專利名稱：具抽取式均光片的測(cè)試頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型關(guān)于一種具抽取式均光片的測(cè)試頭，尤指一種適用于測(cè)試如感光半導(dǎo) 體元件的半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備。
背景技術(shù)：
目前半導(dǎo)體測(cè)試技術(shù)中，關(guān)于測(cè)試如感光半導(dǎo)體元件時(shí)，于測(cè)試中需另外增加光 源照射半導(dǎo)體元件，并同時(shí)偵測(cè)半導(dǎo)體元件的反應(yīng)信號(hào)，來(lái)判斷半導(dǎo)體元件是否正常運(yùn)作。請(qǐng)先參閱圖1，圖1是公知具光源的半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備的示意圖。圖中顯示有一半導(dǎo) 體測(cè)試設(shè)備10，其主要用以檢測(cè)感光半導(dǎo)體元件，如CCD、CMOS、或其它需輔助光源進(jìn)行檢 測(cè)的半導(dǎo)體元件。其中，圖中顯示的半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備10上方具有一測(cè)試頭11，而測(cè)試頭11 上方再有一光源機(jī)12，其主要用以提供光源。再請(qǐng)一并參閱圖2、及圖3，圖2是公知具光源的半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備的測(cè)試頭的立體 圖，圖3是公知具光源的半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備的測(cè)試頭的剖視圖。一般公知具光源的半導(dǎo)體測(cè) 試設(shè)備中，光源機(jī)12發(fā)出的光源會(huì)先經(jīng)過(guò)一透鏡管13后，再由測(cè)試頭11的另一端射出。其 中，透鏡管13內(nèi)主要組設(shè)有透鏡組(圖中未示)，其用以聚光，加強(qiáng)光源的照射明亮度。因 此，于測(cè)試頭11內(nèi)通常會(huì)設(shè)置有一均光片14，其主要用以均勻光線，使測(cè)試結(jié)果更加準(zhǔn)確。然而，當(dāng)設(shè)備運(yùn)行于一段時(shí)間后，需要重新校正光源初始值又稱出光度、或亮度。 此時(shí)，則需要將均光片14移除方可進(jìn)行檢測(cè)校正。然而，公知設(shè)備中均光片14是直接鎖 附固定于測(cè)試頭11內(nèi)，而移除均光片14時(shí)需先拆下測(cè)試頭11內(nèi)所有測(cè)試電路板(Pin Electronics Card, PE Card)(圖中未示)、以及拆卸透鏡管13、及光源機(jī)12，其過(guò)程相當(dāng)繁 復(fù)，費(fèi)工費(fèi)時(shí)。而且，檢測(cè)校正完后，又需逐一組裝方可再進(jìn)行測(cè)試。

實(shí)用新型內(nèi)容為了解決現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的是提供一種具抽取式均光片的測(cè)試 頭。本實(shí)用新型為一種具抽取式均光片的測(cè)試頭，包括一殼體、一抽取蓋座、一抽取 板、一均光片、一透鏡管、以及一光源模塊。其中，殼體包括有一前蓋板，而前蓋板開(kāi)設(shè)有一 光照射孔。抽取蓋座組設(shè)于前蓋板的內(nèi)表面上，且抽取蓋座包括有一頂板、及一側(cè)板。其中， 頂板開(kāi)設(shè)有一穿孔，且穿孔對(duì)應(yīng)于殼體的光照射孔，而側(cè)板開(kāi)設(shè)有一抽取槽。抽取板包括有 一固定框，且抽取板可插設(shè)于抽取蓋座的抽取槽。均光片組設(shè)于抽取板的固定框上。另外， 透鏡管組設(shè)于抽取蓋座的頂板并對(duì)應(yīng)于穿孔。至于，光源模塊包括有一發(fā)光部，且發(fā)光部對(duì) 應(yīng)于透鏡管。其中，本實(shí)用新型的抽取板的固定框可開(kāi)設(shè)有一開(kāi)孔，其對(duì)應(yīng)于前蓋板的光照射 孔、及抽取蓋座的頂板的穿孔，主要用以供光線直接通過(guò)開(kāi)孔、光照射孔、及穿孔并穿透均 光片。此外，本實(shí)用新型的抽取蓋座可還包括有一第一耦合件，而抽取板還包括有一第二耦合件，且第一耦合件可選擇式耦合固定于第二耦合件。其中，第一耦合件可包括有一扣 合塊，而第二耦合件包括有一扣合卡榫、及一卡榫基座。然而，卡榫基座可固設(shè)于抽取板上， 且扣合卡榫可樞設(shè)于卡榫基座。再者，本實(shí)用新型可還包括有一蓋座底板，其組設(shè)于前蓋板的內(nèi)表面上。其中，抽 取蓋座設(shè)置于蓋座底板上，且抽取蓋座與蓋座底板形成有一容置空間，容置空間連通抽取 槽，主要用以容設(shè)抽取板。而且，蓋座底板可開(kāi)設(shè)有一透光孔，其對(duì)應(yīng)于前蓋板的光照射孔、 及抽取蓋座的頂板的穿孔。另外，本實(shí)用新型的殼體可還包括有一后蓋板，后蓋板開(kāi)設(shè)有一通孔，而透鏡管穿 經(jīng)通孔并組設(shè)于抽取蓋座的頂板上。而且，本實(shí)用新型可還包括有一光源固定架，其組設(shè)于 后蓋板的外表面上，而光源模塊固設(shè)于光源固定架上。本實(shí)用新型的有益效果，本實(shí)用新型能快速抽取均光片，以利快速進(jìn)行校正、或維 修，大幅縮短停機(jī)時(shí)間，降低成本、及增加產(chǎn)能利用率。本實(shí)用新型由第一耦合件的扣合塊 與第二耦合件的扣合卡榫及一卡榫基座，可快速耦合卡固，避免于測(cè)試中或翻轉(zhuǎn)過(guò)程中造 成抽取板脫落。本實(shí)用新型透過(guò)抽取蓋座設(shè)置于蓋座底板上，可更加確保抽取板于抽取過(guò) 程中更加順暢，且增加均光片的保護(hù)效果。

圖1是公知具光源的半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備的示意圖。圖2是公知具光源的半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備的測(cè)試頭的立體圖。圖3是公知具光源的半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備的測(cè)試頭的剖視圖。圖4A是本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的剖視圖。圖4B是本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例剖視圖的局部放大圖。圖5是本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的局部分解圖。主要元件符號(hào)說(shuō)明10半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備12光源機(jī)14均光片20光照射孔211內(nèi)表面221外表面3抽取蓋座311 穿孔321抽取槽331扣合塊341透光孔41固定框42第二耦合件422卡榫基座6透鏡管
4 U測(cè)試頭 13透鏡管 2殼體 21前蓋板 22后蓋板 23通孔 31頂板 32側(cè)板 33第一耦合件 34蓋座底板 4抽取板 411開(kāi)孔 421扣合卡榫 5均光片 7光源模塊[0035]70光源固定架 71發(fā)光部S容置空間
具體實(shí)施方式
請(qǐng)一并參閱圖4A、圖4B、及圖5，圖4A是本實(shí)用新型具抽取式均光片的測(cè)試頭一較 佳實(shí)施例的剖視圖，圖4B是本實(shí)用新型具抽取式均光片的測(cè)試頭一較佳實(shí)施例剖視圖的 局部放大圖，圖5是本實(shí)用新型具抽取式均光片的測(cè)試頭一較佳實(shí)施例的局部分解圖。圖 中顯示有一具抽取式均光片的測(cè)試頭，其主要用以測(cè)試如感光半導(dǎo)體元件，因測(cè)試感光半 導(dǎo)體元件時(shí)需另外增加光源來(lái)照射半導(dǎo)體元件，以同時(shí)偵測(cè)半導(dǎo)體元件的反應(yīng)信號(hào)。故，光 源亮度必須足夠、且均勻，所以會(huì)另外增設(shè)均光片。如圖中所示有殼體2，其包括有一前蓋板21、一后蓋板22。其中，前蓋板21開(kāi)設(shè)有 一光照射孔20，后蓋板22開(kāi)設(shè)有一通孔23。而且，又有一抽取蓋座3，其組設(shè)于前蓋板21 的內(nèi)表面211上。然而，抽取蓋座3包括有一頂板31、及一側(cè)板32。其中，頂板31開(kāi)設(shè)有 一穿孔311，而穿孔311對(duì)應(yīng)于殼體2的光照射孔20，而側(cè)板32開(kāi)設(shè)有一抽取槽321。然 而，抽取板4可插入或抽出抽取蓋座3的抽取槽321。再者，抽取板4包括有一固定框41。在本實(shí)施例中，抽取板4的固定框41開(kāi)設(shè)有 一開(kāi)孔411，其對(duì)應(yīng)于前蓋板21的光照射孔20、及抽取蓋座3的頂板31的穿孔311，用以供 光線穿透均光片5并直接通過(guò)開(kāi)孔411、光照射孔20、及穿孔311。此外，均光片5則組設(shè)于 抽取板4的固定框41上，并透過(guò)開(kāi)孔411，可供光線穿透。此外，圖中亦顯示有一蓋座底板34，其組設(shè)于前蓋板21的內(nèi)表面211上。在本實(shí) 施例中，抽取蓋座3設(shè)置于蓋座底板34上。其中，抽取蓋座3設(shè)置于蓋座底板34上，而且 抽取蓋座3與蓋座底板34內(nèi)部形成有一容置空間S，而容置空間S連通抽取槽321，主要用 以容設(shè)抽取板4。再且，蓋座底板34開(kāi)設(shè)有一透光孔341，其對(duì)應(yīng)于前蓋板21的光照射孔 20、及抽取蓋座3的頂板31的穿孔311。據(jù)此，本實(shí)施例透過(guò)抽取蓋座3設(shè)置于蓋座底板 34上，可更加確保抽取板4于抽取過(guò)程中更加順暢，同時(shí)又可增加均光片5的保護(hù)效果。 其中，本實(shí)施例的抽取蓋座3還包括有一第一耦合件33，而抽取板4還包括有一第 二耦合件42。而且，第一耦合件33可選擇式耦合固定、或脫開(kāi)分離于第二耦合件42。詳言 之，在本實(shí)施例中，第一耦合件33包括有一扣合塊331，第二耦合件42包括有一扣合卡榫 421、及一卡榫基座422。其中，卡榫基座422固設(shè)于抽取板4上，且扣合卡榫421樞設(shè)卡榫 基座422上。據(jù)此，由第一耦合件33的扣合塊331與第二耦合件42的扣合卡榫421、及一 卡榫基座422，可提供快速耦合卡固，并避免于測(cè)試中或翻轉(zhuǎn)過(guò)程中，造成抽取板4脫落。再且，圖中另顯示有一透鏡管6、一光源固定架70、及一光源模塊7。其中，透鏡管 6的一端組設(shè)于抽取蓋座3的頂板31并對(duì)應(yīng)于穿孔311，透鏡管6的另一端則穿經(jīng)后蓋板 22的通孔23。此外，光源固定架70組設(shè)于后蓋板22的外表面221上。而光源模塊7固設(shè) 于該光源固定架70上。并且，光源模塊7包括有一發(fā)光部71，其對(duì)應(yīng)于透鏡管6。據(jù)此，當(dāng)發(fā)光部71發(fā)出光線后會(huì)穿經(jīng)透鏡管6、抽取蓋座3的頂板31的穿孔311、 均光片5、抽取板4的固定框41的開(kāi)孔411、蓋座底板34的透光孔341、以及前蓋板21的光 照射孔20，而透出均勻的光源，供測(cè)試時(shí)使用。因此，本實(shí)用新型由上述元件、及技術(shù)特征的 設(shè)計(jì)，能快速抽取均光片4，以利快速進(jìn)行校正、或維修，大幅縮短停機(jī)時(shí)間，降低成本、及增加產(chǎn)能利用率。 上述實(shí)施例僅是為了方便說(shuō)明而舉例而已，本實(shí)用新型所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以 申請(qǐng)專利范圍所述為準(zhǔn)，而非僅限于上述實(shí)施例。
權(quán)利要求一種具抽取式均光片的測(cè)試頭，其特征在于，包括一殼體，包括有一前蓋板，該前蓋板開(kāi)設(shè)有一光照射孔；一抽取蓋座，組設(shè)于該前蓋板的內(nèi)表面上，該抽取蓋座包括有一頂板、及一側(cè)板，該頂板開(kāi)設(shè)有一穿孔，該穿孔對(duì)應(yīng)于該殼體的該光照射孔，該側(cè)板開(kāi)設(shè)有一抽取槽；一抽取板，包括有一固定框，該抽取板插設(shè)于該抽取蓋座的該抽取槽；一均光片，組設(shè)于該抽取板的該固定框上；一透鏡管，組設(shè)于該抽取蓋座的該頂板并對(duì)應(yīng)于該穿孔；以及一光源模塊，包括有一發(fā)光部，該發(fā)光部對(duì)應(yīng)于該透鏡管。
2.如權(quán)利要求1所述的具抽取式均光片的測(cè)試頭，其特征在于，該抽取板的該固定框 開(kāi)設(shè)有一開(kāi)孔，其對(duì)應(yīng)于該前蓋板的該光照射孔、及該抽取蓋座的該頂板的該穿孔。
3.如權(quán)利要求1所述的具抽取式均光片的測(cè)試頭，其特征在于，該抽取蓋座還包括有 一第一耦合件，該抽取板還包括有一第二耦合件，該第一耦合件選擇式耦合固定于該第二 耦合件。
4.如權(quán)利要求3所述的具抽取式均光片的測(cè)試頭，其特征在于，該第一耦合件包括有 一扣合塊，該第二耦合件包括有一扣合卡榫。
5.如權(quán)利要求4所述的具抽取式均光片的測(cè)試頭，其特征在于，該第二耦合件還包括 有一卡榫基座，其固設(shè)于該抽取板上，該扣合卡榫樞設(shè)于該卡榫基座。
6.如權(quán)利要求1所述的具抽取式均光片的測(cè)試頭，其特征在于，還包括有一蓋座底板， 組設(shè)于該前蓋板的內(nèi)表面上，該抽取蓋座組設(shè)于該蓋座底板上。
7.如權(quán)利要求6所述的具抽取式均光片的測(cè)試頭，其特征在于，該蓋座底板開(kāi)設(shè)有一 透光孔，其對(duì)應(yīng)于該前蓋板的該光照射孔、及該抽取蓋座的該頂板的該穿孔。
8.如權(quán)利要求1所述的具抽取式均光片的測(cè)試頭，其特征在于，該殼體還包括有一后 蓋板，該后蓋板開(kāi)設(shè)有一通孔，該透鏡管穿經(jīng)該通孔并組設(shè)于該抽取蓋座的該頂板上。
9.如權(quán)利要求8所述的具抽取式均光片的測(cè)試頭，其特征在于，還包括有一光源固定 架，組設(shè)于該后蓋板的外表面上，該光源模塊固設(shè)于該光源固定架上。
專利摘要本實(shí)用新型有關(guān)于一種具抽取式均光片的測(cè)試頭，包括有一殼體、一抽取蓋座、一抽取板、一均光片、一透鏡管、以及一光源模塊。其中，殼體開(kāi)設(shè)有光照射孔，抽取蓋座組設(shè)于殼體的前蓋板的內(nèi)表面上，且抽取蓋座的頂板開(kāi)設(shè)有穿孔，其對(duì)應(yīng)于殼體的光照射孔。抽取蓋座的側(cè)板開(kāi)設(shè)有抽取槽。而抽取板包括有固定框，用以組設(shè)均光片，且抽取板可插設(shè)于抽取蓋座的抽取槽。另外，透鏡管組設(shè)于抽取蓋座的頂板并對(duì)應(yīng)于穿孔；光源模塊的發(fā)光部再對(duì)應(yīng)于透鏡管。因此，本實(shí)用新型能快速抽取均光片，以利快速進(jìn)行校正、或維修，大幅縮短停機(jī)時(shí)間。
文檔編號(hào)G01M11/02GK201724809SQ201020267540
公開(kāi)日2011年1月26日 申請(qǐng)日期2010年7月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月19日
發(fā)明者吳國(guó)榮, 黃省騰 申請(qǐng)人:京元電子股份有限公司