專利名稱:高溫激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器標(biāo)定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種空氣潔凈領(lǐng)域高溫激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的檢測標(biāo)定裝置。
背景技術(shù):
激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器用于測量潔凈環(huán)境中單位體積空氣內(nèi)的塵埃粒子大小及數(shù) 目,其廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、化學(xué)、食品、化妝品、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物制品、航空航天等部門。隨 著電子、制藥、航天等領(lǐng)域工藝流程的改進(jìn),許多工藝必須在高溫潔凈烘箱或高溫潔凈隧道 下進(jìn)行,此環(huán)境能否保證潔凈度要求,目前的檢測方式是等環(huán)境冷卻下后,利用激光塵埃粒 子計(jì)數(shù)器進(jìn)行常溫檢測。我們知道,過濾器的過濾效率是會(huì)隨著溫度的改變而發(fā)生變化的, 而常溫檢測就不能準(zhǔn)確反映真實(shí)情況,故出現(xiàn)了高溫激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的開發(fā)。然而高 溫激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的標(biāo)定如果通過現(xiàn)有的常溫標(biāo)定可能會(huì)產(chǎn)生一定的誤差,從而對高 溫激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的精度產(chǎn)生一定的影響,本申請正是基于上述背景而進(jìn)行的開發(fā)設(shè) 計(jì)。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種可有效模擬現(xiàn)場高溫潔凈環(huán) 境從而為待檢測高溫激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器提供適當(dāng)檢測粒子的標(biāo)定裝置。為達(dá)到上述目的,本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種高溫激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器標(biāo)定 裝置,它包括,耐高溫潔凈送風(fēng)機(jī)構(gòu),所述的耐高溫潔凈送風(fēng)機(jī)構(gòu)包括靜壓箱、設(shè)置在靜壓箱內(nèi) 的耐高溫風(fēng)機(jī)、設(shè)置在靜壓箱內(nèi)且位于耐高溫風(fēng)機(jī)下方的耐高溫過濾器;標(biāo)準(zhǔn)粒子緩沖機(jī)構(gòu),其包括設(shè)置在所述的靜壓箱下方且與所述的靜壓箱相氣連通 的緩沖箱、分別設(shè)置在緩沖箱內(nèi)且一端露出在緩沖箱外的粒子送樣管和粒子取樣管;電加熱機(jī)構(gòu),其包括固定座、一端位于固定座內(nèi)另一端伸入所述的緩沖箱內(nèi)的多 根加熱管;溫度控制機(jī)構(gòu),其包括用于感應(yīng)緩沖箱內(nèi)溫度的溫度傳感器以及與溫度傳感器輸 出端相連接的控制器;所述的耐高溫風(fēng)機(jī)將空氣通過高溫過濾器過濾后送入緩沖箱內(nèi),啟動(dòng)電加熱機(jī)構(gòu) 對緩沖箱內(nèi)的潔凈空氣進(jìn)行加熱,加熱的溫度由溫度控制機(jī)構(gòu)控制至設(shè)定值,標(biāo)準(zhǔn)粒子通 過粒子送樣管進(jìn)入緩沖箱并與緩沖箱內(nèi)的潔凈高溫空氣進(jìn)行混合,混合后的氣流通過粒子 取樣管送入待測粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測量校準(zhǔn)。對上述技術(shù)方案所優(yōu)化實(shí)施的一種方式中,所述的緩沖箱內(nèi)設(shè)置有與緩沖箱相連 通的緩沖瓶,所述的粒子送樣管和粒子取樣管另一端分別插設(shè)在所述的緩沖瓶內(nèi),由于在 緩沖箱內(nèi)設(shè)置緩沖瓶,緩沖瓶的內(nèi)腔遠(yuǎn)小于緩沖箱的空間,從而使得粒子混合區(qū)域變小,可 有效控制粒子的密度,保證與高溫氣體混合后的粒子有效量的供給被測設(shè)備。進(jìn)一步地,所述的緩沖箱內(nèi)氣壓為正壓,所述的緩沖箱底部與靜壓箱上部之間外設(shè)有回風(fēng)管,由于緩沖箱內(nèi)為正壓,排出的熱空氣通過回風(fēng)管返回進(jìn)靜壓箱中,經(jīng)過過濾器 過濾后再次送入緩沖箱內(nèi)使用,實(shí)現(xiàn)循環(huán)利用。所述的耐高溫風(fēng)機(jī)為變頻風(fēng)機(jī),從而可根據(jù)不同采樣量的被檢計(jì)數(shù)器要求,調(diào)節(jié) 風(fēng)量的大小。所述的靜壓箱與緩沖箱為密封箱體。所述的緩沖箱的外部還包覆一層隔熱保溫層。所述的控制器設(shè)置有顯示操作面板。由于上述技術(shù)方案的運(yùn)用,本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明標(biāo)定裝 置通過模擬現(xiàn)場高溫潔凈環(huán)境,將標(biāo)準(zhǔn)粒子注入該高溫環(huán)境混合后提供給待檢測的高溫激 光塵埃粒子計(jì)數(shù)器,從而對計(jì)數(shù)器的測量精度進(jìn)行校正標(biāo)定,保證了計(jì)數(shù)器產(chǎn)品的出廠質(zhì) 量,提高了生產(chǎn)效率。
附圖1為本發(fā)明標(biāo)定裝置的正視圖(局部剖視);附圖2為本發(fā)明標(biāo)定裝置的俯視圖;附圖3為本發(fā)明標(biāo)定裝置的側(cè)視圖;附圖4為本發(fā)明帶有送樣管和取樣管的緩沖瓶結(jié)構(gòu)示意圖;其中1、耐高溫潔凈送風(fēng)機(jī)構(gòu);11、靜壓箱;12、耐高溫風(fēng)機(jī);13、耐高溫過濾器;2、標(biāo)準(zhǔn)粒子緩沖機(jī)構(gòu);21、緩沖箱;22、緩沖瓶;23、粒子送樣管;24、粒子取樣管; 25、回風(fēng)管;26、隔熱保溫層;3、電加熱機(jī)構(gòu);31、固定座;32、加熱管;4、溫度控制機(jī)構(gòu);41、溫度傳感器;42、控制器;
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖、舉例詳細(xì)說明本發(fā)明所優(yōu)選實(shí)施的具體內(nèi)容如圖1至3所示的標(biāo)定裝置,其主要由四大部分組成,分別為耐高溫潔凈送風(fēng)機(jī)構(gòu) 1、標(biāo)準(zhǔn)粒子緩沖機(jī)構(gòu)2、電加熱機(jī)構(gòu)3以及溫度控制機(jī)構(gòu)4組成,下面將對各功能部分的具 體結(jié)構(gòu)組成進(jìn)行詳細(xì)說明所述的耐高溫潔凈送風(fēng)機(jī)構(gòu)1主要由不銹鋼材料制成的靜壓箱11、設(shè)置在靜壓箱 11內(nèi)的耐高溫風(fēng)機(jī)12以及設(shè)置在靜壓箱11內(nèi)且位于耐高溫風(fēng)機(jī)12下方的耐高溫過濾器 13組成,其中,耐高溫風(fēng)機(jī)12采用變頻風(fēng)機(jī),從而可根據(jù)不同采樣量的被檢高溫激光塵埃 粒子計(jì)數(shù)器要求,以調(diào)節(jié)風(fēng)量的大小。過濾器13為一高效濾紙,可選擇過濾效率高達(dá)百級 的,從而保證經(jīng)過濾后空氣的潔凈度。所述的標(biāo)準(zhǔn)粒子緩沖機(jī)構(gòu)2主要由具有一定容置空間的不銹鋼緩沖箱21、設(shè)置在 緩沖箱21內(nèi)的緩沖瓶22以及一端伸入至緩沖瓶22內(nèi)另一端露設(shè)在緩沖箱21外面的粒子 送樣管23和粒子取樣管24組成,緩沖箱21與靜壓箱11相接處可分別開設(shè)有相對應(yīng)的孔 以使得靜壓箱11與緩沖箱21相氣連通,從而經(jīng)過過濾后的潔凈氣流可進(jìn)入緩沖箱21內(nèi)。 緩沖瓶22與粒子送樣管23以及粒子取樣管24之間的結(jié)構(gòu)關(guān)系如圖4所示,緩沖瓶22的 容積遠(yuǎn)小于緩沖箱21的容積,其具有與緩沖箱21相連通的敞口,粒子送樣管23與粒子取樣管24對稱地設(shè)置在緩沖瓶22的敞口兩側(cè),標(biāo)準(zhǔn)粒子從緩沖箱21的外部通過粒子送樣管 23送入緩沖瓶22內(nèi),粒子與緩沖瓶22內(nèi)的氣體混合后,再由粒子取樣管24輸出至被測儀 器以進(jìn)行測量校正。為了使得緩沖箱21內(nèi)的氣體能夠被循環(huán)利用,緩沖箱21內(nèi)為正壓,且在緩沖箱21 底部與靜壓箱11上部外設(shè)一回風(fēng)管25,通過回風(fēng)管25,緩沖箱21內(nèi)被排出的空氣返回至 靜壓箱11內(nèi),通過靜壓箱11的過濾器13的過濾,潔凈的空氣再次進(jìn)入緩沖箱21中以利用。由于靜壓箱11和緩沖箱21內(nèi)介質(zhì)為空氣,因此,所述的靜壓箱11以及緩沖箱21 應(yīng)密封設(shè)置。所述的電加熱機(jī)構(gòu)3包括設(shè)置在上述耐高溫潔凈送風(fēng)機(jī)構(gòu)1和標(biāo)準(zhǔn)緩沖機(jī)構(gòu)2外 側(cè)的固定座31、安裝在固定座31上的多根加熱管32,各加熱管32的另一端伸入所述的緩 沖箱21內(nèi),從而當(dāng)對電加熱機(jī)構(gòu)3通電,加熱管32得電發(fā)熱,熱量擴(kuò)散至緩沖箱21內(nèi)的空 間,使得緩沖箱21內(nèi)的空氣被升溫。為了控制電加熱機(jī)構(gòu)3的加熱溫度,本發(fā)明還設(shè)置了溫度控制裝置4,該溫度控制 裝置主要由設(shè)置在緩沖箱21內(nèi)的溫度傳感器41以及安裝在緩沖箱21上的控制器42組成, 控制器42主要用于接收溫度傳感器41輸出的電信號,并根據(jù)不同計(jì)數(shù)器所要求的溫度進(jìn) 行設(shè)定,當(dāng)緩沖箱21內(nèi)的溫度達(dá)到設(shè)定溫度,停止電加熱機(jī)構(gòu)3的加熱;當(dāng)緩沖箱21內(nèi)的 溫度低于設(shè)定溫度,啟動(dòng)電加熱機(jī)構(gòu)3繼續(xù)加熱,實(shí)現(xiàn)對緩沖箱內(nèi)潔凈空氣溫度的有效控 制。為了更直觀控制,在控制器上還設(shè)置有顯示操作面板。由于緩沖箱21內(nèi)在工作時(shí)為高溫,為了進(jìn)一步保持溫度,在緩沖箱21的外周還包 覆一層隔熱保溫層26。上述對本發(fā)明各組成部分結(jié)構(gòu)進(jìn)行了詳細(xì)的描述,下面將對本發(fā)明工作原理和工 作過程進(jìn)行說明當(dāng)需要對被檢測高溫塵埃粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測量標(biāo)定時(shí),首先,啟動(dòng)耐高溫潔凈送 風(fēng)機(jī)構(gòu)1的耐高溫風(fēng)機(jī)12,空氣流按照圖1方向進(jìn)入靜壓箱11內(nèi),進(jìn)入靜壓箱11內(nèi)的空氣 通過過濾器13過濾后,潔凈的氣流被送入緩沖箱21內(nèi),啟動(dòng)電加熱機(jī)構(gòu)3,加熱管32對緩 沖箱21內(nèi)的潔凈空氣進(jìn)行加熱,由于緩沖瓶22與緩沖箱21相連通,故緩沖瓶22內(nèi)也充滿 高溫潔凈空氣,緩沖箱21內(nèi)的溫度通過溫度傳感器41反饋,并由控制器42控制溫度至設(shè) 定值。然后,將標(biāo)準(zhǔn)粒子通過粒子送樣管23輸送至緩沖瓶22內(nèi),與其內(nèi)潔凈高溫空氣進(jìn)行 混合,混合后的氣流通過取樣管24送入被檢儀器進(jìn)行測量校準(zhǔn)。另由于緩沖箱為正壓,排 出的熱空氣通過回風(fēng)管返回入靜壓箱從而再次過濾使用。本發(fā)明標(biāo)定裝置模擬了被測高溫潔凈烘箱或高溫潔凈隧道的高溫潔凈現(xiàn)場,通過 標(biāo)準(zhǔn)粒子的送入在高溫區(qū)域混合緩沖后再送入被檢計(jì)數(shù)器進(jìn)行校準(zhǔn)標(biāo)定,對出廠前的計(jì)數(shù) 器進(jìn)行精確的校正,保證了出廠產(chǎn)品的質(zhì)量,具有較高的利用價(jià)值。上述實(shí)施例只為說明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn),其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人 士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施,并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍,凡根據(jù)本發(fā)明 精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾,都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種高溫激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器標(biāo)定裝置,其特征在于它包括,耐高溫潔凈送風(fēng)機(jī)構(gòu)(1),所述的耐高溫潔凈送風(fēng)機(jī)構(gòu)(1)包括靜壓箱(11)、設(shè)置在靜壓箱(11)內(nèi)的耐高溫風(fēng)機(jī)(12)、設(shè)置在靜壓箱(11)內(nèi)且位于耐高溫風(fēng)機(jī)(12)下方的耐高溫過濾器(13);標(biāo)準(zhǔn)粒子緩沖機(jī)構(gòu)(2),其包括設(shè)置在所述的靜壓箱(11)下方且與所述的靜壓箱(11)相氣連通的緩沖箱(21)、分別設(shè)置在緩沖箱(21)內(nèi)且一端露出在緩沖箱(21)外的粒子送樣管(23)和粒子取樣管(24);電加熱機(jī)構(gòu)(3),其包括固定座(31)、一端位于固定座(31)內(nèi)另一端伸入所述的緩沖箱(21)內(nèi)的多根加熱管(32);溫度控制機(jī)構(gòu)(4),其包括用于感應(yīng)緩沖箱(21)內(nèi)溫度的溫度傳感器(41)以及與溫度傳感器(41)輸出端相連接的控制器(42);所述的耐高溫風(fēng)機(jī)(12)將空氣通過耐高溫過濾器(13)過濾后送入緩沖箱(21)內(nèi),啟動(dòng)電加熱機(jī)構(gòu)(3)對緩沖箱(21)內(nèi)的潔凈空氣進(jìn)行加熱,加熱的溫度由溫度控制機(jī)構(gòu)(4)控制至設(shè)定值,標(biāo)準(zhǔn)粒子通過粒子送樣管(23)進(jìn)入緩沖箱(21)并與緩沖箱(21)內(nèi)的潔凈高溫空氣進(jìn)行混合,混合后的氣流通過粒子取樣管(24)送入待測粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測量校準(zhǔn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器標(biāo)定裝置,其特征在于所述的緩 沖箱(21)內(nèi)設(shè)置有與緩沖箱(21)相連通的緩沖瓶(22),所述的粒子送樣管(23)和粒子取 樣管(24)另一端分別插設(shè)在所述的緩沖瓶(22)內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高溫激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器標(biāo)定裝置,其特征在于所述 的緩沖箱(21)內(nèi)氣壓為正壓,所述的緩沖箱(21)底部與靜壓箱(11)上部之間外設(shè)有回風(fēng) 管(25)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器標(biāo)定裝置,其特征在于所述的耐 高溫風(fēng)機(jī)(12)為變頻風(fēng)機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器標(biāo)定裝置,其特征在于所述的靜 壓箱(11)與緩沖箱(21)為密封箱體。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的高溫激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器標(biāo)定裝置,其特征在于所述 的緩沖箱(21)的外部還包覆一層隔熱保溫層(26)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器標(biāo)定裝置,其特征在于所述的控 制器(42)設(shè)置有顯示操作面板。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種高溫激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器標(biāo)定裝置,它包括耐高溫潔凈送風(fēng)機(jī)構(gòu)、標(biāo)準(zhǔn)粒子緩沖機(jī)構(gòu)、電加熱機(jī)構(gòu)、溫度控制機(jī)構(gòu),所述的耐高溫風(fēng)機(jī)將空氣通過高溫過濾器過濾后送入緩沖箱內(nèi),啟動(dòng)電加熱機(jī)構(gòu)對緩沖箱內(nèi)的潔凈空氣進(jìn)行加熱,加熱的溫度由溫度控制機(jī)構(gòu)控制至設(shè)定值,標(biāo)準(zhǔn)粒子通過粒子送樣管進(jìn)入緩沖箱并與緩沖箱內(nèi)的潔凈高溫空氣進(jìn)行混合,混合后的氣流通過粒子取樣管送入待測粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測量校準(zhǔn)。通過模擬現(xiàn)場高溫潔凈環(huán)境,將標(biāo)準(zhǔn)粒子注入該高溫環(huán)境混合后提供給待檢測的高溫激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器,從而對計(jì)數(shù)器的測量精度進(jìn)行校正標(biāo)定,保證了計(jì)數(shù)器產(chǎn)品的出廠質(zhì)量,提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號G01N15/10GK101839843SQ20101018021
公開日2010年9月22日 申請日期2010年5月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月24日
發(fā)明者吳志強(qiáng), 金惠琴, 陳建 申請人:蘇州蘇凈儀器自控設(shè)備有限公司