專利名稱：高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬光學(xué)領(lǐng)域，涉及一種紋影器件，尤其涉及一種高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件。
背景技術(shù)：
遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑是表征高功率激光系統(tǒng)光束質(zhì)量的一項(xiàng)重要指標(biāo)，也是衡量激光打靶焦斑強(qiáng)度分布的直觀參數(shù)，尤其需要關(guān)注焦斑旁辮的大小及其能量分布，需要精確的予以測(cè)量。由于遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑的動(dòng)態(tài)范圍寬(10000 1以上)，尚沒(méi)有如此大動(dòng)態(tài)范圍的測(cè)量傳感器， 一種焦斑測(cè)量的方法是分別測(cè)量焦斑的主瓣和旁瓣，通過(guò)圖像重構(gòu)得到完整的焦斑形態(tài)， 這種方法稱之為紋影法，如圖1所示。在測(cè)量旁瓣時(shí)需要將主瓣遮擋，否則會(huì)造成圖象傳感器的損傷，遮擋主辮的器件即為紋影器件，對(duì)該器件的要求是擋光嚴(yán)實(shí)、耐激光輻照、不會(huì)對(duì)測(cè)量造成附加影響，目前尚未有這樣的器件出現(xiàn)。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決背景技術(shù)中存在的上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種擋光效果好，耐激光輻照以及不會(huì)對(duì)測(cè)量造成任何影響的高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件。本發(fā)明的技術(shù)解決方案是本發(fā)明提供了一種高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件，其特殊之處在于所述高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件包括擋光片以及設(shè)置于擋光片外部的透光罩。上述透光罩包括上玻璃壓片以及與上玻璃壓片扣合在一起的下玻璃壓片。上述透光罩還包括密封件，所述上玻璃壓片和下玻璃壓片扣合后通過(guò)密封件密封。上述擋光片是透過(guò)率不大于10_5且耐輻照閾值不小于20J/cm2的擋光片。上述擋光片是金屬薄片。上述擋光片是厚度為0. Imm 0. 3mm的鋼片。上述擋光片是厚度為0.2mm的鋼片。 上述透光罩上鍍有增透膜。上述上玻璃壓片或下玻璃壓片的厚度是0. 3mm 1mm。上述上玻璃壓片或下玻璃壓片的厚度是0. 5mm。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是本發(fā)明所提供的高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件的材料采用采用金屬薄片， 尤其是薄鋼片；在擋光片的封裝采用薄玻璃片，同時(shí)，采用硅膠將擋光片封裝在上下夾持的玻璃片中并且上下封裝玻璃片上鍍有增透膜，不會(huì)損傷器件且密封可靠，不會(huì)對(duì)測(cè)量造成任何影響。本發(fā)明所形成的紋影器件既能遮擋激光主辮，也能使激光旁辮透過(guò)；具有擋光嚴(yán)實(shí)且耐激光輻照，并易加工成需要的大小和形狀等優(yōu)點(diǎn)，整體封裝后形成的紋影器件便于夾持安裝，等同于玻璃元件的安裝。


圖1是現(xiàn)有技術(shù)中紋影法在使用過(guò)程時(shí)的光路示意圖；圖2是本發(fā)明所提供的擋光片結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本發(fā)明所提供的紋影器件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是圖3的A向視圖。
具體實(shí)施例方式參見(jiàn)圖2、圖3和圖4，本發(fā)明提供了一種高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件，其整體結(jié)構(gòu)形狀為圓形，包括擋光片1、上玻璃壓片2、下玻璃壓片3、硅膠組成。該上玻璃壓片2和下玻璃壓片3構(gòu)成透光罩，上玻璃壓片2和下玻璃壓片3扣合一起，透光罩設(shè)置在擋光片1的外部，為了使用效果更好，在上玻璃壓片2以及與下玻璃壓片3扣合后通過(guò)密封件4密封，該密封件4可以是硅膠、玻璃膠等。擋光片1可以是透過(guò)率不大于10_5且耐輻照閾值不小于20J/cm2的擋光片，該擋光片1可以是金屬薄片，尤其是厚度為0. Imm 0. 3mm的鋼片，最好是厚度為0. 2mm的鋼片。透光罩上鍍有增透膜，也就是上玻璃壓片2和下玻璃壓片3的內(nèi)外表面都鍍有增透膜，上玻璃壓片2和下玻璃壓片3可以是石英玻璃、K9玻璃等任何一種都是可行的。上玻璃壓片或下玻璃壓片的厚度是0. 3mm 1mm，尤其是0. 5mm。具體實(shí)現(xiàn)而言，擋光片1采用薄的工具鋼片材料，厚度為0. 2mm，其形狀和大小根據(jù)實(shí)際擋光的需要采用激光微小加工工藝形成；上下玻璃壓片2、3的材料根據(jù)所測(cè)試的激光波長(zhǎng)選擇，同時(shí)對(duì)玻璃壓片的所有表面鍍測(cè)試激光的增透膜，以獲得盡可能多的激光透過(guò)率；玻璃壓片的厚度選擇為0. 5mm，大小為Φ 20mm;將擋光片1放置在上下玻璃壓片2、3之間，并采用專用工具上下壓持以使其固定；采用硅膠涂抹上下玻璃壓片周遍的縫隙，采用膠干后形成的拉力將擋光片1封裝在玻璃壓片中；維持M小時(shí)以上，待膠干后即形成了紋影器件，測(cè)試時(shí)采用夾持玻璃元件的方法將紋影器件固定在光路中進(jìn)行測(cè)試即可。
權(quán)利要求
1.一種高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件，其特征在于所述高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件包括擋光片以及設(shè)置于擋光片外部的透光罩。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件，其特征在于所述透光罩包括上玻璃壓片以及與上玻璃壓片扣合在一起的下玻璃壓片。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件，其特征在于所述透光罩還包括密封件，所述上玻璃壓片和下玻璃壓片扣合后通過(guò)密封件密封。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件，其特征在于 所述擋光片是透過(guò)率不大于10_5且耐輻照閾值不小于20J/cm2的擋光片。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件，其特征在于所述擋光片是金屬薄片。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件，其特征在于所述擋光片是厚度為0. Imm 0. 3mm的鋼片。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件，其特征在于所述擋光片是厚度為0. 2mm的鋼片。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件，其特征在于所述透光罩上鍍有增透膜。
9.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件，其特征在于所述上玻璃壓片或下玻璃壓片的厚度是0. 3mm 1mm。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件，其特征在于所述上玻璃壓片或下玻璃壓片的厚度是0. 5mm。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件，包括擋光片以及設(shè)置于擋光片外部的透光罩。本發(fā)明提供了一種擋光效果好，耐激光輻照以及不會(huì)對(duì)測(cè)量造成任何影響的高功率激光遠(yuǎn)場(chǎng)焦斑測(cè)試用紋影器件。
文檔編號(hào)G01J1/04GK102486405SQ20101056894
公開(kāi)日2012年6月6日 申請(qǐng)日期2010年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月1日
發(fā)明者孫策, 李紅光, 董曉娜, 達(dá)爭(zhēng)尚 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所