專利名稱：用于測(cè)量透明板中的處理引起特征的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及用于在檢查過程中、操縱薄板的支承結(jié)構(gòu)和方法，尤其涉及用于在傳輸模式測(cè)量過程中、操縱薄的透明板的支承結(jié)構(gòu)和方法。
背景技術(shù)：
最近，主要由于液晶(IXD)電視的普遍以及被人們所接受，因而顯著的注意力已聚焦在對(duì)于諸如玻璃板的透明基板中的缺陷的檢測(cè)上。這樣，該產(chǎn)業(yè)現(xiàn)在面臨滿足增大體積的需求的挑戰(zhàn)，與此同時(shí)，嚴(yán)格遵循LCD傳輸模式的技術(shù)條件來操縱基板。此外，用在LCD 產(chǎn)業(yè)中的透明板已增大尺寸，而與此同時(shí)，保持相同厚度或甚至變得更薄。因此，存在以下挑戰(zhàn)穩(wěn)固地保持大且薄的透明板，從而可進(jìn)行檢查測(cè)量，而同時(shí)在考慮由用于保持透明板的結(jié)構(gòu)所導(dǎo)致的誤差條件下，仍能保持測(cè)量精度。傳輸模式測(cè)量包括使光從一個(gè)平坦面通過透明板至相對(duì)的平坦面，且測(cè)量光通過時(shí)光的變化。傳輸模式測(cè)量可用于檢測(cè)例如在透明板中的處理引起特征，例如雜質(zhì)、厚度變化、線紋、條紋以及應(yīng)力。例如就進(jìn)行應(yīng)力測(cè)量來說，保持板的方式將影響測(cè)量，這是由于應(yīng)力可能由保持結(jié)構(gòu)以及板的形狀的相互作用而引起。如果板完全平整，則當(dāng)由保持結(jié)構(gòu)保持在基本平坦的構(gòu)造中時(shí)，其形狀將不會(huì)改變，且由此，保持結(jié)構(gòu)將不會(huì)影響應(yīng)力測(cè)量。然而，透明板并不完全平整，反而它們包括一些形狀差異(即使在顯示器行業(yè)中，大多數(shù)很小)，例如，翹曲、 弓形、凸形或凹形，這些形狀差異在板與板之間都不一定相同。此外，這樣的形狀差異在板的不同區(qū)域具有各種程度。因此，當(dāng)透明板在測(cè)量過程中由保持結(jié)構(gòu)弄平時(shí)，板的形狀改變，這會(huì)在傳輸模式測(cè)量中產(chǎn)生誤差。例如，處于通常的休止?fàn)顟B(tài)的透明板包括應(yīng)力分布， 該應(yīng)力分布影響通過板的光的透射率。當(dāng)板被弄平時(shí)，由于在支承結(jié)構(gòu)中，應(yīng)力分布改變， 從而還包括弄平板時(shí)支承結(jié)構(gòu)所引起的應(yīng)力。因此，影響板的應(yīng)力測(cè)量的精度。希望的是， 盡可能估計(jì)并去除由支承結(jié)構(gòu)所因此的誤差。然而，并不總是易于區(qū)分由支承結(jié)構(gòu)引起的應(yīng)力和透明板中自然產(chǎn)生的應(yīng)力。鑒于上文所述，需要一種檢查方法和裝置，該檢查方法和裝置能穩(wěn)固地保持大且薄的透明基板，從而能盡可能地估計(jì)并去除易于被檢測(cè)的支承結(jié)構(gòu)引起的誤差。

實(shí)用新型內(nèi)容本申請(qǐng)描述用于對(duì)于諸如薄的透明玻璃板之類的板進(jìn)行傳輸模式測(cè)量的一種裝置和技術(shù)，其中，便于對(duì)于各種單獨(dú)獲取的或與其它特征的各種組合獲取的特征進(jìn)行測(cè)量 穩(wěn)固地保持板，從而可進(jìn)行精確地測(cè)量；從與板中有關(guān)的特征中區(qū)分支承結(jié)構(gòu)引起的誤差； 快速地進(jìn)行完整的板測(cè)量；以及測(cè)量各種板的尺寸?？煞€(wěn)固地保持薄板的裝置的特征包括使支承結(jié)構(gòu)相對(duì)于板的軸線進(jìn)行偏軸定向；支承結(jié)構(gòu)的棒或其它支承結(jié)構(gòu)沿傾斜于待測(cè)量的板的交叉和下拉軸線的方向延伸；壓力/真空源聯(lián)接于支承結(jié)構(gòu)，從而作用在板上；和/或即使并不一定需要，支承結(jié)構(gòu)的尺寸
3大于板的尺寸。由于支承結(jié)構(gòu)沿傾斜于板的主軸的方向延伸，因而支承結(jié)構(gòu)穿過板邊緣，從而在任何給定時(shí)刻，尤其是在測(cè)量有關(guān)的處理引起特征的過程中，僅僅沿板邊緣的非常短的部段未被支承。因此，穩(wěn)固地保持該板。裝置的易于從有關(guān)的處理引起特征中區(qū)分支承引起誤差的特征包括支承結(jié)構(gòu)構(gòu)造成且設(shè)置成沿一定軸線引起測(cè)量誤差，該軸線傾斜于處理引起特征在板中延伸的方向； 和/或圖像捕捉單元、成像裝置的像素沿平行于板的軸線且傾斜于支承結(jié)構(gòu)的軸線的軸線定向。處理引起特征通常沿形成板的方向延伸。在許多情形中，這些特征(例如，厚度變化、線紋、條紋、板中的突變點(diǎn)和雜質(zhì)、以及應(yīng)力)自身顯然具有定向匹配，匹配拉伸透明板的定向，即沿向下拉伸方向。在其它情形中，一些特征自身顯然可沿著與拉伸透明板垂直的方向，即交叉拉伸方向。因此，使支承結(jié)構(gòu)定向成其在測(cè)量中引起的誤差沿相對(duì)于交叉拉伸軸線或向下拉伸軸線傾斜的軸線延伸，以便于從待測(cè)量的相關(guān)的處理引起特征中區(qū)分這些誤差。能加快處理的裝置的特征包括在其上可捕捉板的圖像的觀察區(qū)域的尺寸比待測(cè)量的板的尺寸大上一定量值，該量值大于或等于阻擋區(qū)域或無法成像區(qū)域的尺寸；可成像區(qū)域的尺寸大于無法成像區(qū)域的尺寸；支承結(jié)構(gòu)與板通過測(cè)量裝置傳輸?shù)姆较蛐纬杉s25 度到約65度的角；和/或支承結(jié)構(gòu)的尺寸大于板的尺寸。因此，板可進(jìn)行成像，而通過阻擋區(qū)域或無法成像區(qū)域的尺寸變位，板可再次進(jìn)行成像。這便于利用少至兩個(gè)覆蓋圖像來進(jìn)行完整板測(cè)量，從而加快處理過程。能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)于板的尺寸不敏感的裝置的特征包括支承結(jié)構(gòu)沿相對(duì)于板的主軸傾斜的方向延伸。因此，由于這些支承結(jié)構(gòu)對(duì)角地延伸通過板，且由此并不需要隔開特定的板尺寸，因而測(cè)量裝置很大程度上對(duì)于被測(cè)量的板的尺寸不敏感。換言之，由于支承結(jié)構(gòu)傾斜于板的主軸進(jìn)行延伸，因而甚至當(dāng)支承結(jié)構(gòu)處于略小于板部段至遠(yuǎn)大于板部段的尺寸范圍中時(shí)，支承結(jié)構(gòu)仍可使板部段保持穩(wěn)定。借助非限制實(shí)施例，根據(jù)以下方面可組合各種特征根據(jù)第一方面，提供一種測(cè)量裝置，該測(cè)量裝置用于測(cè)量在透明板中的處理引起特征，且包括光源；成像裝置；以及透明板支承結(jié)構(gòu)，該透明板支承結(jié)構(gòu)設(shè)置在光源和成像裝置之間，其中，支承結(jié)構(gòu)構(gòu)造成且設(shè)置成支承透明板，從而當(dāng)通過成像裝置進(jìn)行觀察時(shí)，由支承結(jié)構(gòu)引起的測(cè)量誤差沿第一軸線或平行于第一軸線延伸，當(dāng)通過成像裝置進(jìn)行觀察時(shí)，透明板中的處理引起特征沿第二軸線或平行于第二軸線延伸，第一軸線傾斜于第二軸線。根據(jù)第二方面，提供如方面1或3-6中的任何一個(gè)方面所述的裝置，其中，處理引起特征包括應(yīng)力。根據(jù)第三方面，提供如方面1所述的測(cè)量裝置，其中，支承結(jié)構(gòu)包括棒，該棒沿相對(duì)于第二軸線傾斜的軸線延伸。根據(jù)第四方面，提供如方面3所述的測(cè)量裝置，其中，棒包括開口，且支承結(jié)構(gòu)包括與這些開口連通的真空源。[0020]根據(jù)第五方面，提供如方面3所述的測(cè)量裝置，其中，在棒之間設(shè)有空間，棒包括第一寬度，而空間包括第二寬度，此外，第一寬度小于或等于第二寬度。根據(jù)第六方面，提供如方面1所述的測(cè)量裝置，其中，成像裝置包括沿第三軸線定向的像素，支承結(jié)構(gòu)包括這樣的空間通過這些空間可由成像裝置觀察到源自光源的光線， 這些空間包括與第一軸線平行的縱向軸線，此外，第三軸線相對(duì)于該縱向軸線傾斜。根據(jù)第七方面，提供一種測(cè)量方法，該方法用于測(cè)量在透明板中的處理引起特征， 且包括將透明板設(shè)置在支承結(jié)構(gòu)上，該支承結(jié)構(gòu)設(shè)置在光源和成像裝置之間；支承透明板，從而當(dāng)通過成像裝置進(jìn)行觀察時(shí)，由支承結(jié)構(gòu)引起的測(cè)量誤差沿第一軸線或平行于第一軸線延伸，當(dāng)通過成像裝置進(jìn)行觀察時(shí)，透明板中的處理引起特征沿第二軸線或平行于第二軸線延伸，第一軸線傾斜于第二軸線。捕捉透明板的第一部段的第一圖像；使透明板運(yùn)動(dòng)，然后捕捉透明板的第一部段的第二圖像；以及將第一圖像和第二圖像組合起來，以形成透明板的第一部段中的處理引起特征的圖像。根據(jù)第八方面，提供如方面7所述的方法，其中，第一圖像和第二圖像一起覆蓋透明板的第一部段的整個(gè)區(qū)域。根據(jù)第九方面，提供如方面8所述的方法，其中，透明板的第一部段包括透明板的整個(gè)區(qū)域。根據(jù)第十方面，提供如方面7-9中任何一個(gè)方面所述的方法，其中，該方法還包括在運(yùn)動(dòng)步驟中，使透明板與傳送裝置接觸，但在捕捉第一圖像和第二圖像的步驟中，使透明板與傳送裝置不接觸。根據(jù)第十一方面，提供如方面7-10中任何一個(gè)方面所述的方法，其中，該方法還包括在捕捉第一圖像和第二圖像的步驟之前，弄平透明板，以及在捕捉第一圖像和第二圖像的步驟中，使透明板保持在弄平狀態(tài)。根據(jù)第十二方面，提供如方面11所述的方法，其中，弄平步驟包括使透明板真空抵靠于支承結(jié)構(gòu)。根據(jù)第十三方面，提供如方面7所述的方法，其中，弄平步驟還包括去除由支承結(jié)構(gòu)引起的測(cè)量誤差。根據(jù)第十四方面，提供如方面7-13中任何一個(gè)方面所述的方法，其中，支承結(jié)構(gòu)包括棒，棒沿相對(duì)于第二軸線傾斜的軸線延伸，在棒之間設(shè)有空間，棒包括第一寬度，而空間包括第二寬度，此外，第一寬度小于或等于第二寬度。根據(jù)第十五方面，提供如方面14所述的方法，其中，成像裝置能夠在具有第三寬度的觀察區(qū)域內(nèi)捕捉圖像，透明板包括第四寬度，且第三寬度比第四寬度大上一定量值，該量值等于或大于第一寬度。根據(jù)第十六方面，提供如方面15所述的方法，其中，支承結(jié)構(gòu)包括第五寬度，而第五寬度比第四寬度大上一定量值，該量值等于或大于第一寬度。根據(jù)第十七方面，提供如方面14所述的方法，其中，透明板相對(duì)于支承結(jié)構(gòu)沿運(yùn)輸方向運(yùn)動(dòng)，且棒的軸線與運(yùn)輸方向形成一定角，該角在25度到65度的范圍內(nèi)。
5[0038]根據(jù)第十八方面，提供如方面7-17中任何一個(gè)方面所述的方法，其中，透明板沿與第二軸線平行或垂直的方向運(yùn)動(dòng)。根據(jù)第十九方面，提供如方面7-18中任何一個(gè)方面所述的方法，其中，成像裝置包括沿第三軸線延伸的像素，此外，該第三軸線相對(duì)于第一軸線傾斜。根據(jù)第二十方面，提供如方面7或18中的任何一個(gè)方面所述的方法，其中，處理引起特征包括應(yīng)力。以下將詳細(xì)闡述附加特征和優(yōu)點(diǎn)，而且這些附加特征和優(yōu)點(diǎn)部分地對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說可以從說明書中顯而易見，或者可通過以下說明書以及附圖中所述的本實(shí)用新型的實(shí)踐而認(rèn)識(shí)到。應(yīng)當(dāng)理解，以上的總體說明和以下的詳細(xì)說明都只是本實(shí)用新型的示例，意在提供對(duì)要求保護(hù)的本實(shí)用新型的本質(zhì)和特征的總體或構(gòu)架的理解。包括附圖以提供本實(shí)用新型的原理的進(jìn)一步理解，附圖包含在該說明書中并構(gòu)成該說明書的一部分。這些附圖示出一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例，且與說明書一起借助示例來解釋本實(shí)用新型的原理和操作。應(yīng)理解的是，可以以任何組合和所有的組合來使用在說明書和附圖中披露的本實(shí)用新型的各種特征

圖1是根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的測(cè)量裝置的示意立體圖。圖2是沿剖線2-2剖取的、圖1所示測(cè)量裝置的示意側(cè)視圖。圖3是可形成測(cè)量裝置的一部分的支承結(jié)構(gòu)和傳送裝置的示意圖。圖4是可形成測(cè)量裝置的一部分的圖像捕捉單元的像素陣列，以及支承結(jié)構(gòu)的疊加于其上的軸線的示意圖。圖5是透明板相對(duì)于成像裝置的觀察區(qū)域的示意圖。圖6是透明板相對(duì)于成像裝置的觀察區(qū)域的示意圖，示出透明板自圖5所示位置變位的位置。
具體實(shí)施方式
在下面的詳細(xì)說明中，為了解釋說明而非限制的目的，將闡述披露特定細(xì)節(jié)的示例實(shí)施例以便完整地理解本實(shí)用新型的原理。但是，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在借鑒了本文所揭示的內(nèi)容之后，對(duì)他們來說顯而易見的是，可以不偏離本文所揭示具體細(xì)節(jié)的其它實(shí)施例來實(shí)踐本實(shí)用新型。此外，省略對(duì)已知裝置、方法和材料的描述以使本實(shí)用新型原理的描述清楚。最后，盡可能用相同的附圖標(biāo)記來標(biāo)示相同的構(gòu)件。在本文中，范圍在本文中可表達(dá)為從“約” 一個(gè)特定值和/或到“約”另一特定值。 當(dāng)表示這樣一個(gè)范圍的時(shí)候，另一個(gè)實(shí)施例包括從一個(gè)特定值和/或到另一特定值。類似地，當(dāng)使用前綴“約”表示數(shù)值為近似值時(shí)，應(yīng)理解，具體數(shù)值形成另一個(gè)實(shí)施例。還應(yīng)理解， 每個(gè)范圍的端值無論是與另一個(gè)端值聯(lián)系起來還是獨(dú)立于另一個(gè)端值，都是有意義的。如本文中所用，單數(shù)形式的“一”、“一個(gè)”、以及“該”也包括復(fù)數(shù)指代物，除非上下文明確地另作規(guī)定。因此，例如，對(duì)“組件”的引用包括具有兩個(gè)或更多個(gè)這樣的組件的方面，除非上下文明確地另作規(guī)定。用于引導(dǎo)和/或定向的參照，例如右、左、水平、垂直、寬度、高度僅僅相對(duì)于附圖進(jìn)行參照，而并不趨于絕對(duì)指示。在一個(gè)實(shí)施例中，提供支承結(jié)構(gòu)，該支承結(jié)構(gòu)能夠容易地從對(duì)于透明板中的處理引起特征的傳輸模式測(cè)量中，除去由支承結(jié)構(gòu)引起的測(cè)量誤差。處理引起特征可包括例如厚度變化、線紋、條紋、板中的突變點(diǎn)或雜質(zhì)和/或應(yīng)力。支承結(jié)構(gòu)構(gòu)造成且設(shè)置成當(dāng)支承透明板時(shí)，通過成像裝置進(jìn)行觀察，由支承結(jié)構(gòu)引起的測(cè)量誤差沿第一軸線或平行于第一軸線延伸，第一軸線相對(duì)于第二軸線傾斜，當(dāng)通過成像裝置進(jìn)行觀察時(shí)，在透明板中的處理引起的誤差沿第二軸線或平行于第二軸線延伸。由于支承結(jié)構(gòu)引起的誤差沿著與通常發(fā)現(xiàn)處理引起特征所沿軸線不同的軸線，因而可容易地區(qū)分支承結(jié)構(gòu)引起的誤差，并從板測(cè)量中去除。圖1和2示出對(duì)于透明板10進(jìn)行傳輸模式測(cè)量的裝置2的一個(gè)實(shí)施例，其中，裝置2包括光源100、具有觀察區(qū)域90的成像裝置80以及支承結(jié)構(gòu)30，支承結(jié)構(gòu)30用于當(dāng)進(jìn)行傳輸模式測(cè)量時(shí)，保持透明板10。透明板10包括寬度16、高度18，邊緣20以及軸線22、24。軸線24沿拉伸板10的方向延伸，即向下拉伸方向。雖然，嚴(yán)格地說，板可切割自被拉伸的帶，而為了易于描述，可將板描述成被拉伸，同時(shí)應(yīng)理解的是，實(shí)際上拉伸的是帶，而板切割自該帶。板10可切割自以下帶通過諸如向下拉伸、槽拉伸、向上拉伸或浮動(dòng)處理而產(chǎn)生。軸線22沿與拉伸板10 的方向垂直的方向延伸，即交叉拉伸方向。如圖1和2所示，軸線22沿以下方向延伸板10 將沿該方向、較佳地變位或運(yùn)動(dòng)通過裝置2。然而，實(shí)際上，軸線24可沿板的變位方向延伸。 此外，如圖2所示，板10包括厚度26。透明板例如可以是玻璃，尤其是用于制造諸如IXD、 場(chǎng)發(fā)射裝置或等離子顯示器之類的平板顯示單元的玻璃。如圖1所示，板10處于X-Y平面中。處理引起特征(例如，雜質(zhì)、厚度變化、線紋、條紋、以及應(yīng)力)通常自身顯然具有類似于透明板拉伸方向的定向，即，沿軸線24或大體平行于軸線24。在其它情形中，一些處理引起特征自身顯然可沿著與拉伸透明板垂直的方向，即交叉拉伸方向，或者沿著軸線22 或大體平行于軸線22。光源10(參見圖2)可以是任何合適的、用于進(jìn)行傳輸模式測(cè)量的光源。例如，光源100可以是單色光、激光、白熾燈、漫射光和/或準(zhǔn)直光，并且可包括可見或不可見(相對(duì)于人眼)范圍中的任何合適波長(zhǎng)。例如，當(dāng)進(jìn)行應(yīng)力測(cè)量時(shí)，光源可包括一定程度的偏振， 如線性偏振或圓周偏振。光源100應(yīng)具有充分的尺寸，以照亮成像裝置80的觀察區(qū)域90。成像裝置80包括圖像捕捉單元81，該圖像捕捉單元81 —起覆蓋觀察區(qū)域90。觀察區(qū)域90包括寬度92和高度94，可在該區(qū)域上捕捉圖像。雖然成像裝置80在圖1中示出包括四個(gè)圖像捕捉單元81，然而任何合適數(shù)量(包括僅僅一個(gè))的圖像捕捉單元81可用于適配特定的觀察區(qū)域90。例如，圖像捕捉單元81的數(shù)量可取決于每個(gè)單個(gè)圖像捕捉單元 81的圖像捕捉區(qū)域、待檢查的板10的大體尺寸范圍以及所希望的處理速度。圖像捕捉單元81可包括例如CXD或CMOS技術(shù)，并且可以是例如二維掃描成像裝置或行掃描成像裝置， 或PIN(P型-本征-N型)探測(cè)器。每個(gè)圖像捕捉單元81具有光軸82，該光軸可以以相對(duì)于X-Y平面的任何合適的角延伸，板10位于該X-Y平面中。如圖所示，相鄰的圖像捕捉單元81的圖像捕捉區(qū)域在83處交疊，從而通過將各個(gè)圖像縫合在一起，可獲取板10的整個(gè)圖像，然而，交疊83不是必需的。雖然，如圖所示，圖像捕捉單元81設(shè)置成垂直列，然而它
7們可設(shè)置成任何合適的布置，例如水平地或以陣列設(shè)置，從而限定觀察區(qū)域90。為了測(cè)量板10中的應(yīng)力，例如，成像捕捉單元81可以是光學(xué)應(yīng)力測(cè)量傳感器，該光學(xué)應(yīng)力測(cè)量傳感器能夠測(cè)量板中應(yīng)力以及經(jīng)過限定區(qū)域的光學(xué)延遲。光源100可以與該應(yīng)力測(cè)量傳感器對(duì)準(zhǔn)，以產(chǎn)生圓周偏振的且均勻的光分布，該光分布傳遞通過板10，且傳遞到傳感器上，以分析板10中的應(yīng)力分布。支承結(jié)構(gòu)30設(shè)置在光源100和成像裝置80之間，從而在傳輸模式測(cè)量過程中保持板10。支承結(jié)構(gòu)30包括棒40、空間50以及壓力/真空源62。棒40由介入空間50彼此隔開?，F(xiàn)在參照?qǐng)D3，以更詳細(xì)地解釋棒40和空間50的特征。然而，應(yīng)注意的是，在圖1 和圖3之間，以相對(duì)于觀察區(qū)域90的寬度92和高度94的不同比例，示出板10的寬度16 和高度18。每個(gè)棒40包括平行于X軸線的寬度44，以及傾斜于X軸線(且由此也傾斜于軸線22)的縱向軸線46。具體地說，軸線46與X軸線形成角Θ。角θ可以是任何合適的值，從而軸線46傾斜于X軸線(且由此也傾斜于軸線22)。角θ的值將影響由成像裝置80 所觀察到的支承結(jié)構(gòu)引起的誤差的方向。軸線46越接近平行于軸線22，則支承結(jié)構(gòu)引起的誤差越看上去類似于沿平行于軸線22的方向延伸的處理引起特征，從而將更難將兩者區(qū)分出來。類似的是，軸線46越接近平行于軸線Μ，則支承結(jié)構(gòu)引起的誤差越看上去類似于沿平行于軸線M的方向延伸的處理引起特征，從而也將更難將兩者區(qū)分出來。例如，在一個(gè)實(shí)施例中，角θ可以是25度到65度，在另一個(gè)實(shí)施例中，角θ可以是35度到55度，且在又一個(gè)實(shí)施例中，可以將角θ設(shè)定成，棒基本形成以下區(qū)域的其中一個(gè)區(qū)域或兩個(gè)區(qū)域的對(duì)角線1)圖像捕捉單元81的圖像捕捉區(qū)域，例如正方形圖像捕捉區(qū)域的約45度；以及 ii)觀察區(qū)域90，例如正方形觀察區(qū)域90的約45度。由于角θ在上述范圍中，因而，當(dāng)所關(guān)心的處理引起特征沿向下拉伸軸線M或交叉拉伸軸線22形成時(shí)，裝置2工作。也就是說，裝置2對(duì)于水平或垂直定向的板不敏感。類似于棒40，每個(gè)空間50包括平行于X軸線的寬度52，以及傾斜于X軸線(且由此也傾斜于軸線22)的縱向軸線Μ。當(dāng)棒40用于保持板10時(shí)，它們將影響對(duì)于所關(guān)心的處理引起特征的傳輸模式測(cè)量。由于不希望被棒如何影響傳輸模式測(cè)量的任何具體理論所束縛，因而申請(qǐng)人提供以下說明。棒產(chǎn)生用于保持板10的平坦表面，因此，當(dāng)保持時(shí)，改變板10的形狀。棒40可以是氣棒、真空棒或壓力/真空棒，氣棒用于形成氣墊以支承板10，真空棒使板10真空抵靠于棒 40，而壓力/真空棒可施加壓力和真空。當(dāng)棒40是壓力/真空棒時(shí)，它們可或者同時(shí)施加壓力和真空以形成氣墊，或者可依次施加壓力和真空，使用壓力以形成用于傳輸?shù)臍鈮|，而使用真空以使板10保持抵靠于棒40。棒40包括開口 48且由氣室60和管道64聯(lián)接于壓力/真空源62，而諸如空氣的氣體可在壓力/真空下通過這些開口。將每個(gè)棒40及其開口 48聯(lián)接于壓力/真空源62的特定方式并不是本實(shí)用新型的一部分，且可包括任何已知技術(shù)。在任何情形中，通過使用壓力和/或真空，棒40將保持力施加于板10上，其中，保持力使板10采取平坦構(gòu)造，而如上所述，這改變板10的形狀。通過改變板10的形狀，在板10中的處理引起特征的測(cè)量中，棒40引起誤差，該誤差將由成像裝置80來成像。由于棒40的縱向軸線46傾斜于板10的軸線22和24，因而支承結(jié)構(gòu)引起的誤差將在圖像中呈現(xiàn)為，傾斜于板10中所關(guān)心的處理引起特征。類似的是， 由于空間50 (源自光源100的光線通過該空間直至裝置80)的縱向軸線M傾斜于板的軸線22和24，因而由于交疊/縫合引起的任何支承結(jié)構(gòu)引起的誤差將在圖像中呈現(xiàn)為，傾斜于板10中所關(guān)心的處理引起特征。因此，通過通常的圖像/數(shù)據(jù)處理技術(shù)，將易于去除支承結(jié)構(gòu)引起的誤差，因此給予更精確的圖像引起特征的圖片。除了上述益處以外，使棒40的縱向軸線46傾斜于軸線22、24提供其它益處。具體地說，此種設(shè)置使支承結(jié)構(gòu)30、尤其是寬度44、52很大程度上對(duì)于板10的寬度16和高度18不敏感。此外，當(dāng)測(cè)量板10時(shí)，此種設(shè)置在板10的邊緣附近處提供充分的支承。也就是說，如果包括棒40的支承平行于軸線22或軸線24，則當(dāng)測(cè)量板10時(shí)，板10的整個(gè)縱向邊緣將不被支承，因此產(chǎn)生可能的測(cè)量誤差。使板10真空抵靠于棒40可提供如下所示的附加優(yōu)點(diǎn)。首先，板10將設(shè)在良好限定的固定ζ軸線的位置，S卩，由棒40的表面所限定的平面。此種設(shè)置可便于設(shè)置測(cè)量裝置 2，尤其是成像裝置80。附加的是或替代的是，當(dāng)獲取圖像時(shí)，此種設(shè)置可減少由板10中的位置變化所引起的測(cè)量誤差。此外，由于每塊板將保持在已知狀況中，因而使板10真空抵靠于棒40提供更容易地板對(duì)板比較。第二，獲取處于該狀態(tài)中的板10的圖像提供以下優(yōu)點(diǎn)當(dāng)所關(guān)心的特征存在于面板組件或?qū)?0制成平坦的其它顯示器制造工藝中，提供對(duì)于所關(guān)心的特征的測(cè)量。此外，板10相對(duì)于水平的定向可影響由成像裝置80所觀察到的支承結(jié)構(gòu)引起的誤差。如圖2所示，棒可設(shè)在一定設(shè)置中，從而板10保持在X-Y平面中?；蛘?，棒40可設(shè)置成，以相對(duì)于Z軸線的任何合適的角α來保持板10。也就是說，板10可保持在垂直定向中，例如α是如圖所示的90度(板10在X-Y平面中)，或者呈任何依次較小的角α，直至 0度，即保持在水平定向中(板10在X-Z平面中)。然而，較小角度值的α是較佳的，這是由于當(dāng)α朝90度增大時(shí)，透明板10會(huì)經(jīng)受由于重力所引起的下垂(取決于空間50的寬度52以及板10的剛度)。如圖3所示，支承結(jié)構(gòu)30還可包括傳送裝置70。傳送裝置70包括輥?zhàn)?2以及帶 74，帶用于與板10的邊緣20接觸。帶74可由輥?zhàn)?2驅(qū)動(dòng)，以使板10運(yùn)動(dòng)或變位通過測(cè)量裝置2，從而可獲取板10的連續(xù)圖像；將這些連續(xù)圖像縫合在一起，以形成完整板測(cè)量。 傳送裝置70可根據(jù)需要，由任何現(xiàn)有技術(shù)已知的合適機(jī)構(gòu)來從圖3中的實(shí)線所示位置運(yùn)動(dòng)到虛線所示位置。因此，當(dāng)對(duì)于板10進(jìn)行成像時(shí)，傳送裝置70可接觸或遠(yuǎn)離邊緣20。一方面，在成像過程中，傳送裝置70可支承板邊緣20，且當(dāng)留在原地時(shí)可使板10快速地運(yùn)動(dòng)通過測(cè)量裝置2。然而，另一方面，接觸板邊緣20的傳送裝置70會(huì)對(duì)板10引起位置誤差，因此降低測(cè)量精度。因此，有益的是，在成像過程中，使傳送裝置70運(yùn)動(dòng)至遠(yuǎn)離板10的位置。 雖然，帶和輥?zhàn)友b置作為傳送裝置70來示出，但可使用任何合適的裝置。例如，傳送裝置可包括夾持器、抽吸夾具、和/或機(jī)器人臂。此外，如圖3所示，支承結(jié)構(gòu)30以及觀察區(qū)域90的相對(duì)尺寸可便于減少進(jìn)行完整板測(cè)量所需的時(shí)間。實(shí)際上，通過合適的比例，可利用由成像裝置80產(chǎn)生的少至兩個(gè)覆蓋圖像來進(jìn)行完整板測(cè)量。支承結(jié)構(gòu)30包括寬度34和高度32。類似的是，觀察區(qū)域90包括寬度92和高度94，而板10包括寬度16和高度18，每個(gè)棒40都包括寬度44。例如，當(dāng)滿足以下條件時(shí)，由成像裝置80產(chǎn)生的兩個(gè)圖像足以實(shí)現(xiàn)完整板測(cè)量高度94等于或大于板高度19 ；且寬度92比板寬度16大上至少寬度44。如圖3所示，支承結(jié)構(gòu)的高度32和寬度34 等于或大于板的寬度16和高度18，在對(duì)較小的板尺寸進(jìn)行測(cè)量時(shí)，這可促進(jìn)精度增加以及速度提高，但支承結(jié)構(gòu)的高度和寬度并不需要一定等于或大于板的寬度和高度。應(yīng)注意的是，在前述描述中，寬度44用作阻擋區(qū)域96的寬度97的替代，阻擋區(qū)域96即成像區(qū)域90 中的由于由棒40所阻擋而無法由成像裝置80進(jìn)行成像的區(qū)域。然而，這并沒有必要。也就是說，根據(jù)光軸82相對(duì)于棒40所位于的平面的角(此外根據(jù)角α )，棒40的厚度42，以及棒40的邊緣型面，寬度97可大于寬度44 (類似的，可成像區(qū)域98的寬度99可小于空間 50的寬度52)。盡管如此，寬度44提供寬度92必須超過寬度16的最小量，從而利用僅僅兩個(gè)圖像來實(shí)現(xiàn)完整板測(cè)量。并不特定限制將板10帶至測(cè)量裝置2、尤其是支承結(jié)構(gòu)30的結(jié)構(gòu)，且該結(jié)構(gòu)可以是任何適合的結(jié)構(gòu)，例如，底部傳送器、懸置接觸機(jī)構(gòu)、抽吸夾具、夾持器、機(jī)器人臂和/或流體軸承棒。圖4是一個(gè)圖像捕捉單元81的像素陣列的一種可能布置的示意圖，且包括疊加于像素陣列上的軸線46和Μ。如圖所示，圖像捕捉單元81具有二維陣列的像素84，該像素沿軸線85和86設(shè)置。圖像捕捉單元81相對(duì)于支持結(jié)構(gòu)30和板10設(shè)置，從而軸線85和 86與板的軸線22和M (對(duì)應(yīng)于X和Y軸線)平行，但傾斜于軸線46和Μ。現(xiàn)在將描述測(cè)量裝置2的操作。將參照附圖3來描述第一方案，其中，板高度18等于或小于觀察區(qū)域的高度94，且板寬度46比觀察區(qū)域的寬度92小上至少是棒40的寬度44。在此情形中，可利用由成像裝置80產(chǎn)生的少至兩個(gè)圖像來進(jìn)行完整板測(cè)量，且可如下文所述來進(jìn)行。板10裝載在支承結(jié)構(gòu)30上，從而寬度16位于虛線位置處。如圖3所示，寬度16 (虛線位置)在寬度92內(nèi)。 在板10位于該位置的條件下，成像裝置80捕捉板10的第一圖像，且包括可成像區(qū)域98 (白色所示區(qū)域)，但并不包括在棒40附近的阻擋區(qū)域96 (黑色所示區(qū)域)。然后，使板10變位一個(gè)阻擋區(qū)域的寬度97的量值，從而寬度16位于實(shí)線所示的位置，但仍處于觀察區(qū)域90 的寬度92內(nèi)。從對(duì)于具有實(shí)線所指位置的板和具有虛線所指的板的比較中可以看出，先前被阻擋的區(qū)域96現(xiàn)在可進(jìn)行成像，類似的，先前可成像的區(qū)域98則會(huì)被阻擋。在板10位于該位置(實(shí)線所示的寬度)的條件下，成像裝置80捕捉板10的第二圖像。然后，使用本領(lǐng)域已知的技術(shù)來將第一圖像和第二圖像組合起來，以形成完整板測(cè)量。如上所示以及如上所述，板10將沿負(fù)X方向變位通過測(cè)量裝置2。或者，板10可沿正X方向從實(shí)線位置變位到虛線位置。在任何一種情形中，板10可由傳送裝置70來變位或運(yùn)動(dòng)。參照附圖5和6將描述另一方案，其中，板10的寬度16大于觀察區(qū)域90的寬度 92，而板10的高度18等于觀察區(qū)域90的高度94。此種情形類似于圖1所示的情形，對(duì)于該種情形，可使用與附圖5和6相關(guān)的、下文描述的處理來實(shí)現(xiàn)完整板測(cè)量；不同之處在于， 在圖1中，觀察區(qū)域90的高度94大于板10的高度18，而在圖5和6中，觀察區(qū)域90的高度94等于板10的高度18。觀察區(qū)域90包括阻擋區(qū)域96以及可成像區(qū)域98，每個(gè)阻擋區(qū)域都具有寬度97，而每個(gè)可成像區(qū)域都具有寬度99。圖像捕捉裝置81將在可成像區(qū)域98 上獲取板10的圖像，而無法在阻擋區(qū)域96上獲取板10的圖像。支承結(jié)構(gòu)30 (包括棒44、 寬度44、厚度42，角α和θ )、成像裝置80 (包括光軸8 設(shè)置成寬度99大于或等于寬度97。使寬度99大于寬度97便于縫合，其中，圖像將包含板10的一些重疊區(qū)域。在圖5 和6所示的情形中，需要獲取兩個(gè)以上的圖像，并將這些圖像縫合在一起，以提供完整板測(cè)量，可如下文所述來獲取這些圖像。[0074]板10分割成虛線部段，每個(gè)部段具有彼此大致相同的寬度，且都具有大約是觀察區(qū)域的寬度92的一半寬度的寬度；在此情形中，第一部段到第四部段用11、12、13和14來表示。第一部段11設(shè)置在觀察區(qū)域90的右半部中，獲取第一圖像；該第一圖像包括來自可成像區(qū)域98的數(shù)據(jù)，該可成像區(qū)域98約是部段11的一半?yún)^(qū)域。參照?qǐng)D5。然后板10進(jìn)行變位或運(yùn)動(dòng)，從而部段11和12都位于觀察區(qū)域90內(nèi)，第一部段11處于左半部，而第二部段12處于右半部，利用成像裝置80來獲取第二圖像。參照?qǐng)D6。在該位置，通過包含在第一圖像和第二圖像中的每個(gè)圖像中的一半數(shù)據(jù)，已對(duì)部段11的整個(gè)區(qū)域進(jìn)行成像，且已對(duì)部段12的大約一半?yún)^(qū)域進(jìn)行成像。然后板10進(jìn)行變位或運(yùn)動(dòng)，從而部段12和13都位于觀察區(qū)域90內(nèi)，部段12處于左半部，而部段13處于右半部，利用成像裝置80來獲取第三圖像。在該位置，通過包含在第二圖像和第三圖像中的每個(gè)圖像中的一半數(shù)據(jù)，已對(duì)部段 12的整個(gè)區(qū)域進(jìn)行成像，且已對(duì)部段13的大約一半?yún)^(qū)域進(jìn)行成像。然后，持續(xù)這一系列成像和變位過程，直到部段14位于觀測(cè)區(qū)域90的左半部，且獲取第五圖像為止。然后，使用本領(lǐng)域已知技術(shù)將第一圖像到第五圖像縫合在一起，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)于所關(guān)心的處理引起特征的完整板測(cè)量。如果特定板的寬度并不是寬度92的一半寬度的整數(shù)倍，可將板分割成具有剩余段的相等半寬的一個(gè)或多個(gè)部段，該剩余段在板的寬度16的任何一端處。通過在支承結(jié)構(gòu)30、觀察區(qū)域90、板10、可成像區(qū)域98和阻擋區(qū)域96的尺寸之間建立合適的平衡，可使實(shí)現(xiàn)完整板測(cè)量所需的時(shí)間最小。例如，在宏觀比例上，觀察區(qū)域的寬度92和/或高度94相對(duì)于相對(duì)應(yīng)的板10的寬度16和/或高度18越大，則需獲取的重疊圖像的數(shù)量越少，因此，處理時(shí)間越短。更詳細(xì)地說，由于完整板視圖可由盡可能少的圖像來構(gòu)造，因而使可成像區(qū)域98 的寬度99大于阻擋區(qū)域96的寬度97，可便于使處理時(shí)間更短。然后，如果寬度99 (寬度 52)變得遠(yuǎn)遠(yuǎn)大過于寬度97(寬度44)，則無法為板10提供充分的支承，以進(jìn)行精確測(cè)量。 也就是說，在該情形中，該支承結(jié)構(gòu)30將無法充分地、使薄板保持穩(wěn)定且保持在一致/恒定的平面中，以進(jìn)行測(cè)量。寬度44和52 (如上所述，與角θ的角度值、光軸82與X-Y平面形成的角、以及厚度42—起)影響寬度97、99。因此，為了便于描述，可互換地使用寬度44和 96，而在并不嚴(yán)格的情形下，可互換地使用寬度52和99。換言之，相對(duì)寬度44和52影響支承/阻擋區(qū)域96與非支承/可成像區(qū)域98的比值，且此外還影響為了提供完整板測(cè)量而需要對(duì)板進(jìn)行成像的次數(shù)。為了便于將圖像縫合在一起，以提供完整板測(cè)量，較佳的是，使圖像之間具有一定的將用于縫合的重疊部分。此外，較佳的是，利用僅僅兩個(gè)圖像來對(duì)板的完整部段進(jìn)行成像，以加快處理時(shí)間。因此，有益的是，使寬度44小于或等于寬度52 (類似地使寬度97小于或等于寬度99)。然而，并不需要使所有的寬度44都示作相同的寬度。類似的是并不需要使所有的寬度52都示作相同的寬度；并不需要使所有的寬度96都示作相同的寬度；且并不需要使所有的寬度98都示作相同的寬度。應(yīng)該強(qiáng)調(diào)的是，本實(shí)用新型的上述實(shí)施例，尤其是任何“較佳的”實(shí)施例，僅僅是可能的實(shí)施方式的例子，闡述這些實(shí)施例僅僅是為了清楚地理解本實(shí)用新型的原理。可對(duì)本實(shí)用新型的上述實(shí)施例作出許多變型和改型，而基本上不脫離本實(shí)用新型的精神和原理。所有這些改型和變型在這里都將包含在本實(shí)用新型的公開范圍之內(nèi)，并由下面的權(quán)利要求來保護(hù)。[0080] 例如，雖然如圖2所示，僅僅在透明板10的一側(cè)上示出支承結(jié)構(gòu)30，然而支承結(jié)構(gòu) 30可設(shè)置在板10的兩側(cè)上。
權(quán)利要求1.一種用于測(cè)量透明板中的處理引起特征的裝置，包括光源；成像裝置；以及透明板支承結(jié)構(gòu)，所述透明板支承結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述光源和所述成像裝置之間，其中，所述支承結(jié)構(gòu)構(gòu)造成且設(shè)置成支承所述透明板，以使由所述支承結(jié)構(gòu)引起的測(cè)量誤差在沿第一軸線或平行于第一軸線延伸時(shí)被所述成像裝置觀察到，當(dāng)通過所述成像裝置進(jìn)行觀察時(shí)，所述透明板中的所述處理引起特征沿第二軸線或平行于第二軸線延伸，所述第一軸線傾斜于所述第二軸線。
2.如權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述支承結(jié)構(gòu)包括棒，所述棒沿傾斜于所述第二軸線的軸線延伸。
3.如權(quán)利要求2所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述棒包括開口，所述支承結(jié)構(gòu)包括與所述開口連通的真空源。
4.如權(quán)利要求2所述的測(cè)量裝置，其特征在于，在所述棒之間設(shè)有空間，所述棒包括第一寬度，而所述空間包括第二寬度，此外，所述第一寬度小于或等于所述第二寬度。
5.如權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述成像裝置包括沿第三軸線定向的像素，其中，支承結(jié)構(gòu)包括這樣的空間通過這些空間可由所述成像裝置觀察到源自所述光源的光線，這些空間包括與所述第一軸線平行的縱向軸線，并且其中，所述第三軸線相對(duì)于所述縱向軸線傾斜。
專利摘要本實(shí)用新型涉及用于傳輸模式測(cè)量的偏軸板操縱裝置及其技術(shù)，提供了一種測(cè)量裝置(2)和測(cè)量方法，該測(cè)量裝置用于測(cè)量透明板(10)中的處理引起特征。該測(cè)量裝置包括光源(10)、成像裝置(80)以及支承結(jié)構(gòu)(30)，該支承結(jié)構(gòu)設(shè)置在光源和成像裝置之間。該支承結(jié)構(gòu)構(gòu)造成且設(shè)置成支承透明板，從而當(dāng)通過成像裝置進(jìn)行觀察時(shí)，由支承結(jié)構(gòu)引起的測(cè)量誤差沿第一軸線或平行于第一軸線(46、54)延伸，當(dāng)通過成像裝置進(jìn)行觀察時(shí)，透明板中的處理引起特征沿第二軸線或平行于第二軸線延伸，第一軸線傾斜于第二軸線(22、24)。
文檔編號(hào)G01N21/958GK202075242SQ20102059648
公開日2011年12月14日 申請(qǐng)日期2010年10月28日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月28日
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