專利名稱：測試機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
測試機
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導體工業(yè)中的測試技術(shù)，特別是涉及一種測試機。背景技術(shù)：
測試機(Automatic Test Equipment, ATE)是用于晶圓和其他成品測試的一種專 用設(shè)備，可以實現(xiàn)各種電參數(shù)的測量，和探針臺配合可以完成晶圓電參數(shù)的測試。其有多個 與探針臺連接的接口。探針臺(prober)是半導體生產(chǎn)過程中用于晶圓測試的一種設(shè)備，主要完成晶圓 測試中探針卡與晶圓的可靠接觸、晶圓的固定步距移動、以及探針臺與測試機的信號連接 等功能。測試頭是測試機上的一種測試轉(zhuǎn)換裝置，通過該裝置，可以將測試機的信號分配 給不同的測試單元，以便提高測試的效率。傳統(tǒng)的測試機只有一個測試頭，與探針臺配合對晶圓進行測試時，只能進行單芯 片測試，即晶圓每次移位并與探針卡接觸只能測試一個芯片，測試效率較低。為了提高測試效率，有的測試機，如JUNOTeseter公司生產(chǎn)的DTS-1000，配備有兩 個測試頭，可以連接兩臺探針臺實現(xiàn)乒乓測試，如圖1所示。測試機100包括第一測試頭 110和第二測試頭120，分別連接探針臺200和探針臺300。第一測試頭110測試一個探針 臺200承載的晶圓的一個芯片后，得到測試結(jié)果；在探針臺200對晶圓移位并與探針卡接觸 的過程中，第二測試頭120測試探針臺300承載的晶圓的一個芯片，并得到測試結(jié)果。這樣 就可以省下移位和與探針卡接觸的時間。這樣雖然提高了測試速度，但需要一臺測試機和兩臺探針臺配合測試，需要的設(shè) 備較多，因此提高了測試成本。

實用新型內(nèi)容基于此，有必要提供一種只需要和一臺探針機配合測試，但仍能保證較快的測試 速度的測試機。一種測試機，包括多個測試頭，還包括通過數(shù)據(jù)接口與所述多個測試頭連接的控 制模塊，所述控制模塊接收測試信號，通過數(shù)據(jù)接口指示所述多個測試頭順次開始測試，每 個測試頭測試完成后將測試結(jié)果通過數(shù)據(jù)接口發(fā)送給控制模塊，待所有測試頭均完成了一 次測試后，將所有的測試結(jié)果通過控制模塊集中輸出。優(yōu)選的，所述多個測試頭是兩個測試頭。 優(yōu)選的，所述數(shù)據(jù)接口是并口。優(yōu)選的，所述控制模塊包括復雜可編程邏輯器件。優(yōu)選的，所述控制模塊還包括串口，通過串口接收所述測試信號或輸出測試結(jié)果。優(yōu)選的，所述控制模塊還包括向復雜可編程邏輯器件提供工作電源的電源模塊。優(yōu)選的，所述控制模塊還包括向復雜可編程邏輯器件提供工作時鐘的時鐘模塊。[0016]上述測試機配備有多個測試頭，所有測試頭均完成了一次測試后，將測試結(jié)果集 中輸出，因此晶圓每移動并與探針卡接觸一次，可以測試與測試頭數(shù)量相等的芯片，相對于 每移動并與探針卡接觸一次只能測試一個芯片的傳統(tǒng)單芯片測試的測試機，大大提高了測 試速度和效率。且只需要與一臺探針臺配合進行測試，相對于需要與兩臺探針臺配合進行 乒乓測試的測試機，能夠節(jié)省成本。

圖1是傳統(tǒng)的有兩個測試頭的測試機的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是一個實施例中本實用新型測試機的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是另一個實施例中本實用新型測試機的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是一個實施例中控制模塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式圖2是一個實施例中本實用新型測試機的結(jié)構(gòu)示意圖。與探針臺200連接的測試 機100包括多個測試頭及控制模塊130?？刂颇K130接收并通過數(shù)據(jù)接口(圖未示)轉(zhuǎn)發(fā) 探針臺200發(fā)送的開始測試信號，指示所述多個測試頭順次開始測試，每個測試頭測試完 成后將測試結(jié)果通過數(shù)據(jù)接口發(fā)送給控制模塊。待所有測試頭均完成了一次測試后，將所 有的測試結(jié)果轉(zhuǎn)換成探針臺能夠識別的形式，然后集中輸出給探針臺200 ；同時測試機100 指示探針臺200將晶圓移動到下一個位置并與探針卡接觸，開始進行下一輪測試。圖3是另一個實施例中本實用新型測試機的結(jié)構(gòu)示意圖，該實施例是測試機配備 有兩個測試頭的情況。與探針臺200連接的測試機100包括第一測試頭110、第二測試頭 120以及控制模塊130。控制模塊130接收并通過數(shù)據(jù)接口(圖未示)轉(zhuǎn)發(fā)探針臺200發(fā)送的開始測試信 號，指示第一測試頭110開始測試。測試機100的第一測試頭110測試完一個芯片(DIE) 后，將測試結(jié)果發(fā)送給控制模塊130，同時第二測試頭120開始對另一個芯片進行測試，測 試完后再通過數(shù)據(jù)接口(圖未示)將測試結(jié)果發(fā)送給控制模塊130，由控制模塊130將兩次 收到的結(jié)果轉(zhuǎn)換成探針臺能夠識別的形式后，一并反饋給探針臺200。這個實施例中測試機在測試兩個芯片后晶圓才需要移位并與探針卡接觸一次，相 對于傳統(tǒng)的單芯片測試，能在這個環(huán)節(jié)節(jié)省一半的時間。相對于需要連接兩臺探針臺的乒 乓測試，能節(jié)省下一臺探針臺，大大降低了成本。圖4是一個實施例中控制模塊的結(jié)構(gòu)示意圖?？刂颇K130包括復雜可編程邏輯 器件(Complex Programmable Logic Device, CPLD) 132、電源模塊 134、時鐘模塊 136 以及 串 口 138。復雜可編程邏輯器件132與電源模塊134、時鐘模塊136、串口 138均相連接，通過 并口(圖未示)向測試機100轉(zhuǎn)發(fā)探針臺200發(fā)送的開始測試信號并接收兩個測試頭發(fā)送 的測試結(jié)果，還用于將測試結(jié)果通過串口 138經(jīng)過轉(zhuǎn)換后發(fā)送給串口 138，通過串口 138反 饋給探針臺200。電源模塊134用于向復雜可編程邏輯器件132提供工作電源。時鐘模塊136用于向復雜可編程邏輯器件132提供工作時鐘。
4[0029]串口 138是控制模塊130與探針臺200之間的通信接口，完成接收探針臺200發(fā) 送的開始測試信號，以及向探針臺200集中輸出測試結(jié)果等信號交互功能。上述測試機配備有多個測試頭，所有測試頭均完成了一次測試后，將測試結(jié)果集 中輸出，因此晶圓每移動并與探針卡接觸一次，可以測試與測試頭數(shù)量相等的芯片，相對于 每移動并與探針卡接觸一次只能測試一個芯片的傳統(tǒng)單芯片測試的測試機，大大提高了測 試速度和效率。且只需要與一臺探針臺配合進行測試，相對于需要與兩臺探針臺配合進行 乒乓測試的測試機，能夠節(jié)省成本。以上所述實施例僅表達了本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細， 但并不能因此而理解為對本實用新型專利范圍的限制。應(yīng)當指出的是，對于本領(lǐng)域的普通 技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬 于本實用新型的保護范圍。因此，本實用新型專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準。
權(quán)利要求一種測試機，包括多個測試頭，其特征在于，還包括通過數(shù)據(jù)接口與所述多個測試頭連接的控制模塊，所述控制模塊接收測試信號，通過數(shù)據(jù)接口指示所述多個測試頭順次開始測試，每個測試頭測試完成后將測試結(jié)果通過數(shù)據(jù)接口發(fā)送給控制模塊，待所有測試頭均完成了一次測試后，將所有的測試結(jié)果通過控制模塊集中輸出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試機，其特征在于，所述多個測試頭是兩個測試頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試機，其特征在于，所述數(shù)據(jù)接口是并口。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試機，其特征在于，所述控制模塊包括復雜可編程邏輯器件。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測試機，其特征在于，所述控制模塊還包括串口，通過串口接 收所述測試信號或輸出測試結(jié)果。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測試機，其特征在于，所述控制模塊還包括向復雜可編程邏 輯器件提供工作電源的電源模塊。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測試機，其特征在于，所述控制模塊還包括向復雜可編程邏 輯器件提供工作時鐘的時鐘模塊。
專利摘要本實用新型涉及一種測試機，包括多個測試頭，還包括通過數(shù)據(jù)接口與多個測試頭連接的控制模塊，控制模塊接收測試信號，通過數(shù)據(jù)接口指示多個測試頭順次開始測試，每個測試頭測試完成后將測試結(jié)果通過數(shù)據(jù)接口發(fā)送給控制模塊，待所有測試頭均完成了一次測試后，將所有的測試結(jié)果通過控制模塊集中輸出。上述測試機配備有多個測試頭，晶圓每移動并與探針卡接觸一次，可以測試與測試頭數(shù)量相等的芯片，相對于每移動并與探針卡接觸一次只能測試一個芯片的傳統(tǒng)單芯片測試的測試機，大大提高了測試速度和效率。且只需要與一臺探針臺配合進行測試，相對于需要與兩臺探針臺配合進行乒乓測試的測試機，能夠節(jié)省成本。
文檔編號G01R31/00GK201637797SQ201020148259
公開日2010年11月17日 申請日期2010年3月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月24日
發(fā)明者顧漢玉 申請人:華潤賽美科微電子(深圳)有限公司