專(zhuān)利名稱(chēng)：線性標(biāo)度尺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及感應(yīng)同步器方式的線性標(biāo)度尺。
背景技術(shù)：
感應(yīng)同步器方式的線性標(biāo)度尺具有滑塊和標(biāo)度尺。將所述滑塊和所述標(biāo)度尺對(duì)置配置，設(shè)置于所述滑塊的線圈和設(shè)置于所述標(biāo)度尺的線圈隔著微小間隙而處于相面對(duì)的狀態(tài)，通過(guò)向一方的線圈施加SIN波/COS波的交流電壓而流過(guò)激勵(lì)電流，由此獲取因電磁感應(yīng)作用而在另一方的線圈中感應(yīng)的電壓的變化來(lái)進(jìn)行位置檢測(cè)。并且，線性標(biāo)度尺用于檢測(cè)移動(dòng)體(機(jī)床的工作臺(tái)等)的直線移動(dòng)量，在移動(dòng)體的移動(dòng)距離長(zhǎng)的情況下，需要采用符合該移動(dòng)距離的長(zhǎng)行程的標(biāo)度尺。圖10示出現(xiàn)有的長(zhǎng)行程的標(biāo)度尺的構(gòu)成。如該圖所示，以往在需要長(zhǎng)行程的標(biāo)度尺的情況下，將多條短(例如Im)行程的標(biāo)度尺1 (將這種單體的標(biāo)度尺也稱(chēng)為單標(biāo)度尺) 配設(shè)成一列，并且將設(shè)置于各單標(biāo)度尺1的線圈2串聯(lián)(series)連接。由此，能夠?qū)⒍鄺l單標(biāo)度尺1的組視作1體的長(zhǎng)行程的標(biāo)度尺10 (將這種標(biāo)度尺也稱(chēng)為組合標(biāo)度尺)。組合標(biāo)度尺10的輸出經(jīng)由連接器3被輸入至前置放大器4。然而，若通過(guò)串聯(lián)連接構(gòu)成長(zhǎng)行程的組合標(biāo)度尺，則分布于該標(biāo)度尺上的C(電容器雜散電容)成分、L(電感)成分增加。并且，在規(guī)格上例如以串聯(lián)連接的方式構(gòu)成了超過(guò)細(xì)行程的這種長(zhǎng)行程的組合標(biāo)度尺的情況下，由于該標(biāo)度尺的C成分、L成分過(guò)于增加， 施加電壓的波形和由此感應(yīng)出的電壓的波形之間的相位偏差(相位差)變得過(guò)大，產(chǎn)生了相位反轉(zhuǎn)，因而在處理感應(yīng)電壓的A/D變換器中會(huì)產(chǎn)生計(jì)數(shù)錯(cuò)誤，因此無(wú)法正確檢測(cè)移動(dòng)量。該現(xiàn)象特別在激勵(lì)電流的頻率高的情況下明顯。為此，在例如構(gòu)成超過(guò)細(xì)的長(zhǎng)行程的組合標(biāo)度尺的情況下，通過(guò)進(jìn)行分組布線來(lái)進(jìn)行對(duì)應(yīng)。例如在構(gòu)成Ilm的長(zhǎng)行程的組合標(biāo)度尺的情況下，如圖11所示，將4條單標(biāo)度尺 1串聯(lián)連接成細(xì)的長(zhǎng)行程的組合標(biāo)度尺5的組的2個(gè)組、和將3條單標(biāo)度尺1串聯(lián)連接成 3m的長(zhǎng)行程的組合標(biāo)度尺6的組的1個(gè)組排成一列，并且通過(guò)將這些組合標(biāo)度尺5、6的線圈2并聯(lián)(parallel)連接，由此能夠視作長(zhǎng)度為Ilm的1體的長(zhǎng)行程的組合標(biāo)度尺20。組合標(biāo)度尺20的輸出經(jīng)由連接器3被輸入至前置放大器4。另外，因?yàn)榻M合標(biāo)度尺6中單標(biāo)度尺1比組合標(biāo)度尺5中少1條，所以在安裝線性標(biāo)度尺的現(xiàn)場(chǎng)，將具有與1條該單標(biāo)度尺1的電阻值相當(dāng)?shù)碾娮柚档碾娮?與組合標(biāo)度尺 6的輸出端子進(jìn)行連接，使得組合標(biāo)度尺5和組合標(biāo)度尺6的電阻值變得相同。(現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn))專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)平9-325002號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
(發(fā)明要解決的課題)
然而，在如圖11所示那樣單純地將組合標(biāo)度尺5、6并聯(lián)連接的情況下，由于會(huì)產(chǎn)生較大的布線的束21，因而有時(shí)難以確保能夠配置該布線的束21的物理空間。另外，雖然在圖11中組間的標(biāo)度尺條數(shù)差為1條，但是因行程的不同而也存在組間的標(biāo)度尺條數(shù)差為2條的情況、或?yàn)?條的情況等，所以每次都必須在設(shè)置線性標(biāo)度尺的現(xiàn)場(chǎng)選擇與標(biāo)度尺條數(shù)差相應(yīng)的電阻值的電阻，在單標(biāo)度尺1不足的組中設(shè)置該電阻，所以該設(shè)置作業(yè)變得麻煩。而且，以往，需要在線性標(biāo)度尺的設(shè)置現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行向單標(biāo)度尺1打入引腳(端子)、向該打入的引腳壓接引線、對(duì)壓接的引線進(jìn)行布線等作業(yè)，因而標(biāo)度尺的設(shè)置作業(yè)需要耗費(fèi)時(shí)間和勞力，容易引起布線錯(cuò)誤。因此，本發(fā)明鑒于上述情況而實(shí)現(xiàn)，課題在于提供一種能夠減少組合標(biāo)度尺的布線所需的物理空間、使得容易進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)的組合標(biāo)度尺的設(shè)置作業(yè)等的線性標(biāo)度尺。(用于解決課題的手段)解決上述課題的第1發(fā)明的線性標(biāo)度尺，其具有滑塊和組合標(biāo)度尺而構(gòu)成，所述線性標(biāo)度尺的特征在于，所述組合標(biāo)度尺采用的結(jié)構(gòu)是具有公用線和排成一列的多條單標(biāo)度尺，通過(guò)使所述單標(biāo)度尺的線圈分別與所述公用線連接而使所有的所述單標(biāo)度尺的線圈并聯(lián)。另外，第2發(fā)明的線性標(biāo)度尺在第1發(fā)明的線性標(biāo)度尺中其特征在于，所述公用線是利用兩端設(shè)置有連接器的分割公用線，通過(guò)將所述連接器彼此進(jìn)行結(jié)合來(lái)連接多條所述分割公用線而構(gòu)成的，所述單標(biāo)度尺的線圈分別與各分割公用線連接。另外，第3發(fā)明的線性標(biāo)度尺在第1或第2發(fā)明的線性標(biāo)度尺中其特征在于，所述多條單標(biāo)度尺利用了多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺，并且，在所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺的線圈上分別連接阻抗匹配部件，從而使所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺的阻抗匹配。另外，第4發(fā)明的線性標(biāo)度尺在第3發(fā)明的線性標(biāo)度尺中其特征在于，分別與所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺的線圈連接的所述阻抗匹配部件，都是具有相同電阻值的電阻， 并且，所述電阻具有能夠忽視所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺彼此之間的阻抗之差的大小的電阻值。另外，第5發(fā)明的線性標(biāo)度尺在第3發(fā)明的線性標(biāo)度尺中其特征在于，分別與所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺的線圈連接的所述阻抗匹配部件，都是組合了電阻、電感器和電容器中的任意多個(gè)而構(gòu)成的部件，且都具有相同的合成阻抗值，并且，所述組合了電阻、電感器和電容器中的任意多個(gè)而構(gòu)成的部件具有能夠忽視所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺彼此之間的阻抗之差的大小的合成阻抗值。另外，第6發(fā)明的線性標(biāo)度尺在第3發(fā)明的線性標(biāo)度尺中其特征在于，分別與所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺的線圈連接的所述阻抗匹配部件，都是具有相同電阻值的電阻， 并且，所述電阻具有所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺彼此之間的阻抗之差的100倍以上的電阻值。另外，第7發(fā)明的線性標(biāo)度尺在第3發(fā)明的線性標(biāo)度尺中其特征在于，分別與所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺的線圈連接的所述阻抗匹配部件，都是組合了電阻、電感器和電容器中的任意多個(gè)而構(gòu)成的部件，且都具有相同的合成阻抗值，并且，所述組合了電阻、電感器和電容器中的任意多個(gè)而構(gòu)成的部件具有所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺彼此之間的
4阻抗之差的100倍以上的合成阻抗值。(發(fā)明效果)根據(jù)第1發(fā)明的線性標(biāo)度尺，由于其具有滑塊和組合標(biāo)度尺而構(gòu)成，所述線性標(biāo)度尺的特征在于，所述組合標(biāo)度尺采用的結(jié)構(gòu)是具有公用線和排成一列的多條單標(biāo)度尺， 通過(guò)使所述單標(biāo)度尺的線圈分別與所述公用線連接而使所有的所述單標(biāo)度尺的線圈并聯(lián)， 所以無(wú)論怎么加長(zhǎng)組合標(biāo)度尺，施加電壓的波形和感應(yīng)電壓的波形之間的相位偏差都不會(huì)變大。并且，不需要以往那樣的引腳組(pin group)布線，并且也不會(huì)產(chǎn)生因單純的并聯(lián)連接而產(chǎn)生的較大的布線的束。因此，能夠減少組合標(biāo)度尺的布線所需的物理空間，布線作業(yè)容易，不易引起布線錯(cuò)誤。根據(jù)第2發(fā)明的線性標(biāo)度尺，由于在第1發(fā)明的線性標(biāo)度尺中其特征在于，所述公用線是利用兩端設(shè)置有連接器的分割公用線，通過(guò)將所述連接器彼此進(jìn)行結(jié)合來(lái)連接多條所述分割公用線而構(gòu)成的，所述單標(biāo)度尺的線圈分別與各分割公用線連接，所以布線作業(yè)也可僅是單純地結(jié)合分割公用線的連接器彼此之間，由于不需要在現(xiàn)場(chǎng)的線圈和公用線連接的連接作業(yè)，因此布線作業(yè)變得更容易，不易引起布線錯(cuò)誤。根據(jù)第3發(fā)明的線性標(biāo)度尺，由于在第1或第2發(fā)明的線性標(biāo)度尺中其特征在于， 所述多條單標(biāo)度尺利用了多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺，并且，在所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺的線圈上分別連接阻抗匹配部件，從而使所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺的阻抗匹配，所以可以得到上述第1或第2發(fā)明的效果，并且能夠無(wú)需在意阻抗之差地任意組合不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺，能夠構(gòu)成期望長(zhǎng)度的組合標(biāo)度尺，因此在現(xiàn)場(chǎng)的組合標(biāo)度尺的設(shè)置作業(yè)變得各易ο根據(jù)第4發(fā)明的線性標(biāo)度尺，由于在第3發(fā)明的線性標(biāo)度尺中其特征在于，分別與所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺的線圈連接的所述阻抗匹配部件，都是具有相同電阻值的電阻，并且，所述電阻具有能夠忽視所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺彼此之間的阻抗之差的大小的電阻值，所以可以得到與上述第3發(fā)明同樣的效果，并且在制造附帶阻抗匹配部件 (電阻)的單標(biāo)度尺之際，無(wú)需按長(zhǎng)度不同的單標(biāo)度尺來(lái)設(shè)置不同的電阻值的阻抗匹配部件(電阻)，因此單標(biāo)度尺的制造變得非常容易。根據(jù)第5發(fā)明的線性標(biāo)度尺，由于在第3發(fā)明的線性標(biāo)度尺中其特征在于，分別與所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺的線圈連接的所述阻抗匹配部件，都是組合了電阻、電感器和電容器中的任意多個(gè)而構(gòu)成的部件，且都具有相同的合成阻抗值，并且，所述組合了電阻、電感器和電容器中的任意多個(gè)而構(gòu)成的部件具有能夠忽視所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺彼此之間的阻抗之差的大小的合成阻抗值，所以可以得到與上述第3發(fā)明同樣的效果， 并且在制造附帶阻抗匹配部件(組合了電阻、電感器和電容器中的任意多個(gè)而構(gòu)成的部件)的單標(biāo)度尺之際，無(wú)需按長(zhǎng)度不同的單標(biāo)度尺來(lái)設(shè)置不同的合成阻抗值的阻抗匹配部件(組合了電阻、電感器和電容器中的任意多個(gè)而構(gòu)成的部件)，因此單標(biāo)度尺的制造變得非常容易。另外，根據(jù)第6發(fā)明的線性標(biāo)度尺，由于在第3發(fā)明的線性標(biāo)度尺中其特征在于， 分別與所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺的線圈連接的所述阻抗匹配部件，都是具有相同電阻值的電阻，并且，所述電阻具有所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺彼此之間的阻抗之差的100 倍以上的電阻值，所以可以得到與上述第3發(fā)明同樣的效果，并且在制造附帶阻抗匹配部件(電阻)的單標(biāo)度尺之際無(wú)需按長(zhǎng)度不同的單標(biāo)度尺來(lái)設(shè)置不同的電阻值的阻抗匹配部件(電阻)，因此單標(biāo)度尺的制造變得非常容易。根據(jù)第7發(fā)明的線性標(biāo)度尺，由于在第3發(fā)明的線性標(biāo)度尺中其特征在于，分別與所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺的線圈連接的所述阻抗匹配部件，都是組合了電阻、電感器和電容器中的任意多個(gè)而構(gòu)成的部件，且都具有相同的合成阻抗值，并且，所述組合了電阻、電感器和電容器中的任意多個(gè)而構(gòu)成的部件具有所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺彼此之間的阻抗之差的100倍以上的合成阻抗值，所以可以得到與上述第3發(fā)明同樣的效果，并且在制造附帶阻抗匹配部件(組合了電阻、電感器和電容器中的任意多個(gè)而構(gòu)成的部件)的單標(biāo)度尺之際，無(wú)需按長(zhǎng)度不同的單標(biāo)度尺來(lái)設(shè)置不同的合成阻抗值的阻抗匹配部件(組合了電阻、電感器和電容器中的任意多個(gè)而構(gòu)成的部件)，因此單標(biāo)度尺的制造變得非常容易ο


圖1是采用了本發(fā)明的實(shí)施方式例1涉及的線性標(biāo)度尺的全閉環(huán)的反饋控制裝置的結(jié)構(gòu)圖。圖2是本發(fā)明的實(shí)施方式例1涉及的線性標(biāo)度尺中的組合標(biāo)度尺的結(jié)構(gòu)圖。圖3(a)是作為所述組合標(biāo)度尺的構(gòu)成要素的單標(biāo)度尺的結(jié)構(gòu)圖，(b)是作為所述組合標(biāo)度尺的構(gòu)成要素的其他單標(biāo)度尺的結(jié)構(gòu)圖。圖4是本發(fā)明的實(shí)施方式例2涉及的線性標(biāo)度尺中的組合標(biāo)度尺的結(jié)構(gòu)圖。圖5(a)是作為所述組合標(biāo)度尺的構(gòu)成要素的單標(biāo)度尺的結(jié)構(gòu)圖，(b)是作為所述組合標(biāo)度尺的構(gòu)成要素的其他單標(biāo)度尺的結(jié)構(gòu)圖。圖6是本發(fā)明的實(shí)施方式例3涉及的線性標(biāo)度尺中的組合標(biāo)度尺的結(jié)構(gòu)圖。圖7(a)是作為所述組合標(biāo)度尺的構(gòu)成要素的單標(biāo)度尺的結(jié)構(gòu)圖，(b)是作為所述組合標(biāo)度尺的構(gòu)成要素的其他單標(biāo)度尺的結(jié)構(gòu)圖。圖8是本發(fā)明的實(shí)施方式例4涉及的線性標(biāo)度尺中的組合標(biāo)度尺的結(jié)構(gòu)圖。圖9(a)是作為所述組合標(biāo)度尺的構(gòu)成要素的單標(biāo)度尺的結(jié)構(gòu)圖，(b)是作為所述組合標(biāo)度尺的構(gòu)成要素的其他單標(biāo)度尺的結(jié)構(gòu)圖。圖10是以往的進(jìn)行了串聯(lián)連接的組合標(biāo)度尺的結(jié)構(gòu)圖。圖11是以往的進(jìn)行了分組布線的組合標(biāo)度尺的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式以下，基于附圖，詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式例。<實(shí)施方式例1>基于圖1 圖3，說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式例1。首先，基于圖1，說(shuō)明將本實(shí)施方式例1的線性標(biāo)度尺應(yīng)用于機(jī)床中的全閉環(huán)的反饋控制裝置的情況。如圖1所示，滾珠螺桿31具有螺合的螺紋軸31a和螺母31b，螺紋軸31a與驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)32的旋轉(zhuǎn)軸連接，螺母31b被安裝于作為移動(dòng)體的工作臺(tái)33。因此，若通過(guò)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)32使得螺紋軸31a如箭頭A所示那樣旋轉(zhuǎn)，則工作臺(tái)33與螺母31b —起如箭頭B所示那樣直線移動(dòng)。為了檢測(cè)該工作臺(tái)33的位置(移動(dòng)量)，采用了本實(shí)施方式例1的線性標(biāo)度尺41。 感應(yīng)同步器方式的線性標(biāo)度尺41具有滑塊42和組合標(biāo)度尺43而構(gòu)成，滑塊42被安裝于工作臺(tái)33而與工作臺(tái)33 —起直線移動(dòng)，組合標(biāo)度尺43被安裝于機(jī)床的固定部(省略圖示)。 通過(guò)將滑塊42和組合標(biāo)度尺43對(duì)置配置，由此設(shè)置于滑塊42的線圈44和設(shè)置于組合標(biāo)度尺43的線圈54、58隔著微小間隙而相面對(duì)。并且，組合標(biāo)度尺43具有符合工作臺(tái)33的移動(dòng)距離的長(zhǎng)行程。該組合標(biāo)度尺43 的詳細(xì)構(gòu)成在后面敘述。若從A/D變換器46向滑塊42的線圈44施加SIN波/COS波的交流電壓而流過(guò)激勵(lì)電流，則因電磁感應(yīng)作用而在組合標(biāo)度尺43的線圈M、58感應(yīng)出電壓。感應(yīng)電壓根據(jù)滑塊42 (線圈44)和組合標(biāo)度尺43 (線圈M、58)之間的相對(duì)位置的變化而變化。感應(yīng)電壓自組合標(biāo)度尺43經(jīng)由連接器47而被取出，并在被前置放大器48放大之后輸入至A/D變換器46。在A/D變換器46中，處理感應(yīng)電壓來(lái)檢測(cè)工作臺(tái)33的位置(移動(dòng)量)，并將該檢測(cè)位置的信號(hào)向作為控制裝置的NC伺服放大器49反饋。在NC伺服放大器49中，為使工作臺(tái)33的位置成為指令位置，而根據(jù)所述檢測(cè)位置與所述指令位置的偏差來(lái)控制驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)32的旋轉(zhuǎn)。接著，基于圖1 圖3，說(shuō)明本實(shí)施方式例1的組合標(biāo)度尺43的結(jié)構(gòu)。如圖1及圖2所示，組合標(biāo)度尺43將多條(圖示例中為8條)短行程(例如Im) 的單標(biāo)度尺51和多條(圖示例中為2條)短行程(例如250mm)的單標(biāo)度尺52配設(shè)成一列，從而可視作1體的長(zhǎng)行程(例如8. 5m)的標(biāo)度尺。單標(biāo)度尺51采用的結(jié)構(gòu)是在作為矩形狀的鐵板的基底53上設(shè)置有鋸齒狀的線圈W。并且，在單標(biāo)度尺51的線圈M的兩側(cè)分別連接有電阻56。同樣，單標(biāo)度尺52采用的結(jié)構(gòu)是在作為矩形狀的鐵板的基底57上設(shè)置有鋸齒狀的線圈58。并且，在單標(biāo)度尺52 的線圈58的兩側(cè)也分別連接有電阻56。這些單標(biāo)度尺51、52作為如圖3(a)及圖3(b)所示那樣的附帶阻抗匹配部件(電阻56)的產(chǎn)品，而在線性標(biāo)度尺41的制造工廠中制造。如圖1及圖2所示，單標(biāo)度尺51、52的線圈M、58都并聯(lián)(parallel)連接，由此在連接上能夠作為單獨(dú)的標(biāo)度尺進(jìn)行對(duì)待?？墒?，若進(jìn)行圖11所示那樣的單純的并聯(lián)連接， 則布線會(huì)增加與單標(biāo)度尺51、52的條數(shù)相應(yīng)的數(shù)量，會(huì)產(chǎn)生較大的布線的束。因此，單標(biāo)度尺51、52的線圈連接采用了在串行總線連接中用到的多支路布線的方式。即，通過(guò)配設(shè)公用線(總線)61，使各單標(biāo)度尺51、52的線圈54、58分別與該公用線 61連接，由此使所有的單標(biāo)度尺51、52的線圈M、58并聯(lián)。在公用線61的端部設(shè)置有連接器47，并且該連接器47與前置放大器48的連接器47結(jié)合。另一方面，由于單標(biāo)度尺51和單標(biāo)度尺52的長(zhǎng)度(行程)不同，因而各單標(biāo)度尺 51、52所具有的R(電阻)成分、C(電容器雜散電容)成分及L(電感)成分的值不同，與激勵(lì)電流的頻率相應(yīng)的阻抗不同。因此，若將長(zhǎng)度不同的單標(biāo)度尺51、52的線圈M、58僅與公用線61相連，則在單標(biāo)度尺51、52的接頭部分的位置檢測(cè)精度會(huì)變差。因此，在單標(biāo)度尺51、52的線圈54、58的任一個(gè)中都連接了前述的電阻56，作為用于使單標(biāo)度尺51和單標(biāo)度尺52的阻抗匹配的部件(阻抗匹配部件)。在任一單標(biāo)度尺51、52中都設(shè)置了電阻56，并且具有相同的電阻值，是能夠忽視不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺51和單標(biāo)度尺52的阻抗(即未設(shè)置電阻56的狀態(tài)的單標(biāo)度尺51、52的阻抗)之差的大小的電阻值。即，電阻56具有與所述阻抗之差相比充分大的電阻值。這種情況下，優(yōu)選電阻56的電阻值為上述單標(biāo)度尺51、52的阻抗之差的100倍以上，相對(duì)于該電阻值而言所述阻抗之差為以下。例如，若所述阻抗之差為10Ω，則電阻 56的電阻值設(shè)為IK Ω以上。但是，若過(guò)于增大電阻56的電阻值，則組合標(biāo)度尺43的輸出(增益)會(huì)變得過(guò)小， 因此無(wú)法進(jìn)行精度高的位置檢測(cè)。因此，電阻56的電阻值需要設(shè)為不會(huì)使組合標(biāo)度尺43 的輸出(增益)變得極端小的程度的值。此外，所述輸出的大小需要達(dá)到哪種程度以上，只要根據(jù)所述輸出的處理能力等進(jìn)行適當(dāng)確定即可。即，根據(jù)所需要的輸出的大小來(lái)適當(dāng)確定電阻56的電阻值的上限值即可。此外，由于在圖示例的單標(biāo)度尺51中在線圈討的兩側(cè)設(shè)置了電阻56，所以只要將這兩側(cè)的電阻56的合成電阻值設(shè)為上述的值即可。同樣，由于在圖示例的單標(biāo)度尺52中也在線圈58的兩側(cè)設(shè)置了電阻56，所以只要將這兩側(cè)的電阻56的合成電阻值設(shè)為上述的值即可。在線圈Μ、58的兩側(cè)設(shè)置了電阻56是為了使線圈54、58感應(yīng)的交流電壓的穩(wěn)定性良好。但并不限定于此，在從使單標(biāo)度尺51、52的阻抗匹配這一觀點(diǎn)出發(fā)，未必一定要如上述那樣在線圈Μ、58的兩側(cè)設(shè)置電阻56，也可僅在線圈Μ、58的單側(cè)設(shè)置電阻56。這種情況下，將設(shè)置于線圈M的單側(cè)的電阻56的電阻值設(shè)為上述的值，將設(shè)置于線圈58的單側(cè)的電阻56的電阻值也設(shè)為上述的值即可。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式例1的線性標(biāo)度尺41，由于該線性標(biāo)度尺41具有滑塊 42和組合標(biāo)度尺43而構(gòu)成，線性標(biāo)度尺41的特征在于，組合標(biāo)度尺43采用的結(jié)構(gòu)是具有公用線61和排成一列的多條單標(biāo)度尺51、52，并且通過(guò)使單標(biāo)度尺51、52的線圈Μ、58 分別與公用線61連接，從而使所有的單標(biāo)度尺51、52的線圈54、58并聯(lián)，所以無(wú)論怎么加長(zhǎng)組合標(biāo)度尺43，施加電壓的波形和感應(yīng)電壓的波形之間的相位偏差都不會(huì)變大。并且， 不需要以往那樣的引腳組布線，并且也不會(huì)產(chǎn)生因單純的并聯(lián)連接而產(chǎn)生的較大的布線的束。因此，能夠減少組合標(biāo)度尺43的布線所需的物理空間，布線作業(yè)容易，不易引起布線錯(cuò)誤。另外，根據(jù)本實(shí)施方式例1的線性標(biāo)度尺41，由于其特征在于在不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺51、52的線圈Μ、58上分別連接電阻56來(lái)作為阻抗匹配部件，從而來(lái)匹配不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺51、52的阻抗，所以能夠無(wú)需在意阻抗之差地任意組合不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺51、 52，能夠構(gòu)成期望長(zhǎng)度的組合標(biāo)度尺，因此在現(xiàn)場(chǎng)的組合標(biāo)度尺41的設(shè)置作業(yè)變得容易。另外，根據(jù)本實(shí)施方式例1的線性標(biāo)度尺41，由于其特征在于與不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺51、52的線圈54、58分別連接的阻抗匹配部件都是具有相同電阻值的電阻56，并且該電阻56具有能夠忽視不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺51、52的阻抗之差的大小(所述阻抗之差的100 倍以上)的電阻值，所以在制造附帶阻抗匹配部件(電阻56)的單標(biāo)度尺51、52之際無(wú)需按長(zhǎng)度不同的單標(biāo)度尺51、52來(lái)設(shè)置不同的電阻值的阻抗匹配部件(電阻)，因此單標(biāo)度尺 51,52的制造非常容易。此外，在上述說(shuō)明中雖然采用了 2種不同長(zhǎng)度(行程)的單標(biāo)度尺51、52，但是并不限定于此，也可采用3種以上的不同長(zhǎng)度(行程)的單標(biāo)度尺(例如lm、500mm和250mm 的單標(biāo)度尺)。這種情況下，與上述同樣地，只要在各單標(biāo)度尺的線圈上連接電阻來(lái)使所有的單標(biāo)度尺的阻抗匹配即可，只要將此時(shí)的電阻的電阻值設(shè)為能夠忽視單標(biāo)度尺之間的阻抗之差的大小(所述阻抗之差的100倍以上)的值即可。此外，在某一單標(biāo)度尺之間的阻抗之差和其他單標(biāo)度尺之間的阻抗之差不同的情況下，只要設(shè)為能夠忽視最大的阻抗之差的大小(所述阻抗之差的100倍以上)的電阻值即可。<實(shí)施方式例2>基于圖4及圖5，說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式例2。其中，由于線性標(biāo)度尺中的滑塊和組合標(biāo)度尺之間的配置關(guān)系、線性標(biāo)度尺的應(yīng)用例等與上述實(shí)施方式例1同樣(參照?qǐng)D1)， 所以在此省略說(shuō)明。另外，關(guān)于與上述實(shí)施方式例1的組合標(biāo)度尺(參照?qǐng)D2、圖3)同樣的部分賦予同一符號(hào)，并省略重復(fù)部分的詳細(xì)說(shuō)明。如圖4所示，在本實(shí)施方式例2的線性標(biāo)度尺中的組合標(biāo)度尺71中，公用線61被分割成多個(gè)部分61A(將該部分也稱(chēng)為分割公用線)，并在各分割公用線61A的兩端分別設(shè)置有連接器62。通過(guò)結(jié)合相鄰的分割公用線61A的連接器62彼此之間來(lái)連接多個(gè)分割公用線61A，由此能夠視作1體的公用線61 (將其也稱(chēng)為組合公用線)。并且，各單標(biāo)度尺51、52的線圈54、58分別與各分割公用線61A連接。單標(biāo)度尺 51、52作為圖5(a)及圖5(b)所示的安裝了阻抗匹配部件(電阻56)和附帶連接器62的分割公用線61A的狀態(tài)的產(chǎn)品，在線性標(biāo)度尺的制造工廠中制造。因此，在線性標(biāo)度尺的設(shè)置現(xiàn)場(chǎng)，僅將相鄰的分割公用線61A的連接器62彼此之間進(jìn)行結(jié)合，就能簡(jiǎn)單地完成布線作業(yè)。此外，在最端部的單標(biāo)度尺52中，將分割公用線61A的連接器62與前置放大器48的連接器47結(jié)合。關(guān)于本實(shí)施方式例2的組合標(biāo)度尺71的其他構(gòu)成，與上述實(shí)施方式例1的組合標(biāo)度尺43相同。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式例2的線性標(biāo)度尺，由于其特征在于公用線61是利用兩端設(shè)置有連接器62的分割公用線61A，通過(guò)結(jié)合連接器62彼此之間來(lái)連接多條分割公用線61A而構(gòu)成的，單標(biāo)度尺51、52的線圈54、58分別與各分割公用線61A連接，所以布線作業(yè)僅單純地將分割公用線61A的連接器62彼此之間結(jié)合即可，不需要在現(xiàn)場(chǎng)的線圈和公用線連接的連接作業(yè)，因此布線作業(yè)變得更容易，不易引起布線錯(cuò)誤。<實(shí)施方式例3>基于圖6及圖7，說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式例3。此外，由于線性標(biāo)度尺的滑塊和組合標(biāo)度尺之間的配置關(guān)系、線性標(biāo)度尺的應(yīng)用例等與上述實(shí)施方式例1相同(參照?qǐng)D1)，所以在此省略說(shuō)明。如圖6所示，本實(shí)施方式例3的線性標(biāo)度尺中的組合標(biāo)度尺81將多條(例如8條) 短行程(例如Im)的單標(biāo)度尺82和多條(例如2條)短行程(例如250mm)的單標(biāo)度尺83 配設(shè)成一列，從而能夠視作1體的長(zhǎng)行程(例如8. 5m)的標(biāo)度尺。單標(biāo)度尺82采用的結(jié)構(gòu)是在作為矩形狀的鐵板的基底84上設(shè)置有鋸齒狀的線圈85。并且，在單標(biāo)度尺82的線圈85的兩側(cè)分別連接有電阻88、電感器89和電容器90。 同樣，單標(biāo)度尺83采用的結(jié)構(gòu)是在作為矩形狀的鐵板的基底86上設(shè)置有鋸齒狀的線圈87。并且，在單標(biāo)度尺83的線圈87的兩側(cè)也分別設(shè)置有電阻88、電感器89和電容器90。單標(biāo)度尺82、83作為圖7(a)及圖7(b)所示那樣的附帶阻抗匹配部件(電阻88、 電感器89、電容器90)的產(chǎn)品，在線性標(biāo)度尺的制造工廠中制造。如圖6所示，單標(biāo)度尺82、83的線圈85、87都并聯(lián)(parallel)連接，由此在連接上能夠作為單獨(dú)的標(biāo)度尺進(jìn)行對(duì)待?？墒?，若進(jìn)行圖11所示那樣的單純的并聯(lián)連接，則布線會(huì)增加與單標(biāo)度尺82、83的條數(shù)相應(yīng)的量，會(huì)產(chǎn)生較大的布線的束。因此，單標(biāo)度尺82、83的線圈連接中采用了在串行總線連接中用到的多支路布線的方式。即，通過(guò)配設(shè)公用線(總線)91，并使各單標(biāo)度尺82、83的線圈85、87分別與該公用線91連接，由此使所有的單標(biāo)度尺82、83的線圈85、87并聯(lián)。在公用線91的端部設(shè)置有連接器94，并且該連接器94與前置放大器96的連接器95結(jié)合。另一方面，由于單標(biāo)度尺82和單標(biāo)度尺83的長(zhǎng)度(行程)不同，因而各單標(biāo)度尺 82、83所具有的R(電阻)成分、C(電容器雜散電容)成分及L(電感)成分的值不同，與激勵(lì)電流的頻率相應(yīng)的阻抗不同。因此，若將單標(biāo)度尺82、83的線圈85、87僅與公用線91 相連，則在單標(biāo)度尺82、83的接頭部分的位置檢測(cè)精度會(huì)變差。因此，單標(biāo)度尺82、83的線圈85、87的任一線圈都連接了前述的電阻88、電感器 89和電容器90，作為用于使單標(biāo)度尺82和單標(biāo)度尺83的阻抗匹配的部件(阻抗匹配部件)。公用線91具有公用心線92和覆蓋該公用心線92的公用屏蔽線93而構(gòu)成。其中， 為了方便起見(jiàn)，在圖6中用透視圖(單點(diǎn)劃線)示出了屏蔽線93(在后述的圖8、圖9中也都相同)。在單標(biāo)度尺82中，電阻88和電感器89串聯(lián)連接，單標(biāo)度尺82的線圈85經(jīng)由該電阻88和電感器89而與公用心線92連接。電容器90的一端與線圈85連接，另一端與公用屏蔽線93連接。同樣，在單標(biāo)度尺83中，電阻88和電感器89串聯(lián)連接，單標(biāo)度尺83的線圈87經(jīng)由該電阻88和電感器89而與公用心線92連接。電容器90的一端與線圈87連接，另一端與公用屏蔽線93連接。另外，公用屏蔽線93經(jīng)由前置放大器96被接地于電路地線97。在任一單標(biāo)度尺85、87中，都是電阻88、電感器89和電容器90具有相同電阻值、 相同電感值和相同電容值、即具有相同的合成阻抗值。并且，電阻88、電感器89和電容器 90具有能夠忽視不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺82和單標(biāo)度尺83的阻抗(即，未設(shè)置電阻88、電感器89和電容器90的狀態(tài)的單標(biāo)度尺51、52的阻抗)之差的大小的合成阻抗值。S卩，電阻
88、電感器89和電容器90具有與所述阻抗之差相比充分大的合成阻抗值。這種情況下，優(yōu)選電阻88、電感器89和電容器90的合成阻抗的值為上述的單標(biāo)度尺51、52的阻抗之差的100倍以上，相對(duì)于該合成阻抗值而言所述阻抗之差為以下。例如，若所述阻抗之差為10 Ω，則電阻88、電感器89和電容器90的合成阻抗值設(shè)為IKΩ以上。但是，若過(guò)于增大電阻88、電感器89和電容器90的合成阻抗值，則組合標(biāo)度尺81 的輸出(增益)會(huì)變得過(guò)小，因此無(wú)法進(jìn)行精度高的位置檢測(cè)。因此，電阻88、電感器89和電容器90的合成阻抗值需要設(shè)為不會(huì)使組合標(biāo)度尺81的輸出(增益)變得極端小的程度的值。此外，所述輸出的大小需要達(dá)到哪種程度以上，只要根據(jù)所述輸出的處理能力等進(jìn)行適當(dāng)確定即可。即，根據(jù)所需要的輸出的大小來(lái)適當(dāng)確定電阻88、電感器89和電容器90的合成阻抗值的上限值即可。此外，由于在圖示例的單標(biāo)度尺82中在線圈85的兩側(cè)設(shè)置了電阻88、電感器89 和電容器90，所以只要將這兩側(cè)的電阻88、電感器89和電容器90的合成阻抗值設(shè)為上述的值即可。同樣，由于在單標(biāo)度尺83中也在線圈87的兩側(cè)設(shè)置了電阻88、電感器89和電容器90，所以只要將這兩側(cè)的電阻88、電感器89和電容器90的合成阻抗值設(shè)為上述的值即可。在線圈85、87的兩側(cè)設(shè)置了電阻88、電感器89和電容器90，是為了使在線圈85、87 感應(yīng)的交流電壓的穩(wěn)定性良好。但并不限定于此，從使單標(biāo)度尺82、83的阻抗匹配這一觀點(diǎn)出發(fā)，未必一定要如上述那樣在線圈85、87的兩側(cè)設(shè)置電阻88、電感器89和電容器90，也可僅在線圈85、87的單側(cè)設(shè)置電阻88、電感器89和電容器90。這種情況下，只要將設(shè)置于線圈85的單側(cè)的電阻88、電感器89和電容器90的合成阻抗值設(shè)為上述的值，將設(shè)置于線圈87的單側(cè)的電阻 88、電感器89和電容器90的合成阻抗值也設(shè)為上述的值即可。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式例3的線性標(biāo)度尺，由于該線性標(biāo)度尺具有滑塊和組合標(biāo)度尺81而構(gòu)成，線性標(biāo)度尺的特征在于，組合標(biāo)度尺81采用的結(jié)構(gòu)是具有公用線91 和排成一列的多條單標(biāo)度尺82、83，并且通過(guò)使單標(biāo)度尺82、83的線圈85、87分別與公用線 91連接，來(lái)使所有的單標(biāo)度尺82、83的線圈85、87并聯(lián)，所以無(wú)論怎么加長(zhǎng)組合標(biāo)度尺81， 施加電壓的波形和感應(yīng)電壓的波形之間的相位偏差都不會(huì)變大。并且，不需要以往那樣的引腳組布線，并且也不會(huì)產(chǎn)生因單純的并聯(lián)連接而產(chǎn)生的較大的布線的束。因此，能夠減少組合標(biāo)度尺81的布線所需的物理空間，布線作業(yè)容易，不易引起布線錯(cuò)誤。另外，根據(jù)本實(shí)施方式例3的線性標(biāo)度尺，由于其特征在于在不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺82、83的線圈85、87上分別連接電阻88、電感器89和電容器90，來(lái)作為阻抗匹配部件， 從而來(lái)匹配不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺51、52的阻抗，所以能夠無(wú)需在意阻抗之差地任意組合不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺82、83，能夠構(gòu)成期望長(zhǎng)度的組合標(biāo)度尺，因此在現(xiàn)場(chǎng)的組合標(biāo)度尺的設(shè)置作業(yè)變得容易。另外，根據(jù)本實(shí)施方式例3的線性標(biāo)度尺，由于其特征在于分別與不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺82、83的線圈85、87連接的阻抗匹配部件都是具有相同合成阻抗值的電阻88、電感器89和電容器90，并且該電阻88、電感器89和電容器90具有能夠忽視不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺82、83的阻抗之差的大小(所述阻抗之差的100倍以上)的合成阻抗值，所以在制造附帶阻抗匹配部件(電阻88、電感器89、電容器90)的單標(biāo)度尺82、83之際，無(wú)需按長(zhǎng)度不同的單標(biāo)度尺82、83來(lái)設(shè)置不同的合成阻抗值的阻抗匹配部件(電阻、電感器、電容器)，因此單標(biāo)度尺82、83的制造非常容易。此外，在上述中雖然采用了 2種不同長(zhǎng)度(行程)的單標(biāo)度尺82、83，但并不限定于此，也可采用3種以上的不同長(zhǎng)度(行程)的單標(biāo)度尺(例如lm、500mm和250mm的單標(biāo)度尺)。這種情況下，也與上述同樣，只要在各單標(biāo)度尺的線圈上連接電阻、電感器和電容器來(lái)匹配這些單標(biāo)度尺的阻抗即可。另外，這種情況下，將電阻、電感器和電容器的合成阻抗值設(shè)為能夠忽視單標(biāo)度尺之間的阻抗之差的值(所述阻抗之差的100倍以上的值)即可。 此外，在某一單標(biāo)度尺之間的阻抗之差和其他單標(biāo)度尺之間的阻抗之差不同的情況下，只要設(shè)為能忽視最大的阻抗之差(所述阻抗之差的100倍以上)的合成阻抗值即可。
另外，在上述說(shuō)明中，設(shè)置于單標(biāo)度尺的阻抗匹配部件是組合了電阻、電感器和電容器而構(gòu)成的部件，但并不限定于此，作為設(shè)置于單標(biāo)度尺的阻抗匹配部件的組合，也可是組合了電阻和電感器的組合，組合了電阻和電容器的組合，組合了電感器和電容器的組合。<實(shí)施方式例4>基于圖8及圖9，說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式例3。其中，由于線性標(biāo)度尺中的滑塊和組合標(biāo)度尺之間的配置關(guān)系、線性標(biāo)度尺的應(yīng)用例等與上述實(shí)施方式例1同樣(參照?qǐng)D1)， 所以在此省略說(shuō)明。另外，關(guān)于與上述實(shí)施方式例3的組合標(biāo)度尺(參照?qǐng)D6、圖7)同樣的部分賦予同一符號(hào)，并省略重復(fù)部分的詳細(xì)說(shuō)明。如圖8所示，在本實(shí)施方式例4的線性標(biāo)度尺中的組合標(biāo)度尺101中，公用線91 被分割成多個(gè)部分91A (將該部分也稱(chēng)為分割公用線)。各分割公用線91A具有將公用心線 92分割成多個(gè)部分92A的部分(將該部分也稱(chēng)為分割公用心線)和將公用屏蔽線93分割成多個(gè)部分93A的部分(將部分也稱(chēng)為分割公用屏蔽線)。在各分割公用線91A的兩端分別設(shè)置有連接器102。通過(guò)結(jié)合相鄰的分割公用線91A的連接器102彼此之間來(lái)連接多個(gè)分割公用線91A，由此能夠視作1體的公用線91 (將其也稱(chēng)為組合公用線)。此時(shí)，通過(guò)連接多個(gè)分割公用心線92A，由此能夠視作1體的公用心線92 (將其也稱(chēng)為組合公用心線)， 通過(guò)連接多個(gè)分割公用屏蔽線93A，由此能夠視作1體的公用屏蔽線93 (將其也稱(chēng)為組合公用屏蔽線)。并且，各單標(biāo)度尺82、83的線圈85、87分別與各分割公用線91A連接。具體而言， 單標(biāo)度尺82、83的線圈85、87經(jīng)由電阻88和電感器89而與分割公用心線93A連接。電容器90的一端與線圈85、87連接，另一端與分割公用屏蔽線93A連接。單標(biāo)度尺82、83作為如圖9(幻及圖9(b)所示的安裝了阻抗匹配部件(電阻88、 電感器89、電容器90)和附帶連接器102的分割公用線91A的狀態(tài)的產(chǎn)品，在線性標(biāo)度尺的制造工廠中制造。因此，在線性標(biāo)度尺的設(shè)置現(xiàn)場(chǎng)，僅結(jié)合相鄰的分割公用線91A的連接器 102彼此之間，就能簡(jiǎn)單地完成布線作業(yè)。此外，在最端部的單標(biāo)度尺83中，將分割公用線 91A的連接器102與前置放大器96的連接器95結(jié)合。關(guān)于本實(shí)施方式例4的組合標(biāo)度尺101的其他構(gòu)成，與上述實(shí)施方式例3的組合標(biāo)度尺81相同。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式例4的線性標(biāo)度尺，由于其特征在于公用線91是利用兩端設(shè)置有連接器102的分割公用線91A，通過(guò)結(jié)合連接器102彼此之間來(lái)連接多條分割公用線91A而構(gòu)成的，單標(biāo)度尺82、83的線圈85、87分別與各分割公用線91A連接，所以布線作業(yè)也可僅是單純地結(jié)合分割公用線91A的連接器102彼此之間，由于不需要在現(xiàn)場(chǎng)的線圈和公用線連接的連接作業(yè)，因此布線作業(yè)變得更容易，不易引起布線錯(cuò)誤。(產(chǎn)業(yè)上的可利用性)本發(fā)明涉及感應(yīng)同步器方式的線性標(biāo)度尺，作為在移動(dòng)距離長(zhǎng)的移動(dòng)體的位置檢測(cè)中使用的線性標(biāo)度尺的組合標(biāo)度尺是有用的。符號(hào)說(shuō)明31-滾珠螺桿；31a-螺紋軸；31b_螺母；32-驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)；33-工作臺(tái)；41-線性標(biāo)度尺；42-滑塊；43-組合標(biāo)度尺；44-線圈；46-A/D變換器；47-連接器；48-前置放大器；
1249-NC伺服放大器；51、52-單標(biāo)度尺；53-基底；54-線圈；56-電阻；57-基底；58-線圈； 61-公用線；61A-分割公用線；62-連接器；71、81_組合標(biāo)度尺；82、83_單標(biāo)度尺；84-基底；85-線圈；86-基底；87-線圈；88-電阻；89-電感器；90-電容器；91-公用線；91A-分割公用線；92-公用心線；92A-分割公用心線；93-公用屏蔽線；93A-分割公用屏蔽線；94、 95-連接器；96-前置放大器；97-電路地線；101-組合標(biāo)度尺；102-連接器。
權(quán)利要求
1.一種線性標(biāo)度尺，其具有滑塊和組合標(biāo)度尺而構(gòu)成，該線性標(biāo)度尺的特征在于，所述組合標(biāo)度尺采用的結(jié)構(gòu)是具有公用線和排成一列的多條單標(biāo)度尺，通過(guò)使所述單標(biāo)度尺的線圈分別與所述公用線連接而使所有的所述單標(biāo)度尺的線圈并聯(lián)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線性標(biāo)度尺，其特征在于，所述公用線是利用兩端設(shè)置有連接器的分割公用線，通過(guò)將所述連接器彼此進(jìn)行結(jié)合來(lái)連接多條所述分割公用線而構(gòu)成的，所述單標(biāo)度尺的線圈分別與各分割公用線連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的線性標(biāo)度尺，其特征在于，所述多條單標(biāo)度尺利用了多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺，并且，在所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺的線圈上分別連接阻抗匹配部件，從而使所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺的阻抗匹配。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的線性標(biāo)度尺，其特征在于，分別與所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺的線圈連接的所述阻抗匹配部件，都是具有相同電阻值的電阻，并且，所述電阻具有能夠忽視所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺彼此之間的阻抗之差的大小的電阻值。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的線性標(biāo)度尺，其特征在于，分別與所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺的線圈連接的所述阻抗匹配部件，都是組合了電阻、電感器和電容器中的任意多個(gè)而構(gòu)成的部件，且都具有相同的合成阻抗值，并且，所述組合了電阻、電感器和電容器中的任意多個(gè)而構(gòu)成的部件具有能夠忽視所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺彼此之間的阻抗之差的大小的合成阻抗值。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的線性標(biāo)度尺，其特征在于，分別與所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺的線圈連接的所述阻抗匹配部件，都是具有相同電阻值的電阻，并且，所述電阻具有所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺彼此之間的阻抗之差的100倍以上的電阻值。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的線性標(biāo)度尺，其特征在于，分別與所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺的線圈連接的所述阻抗匹配部件，都是組合了電阻、電感器和電容器中的任意多個(gè)而構(gòu)成的部件，且都具有相同的合成阻抗值，并且，所述組合了電阻、電感器和電容器中的任意多個(gè)而構(gòu)成的部件具有所述多種不同長(zhǎng)度的單標(biāo)度尺彼此之間的阻抗之差的100倍以上的合成阻抗值。
全文摘要
本發(fā)明提供一種線性標(biāo)度尺，能夠降低組合標(biāo)度尺的布線所需的物理空間，使現(xiàn)場(chǎng)的組合標(biāo)度尺的設(shè)置作業(yè)變得容易等。為此，組合標(biāo)度尺(43)采用的結(jié)構(gòu)是具有公用線(61)和排成一列的多條單標(biāo)度尺(51、52)，通過(guò)使單標(biāo)度尺的線圈分別與公用線連接而使所有的單標(biāo)度尺的線圈并聯(lián)。另外，在單標(biāo)度尺的線圈上分別連接電阻(56)作為阻抗匹配部件，使單標(biāo)度尺的阻抗匹配。電阻設(shè)為使得能夠忽視單標(biāo)度尺的阻抗之差的大小(所述阻抗之差的100倍以上)的電阻值。另外，公用線是通過(guò)將兩端的連接器(62)彼此進(jìn)行結(jié)合來(lái)連接多條分割公用線(61A)而構(gòu)成的，單標(biāo)度尺的線圈分別與各分割公用線連接。
文檔編號(hào)G01D5/245GK102597711SQ201080046779
公開(kāi)日2012年7月18日 申請(qǐng)日期2010年9月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月22日
發(fā)明者平原輝幸, 石井浩 申請(qǐng)人:三菱重工業(yè)株式會(huì)社