專利名稱：加壓介質(zhì)的介質(zhì)隔離的測量的制作方法
加壓介質(zhì)的介質(zhì)隔離的測量
背景技術(shù)：
壓力傳感器可提供系統(tǒng)中的有用反饋，該系統(tǒng)對加壓流體或氣體進(jìn)行處理，該反饋可用于控制此類處理。在一些實施方式中，可能希望將壓力傳感器與將要進(jìn)行壓力測量的介質(zhì)物理地隔離。

發(fā)明內(nèi)容
在一些實施方式中，一種系統(tǒng)包括通道或容器、壓力傳感器和安裝機(jī)構(gòu)。所述通道或容器可包括中心區(qū)域和外壁，并且所述外壁可構(gòu)造成將加壓流體容納在所述中心區(qū)域中。所述外壁可包括壁部分，所述壁部分是可變形且不可壓縮的并且具有與所述中心區(qū)域鄰近的內(nèi)表面以及與所述中心區(qū)域流體隔離的外表面。所述壓力傳感器可包括(a)壓力換能器，所述壓力換能器產(chǎn)生代表被施加到所述壓力換能器的機(jī)械應(yīng)力的幅度的信號，所述壓力換能器具有第一表面區(qū)域；(b)壓力感測面，所述壓力感測面具有大于所述第一表面區(qū)域的第二表面區(qū)域；和((3)力集中機(jī)構(gòu)，所述力集中機(jī)構(gòu)將被施加到所述壓力感測面 的力轉(zhuǎn)換為所述壓力換能器上的機(jī)械應(yīng)力。所述安裝機(jī)構(gòu)可將所述壓力感測面推成與所述外表面緊密接觸，由此使所述壁部分正向地變形，使得所述信號進(jìn)一步代表所述中心區(qū)域中的加壓流體的壓力。在一些實施方式中，所述安裝機(jī)構(gòu)將所述壓力感測面推成與所述外表面緊密接觸，使得所述感測面的表面區(qū)域的多于50%與所述外壁的外表面物理接觸。在一些情況中，所述壓力傳感器可以是表面聲波(SAW)傳感器。具體地，在一些實施方式中，所述壓力傳感器是石英SAW傳感器。在一些情況中，所述信號可包括靜態(tài)壓力分量和動態(tài)壓力分量，但這不是必需的。


現(xiàn)在將參照附圖來詳細(xì)描述這些和其他方面。圖I是示例性通道的剖面圖，加壓流體可流動穿過該通道。圖2A是示例性力集中器壓力傳感器的剖面圖。圖2B是圖2A所示的示例性力集中器傳感器的頂視圖。圖3是示例性安裝機(jī)構(gòu)的剖面圖，該安裝機(jī)構(gòu)用于將力集中器傳感器的感測面正向地推入介質(zhì)隔離層中。圖4是另一示例性安裝機(jī)構(gòu)的剖面圖，該安裝機(jī)構(gòu)用于將力集中器傳感器的感測面確定地推入管道的一部分中。圖5是示例性傳感器的圖示，其被封裝到帶螺紋的殼體中。圖6是圖5所示的示例性傳感器的圖示，其被布置在對應(yīng)的孔中，該孔在系統(tǒng)的襯墊中鉆出且?guī)菁y。圖7是曲線圖，其提供了采用石英SAW傳感器的系統(tǒng)的示例性數(shù)據(jù)，該石英SAW傳感器安裝在橡膠襯墊等中。
在各附圖中，相同的附圖標(biāo)記表示相同的元件。
具體實施例方式在一些壓力感測應(yīng)用中，可能希望將壓力傳感器與將要進(jìn)行壓力測量的介質(zhì)物理地隔離。本文描述了各種方法、系統(tǒng)和設(shè)備，用于以將壓力傳感器與介質(zhì)隔離的方式來測量介質(zhì)的壓力。圖I示出了示例性通道100的剖面圖，加壓流體可流動穿過該通道100。在一些實施方式中，通道100是管道或管子，加壓液體或氣體可被傳輸穿過該管道或管子。例如，通道100可以是醫(yī)療應(yīng)用中的承載流體的醫(yī)療管道。作為另一個示例，通道100可以是工業(yè)應(yīng)用中的承載加壓流體或氣體的管道。作為又一個示例，通道100可以是食品或飲料應(yīng)用中的承載配料的管道。無論何種應(yīng)用，示例性通道100可包括用于承載加壓介質(zhì)的中心區(qū)域103以及將加壓介質(zhì)容納在中心區(qū)域103中的外壁106。(注意，遍及本文件所使用的加 壓介質(zhì)可流動穿過的通道是為了說明的目的，然而，本文所描述的概念也適用于其他的上下文背景，例如在容器的上下文背景中，容器中可存在加壓介質(zhì)但加壓介質(zhì)不從一個點移動到另一個點)。在一些實施方式中，通道100的外壁106主要由剛性材料構(gòu)成。例如，在工業(yè)應(yīng)用中，通道100可根據(jù)需要由鋼、碳鋼、塑料和/或任何其他合適材料構(gòu)成。作為另一個示例，醫(yī)療應(yīng)用可采用聚四氟乙烯(PFTE)或其他基于聚合物的管道。作為其他示例，食品或飲料應(yīng)用或制藥應(yīng)用可采用不銹鋼通道100。在圖I所示的示例中，外壁106至少包括介質(zhì)隔離部分109，介質(zhì)隔離部分109是可變形的并且在一些情況下是不可壓縮的。例如，介質(zhì)隔離部分109可由硅橡膠制成。作為另一個示例，介質(zhì)隔離部分109可由薄的金屬、塑料、復(fù)合材料等制成。介質(zhì)隔離部分109具有內(nèi)表面112和外表面115，內(nèi)表面112鄰近于并且接觸中心區(qū)域103中的加壓介質(zhì)，夕卜表面115與內(nèi)表面112和中心區(qū)域103物理地隔離。在一些實施方式中，如將要更詳細(xì)描述的，壓力傳感器118可與介質(zhì)隔離部分109的外表面115緊密接觸，使得壓力傳感器118可穿過介質(zhì)隔離部分109來測量通道100內(nèi)側(cè)的介質(zhì)的壓力。在壓力傳感器118穿過介質(zhì)隔離部分109來測量壓力的實施方式中，介質(zhì)隔離部分109可將中心區(qū)域103中的介質(zhì)與壓力傳感器118物理地(例如，流體地)隔離。這種隔離在各種應(yīng)用中可能是有利的，例如被測量的介質(zhì)是腐蝕性的應(yīng)用(例如，在工業(yè)應(yīng)用中)或者用于介質(zhì)的衛(wèi)生或無菌準(zhǔn)則(例如在食品和飲料應(yīng)用中，或者在醫(yī)療應(yīng)用中)要求與任何感測裝置流體隔離的應(yīng)用。介質(zhì)隔離部分109的可變形和/或不可壓縮的本質(zhì)使得壓力傳感器118能夠“穿過”該部分來進(jìn)行感測。術(shù)語“不可壓縮的”可以指不可壓縮的或基本不可壓縮的。例如，并且在一些情況中，壓力傳感器118可構(gòu)造成在一壓力范圍上提供中心區(qū)域103中的加壓流體的壓力的測量，并且介質(zhì)隔離部分109可包括在該壓力范圍上能壓縮小于10%的材料，其可被認(rèn)為是基本不可壓縮的。在其他情況中，介質(zhì)隔離部分109可包括在該壓力范圍上能壓縮小于5%的材料、在該壓力范圍上能壓縮小于I %的材料、或者可壓縮更小的材料。隨著中心區(qū)域103中的加壓介質(zhì)沖擊在該部分的內(nèi)表面112上，加壓介質(zhì)的力將介質(zhì)隔離部分109向外推(例如使其變形)。由于介質(zhì)隔離部分109是不可壓縮的(或基本不可壓縮的)，內(nèi)表面112上的力的實質(zhì)的量被轉(zhuǎn)換為外表面115上的移位，而不是被介質(zhì)隔離部分109自身的材料吸收。如果適當(dāng)?shù)卦O(shè)定介質(zhì)隔離部分109的尺寸并且采用了合適的壓力傳感器，則可“穿過”介質(zhì)隔離部分109來準(zhǔn)確地測量壓力?？刹捎玫囊环N合適類型的壓力傳感器是這樣的傳感器，其將力從具有相對較大表面區(qū)域的感測表面集中到具有相對較小表面區(qū)域的壓力換能器。為了有助于進(jìn)一步的描述和說明，在本文中，這種傳感器可稱為“力集中器傳感器”。力集中器傳感器的示例在圖2A和2B中示出，并且在美國專利7，047，813中進(jìn)一步描述，該美國專利被轉(zhuǎn)讓給本文件的受讓人并且通過引用全文并入本文中。注意，僅僅描述了與本文件相關(guān)的示例性力集中器傳感器的部件，在此為了簡明省略了其他部件(例如，基座、殼體的額外細(xì)節(jié)，等等)。圖2A是示例性力集中器壓力傳感器200的剖面圖。圖2B是示例性力集中器傳感器200的頂視圖。如圖所示，示例性傳感器200包括三個主要部件壓力換能器202、壓力感測面205以及力集中機(jī)構(gòu)208?，F(xiàn)在進(jìn)一步詳細(xì)地描述每個部件。
壓力換能器202可以是任何裝置，只要其能夠產(chǎn)生代表被施加到壓力換能器202的機(jī)械應(yīng)力的信號。例如，壓力換能器202可以是壓阻傳感器，其所采用的元件的電阻響應(yīng)于所施加的壓力而變化(例如，布置在硅或陶瓷隔膜上的惠斯通電橋結(jié)構(gòu)中的壓敏電阻)。作為另一個示例，壓力換能器202可以是電容傳感器，其以一定的結(jié)構(gòu)采用一個或多個隔膜以及適當(dāng)?shù)慕殡姴牧?，在該結(jié)構(gòu)中，電容響應(yīng)于所施加的壓力而變化。作為另一個示例，壓力換能器202可以是壓電傳感器，其將所施加的壓力直接轉(zhuǎn)換為電信號。作為另一個示例，壓力換能器202可以是表面聲波(SAW)傳感器,該傳感器的聲波傳播性質(zhì)響應(yīng)于所施加的壓力而變化。這些僅僅是示例，并且所構(gòu)想的是可采用任何合適的壓力換能器。在一些實施方式中，無論所采用的壓力換能器202的類型如何，可包括電路(未示出)以從壓力換能器202的基礎(chǔ)的壓力相關(guān)的參數(shù)(例如，電阻、電容、聲性質(zhì)，等等)來產(chǎn)生和/或調(diào)節(jié)壓力相關(guān)的電信號。調(diào)節(jié)可包括例如對信號進(jìn)行放大，對輸出進(jìn)行電平移動，對溫度進(jìn)行補(bǔ)償和/或其他改變，等等。在所示的示例中，壓力感測面205可提供待測量介質(zhì)和壓力換能器202之間的界面。更特別地，待測量的壓力可被施加到感測面205的相對較大的表面區(qū)域，并且被力集中機(jī)構(gòu)208傳遞到壓力換能器202的相對較小的表面區(qū)域。如圖所示，一個示例性力集中機(jī)構(gòu)208是感測面205中的凹窩，其用于將沖擊在感測面205上的力或壓力轉(zhuǎn)移到壓力換能器202，其他的力集中裝置也是可能的并且在構(gòu)想之中。在一些實施方式中，加壓介質(zhì)可被直接施加到力集中機(jī)構(gòu)208的感測面205，并且該介質(zhì)的壓力可被測量。在其他實施方式中，并且如圖2A所示，可能希望用介質(zhì)隔離層211將感測面205進(jìn)一步與加壓介質(zhì)隔離。在這種實施方式中，感測面205可與適當(dāng)?shù)慕橘|(zhì)隔離層(例如，可變性的、不可壓縮的材料，諸如上面關(guān)于圖I所描述的通道壁100的介質(zhì)隔離部分109)接觸。在采用了介質(zhì)隔離層211的實施方式中，介質(zhì)隔離層211可以與感測面205充分地緊密接觸，介質(zhì)隔離層211沖擊在感測面205的表面區(qū)域的充分部分上以使得力集中器傳感器能夠穿過介質(zhì)隔離層211來測量加壓介質(zhì)的壓力。除了在表面區(qū)域的充分部分上接觸之外，介質(zhì)隔離層211還可處于張緊狀態(tài)(例如被正向地變形超過平衡狀態(tài))。例如，為了確保充分地緊密接觸，介質(zhì)隔離層211可被“預(yù)加載”并且構(gòu)造成當(dāng)壓力傳感器處于平衡(例如經(jīng)受最小壓力)時在全部的溫度范圍上與感測面205的表面區(qū)域的主要部分(例如，超過感測面205的表面區(qū)域的50%)物理接觸。然而，感測面205和介質(zhì)隔離層211之間的接觸的質(zhì)量被量化，將感測面正向地推入介質(zhì)隔離層中或推靠介質(zhì)隔離層可導(dǎo)致良好的接觸。這種力的施加正向地使隔離層變形超過平衡狀態(tài)到“預(yù)加載”張緊狀態(tài)?？刹捎酶鞣N安裝機(jī)構(gòu)以將感測面正向地推入介質(zhì)隔離層中，圖3示出了一個示例性安裝機(jī)構(gòu)。圖3提供了一個示例性安裝機(jī)構(gòu)的剖面圖，其用于將力集中器傳感器的感測面205正向地推入介質(zhì)隔離層中，使得可以測量介質(zhì)隔離層211的另一側(cè)上的加壓介質(zhì)的壓力。具體地，圖3示出了力集中器傳感器200上的以及介質(zhì)隔離層211中的互補(bǔ)的螺紋302，其使得力集中器傳感器200的感測面205能夠被用變化的力度推靠介質(zhì)隔離層211。更特別地，在圖I所示的構(gòu)造中，螺紋使得壓力傳感器118的感測面能夠被推靠外表面115。在適當(dāng)?shù)牧Φ那闆r下，力集中器傳感器200可以穿過介質(zhì)隔離層211以足夠的靈敏度并且在期望的范圍上測量加壓介質(zhì)的壓力。可采用其他安裝機(jī)構(gòu)。例如，如圖4所示，可采用夾具以將力集中器壓力傳感器的 感測面205推靠管道(例如，醫(yī)療管道)的一部分。無論采用何種具體的安裝機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)可施加適當(dāng)?shù)牧?例如，預(yù)加載力)以使力集中器傳感器和介質(zhì)隔離層充分地緊密接觸?，F(xiàn)在描述示例性壓力感測系統(tǒng)的其他細(xì)節(jié)。在一些實施方式中，可能希望在不使傳感器接觸加壓流體或氣體的情況下測量流過管道的加壓流體或氣體的壓力(例如，由于流體或氣體是腐蝕性的，或者需要滿足特定的衛(wèi)生或無菌要求)。該管道可以是較大的管道或管子系統(tǒng)或網(wǎng)絡(luò)的一部分，該系統(tǒng)或網(wǎng)絡(luò)具有各種閥和接頭，所述閥和接頭中的一些可采用可變形襯墊以密封系統(tǒng)或網(wǎng)絡(luò)上的各自位置。在這種系統(tǒng)采用可變形襯墊且該襯墊還是不可壓縮(或基本不可壓縮)的情況下，例如如上所述的壓力傳感器可安裝在現(xiàn)有襯墊中以便測量壓力。替代地，可安裝包括了適當(dāng)介質(zhì)隔離部分的分離的管道區(qū)段，壓力傳感器可安裝到該介質(zhì)隔離部分中，并且壓力傳感器可穿過介質(zhì)隔離部分來測量壓力。SAW傳感器可特別地適合于安裝在上述已有襯墊或分離的管道區(qū)段中。一種示例性SAW壓力傳感器可利用石英的壓電效應(yīng)以及一個或多個叉指式換能器而在聲波和電信號之間進(jìn)行轉(zhuǎn)換。更特別地，壓力傳感器可產(chǎn)生具有標(biāo)稱頻率的聲波，該標(biāo)稱頻率被壓力的變化所調(diào)制，可測量該被調(diào)制的頻率以提供壓力的幅度的表征。適當(dāng)?shù)碾娐房蓪π盘栠M(jìn)行調(diào)節(jié)以提供任何所期望的輸出(例如，電輸出、射頻輸出、光輸出，等等)?？蓪鞲衅鞣庋b在帶螺紋的殼體中(參見圖5)，并且可在系統(tǒng)中的適當(dāng)襯墊中鉆出對應(yīng)的孔并對該孔加工出螺紋(參見圖6)。圖6示出了被施加到介質(zhì)隔離層的正向力，其導(dǎo)致介質(zhì)隔離層被正向地變形。也就是說，在所示的示例中，壓力傳感器推靠介質(zhì)隔離層，由此使其變形超過平衡狀態(tài)(例如，圖6的示例中的平面狀態(tài))。如上所述，介質(zhì)隔離層的正向變形對隔離層“預(yù)加載”或者使隔離層張緊，進(jìn)一步確保介質(zhì)隔離層和傳感器之間的緊密接觸。注意，相對于一些實施方式，圖6示出了夸張的變形水平，介質(zhì)隔離層不需要變形到圖示的程度。還請注意，圖6的示例示出了介質(zhì)隔離膜與傳感器所螺紋連接到的材料是分離的(未與該材料形成為整體)。在其他實施方式(例如，類似于圖I所示的實施方式)中，傳感器被螺紋連接而僅僅部分地穿過單件的介質(zhì)隔離材料。傳感器可被螺紋連接到襯墊中，直到壓力傳感器的感測面充分地緊密接觸鉆孔的底部(類似于參照圖I示出和描述的外表面115)。由于鉆孔的底部可能不光滑，因此需要充分的壓力來使孔的底部處的材料變形，使得至少閾值量的材料與感測面接觸。例如，可能希望感測面的表面區(qū)域的大部分(即，多于50%)與介質(zhì)隔離層接觸。由于介質(zhì)隔離層的表面的確切性質(zhì)可能不是已知的或者不是可預(yù)測的，所以采用間接方法來確定傳感器和介質(zhì)隔離層之間是否存在充分緊密接觸可能是有利的。在上述帶螺紋的SAW傳感器的情況中，(經(jīng)校準(zhǔn)的)傳感器可被螺紋連接到介質(zhì)隔離層中，并且傳感器的本身的輸出可用于確定何時達(dá)到了閾值預(yù)加載力。適當(dāng)?shù)念A(yù)加載可以通過經(jīng)驗方式來確定，并且可取決于傳感器、介質(zhì)隔離層的特性以及介質(zhì)隔離層與壓力傳感器的感測面接觸的那部分的形貌。介質(zhì)隔離層自身可以是可變形的并且在一些情況中不可壓縮的任何合適材料。例如，該材料可以是橡膠、塑料、金屬或復(fù)合材料。替代地或另外，介質(zhì)隔離層可由兩種或更多種不同材料制成。例如，介質(zhì)隔離層可具有由一種材料(例如金屬)制成的中心區(qū)域以及由另一種材料(例如橡膠)制成的外圍區(qū)域?？偠灾梢赃x擇一種或多種材料以便與待測量的介質(zhì)兼容。 圖7提供了采用石英SAW傳感器的系統(tǒng)的示例性數(shù)據(jù)，該石英SAW傳感器安裝在橡膠襯墊中。如圖所示，該系統(tǒng)提供從大約15 psi (磅每平方英寸)到大約150 psi的壓力范圍上的基本線性的響應(yīng)。也就是說，在基于橡膠的介質(zhì)隔離層具有大約2. 3 mm厚度的情況下且在所示的范圍上，SAW傳感器提供了與介質(zhì)隔離層的另一側(cè)上的壓力基本線性相關(guān)的頻率輸出。可在各種介質(zhì)隔離的應(yīng)用中采用一個或多個如上所述的傳感器。例如，可采用這種傳感器來測量靜態(tài)壓力、動態(tài)壓力或者靜態(tài)壓力和動態(tài)壓力的組合(例如，具有靜態(tài)壓力分量和動態(tài)壓力分量的壓力)。這種應(yīng)用中的靈敏度和范圍可對應(yīng)于與壓力傳感器自身相關(guān)聯(lián)的各種設(shè)計參數(shù)，或者對應(yīng)于諸如如下的參數(shù)介質(zhì)隔離層的厚度(特別是在參照圖I標(biāo)出的內(nèi)和外表面之間)、用于構(gòu)成介質(zhì)隔離層的一種或多種材料及其固有性質(zhì)(例如，硬度計、楊氏模量、預(yù)加載量、感測面和外表面的表面光潔度，等等)。這樣，可根據(jù)特定應(yīng)用來優(yōu)化這些參數(shù)和其他參數(shù)。除了靜態(tài)和動態(tài)壓力測量之外，多個壓力傳感器可應(yīng)用在系統(tǒng)中以提供差動壓力信息。差動壓力信息可進(jìn)而用于一些系統(tǒng)(例如通道或管道)中以計算其內(nèi)流動的加壓介質(zhì)的流率。已經(jīng)描述了多個實施方式。然而將會理解的是，在不偏離本公開的精神和范圍的情況下可進(jìn)行各種修改。因此，其他實施方式也在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種系統(tǒng)，包括 通道，所述通道包括中心區(qū)域和外壁，所述外壁構(gòu)造成將加壓流體容納在所述中心區(qū)域中，所述外壁包括壁部分，所述壁部分是可變形且不可壓縮的并且具有與所述中心區(qū)域鄰近的內(nèi)表面以及與所述中心區(qū)域流體隔離的外表面； 壓力傳感器，所述壓力傳感器包括 (a)壓力換能器，所述壓力換能器產(chǎn)生代表被施加到所述壓力換能器的機(jī)械應(yīng)力的幅度的信號，所述壓力換能器具有第一表面區(qū)域； (b)壓力感測面，所述壓力感測面具有大于所述第一表面區(qū)域的第二表面區(qū)域；和 (c)力集中機(jī)構(gòu)，所述力集中機(jī)構(gòu)將被施加到所述壓力感測面的力轉(zhuǎn)換為所述壓力換能器上的機(jī)械應(yīng)力；以及 安裝機(jī)構(gòu)，所述安裝機(jī)構(gòu)將所述壓力感測面推成與所述壁部分的外表面緊密接觸，由此使所述壁部分正向地變形，使得所述信號提供了與所述中心區(qū)域中的加壓流體的壓力相關(guān)的度量。
2.如權(quán)利要求I所述的系統(tǒng)，其中，所述安裝機(jī)構(gòu)將所述壓力感測面推成與所述壁部分的外表面緊密接觸，使得所述感測面的表面區(qū)域的多于50%與所述外表面物理接觸。
3.如權(quán)利要求I所述的系統(tǒng)，其中，所述壓力傳感器是表面聲波(SAW)傳感器。
4.如權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其中，所述壓力傳感器是石英SAW傳感器。
5.如權(quán)利要求I所述的系統(tǒng)，其中，所述信號包括靜態(tài)壓力分量和動態(tài)壓力分量。
6.一種系統(tǒng),包括 容器，所述容器包括中心區(qū)域和外壁，所述外壁構(gòu)造成將加壓流體容納在所述中心區(qū)域中，所述外壁包括壁部分，所述壁部分是可變形的并且具有與所述中心區(qū)域鄰近的內(nèi)表面以及與所述中心區(qū)域流體隔離的外表面； 壓力傳感器，所述壓力傳感器包括 (a)壓力換能器，所述壓力換能器產(chǎn)生代表被施加到所述壓力換能器的機(jī)械壓力的幅度的信號，所述壓力換能器具有第一表面區(qū)域； (b)壓力感測面，所述壓力感測面具有大于所述第一表面區(qū)域的第二表面區(qū)域；和 (c)力集中機(jī)構(gòu)，所述力集中機(jī)構(gòu)將被施加到所述壓力感測面的力轉(zhuǎn)換為所述壓力換能器上的機(jī)械壓力；以及 安裝機(jī)構(gòu)，所述安裝機(jī)構(gòu)將所述壓力感測面推成與所述壁部分的外表面緊密接觸，由此使所述壁部分正向地變形，使得所述信號提供了與所述中心區(qū)域中的加壓流體的壓力相關(guān)的度量。
7.如權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中，所述安裝機(jī)構(gòu)將所述壓力感測面推成與所述外表面緊密接觸，使得所述感測面的表面區(qū)域的多于50%與所述外表面物理接觸。
8.如權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中，所述壓力傳感器是表面聲波(SAW)傳感器。
9.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中，所述壓力傳感器是石英SAW傳感器。
10.如權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中，所述壁部分包括不可壓縮的部分。
11.如權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中，所述系統(tǒng)構(gòu)造成在一壓力范圍上提供所述中心區(qū)域中的加壓流體的壓力的度量，并且其中，所述壁部分在所述壓力范圍上能夠壓縮小于10%。
12.如權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其中，所述系統(tǒng)構(gòu)造成在一壓力范圍上提供所述中心區(qū)域中的加壓流體的壓力的度量，并且其中，所述壁部分在所述壓力范圍上能夠壓縮小于5%。
13.如權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其中，所述系統(tǒng)構(gòu)造成在一壓力范圍上提供所述中心區(qū)域中的加壓流體的壓力的度量，并且其中，所述壁部分在所述壓力范圍上能夠壓縮小于1%。
全文摘要
在一些實施方式中，一種系統(tǒng)包括通道(100)或容器、壓力傳感器(118)和安裝機(jī)構(gòu)。所述通道或容器可包括中心區(qū)域(103)和外壁(106)，并且所述外壁可構(gòu)造成將加壓流體容納在所述中心區(qū)域中。所述外壁可包括壁部分(109)，所述壁部分(109)是可變形且不可壓縮的并且具有與所述中心區(qū)域鄰近的內(nèi)表面(112)以及與所述中心區(qū)域流體隔離的外表面(115)。所述壓力傳感器(118)可包括(a)壓力換能器，所述壓力換能器產(chǎn)生代表被施加到所述壓力換能器的機(jī)械應(yīng)力的幅度的信號，所述壓力換能器具有第一表面區(qū)域；(b)壓力感測面，所述壓力感測面具有大于所述第一表面區(qū)域的第二表面區(qū)域；和(c)力集中機(jī)構(gòu)，所述力集中機(jī)構(gòu)將被施加到所述壓力感測面的力轉(zhuǎn)換為所述壓力換能器上的機(jī)械應(yīng)力。
文檔編號G01L9/00GK102812343SQ201080065912
公開日2012年12月5日 申請日期2010年2月5日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月5日
發(fā)明者J.庫克, F.特納布爾, B.馬什, S.庫馬爾 申請人:霍尼韋爾國際公司