專利名稱：光濾波器、光濾波器裝置、分析設(shè)備以及光濾波器的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光濾波器、光濾波器裝置、分析設(shè)備以及光濾波器的制造方法。
背景技術(shù)：
以往，作為從入射光中選擇出目標(biāo)波長的光而使其射出的光濾波器公知有以下結(jié) 構(gòu)的光濾波器，即，將一對(duì)基板相面對(duì)配置，并在這些基板的相面對(duì)的各個(gè)面上設(shè)置反射 鏡，且在這些反射鏡的周圍分別設(shè)置電極并且至少在一個(gè)反射鏡的周圍設(shè)置隔膜部(夕'^ 7 7，A部)。這樣的光濾波器能夠選擇性地取出與相面對(duì)的反射鏡之間的間隙所對(duì)應(yīng)的 波長的光。就反射鏡之間的間隙而言，通過對(duì)設(shè)置在一個(gè)基板上的固定電極和設(shè)置在另一 個(gè)基板上的可動(dòng)電極施加電壓而能夠由靜電驅(qū)動(dòng)將間隙控制到所希望的值。在光濾波器的制造工序中，在接合一對(duì)基板時(shí)使用了通過在真空中使接合表面由 粒子束和等離子體進(jìn)行蝕刻且激活從而進(jìn)行基板彼此的接合的表面激活接合(專利文獻(xiàn) 1)。專利文獻(xiàn)1 特開2008-116669號(hào)公報(bào)但是，在通過表面激活接合而使基板彼此接合的情況下存在以下的問題，S卩，由于 粒子束、等離子體或在基板支承所使用的靜電吸盤(★ W々)等而反射鏡帶電，并在使基 板彼此貼合時(shí)由于在反射鏡上所帶電的電荷產(chǎn)生的靜電引力就將反射鏡彼此粘貼。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述的現(xiàn)有技術(shù)的問題點(diǎn)而提出的，其目的之一在于提供一種能夠 防止反射鏡的帶電而使反射鏡彼此粘貼消除的光濾波器、光濾波器裝置、分析設(shè)備以及光 濾波器的制造方法。本發(fā)明的光濾波器，其特征在于，為了解決上述課題，具備相互地面對(duì)配置的第 一基板及第二基板；在第一基板的第二基板側(cè)所設(shè)置的第一反射鏡及第一電極；在第二基 板的第一基板側(cè)所設(shè)置的第二反射鏡及第二電極，并且第一反射鏡和第二反射鏡由配線連 接。根據(jù)本發(fā)明，由于第一反射鏡和第二反射鏡經(jīng)由配線連接，因此反射鏡彼此電短 路而可使反射鏡之間的電位差消除。由此能夠防止由反射鏡的帶電引起的反射鏡彼此的粘 貼、并能夠?qū)Ψ瓷溏R之間的間隙進(jìn)行高精度地控制。因此能夠得到可靠性高的光濾波器。另外，優(yōu)選光濾波器還具有從第一反射鏡到第一基板的接合區(qū)域?yàn)橹顾龅?第一配線、和從第二反射鏡到第二基板的接合區(qū)域?yàn)橹顾龅牡诙渚€，在接合區(qū)域中 第一配線和第二配線彼此連接。根據(jù)本發(fā)明，由于將基板彼此貼合的同時(shí)將第一配線和第二配線連接，因此成為 能夠以簡單的工序可制造的光濾波器。另外，優(yōu)選第一反射鏡及第二反射鏡中的任一個(gè)與外部連接端子連接。
根據(jù)本發(fā)明，在第一反射鏡及第二反射鏡所帶電的電荷能夠由外部連接端子釋 放。本發(fā)明的光濾波器，其特征在于，為了解決上述課題，具備相互地面對(duì)配置的第 一基板及第二基板；在第一基板的第二基板側(cè)所設(shè)置的第一反射鏡及第一電極；在第二基 板的第一基板側(cè)所設(shè)置的第二反射鏡及第二電極，并且第一反射鏡和第二反射鏡分別與外 部連接端子連接。根據(jù)本發(fā)明，由于第一反射鏡及第二反射鏡的各自與不同的外部連接端子分別連 接，因此能夠由各外部連接端子向第一反射鏡及第二反射鏡輸入接地電位，從而能夠使反 射鏡之間的電位差消除。由此，能夠防止反射鏡彼此的粘貼，并且能夠?qū)Ψ瓷溏R之間的間隙 進(jìn)行高精度的控制。因此，能夠得到可靠性高的光濾波器。另外，優(yōu)選第一反射鏡及第二反射鏡經(jīng)由配線與外部連接端子分別連接。根據(jù)本發(fā)明，將通常在基板的中央部所配置的反射鏡和在基板周緣部所配置的外 部連接端子能夠經(jīng)由配線得以準(zhǔn)確地連接。另外，在基板上的各構(gòu)件的設(shè)計(jì)自由度提高。另外，優(yōu)選在第一配線及第二配線的連接部位形成在其內(nèi)部具有彈性體的突起 (八>/)結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明，由于在第一配線及第二配線的連接部位形成有在其內(nèi)部具有彈性體 的突起結(jié)構(gòu)，因此能夠準(zhǔn)確且良好地進(jìn)行配線彼此的連接。另外，優(yōu)選第一反射鏡及第二反射鏡以包括導(dǎo)電膜的方式構(gòu)成。根據(jù)本發(fā)明，由于第一反射鏡及第二反射鏡以包括導(dǎo)電膜的方式構(gòu)成，因此，通過 形成使反射鏡彼此短路的結(jié)構(gòu)從而能夠消除反射鏡彼此的電位差。另外，優(yōu)選所述第一反射鏡及所述第二反射鏡具備具有透光性的所述導(dǎo)電膜和 電介質(zhì)膜的層疊結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明，能夠抑制在電介質(zhì)膜的表面上的電荷帶電。另外，優(yōu)選形成有通過將與外部連接端子連接的配線切斷后所殘留的的殘留部。根據(jù)本發(fā)明，由于形成有通過將與各反射鏡分別連接的外部連接端子彼此連接的 配線切斷后所殘留的殘留部，因此在后述的制造時(shí)使與各反射鏡分別連接的外部連接端子 彼此通過配線被連接。由此能夠消除在制造時(shí)由各反射鏡的帶電引起的粘貼。本發(fā)明的光濾波器裝置，其特征在于具備本發(fā)明的光濾波器、和對(duì)透過光濾波器 的光進(jìn)行接收的受光元件。根據(jù)本發(fā)明，能夠得到通過將透過光濾波器的光由受光元件接收從而能夠生成電 信號(hào)的光濾波器裝置。本發(fā)明的分析設(shè)備，其特征在于具備本發(fā)明的光濾波器；受光元件，其對(duì)透過光 濾波器的光進(jìn)行接收；驅(qū)動(dòng)電路部，其對(duì)光濾波器的第一反射鏡和第二反射鏡的間隙進(jìn)行 驅(qū)動(dòng)；測(cè)定電路部，其根據(jù)由受光元件生成的電信號(hào)，對(duì)所透過的所述光的光量進(jìn)行測(cè)定。根據(jù)本發(fā)明，得到一種分析設(shè)備，其中由測(cè)定對(duì)象反射的光被入射到光濾波器，由 驅(qū)動(dòng)電路部對(duì)光濾波器的反射鏡之間的間隙進(jìn)行控制，透過了被間隙控制后的光濾波器的 光由受光元件接收，在受光元件中生成與受光量相應(yīng)的電信號(hào)，且根據(jù)測(cè)定電路部中所生 成的電信號(hào)對(duì)所透過的光的光量進(jìn)行測(cè)定。由此能夠?qū)鉃V波器的反射鏡之間的間隙進(jìn)行 高精度的控制。
本發(fā)明的光濾波器的制造方法，其特征在于，為了解決上述課題其具備在第一基 板及第二基板的相面對(duì)側(cè)將第一反射鏡或第二反射鏡形成的工序；在第一反射鏡及第二反 射鏡的周圍形成電極的工序；將與第一反射鏡及第二反射鏡連接的配線進(jìn)行形成的工序； 將第一基板及第二基板接合的工序，并在將第一基板和第二基板接合的工序中將第一反射 鏡和第二反射鏡經(jīng)由配線連接。根據(jù)本發(fā)明，由于在將第一基板和第二基板接合的工序中將第一反射鏡和第二反 射鏡經(jīng)由配線連接，因此能夠使反射鏡彼此電短路而使反射鏡之間的電位差消除。由此能 夠防止反射鏡彼此的粘貼，并對(duì)反射鏡之間的間隙能夠進(jìn)行高精度的控制。因此能夠得到 可靠性高的光濾波器。另外，優(yōu)選在將與第一反射鏡及第二反射鏡連接的配線進(jìn)行形成的工序中，按照 從第一反射鏡到第一基板的接合區(qū)域?yàn)橹挂龅姆绞叫纬傻谝慌渚€、并且按照從第二反射 鏡到第二基板的接合區(qū)域?yàn)橹挂龅姆绞叫纬傻诙渚€，在將第一基板及第二基板接合的 工序中，使第一配線和第二配線連接。根據(jù)本發(fā)明，經(jīng)由在接合區(qū)域中形成的第一配線及第二配線而使第一反射鏡和第 二反射鏡連接，因此能夠在基板彼此接合的同時(shí)使配線彼此準(zhǔn)確地連接，由此實(shí)現(xiàn)反射鏡 彼此的電連接。另外，該連接狀態(tài)在完成光濾波器后的狀態(tài)中也能確保。另外，優(yōu)選在形成第一配線或第二配線時(shí)，在以后的將第一基板及第二基板接合 的工序中在第一配線及第二彼此被連接的部位，形成在其內(nèi)部具有彈性體的突起結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明，由于在第一配線及第二配線彼此被連接的部位形成了突起結(jié)構(gòu)，因 此能夠提高各配線彼此的連接可靠性。另外，優(yōu)選在使第一基板及第二基板接合之后將配線切斷。根據(jù)本發(fā)明，由于在使第一基板及第二基板接合之后，將使第一反射鏡及第二反 射鏡連接的配線進(jìn)行切斷，因此各反射鏡被電分離，從而可以提供分別獨(dú)立的電位。由此對(duì) 反射鏡彼此的間隙能夠進(jìn)行更高精度的控制。本發(fā)明的光濾波器的制造方法，其特征在于，為了解決上述課題其具備在第一基 板及第二基板的相面對(duì)面?zhèn)葘⒌谝环瓷溏R及第二反射鏡形成的工序；在第一反射鏡及第二 反射鏡的周圍形成電極的工序；將與第一反射鏡及第二反射鏡連接的配線進(jìn)行形成的工 序；和將第一基板及第二基板接合的工序，并且在將第一基板及第二基板接合的工序中，在 對(duì)配線輸入了電位的狀態(tài)下，使第一基板及第二基板進(jìn)行接合。根據(jù)本發(fā)明，由于在將第一基板及第二基板接合的工序中，在對(duì)配線輸入了電位 的狀態(tài)下，使第一基板及第二基板進(jìn)行接合，因此在第一基板和第二基板的接合時(shí)能夠使 反射鏡彼此為同電位。由此能夠防止反射鏡彼此粘貼，并能夠?qū)Ψ瓷溏R之間的間隙進(jìn)行高 精度的控制。因此能夠得到可靠性高的光濾波器。另外，優(yōu)選在第一基板及第二基板的任一個(gè)上形成與第一反射鏡及第二反射鏡連 接的一對(duì)外部連接端子，并經(jīng)由這些一對(duì)外部連接端子對(duì)第一反射鏡及第二反射鏡輸入電 位。根據(jù)本發(fā)明，由于設(shè)置與各反射鏡連接的外部連接端子，因此能夠?qū)γ總€(gè)反射鏡 提供獨(dú)立的電位。由此能夠?qū)Ψ瓷溏R彼此的間隙進(jìn)行高精度的控制。


圖1是表示第一實(shí)施方式的光濾波器的剖面圖。圖2是表示構(gòu)成第一實(shí)施方式的光濾波器的第一基板的平面圖。圖3是表示構(gòu)成第一實(shí)施方式的光濾波器的第二基板的平面圖。圖4是表示第一實(shí)施方式的光濾波器的制造方法的流程圖。圖5是表示第一實(shí)施方式的光濾波器的制造方法的工序圖。圖6是表示第二實(shí)施方式的光濾波器的剖面圖。圖7是表示構(gòu)成第二實(shí)施方式的光濾波器的第一基板的平面圖。圖8是表示構(gòu)成第二實(shí)施方式的光濾波器的第二基板的平面圖。圖9是表示構(gòu)成第三實(shí)施方式的光濾波器的第一基板的剖面圖。圖10是表示構(gòu)成第三實(shí)施方式的光濾波器的第二基板的平面圖。圖11是表示第三實(shí)施方式的光濾波器的制造方法的工序圖。圖12是表示本發(fā)明的分析設(shè)備即測(cè)色設(shè)備的實(shí)施方式的圖。圖中1、31_光濾波器，2-第一基板，3-第二基板，4A-反射鏡(第一反射鏡、可動(dòng) 反射鏡)，4B-反射鏡(第二反射鏡、固定反射鏡)，6A-第一電極，6B-第二電極，IOA-第一 配線，IOB-第二配線，IOa-連接部，IOb-連接部，14a、14b、14c、14d_電極焊盤(外部連接端 子)，16-導(dǎo)電膜，25-連接配線(配線)，25a-殘留部，30-測(cè)色設(shè)備(分析設(shè)備)，32-受光 元件，33-光濾波器裝置，34-驅(qū)動(dòng)電路部，35-測(cè)定電路部。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，在以下的說明所使用的附圖 中，為了使各構(gòu)件成為能夠識(shí)別的尺寸，對(duì)各構(gòu)件的縮小比例尺進(jìn)行了適當(dāng)?shù)刈兏?第一實(shí)施方式)圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式即光濾波器的剖面圖，圖2是構(gòu)成光濾波器的 第一基板2從接合面2b側(cè)觀看到的平面圖，圖3是構(gòu)成光濾波器的第二基板3從接合面3a 側(cè)觀看到的平面圖。圖1 圖3中所示的本實(shí)施方式的光濾波器1是空氣隙式靜電驅(qū)動(dòng)型的標(biāo)準(zhǔn)具
(工夕口 > )元件。光濾波器1具備第一基板2、在與第一基板相面對(duì)的狀態(tài)下所接合的第二基板3。如圖1以及圖2中所示，在第一基板2中設(shè)置有在與第二基板3相面對(duì)的一側(cè)的 接合面2b的中央部所設(shè)置的平面視圓形狀的反射鏡4A(第一反射鏡)；在第一基板2的反 射鏡4A的周圍所設(shè)置的大致圓環(huán)狀的電極6A ；在第一基板2內(nèi)且與電極6A的外周部大致 對(duì)應(yīng)的位置上通過蝕刻(選擇去除)所形成的薄壁(薄肉)的圓環(huán)狀的隔膜部8 ；在電極 6A的周圍所設(shè)置的接合用金屬膜9A ；從反射鏡4A至比第一電極6A更靠外側(cè)的接合區(qū)域 (與隔膜部8在平面視中不重疊的區(qū)域)為止所引出的第一配線IOA ；至少其連接部Ila被 從第一電極6A引出到上述接合區(qū)域的基板間導(dǎo)通配線IlA0如圖1以及圖3中所示，在第二基板3中設(shè)置有在第二基板3的中央形成的第一 凹部5的底部，按照與所述反射鏡4A隔著第一間隙Gl相面對(duì)的方式所設(shè)置的平面視圓形 狀的反射鏡4B (第二反射鏡)；在第二基板3的第一凹部5的周圍所形成的底淺的圓環(huán)狀的第二凹部7，按照與所述電極6A隔著第二間隙G2相面對(duì)的方式所設(shè)置的大致圓環(huán)狀的電 極6B ；在電極6B的周圍所設(shè)置的接合用金屬膜9B ；從反射鏡4B至比第二電極6B更靠外側(cè) 的接合區(qū)域(與凹部5、7在平面視中不重疊的區(qū)域)為止所引出的第二配線IOB ；在接合 面3a的邊緣所形成的多個(gè)電極焊盤14a、14b、14c ；在與電極焊盤14a連接的一側(cè)的相反側(cè) 的端部具有與所述基板間導(dǎo)通配線IlA的連接部Ila電連接的連接部lib的基板間導(dǎo)通配 線 IlB0 0033第一基板2及第二基板3大概呈平面視矩形狀或正方形狀，并成為第二基板3的 一部分從第一基板2伸出的尺寸。優(yōu)選第一基板2及第二基板3由具有光透過性且具有絕 緣性的材料形成，尤其由玻璃等透明材料構(gòu)成。作為該玻璃，具體而言可適當(dāng)使用鈉玻璃、晶體化(結(jié)晶化)玻璃、石英玻璃、鉛玻 璃、鉀玻璃、硼硅酸玻璃、硼硅酸鈉玻璃、無堿性玻璃(焦7 >力U #，7 )等。如此，通過使得第一基板2及第二基板3均采用具有光透過性的材料，從而能夠?qū)?電磁波中的所希望波長區(qū)域(帶域)的電磁波或可見光線作為入射光而加以使用。另外，若使第一基板2及第二基板3均由半導(dǎo)體材料例如硅形成，則作為入射光可 以使用近紅外光線。反射鏡4A、4B通過使高折射率層和低折射率層以交替方式層疊多個(gè)后的電介質(zhì) 多層膜4、和由ITO等透明金屬材料形成的導(dǎo)電膜16而成。而且，這些反射鏡4A、4B中，一 反射鏡4A被設(shè)置在可變形的第一基板2上，因此稱為可動(dòng)反射鏡；另一反射鏡4B被設(shè)置在 不變形的第二基板3上，因此稱為固定反射鏡。在該光濾波器1在可見光線區(qū)域或紅外線區(qū)域中使用的情況下，作為電介質(zhì)多層 膜的高折射率層的形成材料，例如使用氧化鈦(Ti2O)、氧化鉭(Ta2O5)、氧化鈮(Nb2O5)等。另 外，在光濾波器1在紫外線的區(qū)域中使用的情況下，作為形成高折射率層的材料，例如使用 氧化鋁(Al2O3)、氧化鉿(HfO2)、氧化鋯(&02)、氧化釷(ThO2)等。另一方面，作為電介質(zhì)多層膜的低折射率層的形成材料，例如使用氟化鎂(MgF2)、 氧化硅(SiO2)等。就該高折射率層和低折射率層的層數(shù)及厚度而言，基于所需要的光學(xué)特性進(jìn)行適 當(dāng)設(shè)定。一般在使用電介質(zhì)多層膜的情況下為了得到其光學(xué)特性，所需要的層數(shù)為12層以 上。在這些電介質(zhì)多層膜4、4上分別形成導(dǎo)電膜16、16。作為導(dǎo)電膜16的材料，可列舉例如ITO或其它透明導(dǎo)電膜、或薄金屬膜等。通過 這樣的導(dǎo)電膜16覆蓋電介質(zhì)多層膜4、4的整體表面，由此在后面所述的制造時(shí)在使基板2、 3彼此接合之際能夠防止反射鏡4A、4B的帶電。而且，這些導(dǎo)電膜16分別連接有配線10A、 10B。第一配線IOA及第二配線IOB在各自前端所設(shè)置的連接部10a、IOb被相互連接， 由此成為反射鏡4A、4B彼此電連接的狀態(tài)。這些配線10AU0B中的第二配線IOB還與接地 用的電極焊盤14b (外部連接端子)連接。第一電極6A及第二電極6B隔著第二間隙G2按相互面對(duì)的方式配置，并構(gòu)成根據(jù) 所輸入的驅(qū)動(dòng)電壓在這些電極6A、6B之間產(chǎn)生靜電力且使反射鏡4A、4B在相互面對(duì)的狀態(tài) 下相對(duì)移動(dòng)的靜電致動(dòng)器的一部分。由此，電極6A、6B使隔膜部8在圖1中的上下方向(ζ 方向)變位，而使反射鏡4A、4B之間的第一間隙Gl發(fā)生變化，從而射出與該第一間隙Gl所對(duì)應(yīng)的波長的光。作為形成電極6A、6B的材料只要具有導(dǎo)電性即可，并不受特別的限定，例如可使 用Cr、Al、Al合金、Ni、Zn、Ti、Au等金屬或?qū)⑻肌⑩伒确稚⒌臉渲?、多結(jié)晶硅(多晶硅)、非 晶硅(7 A 7 7 7 * ^ - > )等硅、以及氮化硅、ITO等透明導(dǎo)電材料等。電極6Α經(jīng)由基板間導(dǎo)通配線IlAUlB與電極焊盤14a連接，電極6Β經(jīng)由配線17 與電極焊盤14c連接。這些電極焊盤14a、14c與電源(未圖示)連接。另外，在電極6A、6B的周向的一部分可分別形成有間隙部18，與反射鏡4A、4B連接 的第一配線IOA及第二配線IOB在這些間隙部18內(nèi)穿過而分別被引出到電極6A、6B的外 側(cè)。就本發(fā)明的電源而言，通過在電極6A、6B上施加電壓作為驅(qū)動(dòng)信號(hào)，而使電極6A、 6B驅(qū)動(dòng)，并在這些電極之間產(chǎn)生所希望的靜電力。另外，在該電源上連接有控制裝置(未 圖示)，并通過由該控制裝置對(duì)電源進(jìn)行控制，從而能夠?qū)﹄姌O6A、6B之間的電位差進(jìn)行調(diào)
iF. ο隔膜部8與未形成該隔膜部8的第一基板2的其它部位相比其厚度較薄。這樣， 在與第一基板2中的其它部位相比厚度較薄的部位就具有彈性(可撓性)而可以變形(可 以變位)，由此，該隔膜部8通過使第一間隙Gl發(fā)生變化而使反射鏡4A、4B之間的間隔變化 為與所希望的波長的光所對(duì)應(yīng)的間隔，從而具有射出所希望波長的光的波長選擇功能。隔膜部8的形狀和厚度等只要能夠射出所希望的波長范圍的光即可，具體而言， 考慮反射鏡4A、4B之間的間隔的變化量以及變化速度等，并根據(jù)該光濾波器1中所要求的 出射光的波長范圍來進(jìn)行設(shè)定。隔膜部8是通過將第一基板2從面2a側(cè)蝕刻(選擇去除)而得以形成的，但為了 吸收所發(fā)生的撓曲而抑制該撓曲傳輸?shù)椒瓷溏R4A，具有充分的厚度為好，也可以通過將第 一基板2從面2a以及面2b的雙方開始蝕刻(選擇去除)而形成。在本實(shí)施方式的光濾波器1中，由隔著在各基板2、3之間所形成的第二間隙G2而 相面對(duì)地設(shè)置的電極6A、6B、以及隔膜部8構(gòu)成光濾波器1的靜電致動(dòng)器。對(duì)具有這種結(jié)構(gòu)的光濾波器1的動(dòng)作(作用)進(jìn)行說明。若通過未圖示的通電電路而在第一電極6A和第二電極6B之間施加電壓，則第一 電極6A和第二電極6B按相互逆極性的方式帶電，從而在兩者之間產(chǎn)生庫侖力(靜電引 力)。此時(shí)未圖示的檢測(cè)電路對(duì)隔膜部8的變位狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)，根據(jù)其檢測(cè)結(jié)果，未圖示的 控制機(jī)構(gòu)對(duì)通電電路的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制。通過該庫侖力，使隔膜部8朝向第二電極6B向下方向移動(dòng)(變位)。由此第一間 隙Gl及第二間隙G2的尺寸發(fā)生變化。另一方面，如圖1中所示，若從光濾波器1的上方朝向第一間隙Gl照射光L，則光 L透過第一基板2、反射鏡4A而入射到第一間隙G1。如上所述，在反射鏡4A和反射鏡4B之間光反復(fù)反射的過程中，不滿足與反射鏡4A 和反射鏡4B之間的第一間隙Gl的尺寸所對(duì)應(yīng)的干涉條件的波長的光急劇衰減，而僅留下 滿足該干涉條件的波長的光，且最終從光濾波器1射出。因此，若通過使在第一電極6A及第二電極6B之間所施加的電壓變更而將第一間 隙Gl進(jìn)行變更(即變更干涉條件)，則能夠使透過光濾波器1的光的波長變更。
接著，對(duì)本實(shí)施方式的光濾波器的制造方法進(jìn)行說明。圖4是表示本實(shí)施方式的 光濾波器的制造方法的流程圖，圖5是制造方法的工序圖。如圖4中所示，光濾波器的制造方法具備反射鏡及導(dǎo)電膜形成工序Sl ；電極其它 端子等形成工序S2 ；和基板接合工序S3。首先，當(dāng)形成光濾波器1時(shí)，準(zhǔn)備如圖5(a)中所示那樣施行了規(guī)定加工的第一基 板2及第二基板3。在第一基板2中形成隔膜部8，在第二基板3中預(yù)先形成第一凹部5及 第二凹部7。接著，在反射鏡以及導(dǎo)電膜形成工序Sl中，首先如圖5(b)中所示，在第一基板2 的中央部形成電介質(zhì)多層膜4，并且在第二基板3的第一凹部5的中央部形成電介質(zhì)多層膜 4。然后，在各電介質(zhì)多層膜4、4上按覆蓋這些電介質(zhì)多層膜4、4的整體表面方式形成導(dǎo)電 膜 16、16。其次，在電極其它端子形成工序S2中，如圖5 (c)中所示，在第一基板2及第二基 板3的各接合面2b、3a上，將電極6A、6B、第一配線10A、第二配線10B、接合用金屬膜9A、9B、 基板間導(dǎo)通配線IlAUlB(未圖示)以及電極焊盤14c(未圖示電極焊盤14a以及14b)分 別圖案化形成。在基板接合工序S3中，利用表面激活接合裝置(未圖示)進(jìn)行基板2、3的接合。 表面激活接合是指通過對(duì)成為接合面的面在減壓下(真空中)進(jìn)行表面處理，而使接合面 的原子變成容易化學(xué)結(jié)合的激活的狀態(tài)，之后在常溫那樣的低溫下進(jìn)行接合。具體而言，首先將基板2、3放入表面激活接合裝置的真空室中，朝向上部吸盤使 第一基板2由靜電力吸附而得以固定，在下部臺(tái)座上搭載第二基板3。然后，如圖5(d)所 示，將第一基板2的接合面2b和第二基板3的接合面3a按相面對(duì)的方式進(jìn)行對(duì)位，且進(jìn)行 接合。當(dāng)基板2、3彼此對(duì)位時(shí)，使第一配線IOA的連接部IOa和第二配線IOB的連接部 IOb在平面視時(shí)為一致；就未圖示的基板間導(dǎo)通配線IlA的連接部Ila和基板間導(dǎo)通配線 IlB的連接部lib而言，在平面視時(shí)為一致。然后，在真空中(減壓下)對(duì)成為接合面的接合用金屬膜9A、9B的表面分別利用 粒子束和等離子體等進(jìn)行濺射，從而使它們激活。由此接合用金屬膜9A、9B上的污染物等 被去除，并成為使具有懸鍵的原子露出的狀態(tài)。按照處于這樣的狀態(tài)下的接合用金屬膜9A、9B的表面彼此接觸(壓接)的方式在 常溫下壓按(押當(dāng) 3 )第一基板2和第二基板3，從而能夠?qū)⒔雍嫌媒饘倌?Α、9Β彼此 (即基板2、3彼此)簡單且牢固地接合。在接合的同時(shí)，第一基板2側(cè)的可動(dòng)反射鏡4Α和 第二基板3側(cè)的固定反射鏡4Β經(jīng)由連接部10a、10b電連接。根據(jù)本實(shí)施方式的光濾波器1及其制造方法，通過使一對(duì)相面對(duì)的反射鏡4Α、4Β 彼此在基板接合工序中S3中電短路而使反射鏡4Α、4Β之間的電位差消除，從而能夠消除在 接合時(shí)的反射鏡4Α、4Β彼此的粘貼。在上述的接合工序中，由于在基板2、3的接合面的表面激活處理中所使用的粒子 束和等離子體或在真空室內(nèi)的上部吸盤處固定第一基板2時(shí)的靜電吸盤等而引起反射鏡 4Α、4Β分別帶電，從而反射鏡4Α、4Β之間產(chǎn)生電位差。于是，在使基板2、3接合時(shí)，由于在反 射鏡4Α、4Β帶電的電荷所產(chǎn)生的靜電引力，從而反射鏡4Α、4Β彼此粘貼。
因而，在本實(shí)施方式中，在基板接合時(shí)通過使第一配線IOA及第二配線IOB的連接 部10a、10b連接而使反射鏡4A、4B彼此短路，從而使通過表面激活處理等所帶電的反射鏡 4A、4B的電位差消除。由此能夠使接合后的反射鏡4A、4B彼此的粘貼消除。另外，就完成后 的結(jié)構(gòu)而言，由于反射鏡4A、4B彼此處于短路的狀態(tài)，因此能夠防止由靜電致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng) 引起的反射鏡4A、4B的帶電。另外，優(yōu)選將電極焊盤14b接地而使在反射鏡4A、4B所帶電 的電荷向外部放出。由此，能夠?qū)Ψ瓷溏R4A、4B之間的間隙進(jìn)行高精度的控制，并能夠提高 光濾波器的可靠性。另外，在本實(shí)施方式中，將從反射鏡4B引出的第一配線IOA與電極焊盤14b連接， 但是也可以與接合用金屬膜9B接合。此時(shí)將接合用金屬膜9B接地。(第二實(shí)施方式)接著，使用圖6 圖8對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖6是表示第二實(shí)施 方式的光濾波器的剖面圖，圖7是將構(gòu)成第二實(shí)施方式的光濾波器的第一基板從接合面?zhèn)?進(jìn)行表示的平面圖，圖8是將第二基板從接合面?zhèn)冗M(jìn)行表示的平面圖。以下所述的本實(shí)施方式的光濾波器的基本結(jié)構(gòu)與前面的實(shí)施方式大致相同，但是 在基板間的導(dǎo)通由突起連接來實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)上是不同的。因此，在以下的說明中，對(duì)與前面的 實(shí)施方式不同的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)的說明，并省略共同部位的說明。另外，在說明所使用的各附 圖中，對(duì)與圖1 圖5共同的結(jié)構(gòu)要件賦予相同的符號(hào)。如圖6 圖8中所示，本實(shí)施方式的光濾波器1具備第一基板2，其在接合面2b 上配置有可動(dòng)反射鏡4A、第一電極6A、基板間導(dǎo)通配線11A、第一配線IOA ；第二基板3，其 在接合面3a上設(shè)置有固定反射鏡4B、第二電極6B、基板間導(dǎo)通配線11B、第二配線10B。在 這些接合面2b、3a上的與相面對(duì)的基板接合的部分處分別形成有能夠進(jìn)行氮化硅(〉U ->窒化)膜等的表面激活接合的電介質(zhì)膜(未圖示)。在本實(shí)施方式的第一基板2上所設(shè)置的第一配線IOA及基板間導(dǎo)通配線IlA中， 在這些配線的一個(gè)端部(與反射鏡4A及第一電極6A連接的一側(cè)相反側(cè)的端部)側(cè)，設(shè)置 有在其內(nèi)側(cè)具有彈性體19的突起連接部21、22。這些突起連接部21、22與在第二基板3上 所設(shè)置的第二配線IOB的連接部IOb以及基板間導(dǎo)通配線IlB的連接部lib連接。這里， 作為第一配線IOA以及基板間導(dǎo)通配線IlA的材料優(yōu)選使用Au，以在連接時(shí)使突起容易變 形。另外，將第二配線10B、基板間導(dǎo)通配線11B、各電極焊盤14a、14b、14c以及配線17 在第二電極3的接合面3a所設(shè)置的槽23內(nèi)形成，并且第一基板2側(cè)的突起連接部21、22 在進(jìn)入各槽23內(nèi)的狀態(tài)下與所對(duì)應(yīng)的連接部IObUlb分別連接。在制造具有這種突起連接結(jié)構(gòu)的光濾波器1的情況下，當(dāng)經(jīng)由在第一基板2和第 二基板3的接合面2b、3a上所設(shè)置的氮化硅膜(未圖示)而使第一基板2及第二基板3彼 此表面激活接合時(shí)，各濾波器區(qū)域A內(nèi)的第一配線IOA的突起連接部21與連接部IOb接觸、 并且基板間導(dǎo)通配線IlA的突起連接部22與基板間導(dǎo)通配線IlB的連接部lib接觸，通過 基板2、3彼此的按壓而這些突起連接部21、22變形，因此在對(duì)第一間隙Gl不帶來影響的狀 態(tài)下將可動(dòng)反射鏡4A和固定反射鏡4B電連接。根據(jù)本實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)，由于具有以彈性體19為核心(二 7 )的突起連接部 21 (22)，因此能夠在壓扁(押潰L· )突起連接部21 (22)的同時(shí)使基板2、3彼此接合，從而經(jīng)由突起連接部21將反射鏡4A、4B彼此準(zhǔn)確地連接。另外，突起連接部21、22為所謂樹 脂核心突起，因此能夠防止這些突起連接部21、22的電接點(diǎn)由伴隨光濾波器1動(dòng)作中的溫 度上升的熱變形等而被破壞。(第三實(shí)施方式)接著，利用附圖9及圖10對(duì)本發(fā)明的第三實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖9是表示第三實(shí) 施方式的光濾波器的剖面圖，圖10(a)是將構(gòu)成第三實(shí)施方式的光濾波器的第一基板從接 合面?zhèn)冗M(jìn)行表示的平面圖，圖10(b)是將第二基板從接合面?zhèn)冗M(jìn)行表示的平面圖。本實(shí)施方式的光濾波器，如圖9中所示，成為在完成后的狀態(tài)下反射鏡4A、4B彼此 被絕緣的結(jié)構(gòu)，這一點(diǎn)與前面的各實(shí)施方式不同。如圖9中所示，可動(dòng)反射鏡4A經(jīng)由第一配線IOA的突起連接部21及第二配線IOB 的連接部IOb與第二基板3側(cè)的電極焊盤14b連接。另一方面，在第一基板2上所設(shè)置的 第一電極6A經(jīng)由基板間導(dǎo)通配線IlA的突起連接部22以及基板間導(dǎo)通配線IlB的連接部 lib與第二基板3側(cè)的電極焊盤14a連接。如圖10(a)、(b)中所示，在本實(shí)施方式的第二基板3中，除了與第一電極6A連接 的電極焊盤14a、與可動(dòng)反射鏡4A連接的電極焊盤14b、與第二電極6B連接的電極焊盤14c 之外，還設(shè)置有與固定反射鏡4B連接的電極焊盤14d;并成為各反射鏡4A、4B分別與不同 的電極焊盤14b、14d連接的結(jié)構(gòu)。在這些電極焊盤14b、14d中輸入同電位，從而能夠防止 由靜電致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)所引起的反射鏡4A、4B的帶電。接著，利用附圖11對(duì)本實(shí)施方式的光濾波器的制造方法的一例進(jìn)行說明。圖 11(a)是表示玻璃晶片(力‘，7々- 〃)W1的平面圖，圖11(b)是表示玻璃晶片W2的平面 圖。在本實(shí)施方式中，利用玻璃晶片W1、W2將多個(gè)光濾波器1 一并形成。玻璃晶片W1、 W2被個(gè)片化(個(gè)片化)后就成為光濾波器1的第一基板2或第二基板3的部分。另外，在 圖11(a)、(b)中將濾波器區(qū)域A (對(duì)應(yīng)一個(gè)濾波器1的區(qū)域)放大表示。首先，準(zhǔn)備如圖11(a)、(b)中所示的預(yù)先施行了規(guī)定加工的玻璃晶片W1、W2。在 各玻璃晶片Wl、W2中形成隔膜部8和凹部5、7等，并在接合時(shí)各自相面對(duì)的面?zhèn)鹊母鳛V波 器區(qū)域A中形成上述的各結(jié)構(gòu)構(gòu)件。具體而言，在玻璃晶片Wl的各濾波器區(qū)域A內(nèi)形成第一電極6A、可動(dòng)反射鏡4A、 具有突起連接部21的第一配線10A、和具有突起連接部22的基板間導(dǎo)通配線IlA等；并且 在玻璃晶片W2的各濾波器區(qū)域A內(nèi)形成第二電極6B、固定反射鏡4B、第二配線10B、基板間 導(dǎo)通配線11B、配線17以及多個(gè)電極焊盤14a、14b、14c、14d。在本實(shí)施方式的玻璃晶片W1、W2上，在各濾波器區(qū)域A的周圍分別設(shè)置切割(￥ ^ >々')區(qū)域B。這里，在玻璃晶片W2側(cè)的各切割區(qū)域B中將使各濾波器區(qū)域A內(nèi)所形 成的電極焊盤14b和電極焊盤14d連接的連接配線25在與各電極焊盤等同時(shí)進(jìn)行圖案化 形成。接著，對(duì)各玻璃晶片W1、W2的接合面(各接合面2b、3a)施行表面激活處理之后將 各個(gè)接合面重合而進(jìn)行接合。如上所述，由于在玻璃晶片W2上形成有按每個(gè)濾波器區(qū)域A 連接電極焊盤14b、14d的連接配線25，因此將玻璃晶片W1、W2彼此接合時(shí)能夠使可動(dòng)反射 鏡4A和固定反射鏡4B電連接。在使反射鏡4A、4B彼此短路而形成同電位的狀態(tài)下進(jìn)行基板2、3彼此的接合，從而能夠消除反射鏡4A、4B彼此的粘貼。接著，將各玻璃晶片W1、W2彼此沿著圖11中的切割線D按每個(gè)濾波器區(qū)域A進(jìn) 行個(gè)片化。由于在接合后進(jìn)行切割，因此連接配線25被切斷而使電極焊盤14b和電極焊盤 14d電分離，所以能夠?qū)⒎謩e獨(dú)立的電位向各反射鏡4A、4B提供。由此，能夠進(jìn)行基于電極焊盤14b、14d的電容量檢測(cè)的間隙測(cè)定。另外，通過將連 接配線25的配線圖案進(jìn)行變形，從而在切割時(shí)也能夠使電極焊盤14b、14d彼此保持電連接 的狀態(tài)。這能夠通過將連接配線25在濾波器區(qū)域A內(nèi)形成而得以實(shí)現(xiàn)。另外，如圖10(b)中所示，在本實(shí)施方式的光濾波器的第二基板3上，將電極焊盤 14b、14d彼此連接的連接配線25的一部分作為殘留部25a、25a存在。接著，作為應(yīng)用例對(duì)具備上述本發(fā)明的光濾波器的分析設(shè)備即測(cè)色設(shè)備30進(jìn)行 說明。該測(cè)色設(shè)備30具備具有光濾波器31(本發(fā)明的光濾波器1)和受光元件32的光 濾波器裝置33 ；以及具有驅(qū)動(dòng)電路部34和測(cè)定電路部35的電路部36。作為受光元件32能 夠使用例如光電二極管等。另外，電路部36也可以具有放大電路部。就該測(cè)色設(shè)備30 (分 析設(shè)備)而言，從測(cè)定對(duì)象物M反射的光被入射到光濾波器31中，由驅(qū)動(dòng)電路部34對(duì)光濾 波器31的第一反射鏡及第二反射鏡之間的間隙進(jìn)行控制，透過了被間隙控制后的光濾波 器31的光由受光元件32接收，由受光元件32生成與受光量相應(yīng)的電信號(hào)，并根據(jù)測(cè)定電 路部35中生成的電信號(hào)來對(duì)所透過的光的光量進(jìn)行測(cè)定。另外，也可以在測(cè)色設(shè)備30中 內(nèi)置光源40。作為上述應(yīng)用例而例示了分析設(shè)備(即測(cè)色設(shè)備30)，但是該分析設(shè)備也可以適 用在通過對(duì)煤氣(力1 )特有的吸收波長進(jìn)行檢測(cè)來進(jìn)行煤氣檢測(cè)的煤氣檢測(cè)設(shè)備等中。 另外，分析設(shè)備也可以適用于由光濾波器等光傳遞介質(zhì)所傳遞的光中取出所希望的波長的 光設(shè)備等中。另外，分析設(shè)備也可以適用于超頻譜攝像機(jī)、>、λ A 一卞 )卜&力乂，)
絕由寸T。以上，參照附圖對(duì)本發(fā)明所涉及的適當(dāng)?shù)膶?shí)施方式進(jìn)行了說明，但當(dāng)然本發(fā)明并 不限于所涉及的例子。對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，在權(quán)利要求范圍中所述的技術(shù)思 想的范疇內(nèi)，能夠容易想到各種變形例或修正例是顯然的，并且可認(rèn)為有關(guān)那些變形例或 修正例當(dāng)然屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍。另外，在前面的各實(shí)施方式中，所述反射鏡具有由電介質(zhì)膜和導(dǎo)電膜構(gòu)成的層疊 結(jié)構(gòu)，但是也可以僅由Ag等金屬膜來構(gòu)成反射鏡。另外，前面的各實(shí)施方式的光濾波器可以應(yīng)用于例如測(cè)色傳感器、光通信傳感器、 氣體傳感器等中。
權(quán)利要求
一種光濾波器，其特征在于，具備相互地面對(duì)配置的第一基板及第二基板；在所述第一基板的所述第二基板側(cè)所設(shè)置的第一反射鏡及第一電極；和在所述第二基板的所述第一基板側(cè)所設(shè)置的第二反射鏡及第二電極，所述第一反射鏡和所述第二反射鏡經(jīng)由配線連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光濾波器，其特征在于，具有從所述第一反射鏡至所述第一基板的接合區(qū)域?yàn)橹顾龅牡谝慌渚€；和 從所述第二反射鏡至所述第二基板的接合區(qū)域?yàn)橹顾龅牡诙渚€， 在所述接合區(qū)域中所述第一配線及所述第二配線彼此連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光濾波器，其特征在于，所述第一反射鏡及所述第二反射鏡中的任一個(gè)與外部連接端子連接。
4.一種光濾波器，其特征在于，具備 相互地面對(duì)配置的第一基板及第二基板；在所述第一基板的所述第二基板側(cè)所設(shè)置的第一反射鏡及第一電極；和 在所述第二基板的所述第一基板側(cè)所設(shè)置的第二反射鏡及第二電極， 并且，所述第一反射鏡和所述第二反射鏡分別與外部連接端子連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光濾波器，其特征在于，所述第一反射鏡及所述第二反射鏡經(jīng)由配線與所述外部連接端子分別連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光濾波器，其特征在于，在所述第一配線及所述第二配線的連接部位形成有在其內(nèi)部具有彈性體的突起結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的光濾波器，其特征在于， 所述第一反射鏡及所述第二反射鏡以包括導(dǎo)電膜的方式構(gòu)成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的光濾波器，其特征在于，所述第一反射鏡及所述第二反射鏡具備所述導(dǎo)電膜和電介質(zhì)膜的層疊結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo) 電膜具有透光性。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光濾波器，其特征在于，形成有殘留部，該殘留部是將與所述外部連接端子所連接的配線切斷后所殘留的。
10.一種光濾波器裝置，其特征在于，具備 權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的光濾波器；受光元件，其對(duì)透過了所述光濾波器的光進(jìn)行接收。
11.一種分析設(shè)備，其特征在于，具備權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的光濾波器； 受光元件，其對(duì)透過了所述光濾波器的光進(jìn)行接收；驅(qū)動(dòng)電路部，其對(duì)所述光濾波器的第一反射鏡和第二反射鏡的間隙進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；和 測(cè)定電路部，其根據(jù)由所述受光元件所生成的電信號(hào)，對(duì)所透過的所述光的光量進(jìn)行 測(cè)定。
12.一種光濾波器的制造方法，其特征在于，具備在第一基板及第二基板的相面對(duì)側(cè)將第一反射鏡或第二反射鏡形成的工序；在所述第一反射鏡及所述第二反射鏡的周圍形成電極的工序； 將與所述第一反射鏡及所述第二反射鏡連接的配線進(jìn)行形成的工序；和 將所述第一基板及所述第二基板接合的工序，在將所述第一基板和所述第二基板接合的工序中，使所述第一反射鏡和所述第二反射 鏡經(jīng)由所述配線連接。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光濾波器的制造方法，其特征在于，在將與所述第一反射鏡及所述第二反射鏡連接的配線進(jìn)行形成的工序中，按照從所述 第一反射鏡至所述第一基板的接合區(qū)域?yàn)橹挂龅姆绞叫纬傻谝慌渚€，并且按照從所述第 二反射鏡至所述第二基板的接合區(qū)域?yàn)橹构璉出的方式形成第二配線，在將所述第一基板及所述第二基板接合的工序中，使所述第一配線和所述第二配線連接。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的光濾波器的制造方法，其特征在于， 在將所述第一配線或所述第二配線進(jìn)行形成時(shí)，在以后的將所述第一基板及所述第二基板接合的工序中在所述第一配線及所述第二 配線彼此被連接的部位，形成突起結(jié)構(gòu)，該突起結(jié)構(gòu)在其內(nèi)部具有彈性體。
15.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的光濾波器的制造方法，其特征在于， 在使所述第一基板及所述第二基板接合之后，切斷所述配線。
16.一種光濾波器的制造方法，其特征在于，具備在第一基板及第二基板的相面對(duì)面?zhèn)葘⒌谝环瓷溏R或第二反射鏡形成的工序； 在所述第一反射鏡及所述第二反射鏡的周圍形成電極的工序； 將與所述第一反射鏡及所述第二反射鏡連接的配線進(jìn)行形成的工序；和 將所述第一基板及所述第二基板接合的工序，在將所述第一基板及所述第二基板接合的工序中，在對(duì)所述配線輸入了電位的狀態(tài) 下，使所述第一基板及所述第二基板接合。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的光濾波器的制造方法，其特征在于，在所述第一基板及所述第二基板的任一個(gè)上形成與所述第一反射鏡及所述第二反射 鏡連接的一對(duì)外部連接端子，并且經(jīng)由這些所述一對(duì)外部連接端子對(duì)所述第一反射鏡及所 述第二反射鏡輸入電位。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠防止反射鏡的帶電而使反射鏡彼此粘貼消除的光濾波器、光濾波器裝置、分析設(shè)備以及光濾波器的制造方法。本發(fā)明的光濾波器(1)具備相互地面對(duì)配置的第一基板(2)及第二基板(3)；在第一基板(2)的第二基板(3)側(cè)所設(shè)置的第一反射鏡(4A)及第一電極(6A)；在第二基板(3)的第一基板(2)側(cè)所設(shè)置的第二反射鏡(4B)及第二電極(6B)，并且第一反射鏡(4A)和第二反射鏡(4B)由配線(10A、10B)連接。
文檔編號(hào)G01N21/31GK101900877SQ20101018826
公開日2010年12月1日 申請(qǐng)日期2010年5月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月27日
發(fā)明者廣久保望, 船坂司 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社