(qū)動(dòng)框架4相連并與驅(qū)動(dòng)框架4同步振蕩，同時(shí)其通過(guò)檢測(cè)電極支承梁9a、9b、9C、9d、9e、9f、 9g、9h與檢測(cè)電極2&、沘、2(；、2(1、26、2廠28、》1相連，檢測(cè)電極支承梁9a、9b、9c、9d、9e、9f、 9g、9h為折疊梁，其被彈性地設(shè)計(jì)為限制檢測(cè)懸浮檢測(cè)電極質(zhì)量塊6a、6b、6c、6d僅沿X軸方向振蕩。電隔離梁10a、10b、10c、IOd在硅基底上加工制成，在結(jié)構(gòu)上電隔離梁10a、10b、 10(、10(1連接驅(qū)動(dòng)框架4與懸浮檢測(cè)電極質(zhì)量塊6￡1、613、6(3、6(1，但在電學(xué)上電隔離梁10a、 IObUOcUOd將驅(qū)動(dòng)框架4與懸浮檢測(cè)電極質(zhì)量塊6a、6b、6c、6d隔離，所述電隔離梁10a、 10b、10c、10d在硅基底上加工制成，所述加工制成的工藝可以是通過(guò)氧化工藝將該部分氧化為二氧化硅材料形成絕緣，也可以通過(guò)深槽填充氮化硅最后刻蝕除去硅材料形成絕緣隔離梁，只要使用絕緣材料將懸浮檢測(cè)電極質(zhì)量塊6a、6b、6c、6d與驅(qū)動(dòng)框架4連接起來(lái)的設(shè)計(jì)均在保護(hù)范圍之內(nèi)。驅(qū)動(dòng)框架4、檢測(cè)質(zhì)量塊5、懸浮檢測(cè)電極質(zhì)量塊6a、6b、6c、6d對(duì)應(yīng)的玻璃襯底15區(qū)域有10 μ m左右深的深槽16用于懸浮結(jié)構(gòu)。驅(qū)動(dòng)框架4，檢測(cè)質(zhì)量塊5， 懸浮檢測(cè)電極質(zhì)量塊6a、6b、6c、6d —起懸浮在玻璃襯底15表面的深槽16位置的上方；驅(qū)動(dòng)電極la、IbUcUd與其它陀螺機(jī)械結(jié)構(gòu)隔開(kāi)并固定在玻璃襯底15上，驅(qū)動(dòng)電極la、lb、 IcUd與驅(qū)動(dòng)框架4接近的側(cè)面具有驅(qū)動(dòng)電極梳齒12，所述驅(qū)動(dòng)電極梳齒12與驅(qū)動(dòng)框架4 上的驅(qū)動(dòng)框架梳齒11交錯(cuò)構(gòu)成梳齒電容用以驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)框架4沿X軸方向振蕩。參見(jiàn)圖2 和 3，檢測(cè)電極 2a、2b、2c、2d、2e、2f、2g、2h、硅基底 3a、3b、3c、3d 以及驅(qū)動(dòng)電極la、lb、Ic、Id的底部固定在玻璃襯底15上；驅(qū)動(dòng)框架4a、4b及其驅(qū)動(dòng)框架梳齒12a、 12b、檢測(cè)質(zhì)量塊fe、5b、5c以及具有檢測(cè)電極梳齒13a、13b、13c、13d的懸浮檢測(cè)電極質(zhì)量塊6a、6b、6c、6d —起懸浮在玻璃襯底15表面的深槽之上。參見(jiàn)圖4 6，當(dāng)有外界角速度Ω輸入時(shí)，檢測(cè)質(zhì)量塊5以諧振頻率為fs在驅(qū)動(dòng)框架4振蕩方向的垂直方向即Y軸方向上振蕩，通過(guò)檢測(cè)電極梳齒13a、13b、13c、13d和檢測(cè)質(zhì)量塊梳齒14a、14b、14c、14d形成的檢測(cè)電容檢測(cè)檢測(cè)質(zhì)量塊5沿Y軸方向的運(yùn)動(dòng)。見(jiàn)圖1和6，其中4組檢測(cè)電極2a和2b,2c和2d、2e和2f、2g和2h之間相互獨(dú)立，在對(duì)稱分布的驅(qū)動(dòng)電極左側(cè)la、Ib和右側(cè)lc、ld上分別施加交流帶直流偏置，相位相差 180°的交流電壓，實(shí)現(xiàn)陀螺儀的靜電推拉式驅(qū)動(dòng)。本發(fā)明采用推拉式靜電驅(qū)動(dòng)和電容檢測(cè)的工作方式。在驅(qū)動(dòng)電極la、lb施加含直流偏置電壓的交流電壓Vrc-Va。，所述Vdc為直流偏置Va。為交流偏置電壓，在驅(qū)動(dòng)電極lc、ld 施加含直流偏置電壓的交流電壓VDC+Va。，產(chǎn)生交變的靜電力，靜電驅(qū)動(dòng)力Fd為
權(quán)利要求
1.一種可調(diào)整降低正交誤差的微陀螺儀，其特征在于設(shè)有上下兩層，下層為襯底，襯底表面設(shè)有懸浮結(jié)構(gòu)層準(zhǔn)備的深槽；上層為單晶硅整體制作通過(guò)局部刻蝕形成陀螺機(jī)械結(jié)構(gòu)，所述陀螺機(jī)械結(jié)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)框架、檢測(cè)質(zhì)量塊、懸浮檢測(cè)電極質(zhì)量塊、電隔離梁、驅(qū)動(dòng)支承梁、檢測(cè)支承梁、檢測(cè)電極支承梁、檢測(cè)電極和驅(qū)動(dòng)電極，所述檢測(cè)質(zhì)量塊位于中心呈 “王”字形，檢測(cè)質(zhì)量塊通過(guò)檢測(cè)支承梁與外圍的驅(qū)動(dòng)框架相連，驅(qū)動(dòng)框架呈“ 口 ”字形且左右兩側(cè)對(duì)稱分布著梳齒，所述梳齒與外側(cè)驅(qū)動(dòng)電極的梳齒交錯(cuò)分布形成驅(qū)動(dòng)電容，外圍的驅(qū)動(dòng)框架通過(guò)驅(qū)動(dòng)支撐梁與硅基底相連，檢測(cè)電極質(zhì)量塊一側(cè)與驅(qū)動(dòng)框架通過(guò)電隔離梁連接并分布在檢測(cè)質(zhì)量塊內(nèi)側(cè)4個(gè)角，檢測(cè)電極質(zhì)量塊另一側(cè)通過(guò)檢測(cè)電極支承梁與檢測(cè)電極相連。
2.如權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)整降低正交誤差的微陀螺儀，其特征在于所述襯底為玻璃襯底。
3.如權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)整降低正交誤差的微陀螺儀，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)框架、檢測(cè)質(zhì)量塊、懸浮檢測(cè)電極質(zhì)量塊、電隔離梁、驅(qū)動(dòng)支承梁、檢測(cè)支承梁和檢測(cè)電極支承梁對(duì)應(yīng)于襯底的深槽位置并懸浮在襯底之上。
4.如權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)整降低正交誤差的微陀螺儀，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)電極、檢測(cè)電極和硅基底一起與襯底形成鍵合，并與其他陀螺機(jī)械部分分離。
全文摘要
一種可調(diào)整降低正交誤差的微陀螺儀，涉及一種陀螺儀。設(shè)有下層為襯底，襯底表面設(shè)有懸浮結(jié)構(gòu)層準(zhǔn)備的深槽；上層為單晶硅整體制作通過(guò)局部刻蝕形成陀螺機(jī)械結(jié)構(gòu)，包括驅(qū)動(dòng)框架、檢測(cè)質(zhì)量塊、懸浮檢測(cè)電極質(zhì)量塊、電隔離梁、驅(qū)動(dòng)支承梁、檢測(cè)支承梁、檢測(cè)電極支承梁、檢測(cè)電極和驅(qū)動(dòng)電極，檢測(cè)質(zhì)量塊與外圍的驅(qū)動(dòng)框架相連，驅(qū)動(dòng)框架左右兩側(cè)對(duì)稱分布著梳齒，梳齒與外側(cè)驅(qū)動(dòng)電極的梳齒交錯(cuò)分布形成驅(qū)動(dòng)電容，外圍的驅(qū)動(dòng)框架通過(guò)驅(qū)動(dòng)支撐梁與硅基底相連；檢測(cè)電極質(zhì)量塊一側(cè)與驅(qū)動(dòng)框架通過(guò)電隔離梁連接并分布在檢測(cè)質(zhì)量塊內(nèi)側(cè)4個(gè)角，另一側(cè)與檢測(cè)電極相連。能實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)模態(tài)和檢測(cè)模態(tài)解耦、驅(qū)動(dòng)框架振動(dòng)方向和檢測(cè)質(zhì)量塊振動(dòng)方向之間相對(duì)角度可調(diào)。
文檔編號(hào)G01C19/56GK102175236SQ201110037429
公開(kāi)日2011年9月7日 申請(qǐng)日期2011年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月14日
發(fā)明者傘海生, 閆鑫, 陳旭遠(yuǎn) 申請(qǐng)人:廈門大學(xué)