專利名稱：一種測量積冰的傳感器及測量方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種利用壓電換能器引起振動的方法測量積冰的傳感器。
背景技術(shù)：
積冰可以造成多種災(zāi)害性的后果，對電力傳輸、交通運輸和農(nóng)業(yè)都有危害。測量積冰的方法有許多種，例如阻抗測量、光學(xué)測量和微波測量方法。利用壓電換能器測量積冰的技術(shù)很早就被提出了。論文 Smart ice detection systems based on resonant piezoelectric transducers, Sensors and Actuators A, 2001, vol. 69，pp. 243 中提出了一種利用壓電式蜂鳴器測量積冰的方案。這種方案使用了一種蜂鳴器。這種蜂鳴器包含了一個壓電換能器，通常被稱為他激式蜂鳴器或外驅(qū)動式蜂鳴器。蜂鳴器上的積冰會導(dǎo)致蜂鳴器的有效剛度增加，積冰也會導(dǎo)致蜂鳴器的有效質(zhì)量增加，有效剛度增加會引起蜂鳴器的諧振頻率增加，有效質(zhì)量增加會引起諧振頻率降低。這篇論文顯示，有效剛度增加比有效質(zhì)量增加對諧振頻率的影響更大，因此積冰會引起諧振頻率增加。這篇論文還指出，積水會引起蜂鳴器的有效質(zhì)量增加，因此積水會引起諧振頻率降低。因此，利用文中所介紹的蜂鳴器可以測量積冰，并可以區(qū)分積冰和積水。這種方法也存在一定的局限性，如果蜂鳴器上不但有積冰， 而且有積水，就難以利用諧振頻率的變化量來確定積冰的厚度。論文 A love-wave ice detector, Proceedings of 1999 IEEE Ultrasonics Symposium, 1999，vol. 1，pp. 453中提出了在壓電材料襯底表面形成電極，形成表面波傳感器的技術(shù)。這種表面波傳感器對厚度很薄(例如幾微米厚)的積冰比較靈敏，但它的測量電路比較復(fù)雜。這種傳感器對比較厚的積冰進(jìn)行測量較為困難。此外，表面波傳感器在表面有水覆蓋的時候，或在冰和水同時存在的時候，測量冰的厚度也較為困難。論文 Miniature ice detection sensor systems for aerospace applications, Proceedings of the Eleventh Annual International Workshop on MEMS 98， 1998， pp. 75中介紹了一種利用MEMS技術(shù)實現(xiàn)的積冰傳感器。這種傳感器利用MEMS靜電執(zhí)行器驅(qū)動膜片彎曲，用電容電極測量膜片的位移，對薄冰具有很高的靈敏度。然而這種MEMS積冰傳感器需要較高的驅(qū)動電壓，并且電容檢測容易受到寄生電容的影響。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的所要解決的技術(shù)問題是提供一種測量積冰的傳感器，測量方法較為簡單，測量積冰受到積水的影響程度較低。本發(fā)明為解決上述技術(shù)問題采用如下技術(shù)方案 一種采用傳感器測量積冰的方法，包括如下步驟
首先對傳感器基板上的第一壓電換能器施加交流電壓，使基板和第二壓電換能器產(chǎn)生機(jī)械振動；
再測量第二壓電換能器產(chǎn)生的交流電壓，獲知基板上覆蓋冰的厚度。
進(jìn)一步的，前述的采用傳感器測量積冰的方法，施加在第一壓電換能器的交流電壓的頻率低于或高于基板的諧振頻率。進(jìn)一步的，前述的采用傳感器測量積冰的方法，還包括分別采用2個傳感器進(jìn)行測量的步驟，其中一個傳感器的積冰厚度測量范圍小于另一個傳感器的積冰厚度測量范圍。W011] —種用于測量積冰的傳感器，包括基板、第一壓電換能器和第二壓電換能器；其中所述基板的一側(cè)表面設(shè)置有空腔，所述兩個壓電換能器設(shè)置在基板的另一側(cè)表面上，在基板與兩個壓電換能器之間設(shè)置有膜片；
所述兩個壓電換能器均由上電極、壓電材料和下電極構(gòu)成。進(jìn)一步的，前述的用于測量積冰的傳感器，所述兩個壓電換能器的表面覆蓋了一層絕緣層。進(jìn)一步的，前述的用于測量積冰的傳感器，所述基板是SOI硅片。進(jìn)一步的，前述的用于測量積冰的傳感器，所述兩個壓電換能器的上電極通過導(dǎo)體連接，或兩個壓電換能器的下電極通過導(dǎo)體連接。進(jìn)一步的，前述的用于測量積冰的傳感器，所述兩個壓電換能器分別為圓形壓電換能器、具有開口的圓環(huán)形壓電換能器，所述圓形壓電換能器通過圓環(huán)形壓電換能器的開口處設(shè)置在其內(nèi)部。進(jìn)一步的，前述的用于測量積冰的傳感器，所述兩個壓電換能器為梳指形狀或矩形形狀。進(jìn)一步的，前述的用于測量積冰的傳感器，所述基板為金屬板。本發(fā)明通過檢測第二壓電換能器上的交流電壓幅度，就可以推斷出積冰的厚度。 傳感器的優(yōu)勢在于可以利用測量交流電壓幅度大小的方法測量積冰，在測量積冰厚度時不易受到積水的影響。本發(fā)明的具體優(yōu)點將在具體實施方式
部分詳細(xì)說明。


圖1是基板和基板上的壓電換能器的剖面示意圖。圖2是基板和基板上的壓電換能器的俯視示意圖。圖3是包含SOI基板的一個實施例的剖面示意圖。圖4是包含溫度傳感器的一個實施例的俯視示意圖。圖5是包含梳指型壓電換能器結(jié)構(gòu)的一個實施例的俯視示意圖。圖6是包含兩個對稱的壓電換能器的一個實施例的俯視示意圖。圖7是圖6中的包含兩個對稱的壓電換能器的實施例的剖面示意圖。圖8是蜂鳴器結(jié)構(gòu)的一個實施例的俯視示意圖。圖9是圖8中的實施例的剖面示意圖。具體實施方案
本發(fā)明提出一種測量積冰的方法。這種方法可以歸納為首先對基板上的第一壓電換能器施加交流電壓，使基板和第二壓電換能器產(chǎn)生機(jī)械振動；再測量第二壓電換能器產(chǎn)生的交流電壓，獲知基板上覆蓋冰的厚度。本發(fā)明提出的一種測量積冰的傳感器包括一塊基板、所述基板上的第一壓電換能器和第二壓電換能器。所述基板的一側(cè)表面設(shè)置有空腔，基板的另一側(cè)設(shè)置有膜片。所述兩個壓電換能器設(shè)置在基板上的膜片的上表面。這兩個換能器均是由下電極、壓電材料構(gòu)成的壓電膜和上電極組成的三明治結(jié)構(gòu)。這里的壓電膜也可以被稱為壓電薄片。本說明書中所述的下電極是指在壓電膜和基板之間的電極，壓電膜另一側(cè)的電極在這里被稱為上電極。基板上設(shè)置有空腔的一面被稱為基板的下表面，基板上設(shè)置有壓電換能器的一面被稱為基板的上表面。積冰測量傳感器的工作原理是對第一壓電換能器的上下兩個電極之間施加電壓，壓電膜會在電場作用下產(chǎn)生形變。壓電膜產(chǎn)生的變形會導(dǎo)致基板的變形，基板的變形會給第二壓電換能器施加力的作用，因此會引起第二壓電換能器的變形。如果對第一壓電換能器施加一定頻率的交流電壓，將使基板和第二壓電換能器產(chǎn)生同樣頻率的機(jī)械振動。上述機(jī)械振動會引起第二壓電換能器的上下電極之間產(chǎn)生交流電壓。如果施加的交流電壓的頻率剛好等于基板的諧振頻率，基板的振動幅度會比非諧振情況下的振動幅度大。當(dāng)施加電壓的頻率低于基板的諧振頻率時，可以近似地認(rèn)為基板的變形是靜態(tài)的。在測量積冰的過程中，給第一壓電換能器施加一個交流電壓，其頻率低于基板的諧振頻率。如果基板上覆蓋了一層冰，則基板的剛度增加。因此，積冰造成基板的振動幅度降低，也造成第二壓電換能器上產(chǎn)生的交流電壓幅度降低。積冰越厚，第二壓電換能器上產(chǎn)生的交流電壓幅度越小。因此，通過檢測第二壓電換能器上的交流電壓幅度，就可以推斷出積冰的厚度。可以利用計算或?qū)嶒灥姆椒ń⒌诙弘姄Q能器輸出電壓幅度與積冰厚度的關(guān)系。如果施加在第一壓電換能器上的交流電壓的頻率高于基板的諧振頻率，當(dāng)基板上出現(xiàn)積冰時，基板的諧振頻率可能會隨著積冰厚度的增加而增加。如果基板的諧振頻率增加到剛好等于上述交流電壓的頻率時，基板的振動幅度會增加，因此第二壓電換能器上產(chǎn)生的交流電壓也會增加。這種情況下判斷積冰的厚度可能有困難，第二壓電換能器產(chǎn)生的電壓的幅度并不一定隨積冰厚度的增加而減小。如果希望第二壓電換能器產(chǎn)生的電壓的幅度隨著積冰厚度的增加變小，在選擇驅(qū)動電壓的頻率的時候，可以使驅(qū)動電壓的頻率不在基板的諧振頻率變化范圍內(nèi)。也就是說， 施加于第一壓電換能器的交流電壓的頻率低于或高于基板的諧振頻率。例如，假設(shè)基板在沒有積冰的情況下諧振頻率是2kHz，當(dāng)基板表面的積冰厚度達(dá)到2毫米時，諧振頻率增加到8kHz，則驅(qū)動電壓可以選擇為IkHz或50kHz?？梢赃x擇IkHz的原因是隨著冰厚的增加， 基板的諧振頻率不可能降低到1kHz?？梢赃x擇50kHz的原因是當(dāng)基板的諧振頻率增加到 50kHz時，基板上的積冰厚度已經(jīng)顯著地超過了基板自身的厚度，基板自身的剛度也明顯地提高了，因此即使基板發(fā)生了諧振，基板的振幅也非常小，在第二壓電換能器上引起的交流電壓也非常小，以至于難以被檢測出來，因此在有效檢測范圍內(nèi)基板的諧振頻率不會達(dá)到 50kHz。也就是說，當(dāng)積冰厚度使基板的諧振頻率增加并達(dá)到施加電壓的頻率時，冰厚已經(jīng)超過了有效測量范圍。有效測量范圍或量程的在這里的定義是如果積冰已經(jīng)足夠厚，以至第二壓電換能器上的輸出電壓已經(jīng)難以被檢測出，就認(rèn)為冰厚超過了有效測量范圍?；谏鲜隹紤]，在使用本發(fā)明中的傳感器測量積冰時，一種優(yōu)選方案是利用交流電壓驅(qū)動第一壓電換能器，交流電壓的頻率低于或高于有效測量范圍對應(yīng)的基板諧振頻率，這樣就可以避免所述交流電壓引起諧振，從而使判斷積冰厚度的變得容易。在測量積冰的時候，積水是一個干擾因素?？梢越频卣J(rèn)為積水不會增加基板的剛度，但積水會增加基板振動的阻尼。如果用一個頻率低于基板諧振頻率的電壓驅(qū)動第一壓電執(zhí)行器，積水對基板振幅的影響非常小，這是因為基板的振動可以認(rèn)為是準(zhǔn)靜態(tài)的。如果用一個頻率等于或高于基板諧振頻率的電壓驅(qū)動第一壓電換能器的時候，積水的阻尼作用可能降低基板的振幅?；迳系牡谝粔弘姄Q能器和第二壓電換能器可以在基板的同一面上，也可以不在基板的同一面上。為了降低制造成本，并簡化制造過程，本發(fā)明的優(yōu)選方案應(yīng)將兩個壓電換能器放置在基板的同一面上。制造三明治結(jié)構(gòu)壓電換能器的方法在很多公開文獻(xiàn)中都有介紹。一般地，上下電極材料都是金屬。壓電換能器的壓電膜的材料可以是PZT、aiO、PVDF、壓電陶瓷等。壓電膜的制造方法可以用溶膠-凝膠法或濺射的方法形成，也可以用粘結(jié)劑把PVDF膜或壓電陶瓷的薄片附著在基板的表面。如果利用溶膠-凝膠法形成PZT膜或濺射的方法形成ZnO膜， 三明治結(jié)構(gòu)的上下兩個電極可以利用濺射或者蒸發(fā)的方法制造。本發(fā)明中的基板和壓電換能器可以利用MEMS的加工方法實現(xiàn)?；蹇梢允抢霉璧谋趁娓g形成的硅膜片，例如可以是絕緣層上硅(SOI)硅片背面腐蝕后留下的薄層硅?？梢詫蓚€壓電換能器的上電極相互連接，或?qū)蓚€壓電換能器的下電極相互連接，則整個傳感器成為一個擁有三個端口的器件。將所述電極連接的益處，在于減少一個與外部電路連接的端口，從而降低電路連接的復(fù)雜性。如果兩個壓電換能器的下電極不相互連接，他們的上電極也不相互連接，則整個傳感器擁有四個端口。無論采取三個端口的連接方式還是四個端口的連接方式，都可以進(jìn)行冰厚的測量。在本說明書中，第一壓電換能器和第二壓電換能器是可以互換的。也就是說，可以將基板上兩個壓電執(zhí)行器中的任意一個作為施加驅(qū)動電壓的對象，并將另一個作為檢測由機(jī)械振動產(chǎn)生電壓的對象。兩個壓電換能器的形狀可以有很多種。兩個壓電換能器的形狀可以是圓形和有開口的圓環(huán)形，所述的圓形在所述圓環(huán)的內(nèi)部；這種設(shè)計的益處是可以獲得較大的振動幅度和輸出電壓，通過圓環(huán)的開口可以使圓形的壓電換能器與焊盤連接。兩個壓電換能器也可以是梳指形狀或矩形形狀，這樣設(shè)計的益處是圖形較為簡單。在測量積冰的過程中，如果被測量的冰附著在基板的正面，也就是基板上有壓電換能器的一面，隨著積冰厚度的增加，第二壓電換能器上產(chǎn)生的電壓幅度先減小后增加，因此給積冰厚度的計算帶來困難。如果被測量的并附著在基板的背面，也就是沒有壓電換能器的一面，則第二壓電換能器上產(chǎn)生的電壓隨著積冰厚度的增加減小。因此，優(yōu)選的方案是使積冰覆蓋在基板的背面。在一些情況下，基板的正面可能出現(xiàn)積水或腐蝕性物質(zhì)。可以在壓電換能器表面覆蓋一層絕緣層，例如二氧化硅，以降低漏電發(fā)生的可能性，并保護(hù)壓電換能器和基板的腐蝕。本發(fā)明中公開的測量積冰的方法可以利用多種方法實現(xiàn)。例如，利用MEMS加工工藝可以在硅片上形成膜片，在膜片的表面有兩個壓電換能器。利用MEMS工藝制造的膜片厚度通常在幾微米到幾十微米范圍內(nèi)，因此幾微米到幾十微米厚的積冰會使第二壓電換能器上的輸出電壓幅度顯著下降。利用MEMS工藝制造的傳感器難以測量較厚的積冰，例如幾百微米厚或超過1毫米厚的積冰?？梢哉J(rèn)為，用這種MEMS結(jié)構(gòu)測量冰厚的量程一般不超過一百微米數(shù)量級。對于厚度較厚的積冰，可以利用與自激式蜂鳴器或其它與自激式蜂鳴器類似的結(jié)構(gòu)。為了簡便，在本說明書中將這種與自激式蜂鳴器類似的結(jié)構(gòu)稱為蜂鳴器結(jié)構(gòu)。 由于蜂鳴器結(jié)構(gòu)的基板厚度可以在1毫米數(shù)量級，因此可以用來測量幾百微米數(shù)量級或毫米數(shù)量級厚度的積冰。蜂鳴器結(jié)構(gòu)的基板可以是金屬片，采用金屬板的益處是金屬板的厚度可以小于1毫米，也可以大于1毫米，因此不但可以用于測量厚度小于1毫米的積冰，也可以用于測量厚度大于1毫米的積冰。采用金屬板的另一個益處是金屬板是導(dǎo)體，可以很容易地與外部電路連接，例如采用焊料可以將導(dǎo)線連接到金屬板的表面。為了測量不同厚度的積冰，可以同時使用至少一個MEMS傳感器和至少一個蜂鳴器結(jié)構(gòu)。采用這種方法，不但可以測量薄冰，也可以測量相對厚的冰。用兩個測量范圍不同的MEMS傳感器，或使用兩個測量范圍不同的蜂鳴器結(jié)構(gòu)，也可以達(dá)到積冰厚度擴(kuò)大測量范圍的目的。下面結(jié)合附圖對技術(shù)方案的實施作進(jìn)一步的詳細(xì)描述 圖1和圖2所示的一個實施例，可由下述工藝步驟實現(xiàn) 在基板101上形成下電極202、204。在下電極上形成壓電膜211、212。壓電膜的材料有很多選擇，例如溶膠-凝膠法形成的PZT，也可以是濺射形成的&10。圖形化壓電膜，利用光刻和腐蝕形成壓電膜的圖形。形成上電極201、203?？梢杂脼R射或蒸發(fā)的方法形成上電極?？梢杂霉饪毯蛣冸x的方法圖形化上電極?；?01的材料可以選用硅，其背面有二氧化硅覆蓋。利用光刻和刻蝕在背面的二氧化硅上打開腐蝕窗口，利用腐蝕窗口腐蝕基板，形成空腔103和膜片102。部件201、 202和212構(gòu)成圓環(huán)形的第一壓電換能器，在圓環(huán)上有一個開口，通過所述開口可以使第二壓電換能器連接到焊盤。部件204、211和203構(gòu)成圓形的第二壓電換能器。在這個實施例中，在201和202之間施加交流電壓，壓電膜201會產(chǎn)生振動。壓電膜201的振動會導(dǎo)致膜片102的振動，并引起第二壓電換能器的壓電膜211的周期性變形。由于壓電膜211的壓電效應(yīng)，在電極203和204之間會產(chǎn)生交流電壓。當(dāng)膜片102的表面的積冰厚度增加時，203 和204之間產(chǎn)生的交流電壓的幅度降低?；谶@種效應(yīng)，可以測量積冰。如果在203和204 之間施加交流電壓，也可以在201和202之間檢測電壓。也就是說，第一壓電換能器和第二壓電換能器是具有互換性的。在一些情況下，需要使基板的正面表面絕緣，因此可以選用正面表面有一層絕緣層的硅片作為基板?；宓牟牧弦部梢允墙饘?，在金屬板上也可以用多種制造方法形成壓電換能器。圖2是圖1中所示結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖2還顯示了兩個壓電換能器的四個焊盤。連接電極201,202,203和204的焊盤分別是251、252、253和254。在圖3所示的實施例中，基板是SOI硅片111。在硅片111的正面有氧化層112和氧化層上的硅層113。硅層113的厚度通常在1微米和20微米之間。與圖1、2中所示的實施例相比，采用SOI硅片的可以獲得厚度均勻、應(yīng)力低的單晶硅膜片，因此膜片的機(jī)械性能好。在該實施例中，在壓電換能器的表面覆蓋了一層絕緣層221。絕緣層的一個作用是防止因為表面積水造成漏電或短路。絕緣層的另一個作用是防止腐蝕性物質(zhì)損壞壓電換能器和膜片。絕緣層的材料是二氧化硅或氮化硅。在圖4所示的實施例中，兩個壓電換能器的下電極通過導(dǎo)體205連接。在設(shè)計下電極的光刻掩膜版的時候，在圖形中加入導(dǎo)體205。這樣，導(dǎo)體205和下電極可以同時形成。 為提供測量溫度的功能，在基板上集成了溫度傳感器208。在圖5所示的實施例中，兩個壓電換能器都包含梳狀電極。一個壓電換能器的振動可以引起另一個壓電換能器的振動。一個壓電換能器的下電極連接到焊盤233，上電極連接到焊盤235。另一個壓電換能器的下電極連接到焊盤234，上電極連接到焊盤236。在圖6和圖7所示的實施例中，基板101上有膜片102。膜片102正面的兩個壓電換能器都是矩形。一個壓電換能器的振動可以引起另一個壓電換能器的振動。兩個壓電換能器的下電極連接都連接到焊盤對5。一個壓電換能器的上電極241連接到焊盤M3，另一個壓電換能器的上電極242連接到焊盤M6。兩個壓電換能器的下電極通過導(dǎo)體244連接。305是附著在膜片102背面的冰。圖8和圖9所示的實施例包括了金屬基板301，壓電陶瓷薄片304，第一金屬電極 302和第二金屬電極303。這個實施例中的結(jié)構(gòu)與自激式壓電蜂鳴器類似。在301和302 之間施加一個交流電壓并引起結(jié)構(gòu)的振動。振動的幅度隨著積冰305的厚度增加而減小。 測量303和301之間的交流電壓幅度可獲知積冰的厚度。為了便于顯示，本說明書中的所有附圖均不是按照實際比例繪制的。實際的測量系統(tǒng)除了本說明書附圖中顯示的裝置外，還可以包括信號調(diào)理電路和電源等其它裝置。由于本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題主要針對元器件的結(jié)構(gòu)設(shè)計，因此其他裝置沒有在說明書和附圖中詳細(xì)介紹。本發(fā)明的實施，并不僅限于所述實施例和附圖中的方式，可以根據(jù)實際應(yīng)用靈活選用合適的制造方法和結(jié)構(gòu)設(shè)計。
權(quán)利要求
1.一種采用傳感器測量積冰的方法，其特征在于包括如下步驟首先對傳感器基板上的第一壓電換能器施加交流電壓，使基板和第二壓電換能器產(chǎn)生機(jī)械振動；再測量第二壓電換能器產(chǎn)生的交流電壓，獲知基板上覆蓋冰的厚度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的采用傳感器測量積冰的方法，其特征在于施加在第一壓電換能器的交流電壓的頻率低于或高于基板的諧振頻率。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的采用傳感器測量積冰的方法，其特征在于還包括分別采用 2個傳感器進(jìn)行測量的步驟，其中一個傳感器的積冰厚度測量范圍小于另一個傳感器的積冰厚度測量范圍。
4.一種用于測量積冰的傳感器，其特征在于包括基板、第一壓電換能器和第二壓電換能器；其中所述基板的一側(cè)表面設(shè)置有空腔，所述兩個壓電換能器設(shè)置在基板的另一側(cè)表面上，在基板與兩個壓電換能器之間設(shè)置有膜片；所述兩個壓電換能器均由上電極、壓電材料和下電極構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于測量積冰的傳感器，其特征在于所述兩個壓電換能器的表面覆蓋了一層絕緣層。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于測量積冰的傳感器，其特征在于所述基板是SOI硅片。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于測量積冰的傳感器，其特征在于所述兩個壓電換能器的上電極通過導(dǎo)體連接，或兩個壓電換能器的下電極通過導(dǎo)體連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于測量積冰的傳感器，其特征在于所述兩個壓電換能器分別為圓形壓電換能器、具有開口的圓環(huán)形壓電換能器，所述圓形壓電換能器通過圓環(huán)形壓電換能器的開口處設(shè)置在其內(nèi)部。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于測量積冰的傳感器，其特征在于所述兩個壓電換能器為梳指形狀或矩形形狀。
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于測量積冰的傳感器，其特征在于所述基板為金屬板。
全文摘要
本發(fā)明提供一種測量積冰的傳感器及其測量方法。所述傳感器包括兩個壓電換能器和一個基板。兩個壓電換能器都在基板上。每個壓電換能器都由上電極、下電極和上下電極之間的壓電膜構(gòu)成。兩個壓電換能器的下電極與基板連接?；宓牟牧峡梢允枪瑁部梢允墙饘?。利用所述傳感器測量積冰厚度的方法是，在第一壓電換能器的上下電極之間施加交流驅(qū)動電壓，引起基板和第二換能器的機(jī)械振動，測量第二壓電換能器的上下電極之間輸出的交流電壓的幅度，可反映基板上積冰的厚度。該傳感器的優(yōu)勢在于可以利用測量交流電壓幅度大小的方法測量積冰，在測量積冰厚度時不易受到積水的影響。
文檔編號G01B7/06GK102183197SQ20111003568
公開日2011年9月14日 申請日期2011年2月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月10日
發(fā)明者劉清惓 申請人:劉清惓