專利名稱：防潮濕傳感器支架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種支架，尤其涉及一種防潮濕傳感器支架。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域內(nèi)，廣泛的使用電容傳感器來感知容器(比如設(shè)備中的壓力真 空容器PVV)內(nèi)的液位變化。請參閱圖1-2，圖1所示為現(xiàn)有的防潮濕傳感器支架的使用狀 態(tài)示意圖；圖2所示為現(xiàn)有的防潮濕傳感器支架的結(jié)構(gòu)示意圖。從圖1-2中可見，現(xiàn)有的濕 傳感器支架，用于將傳感器3固定于容器2外壁，包括支架體1，所述支架體1上設(shè)有用于卡 住容器2的豎直方向卡槽11，所述支架體1上還設(shè)有水平方向的傳感器容置通孔(圖中未 示意)。也就是說，現(xiàn)有的方法是利用支架體1將電容傳感器3固定于容器2的外部，使得 電容傳感器3緊貼于所述容器2的外表面，從而，通過傳感器3來感知容器2內(nèi)液位，從而 達(dá)到連續(xù)供應(yīng)的目的。但是，由于壓力真空容器的往復(fù)動(dòng)作使其自身溫度降低。而當(dāng)壓力真空容器工作 在濕度較大的環(huán)境中，則非常容易產(chǎn)生冷凝水，沿著容器外側(cè)壁留下的冷凝水會(huì)流到支架， 進(jìn)而流到支架內(nèi)部的傳感器，從而影響傳感器對液位變化的識別，以致影響化學(xué)品供應(yīng)。因此，如何提供一種防潮濕傳感器支架是本領(lǐng)域亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種防潮濕傳感器支架，可以及時(shí)清除流到支架上的 冷凝水，從而有效將冷凝水和傳感器隔離。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案本實(shí)用新型的有益效果如下一種防潮濕傳感器支架，用于將傳感器固定于容器外壁，包括支架體，所述支架體 上設(shè)有用于卡住容器的豎直方向卡槽，所述支架體還設(shè)有水平方向的傳感器容置通孔，所 述支架體的頂板是多孔板，所述防潮濕傳感器支架還包括導(dǎo)流管和負(fù)壓源，所述多孔板的 底端通過導(dǎo)流管與負(fù)壓源連通。所述支架體整體呈長方體。所述豎直方向卡槽的兩端貫穿所述支架體的兩底面并在一側(cè)面上形成開口，所述 豎直方向卡槽與所述容器的外周緣相匹配，所述水平方向的傳感器容置通孔的一端接通所 述豎直方向卡槽，另一端貫穿于所述支架體的另一側(cè)面。所述豎直方向卡槽包括一個(gè)弧形槽和一個(gè)梯形槽，所述弧形槽的開口端通過梯形 槽延伸到所述支架體的側(cè)面并在所述側(cè)面形成開口，且所述梯形槽由內(nèi)向外逐步擴(kuò)大。所述多孔板是塑料纖維板。所述多孔板具有多個(gè)孔，各孔的孔徑范圍在0. 5-1 μ m。所述多孔板的孔隙率約為35-45%。所述多孔板的厚度為0. 5_2mm。[0016]本實(shí)用新型防潮濕傳感器支架，結(jié)構(gòu)簡單、使用方便，通過將支架體的頂板改成多 孔板，通過多孔板來吸附沿容器管壁流下的冷凝水，并通過負(fù)壓源經(jīng)接于所述多孔板的底 端的導(dǎo)流管將多孔板所吸附的冷凝水及時(shí)抽吸排除，從而避免冷凝水靠近傳感器，從而保 證傳感器對容器內(nèi)液位變化的正確識別，實(shí)現(xiàn)連續(xù)供應(yīng)容器內(nèi)液態(tài)化學(xué)品的目的。

本實(shí)用新型的防潮濕傳感器支架由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1是現(xiàn)有的防潮濕傳感器支架的使用狀態(tài)示意圖；圖2是現(xiàn)有的防潮濕傳感器支架的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型的防潮濕傳感器支架的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實(shí)用新型的防潮濕傳感器支架的支架體的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是圖4的左視圖；圖6是容器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7是本實(shí)用新型的防潮濕傳感器支架的使用狀態(tài)示意圖。圖中，1-支架體、11-卡槽、12-傳感器容置通孔、13-頂板、14-前側(cè)板、15-右側(cè) 板、16-左側(cè)板、2-容器、3-傳感器、4-負(fù)壓源，5-導(dǎo)流管。
具體實(shí)施方式
以下將對本實(shí)用新型的防潮濕傳感器支架作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選 實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型 的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對 本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能 和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例 的開發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商 業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和 耗費(fèi)時(shí)間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí) 施方式作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。請參見圖3-7，圖3是本實(shí)用新型的防潮濕傳感器支架的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實(shí) 用新型的防潮濕傳感器支架的支架體的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是圖4的左視圖；圖6是容器的結(jié) 構(gòu)示意圖；圖7是本實(shí)用新型的防潮濕傳感器支架的使用狀態(tài)示意圖。 這種防潮濕傳感器支架，用于將傳感器3固定于容器2外壁，包括一個(gè)支架體1，所 述支架體1上設(shè)有用于卡住真空容器2的豎直方向卡槽11。所述支架體1還設(shè)有水平方向 的傳感器容置通孔12。所述傳感器容置通孔12用于置放傳感器3。所述支架體1的頂板 13是多孔板，所述防潮濕傳感器支架還包括導(dǎo)流5管和負(fù)壓源4，所述多孔板的底端(即最 低處)通過導(dǎo)流管5與負(fù)壓源4連通。所述負(fù)壓源4用于抽吸頂板13即多孔板內(nèi)所吸附的冷凝水并排放到指定管路。所述支架體1整體呈長方體。所述豎直方向卡槽11的兩端貫穿所述支架體1的 兩底面并在一側(cè)面上形成開口，所述豎直方向卡槽11與所述容器2的外周緣相匹配，所述 水平方向的傳感器容置通孔12的一端接通所述豎直方向卡槽11，另一端貫穿于所述支架 體1的另一側(cè)面。所述支架體1是實(shí)體的，其由頂板13、底板、前側(cè)板14、后側(cè)板、左側(cè)板16 和右側(cè)板15合圍而成。本實(shí)施例中，所述支架體1的兩底面是指頂板13和底板。也即所 述豎直方向卡槽11的兩端貫穿頂板13和底板并在所述右側(cè)板15中形成開口，所述豎直方 向卡槽11與所述容器2的外周緣相匹配。所述水平方向的傳感器容置通孔12的一端接通 豎直方向卡槽11，另一端貫穿所述左側(cè)板16。本實(shí)施例中，所述豎直方向卡槽11包括一個(gè)弧形槽和一個(gè)梯形槽(請結(jié)合參閱圖 4)，所述弧形槽的開口端通過梯形槽延伸到所述支架體1的側(cè)邊(即右側(cè)板1 并在所述 側(cè)邊形成開口，且所述梯形槽由內(nèi)向外逐步擴(kuò)大。所述多孔板是塑料纖維板。所述多孔板具有多個(gè)孔，各孔的孔徑范圍在0.5-1 μ m。 所述多孔板的孔隙率約為35-45%。本實(shí)施例中，所述多孔板的孔隙率約為40%。所述多 孔板的厚度為0. 5-2mm。本實(shí)施例中，所述多孔板的厚度為Imm本實(shí)用新型是這樣工作的請繼續(xù)參見圖3-7，首先通過豎直方向卡槽11，將支架體1卡在真空容器2的外周 緣，使得支架體1的頂板13即多孔板朝上，然后，將傳感器3放置于傳感器容置孔12。通 常，一個(gè)真空容器2外周緣從上至下需設(shè)置多個(gè)防潮濕傳感器支架。如此，防潮濕傳感器支 架安裝完畢。使用時(shí)，一旦，真空容器22產(chǎn)生冷凝水，冷凝水會(huì)沿著容器2的外壁流到防潮濕傳 感器支架的支架體1的多孔板即頂板13上，多孔板會(huì)吸附這些冷凝水，并通過負(fù)壓源4經(jīng) 接于所述多孔板的底端的導(dǎo)流管5將多孔板所吸附的冷凝水及時(shí)抽吸排除，從而避免冷凝 水靠近傳感器3，從而保證傳感器3對容器2內(nèi)液位變化的正確識別，實(shí)現(xiàn)連續(xù)供應(yīng)容器2 內(nèi)液態(tài)化學(xué)品的目的。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及 其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種防潮濕傳感器支架，用于將傳感器固定于容器外壁，包括支架體，所述支架體上 設(shè)有用于卡住容器的豎直方向卡槽，所述支架體還設(shè)有水平方向的傳感器容置通孔，其特 征在于，所述支架體的頂板是多孔板，所述防潮濕傳感器支架還包括導(dǎo)流管和負(fù)壓源，所述 多孔板的底端通過導(dǎo)流管與負(fù)壓源連通。
2.如權(quán)利要求1所述的防潮濕傳感器支架，其特征在于，所述支架體整體呈長方體。
3.如權(quán)利要求2所述的防潮濕傳感器支架，其特征在于，所述豎直方向卡槽的兩端貫 穿所述支架體的兩底面并在一側(cè)面上形成開口，所述豎直方向卡槽與所述容器的外周緣相 匹配，所述水平方向的傳感器容置通孔的一端接通所述豎直方向卡槽，另一端貫穿于所述 支架體的另一側(cè)面。
4.如權(quán)利要求3所述的防潮濕傳感器支架，其特征在于，所述豎直方向卡槽包括一個(gè) 弧形槽和一個(gè)梯形槽，所述弧形槽的開口端通過梯形槽延伸到所述支架體的側(cè)面并在所述 側(cè)面形成開口，且所述梯形槽由內(nèi)向外逐步擴(kuò)大。
5.如權(quán)利要求1所述的防潮濕傳感器支架，其特征在于，所述多孔板是塑料纖維板。
6.如權(quán)利要求1所述的防潮濕傳感器支架，其特征在于，所述多孔板具有多個(gè)孔，各孔 的孔徑范圍在0. 5-1 μ m。
7.如權(quán)利要求1所述的防潮濕傳感器支架，其特征在于，所述多孔板的孔隙率約為 35-45% ο
8.如權(quán)利要求1所述的防潮濕傳感器支架，其特征在于，所述多孔板的厚度為 0. 5-2mm。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種支架。公開了一種防潮濕傳感器支架，用于將傳感器固定于容器外壁，包括支架體，所述支架體上設(shè)有用于卡住容器的豎直方向卡槽，所述支架體還設(shè)有水平方向的傳感器容置通孔，所述支架體的頂板是多孔板，所述防潮濕傳感器支架還包括導(dǎo)流管和負(fù)壓源，所述多孔板的底端通過導(dǎo)流管與負(fù)壓源連通。本實(shí)用新型通過將支架體的頂板改成多孔板，通過多孔板來吸附沿容器管壁流下的冷凝水，并通過負(fù)壓源經(jīng)接于所述多孔板的底端的導(dǎo)流管將多孔板所吸附的冷凝水及時(shí)抽吸排除，從而避免冷凝水靠近傳感器，從而保證傳感器對容器內(nèi)液位變化的正確識別，實(shí)現(xiàn)連續(xù)供應(yīng)容器內(nèi)液態(tài)化學(xué)品的目的。
文檔編號G01F23/26GK201844861SQ201020564838
公開日2011年5月25日 申請日期2010年10月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月16日
發(fā)明者王學(xué)利 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司