專利名稱：射頻測(cè)試用直流偏置探針卡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及的是一種異型帶有防震電路設(shè)計(jì)的射頻測(cè)試用直流偏置探針卡，屬于 集成電路設(shè)計(jì)技太領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
探針卡是將探針卡上的探針與射頻集成電路晶片上的芯片測(cè)試焊墊直接接觸，配 合測(cè)試設(shè)備與軟件控制將測(cè)試信號(hào)透過(guò)探針卡上電路板傳輸至探針以至芯片，達(dá)到自動(dòng)化 的芯片級(jí)測(cè)試目的，其中探針的排列密度則需細(xì)微到可對(duì)應(yīng)于芯片上相鄰測(cè)試焊墊之間 隙，且單一探針卡為了可廣泛應(yīng)用于不同制備技術(shù)的集成電路晶片，探針卡的電路板設(shè)計(jì) 往往不會(huì)以特定走線布設(shè)的方式作為電路傳輸?shù)慕Y(jié)構(gòu)，而為在測(cè)試設(shè)備用以探點(diǎn)的導(dǎo)線與 探針間設(shè)置傳輸線的跳線結(jié)構(gòu)，通過(guò)此將電測(cè)信號(hào)送至探針。目前，探針卡制作廠家提供的 探針卡基板主要應(yīng)用于直流的在片測(cè)試，基板尺寸太大，無(wú)法滿足射頻在片測(cè)試的要求，另 外，基板電路也沒(méi)有做專門的防震電路。探針卡制作廠家提供的探針卡基板主要應(yīng)用于直 流的在片測(cè)試，基板尺寸太大，無(wú)法滿足射頻在片測(cè)試的要求，另外，基板電路也沒(méi)有做專 門的防震電路。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提出的是一種異型帶有防震電路設(shè)計(jì)的射頻測(cè)試用直流偏置探針卡，其目 的旨在克服現(xiàn)有技術(shù)所存在的缺陷，可以低空間密度且高品質(zhì)的傳輸線結(jié)構(gòu)傳送偏置信號(hào) 至探針上，有效降低電路震蕩并提升射頻在片的測(cè)試品質(zhì)。本發(fā)明的技術(shù)解決方案其特征是包括一扇形探針卡基板，在探針卡基板上設(shè)有 多個(gè)信號(hào)線路及接地線路，信號(hào)線路和信號(hào)線路相互間隔距上設(shè)有至少一個(gè)接地線路，有 防止外部噪聲干擾該信號(hào)線路的電性防護(hù)作用；接頭安裝位置為信號(hào)線路的引出端，用于 連接測(cè)試設(shè)備偏置信號(hào)；信號(hào)線路一端連接接頭安裝位置，信號(hào)線路的另一端接探針；信 號(hào)線路的背面設(shè)有防震電路。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)各信號(hào)線路供以傳輸該測(cè)試設(shè)備的偏置信號(hào)，接地線路電性導(dǎo)通 至該測(cè)試機(jī)的電位零點(diǎn)，有防止外部噪聲干擾該信號(hào)線路的電性防護(hù)作用，并作為各該信 號(hào)線路的特性阻抗參考基準(zhǔn)；根據(jù)被測(cè)器件的不同安裝不同的電容電阻，以消除信號(hào)中的 噪聲和震蕩。選用和金接觸電阻最小的鈹銅材料，改變針卡出針的角度以增大相鄰針的間 距，減小信號(hào)間的互擾。在信號(hào)針和接地針的針尖之間焊接電容更好的降低信號(hào)噪聲和震 蕩，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單，適用于標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)。在測(cè)試性能上大大降低了信號(hào)噪聲及電路震蕩，提 升射頻在片的測(cè)試品質(zhì)。


附圖1是本發(fā)明基板的主視結(jié)構(gòu)示意圖。附圖2是本發(fā)明基板的后視結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是防震電路203的電路結(jié)構(gòu)示意4是本專利控針卡與普通控針卡對(duì)比中的101是接地線路、102是信號(hào)線路、103是針尖安裝電容位置、104是接頭安 裝位置、201是大面積金屬接地、202是接頭安裝位置、203是預(yù)留的防震電路。
具體實(shí)施例方式對(duì)照附圖1，其結(jié)構(gòu)是包括一扇形探針卡基板，在探針卡基板上設(shè)有多個(gè)信號(hào)線路 102及接地線路101，信號(hào)線路102和信號(hào)線路102相互間隔距上設(shè)有至少一個(gè)接地線路 101，有防止外部噪聲干擾該信號(hào)線路的電性防護(hù)作用。接頭安裝位置104為信號(hào)線路102 的引出端，用于連接測(cè)試設(shè)備偏置信號(hào)。信號(hào)線路102 —端連接接頭安裝位置104，信號(hào)線 路102的另一端接探針。信號(hào)線路102的背面設(shè)有防震電路。對(duì)照附圖2，其結(jié)構(gòu)是包括大面積金屬接地201，接頭安裝位置202是在104的背 面與其相通，預(yù)留的防震電路203是在102的背面與其相通。對(duì)照附圖3，預(yù)留的防震電路203的結(jié)構(gòu)是第1號(hào)控針與第2號(hào)控針上方的電容焊 接在針尖安裝電容位置103，第1號(hào)控針與第2號(hào)控針下方的電容和電阻到地是焊在預(yù)留的 防震電路203的位置，電容加電阻到地的電路是用于消除高頻噪聲和紋波。以2GHz-5GHz單片低噪聲功放為例，使用本專利探針卡大大降低了信號(hào)噪聲及電 路震蕩，增益比普通探針卡大約IOdBm,大大提高了測(cè)試品質(zhì)。直流探卡的設(shè)計(jì)，它直接關(guān)系到測(cè)試的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。如功率單片電路末級(jí)柵 寬較大，很容易在低頻產(chǎn)生震蕩。常規(guī)夾具測(cè)試時(shí)將去耦電容貼近芯片就可以很容易將直 流和微波去耦干凈。但是在片測(cè)試是通過(guò)直流探針卡加電，直流探針等效為電感(一般幾 nH/mm)，去耦電容無(wú)法直接加到芯片根部。對(duì)于這一問(wèn)題可以通過(guò)探針卡基板背面的預(yù)留 防震電路在每個(gè)傳輸線并聯(lián)電容(5pf IOpf)到地，和在信號(hào)針和地針加裝針尖之間焊接 電容，可以一定程度上解決震蕩問(wèn)題。特別是針對(duì)射頻的功率單片，效果非常明顯。
權(quán)利要求
射頻測(cè)試用直流偏置探針卡，其特征是包括一扇形探針卡基板，在探針卡基板上設(shè)有多個(gè)信號(hào)線路(102)及接地線路(101)，信號(hào)線路(102)和信號(hào)線路(102)相互間隔距上設(shè)有至少一個(gè)接地線路(101)，有防止外部噪聲干擾該信號(hào)線路的電性防護(hù)作用；接頭安裝位置(104)為信號(hào)線路(102)的引出端，用于連接測(cè)試設(shè)備偏置信號(hào)；信號(hào)線路(102)一端連接接頭安裝位置(104)，信號(hào)線路(102)的另一端接探針；信號(hào)線路(102)的背面設(shè)有防震電路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻測(cè)試用直流偏置探針卡，其特征是接頭安裝位置(202) 是在接頭安裝位置(104)的背面與接頭安裝位置(104)相通，預(yù)留的防震電路(203)是在 信號(hào)線路(102)的背面與信號(hào)線路(102)相通。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻測(cè)試用直流偏置探針卡，其特征是預(yù)留的防震電路 (203)的結(jié)構(gòu)是第1號(hào)控針與第2號(hào)控針上方的電容焊接在針尖安裝電容位置(103)，第1 號(hào)控針與第2號(hào)控針下方的電容和電阻到地是焊在預(yù)留的防震電路(203)的位置，電容加 電阻到地的電路是用于消除高頻噪聲和紋波。
全文摘要
本發(fā)明是射頻測(cè)試用直流偏置探針卡，其特征是包括一扇形探針卡基板，在探針卡基板上設(shè)有多個(gè)信號(hào)線路及接地線路，信號(hào)線路和信號(hào)線路相互間隔距上設(shè)有至少一個(gè)接地線路，有防止外部噪聲干擾該信號(hào)線路的電性防護(hù)作用；接頭安裝位置為信號(hào)線路的引出端，用于連接測(cè)試設(shè)備偏置信號(hào)；信號(hào)線路一端連接接頭安裝位置，信號(hào)線路的另一端接探針；信號(hào)線路的背面設(shè)有防震電路。優(yōu)點(diǎn)各信號(hào)線路供以傳輸該測(cè)試設(shè)備的偏置信號(hào)，接地線路電性導(dǎo)通至該測(cè)試機(jī)的電位零點(diǎn)，作為各該信號(hào)線路的特性阻抗參考基準(zhǔn)；根據(jù)被測(cè)器件的不同安裝不同的電容電阻，減小信號(hào)間的互擾。結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單，適用于標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)。降低信號(hào)噪聲及電路震蕩，提升射頻在片的測(cè)試品質(zhì)。
文檔編號(hào)G01R1/067GK101949961SQ20101025413
公開日2011年1月19日 申請(qǐng)日期2010年8月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月16日
發(fā)明者吳振海, 徐光 , 錢峰 申請(qǐng)人:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十五研究所