專利名稱：陣列檢測(cè)設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及TFT-LCD(ThinFilm Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶體管液晶顯示器)制造工藝后的基板電路電學(xué)特性測(cè)試領(lǐng)域，特別涉及一種對(duì)陣列電路進(jìn)行檢測(cè)的陣列檢測(cè)設(shè)備。
背景技術(shù)：
陣列工藝是TFT-IXD制造過程中的一個(gè)階段。在陣列工藝中，需要在玻璃基板上形成薄膜晶體管陣列電路。陣列電路的優(yōu)劣直接決定了薄膜晶體管液晶顯示屏的品質(zhì)，對(duì)于陣列電路的檢測(cè)也就成為制造流程中的重要工序。如圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)中陣列電路的檢測(cè)設(shè)備。探針框架51上安裝的檢測(cè)探針 20與陣列電路中的信號(hào)輸入端21接觸，測(cè)試信號(hào)通過探針框架51的檢測(cè)探針20加載到陣列電路31中，并通過檢測(cè)探頭41對(duì)加載測(cè)試信號(hào)的區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)，從而達(dá)到測(cè)試陣列電路效果的目的。在通過上述檢測(cè)設(shè)備實(shí)現(xiàn)陣列電路檢測(cè)的過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問題在實(shí)際應(yīng)用中，由于不同產(chǎn)品的信號(hào)輸入端位置不同，排列方式不同，需要通過購買不同型號(hào)的探針框架來實(shí)現(xiàn)測(cè)試，由此造成生產(chǎn)成本的增加；同時(shí)在不同產(chǎn)品切換時(shí)需要更換相應(yīng)型號(hào)的探針框架來滿足檢測(cè)需要，也導(dǎo)致了工作量較大，調(diào)試?yán)щy，并且由于受探針框架結(jié)構(gòu)限制，在檢測(cè)面板邊緣的陣列時(shí)檢測(cè)探頭與探針框架的距離很近，容易發(fā)生檢測(cè)探頭與探針框架的碰撞，造成價(jià)格昂貴的檢測(cè)探頭損壞等。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實(shí)施例提供一種陣列檢測(cè)設(shè)備，可降低陣列電路的測(cè)試成本，提高測(cè)試效率。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案一種陣列檢測(cè)設(shè)備，包括基臺(tái)和檢測(cè)探頭；其中，所述基臺(tái)上設(shè)有至少一個(gè)在基臺(tái)上移動(dòng)的檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸，所述每個(gè)檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸上設(shè)有至少一個(gè)沿檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸移動(dòng)的檢測(cè)探針安裝架，所述每個(gè)檢測(cè)探針安裝架上設(shè)有至少一組可用來與陣列基板的信號(hào)輸入端相接觸的檢測(cè)探針。本發(fā)明實(shí)施例提供的設(shè)備具有如下有益效果檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸和檢測(cè)探針安裝架均可移動(dòng)，通過檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸和沿該運(yùn)動(dòng)軸移動(dòng)的檢測(cè)探針安裝架可調(diào)整檢測(cè)探針到適合待測(cè)陣列基板的位置和大??；因此可測(cè)試的產(chǎn)品型號(hào)不受限制，無需根據(jù)不同型號(hào)的產(chǎn)品更換價(jià)格昂貴的探針框架，節(jié)約了調(diào)試以及更換探針框架時(shí)耗費(fèi)的時(shí)間；同時(shí)，也可避免因探針框架與檢測(cè)探頭的碰撞造成的檢測(cè)探頭損害的技術(shù)問題，降低了對(duì)陣列電路的測(cè)試成本，提高了測(cè)試效率。


為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中陣列電路的檢測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例1中的陣列檢測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明實(shí)施例1中的陣列檢測(cè)設(shè)備的檢測(cè)探針安裝架的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實(shí)施例1中檢測(cè)探針與檢測(cè)探頭的間距與現(xiàn)有技術(shù)中探針框架與檢測(cè)探頭的間距比示意圖；圖5為本發(fā)明實(shí)施例2中的陣列檢測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本發(fā)明實(shí)施例3中的陣列檢測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本發(fā)明實(shí)施例4中的陣列檢測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；附圖標(biāo)記20-檢測(cè)探針；21-信號(hào)輸入端；31-陣列電路；41-檢測(cè)探頭；51-探針框架；I-檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸；2-陣列基板；3-檢測(cè)探頭運(yùn)動(dòng)軸；4-檢測(cè)探頭；5-檢測(cè)探針； 6-基臺(tái)；7-滑塊；8-滑動(dòng)桿；9-基臺(tái)層；10-檢測(cè)探針安裝架；11-檢測(cè)探頭安裝架；12-信號(hào)輸入端；13-在平行方向上增加的檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸；14-平行兩邊均需加載測(cè)試信號(hào)的陣列基板；15-相互垂直兩邊需加載測(cè)試信號(hào)的陣列基板；16-在垂直方向上增加的檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明實(shí)施例提供一種陣列檢測(cè)設(shè)備，包括基臺(tái)和檢測(cè)探頭；其中，所述基臺(tái)上設(shè)有至少一個(gè)在基臺(tái)上移動(dòng)的檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸，所述每個(gè)檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸上設(shè)有至少一個(gè)沿檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸移動(dòng)的檢測(cè)探針安裝架，所述每個(gè)檢測(cè)探針安裝架上設(shè)有至少一組可用來與陣列基板的信號(hào)輸入端相接觸的檢測(cè)探針。下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。并且，以下各實(shí)施例均為本發(fā)明的可選方案，實(shí)施例的排列順序及實(shí)施例的編號(hào)與其優(yōu)選執(zhí)行順序無關(guān)。實(shí)施例1本發(fā)明實(shí)施例結(jié)合圖2具體提供一種陣列檢測(cè)設(shè)備，如圖2所示，包括基臺(tái)6。在基臺(tái)6上設(shè)有一個(gè)可在基臺(tái)6上移動(dòng)的檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1 (設(shè)檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1的移動(dòng)方向?yàn)閅)，該檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1上設(shè)有一個(gè)可沿該檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1移動(dòng)的檢測(cè)探針安裝架 10 (設(shè)安裝架沿檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1移動(dòng)的方向?yàn)閄)，該檢測(cè)探針安裝架10上設(shè)有至少一組可用來與陣列基板2的信號(hào)輸入端12相接觸的檢測(cè)探針5 ；另外，在基臺(tái)6上還設(shè)有一個(gè)可在基臺(tái)6上移動(dòng)的檢測(cè)探頭運(yùn)動(dòng)軸3，該檢測(cè)探頭運(yùn)動(dòng)軸3上設(shè)有一個(gè)沿檢測(cè)探頭運(yùn)動(dòng)軸 3移動(dòng)的檢測(cè)探頭安裝架11，該檢測(cè)探頭安裝架11上設(shè)有可用來檢測(cè)陣列基板2的檢測(cè)探頭4。檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1和檢測(cè)探頭運(yùn)動(dòng)軸3兩者相互獨(dú)立。
將檢測(cè)探針安裝架10的部分放大，如圖3所示，檢測(cè)探針安裝架10包括沿所述檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1移動(dòng)的滑塊7，滑塊7的一側(cè)設(shè)有滑動(dòng)桿8，滑動(dòng)桿8的移動(dòng)方向與檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1的移動(dòng)方向、以及滑塊7的移動(dòng)方向均垂直(設(shè)與檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1的移動(dòng)方向、以及滑塊7的移動(dòng)方向均垂直的方向?yàn)閆，即滑動(dòng)桿8可沿Z方向移動(dòng))。并且如圖3 所示，滑動(dòng)桿8的一端固定有所述至少一組可用來與陣列基板2的信號(hào)輸入端(在本實(shí)施例以及下實(shí)施例中提及的信號(hào)輸入端是指基板上的pad (墊)區(qū)，且每個(gè)pad區(qū)用于對(duì)應(yīng)一組檢測(cè)探針，檢測(cè)探針中的測(cè)試信號(hào)通過pad區(qū)加載到陣列基板中)12相接觸的檢測(cè)探針 5。其中，每組檢測(cè)探針5包括兩枚爪式結(jié)構(gòu)的檢測(cè)探針。檢測(cè)探針包括與滑塊7接觸的檢測(cè)探針的固定端、以及未與滑塊7接觸的檢測(cè)探測(cè)自由端。如圖3中所示，檢測(cè)探針的自由端向信號(hào)輸入端側(cè)彎曲一部分，在滑動(dòng)桿8下降后，通過向信號(hào)輸入端彎曲的這一部分， 檢測(cè)探針與信號(hào)輸入端相接觸，具有上述結(jié)構(gòu)的檢測(cè)探針即為在本實(shí)施例中提出的爪式結(jié)構(gòu)的檢測(cè)探針。如圖4所示，因?yàn)楸緦?shí)施例中的檢測(cè)探針5無需安裝在探針框架51上，因此省去了探針框架51邊框?qū)挾?，故而在測(cè)試同一型號(hào)陣列基板的情況下，本發(fā)明實(shí)施例檢測(cè)探針 5與檢測(cè)探頭4之間的距離a要比現(xiàn)有技術(shù)中探針框架51與檢測(cè)探頭41之間的距離b ( 一般為IOmm)大，故而可有效降低檢測(cè)探針5與檢測(cè)探頭4相互碰撞的機(jī)率；另外，由于檢測(cè)探針5可通過其爪式結(jié)構(gòu)與信號(hào)輸入端12相接觸、且其爪式結(jié)構(gòu)具有一定的寬度，因此在檢測(cè)探針5與信號(hào)輸入端12相接觸時(shí)，檢測(cè)探針安裝架10與檢測(cè)探頭4之間還保持著一段距離，從而可進(jìn)一步避免檢測(cè)探針安裝架10與檢測(cè)探頭4相互碰撞的可能性。本發(fā)明實(shí)施例中，可將待測(cè)陣列基板的型號(hào)、位置、大小等參數(shù)以及檢測(cè)時(shí)所需的信號(hào)在程序中設(shè)置，根據(jù)所設(shè)置的程序和驅(qū)動(dòng)力使檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1、檢測(cè)探針安裝架10、 檢測(cè)探針5、檢測(cè)探頭運(yùn)動(dòng)軸3以及檢測(cè)探頭4等運(yùn)動(dòng)到適合的位置，以便完成對(duì)該待測(cè)陣列基板2進(jìn)行的測(cè)試。其中，驅(qū)動(dòng)方式不受限制，可以是通過電力馬達(dá)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，也可以是氣壓、液壓等。開始檢測(cè)時(shí)，檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1沿Y軸方向移動(dòng)到適合位置(本實(shí)施例中所提及的適合位置均指移動(dòng)到程序中所設(shè)置的位置)后，檢測(cè)探針安裝架10通過滑塊7沿X方向移動(dòng)至合適位置，然后滑動(dòng)桿8帶動(dòng)檢測(cè)探針5下降，并通過檢測(cè)探針5的爪式結(jié)構(gòu)與陣列基板2的信號(hào)輸入端12接觸，從而實(shí)現(xiàn)將測(cè)試信號(hào)加載到陣列基板2的陣列電路中。同理， 在檢測(cè)探頭運(yùn)動(dòng)軸3、檢測(cè)探頭安裝架11同樣分別沿X、Y方向移動(dòng)至合適位置后，檢測(cè)探頭 4下降，開始對(duì)陣列基板2進(jìn)行檢測(cè)。當(dāng)一列陣列基板2測(cè)試完成后，移動(dòng)檢測(cè)探針5和檢測(cè)探頭4到下一列陣列基板進(jìn)行測(cè)試，直到所有陣列基板測(cè)試完成，然后更換下一張玻璃。其中，檢測(cè)探針5的爪式結(jié)構(gòu)及細(xì)節(jié)構(gòu)成如圖3所示，檢測(cè)探針5中兩枚探針(一枚檢測(cè)探針作為測(cè)試信號(hào)的輸出端，一枚檢測(cè)探針作為測(cè)試信號(hào)的輸入端)為一組分別與陣列基板2上的信號(hào)輸入端12相對(duì)應(yīng)，因?yàn)椴煌迳系男盘?hào)輸入端的個(gè)數(shù)和位置均不相同，所以為了應(yīng)對(duì)未來產(chǎn)品的變化，可設(shè)置多組檢測(cè)探針，且所述檢測(cè)探針的組數(shù)一般不小于(最好大于)每個(gè)陣列基板對(duì)應(yīng)的信號(hào)輸入端的數(shù)量，多出的檢測(cè)探針用于在上述每個(gè)陣列基板的信號(hào)輸入端的數(shù)量增加時(shí)仍舊可以對(duì)該陣列基板加載測(cè)試信號(hào)，或者在某一組檢測(cè)探針不能工作時(shí)取代該某一組檢測(cè)探針等以便增加擴(kuò)展性，并保證對(duì)所述每個(gè)陣列基板一次性完成測(cè)試信號(hào)的加載過程；并且，若檢測(cè)探針安裝架上的檢測(cè)探針的組數(shù)遠(yuǎn)遠(yuǎn)大
5于待測(cè)陣列基板的信號(hào)輸入端的數(shù)量時(shí)，還可以通過檢測(cè)探針同時(shí)為兩塊待測(cè)基板或更多的待測(cè)基板完成測(cè)試信號(hào)的加載過程，從而提高測(cè)試效率。另外，在本實(shí)施例中，為了使陣列基板2上信號(hào)輸入端12的方向與檢測(cè)探針5的方向一致，基臺(tái)6上還設(shè)置有承載陣列基板的基臺(tái)層9，基臺(tái)層9通過轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(圖中未標(biāo)出)與基臺(tái)6相連接，通過所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動(dòng)，基臺(tái)層9可承載著陣列基板2在與基臺(tái)6 平行的平面上轉(zhuǎn)動(dòng)。這里提及的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)可以是一轉(zhuǎn)動(dòng)軸。基臺(tái)層9轉(zhuǎn)動(dòng)的角度可以是90 度，也可以是任何度數(shù)，不做限制。在基臺(tái)層9承載的陣列基板2轉(zhuǎn)動(dòng)到適合位置后，基臺(tái)層9可承載著陣列基板2固定在轉(zhuǎn)動(dòng)到的所述適合位置上。例如在基臺(tái)層9承載著陣列基板2轉(zhuǎn)動(dòng)90度后，固定在該轉(zhuǎn)動(dòng)90度后的位置上。具體固定基臺(tái)層方式有很多種。舉例來說，通過電力馬達(dá)驅(qū)動(dòng)上述轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，將承載著陣列基板2的基臺(tái)層轉(zhuǎn)動(dòng)到90度后， 電力馬達(dá)控制轉(zhuǎn)動(dòng)軸保持在轉(zhuǎn)動(dòng)90度后位置上，由此承載著陣列基板2的基臺(tái)層9也將固定在該轉(zhuǎn)動(dòng)90度后的位置上。本實(shí)施例提供的陣列檢測(cè)設(shè)備通過其上帶有爪式結(jié)構(gòu)的檢測(cè)探針來替代現(xiàn)有的探針框架，避免了在對(duì)陣列電路進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，探針框架與檢測(cè)探頭碰撞的情況發(fā)生；同時(shí)， 通過其擁有的可移動(dòng)的獨(dú)立檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸和可移動(dòng)的檢測(cè)探針安裝架，可調(diào)節(jié)出適合各種產(chǎn)品型號(hào)的位置和大小，從而節(jié)省了購買各種型號(hào)探針框架的費(fèi)用，以及頻繁更換探針框架的過程，不僅能夠有效減少陣列檢測(cè)設(shè)備出故障時(shí)間，還可提高陣列檢測(cè)設(shè)備的稼動(dòng)率。實(shí)施例2本實(shí)施例提供一種陣列檢測(cè)設(shè)備，如圖5所示，與實(shí)施例1中的陣列檢測(cè)設(shè)備的不同之處在于，在本實(shí)施例的陣列檢測(cè)設(shè)備中，檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1上設(shè)置有多個(gè)檢測(cè)探針安裝架10，其中每個(gè)檢測(cè)探針安裝架的具體結(jié)構(gòu)和作用均可如實(shí)施例1中檢測(cè)探針安裝架10 所述，其他結(jié)構(gòu)也可如實(shí)施例1中的陣列檢測(cè)設(shè)備所述，在此不贅述。本實(shí)施例提供的陣列檢測(cè)設(shè)備因?yàn)樵O(shè)置了多個(gè)檢測(cè)探針安裝架參與測(cè)試，因此可以更有效地節(jié)省測(cè)試時(shí)間，并且多個(gè)檢測(cè)探針安裝架同時(shí)工作，還可以實(shí)現(xiàn)對(duì)多個(gè)待測(cè)基板區(qū)域或者多個(gè)待測(cè)陣列基板同時(shí)加載測(cè)試信號(hào)的技術(shù)效果。實(shí)施例3某些大尺寸型號(hào)的陣列基板的多邊設(shè)置有信號(hào)輸入端。為了滿足這類陣列基板的測(cè)試需要，對(duì)這種陣列基板的陣列電路進(jìn)行測(cè)試時(shí)，需要對(duì)其多邊，如相對(duì)兩邊均加載測(cè)試信號(hào)。為此本實(shí)施例提供一種陣列檢測(cè)設(shè)備，如圖6所示，在本實(shí)施例的陣列檢測(cè)設(shè)備中， 設(shè)置有檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1和檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸13。檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1和檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸13 上各自的檢測(cè)探針安裝架和檢測(cè)探針等的具體結(jié)構(gòu)和作用可與實(shí)施例1中的檢測(cè)探針安裝架10和檢測(cè)探針5相同。其中，與實(shí)施例1的不同之處在于，該檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1與檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸13相互平行。這種相互平行的位置關(guān)系可便于對(duì)兩邊均需加載測(cè)試信號(hào)的陣列基板14進(jìn)行測(cè)試。其中，該檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸13的具體結(jié)構(gòu)和作用可同實(shí)施例1中的檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸 1 ；此外，也可在本實(shí)施例中的檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)1和/或檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸13上設(shè)置多個(gè)檢測(cè)探針安裝架，如圖5中的檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1所示，以便提高檢測(cè)效率。其余結(jié)構(gòu)可如實(shí)施例1 中的陣列檢測(cè)設(shè)備所述，在此不贅述。
本實(shí)施例提供的陣列檢測(cè)設(shè)備不僅可降低對(duì)陣列電路的測(cè)試成本，提高測(cè)試效率，還可以滿足需要兩邊均加載測(cè)試信號(hào)的某些測(cè)試基板的需要。實(shí)施例4某些陣列基板可能需要在其垂直相交的兩邊輸入測(cè)試信號(hào)。為了滿足這種陣列基板的測(cè)試需要，對(duì)這種陣列基板的陣列電路進(jìn)行測(cè)試時(shí)，需要對(duì)其垂直相交的相鄰兩邊的信號(hào)輸入端加載測(cè)試信號(hào)。為此本實(shí)施例提供一種陣列檢測(cè)設(shè)備，如圖7所示，在本實(shí)施例的陣列檢測(cè)設(shè)備中，設(shè)置有檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1和檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸16。檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1和檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸16上各自的檢測(cè)探針安裝架和檢測(cè)探針等的具體結(jié)構(gòu)和作用可以實(shí)施例 1中的檢測(cè)探針安裝架10和檢測(cè)探針5相同。其中，與實(shí)施例1的不同之處在于，該檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1與檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸16相互垂直，且并未相互接觸，由圖7可知，這是為了避免檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1與檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸16在移動(dòng)時(shí)相互碰撞，故而將檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1的運(yùn)動(dòng)平面設(shè)置在與檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸16不同層次的運(yùn)動(dòng)平面上。這種相互垂直，且運(yùn)動(dòng)平面不同的位置關(guān)系不僅便于對(duì)陣列基板15垂直相交兩邊的信號(hào)輸入端加載測(cè)試信號(hào)，還便于檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1與檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸16的自由移動(dòng)。其中，該檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸16的具體結(jié)構(gòu)和作用可同實(shí)施例1中的檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸 1 ；此外，也可在本實(shí)施例中的檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)1和/或檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸16上設(shè)置多個(gè)檢測(cè)探針安裝架，如圖5中的檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸1所示，以便提高檢測(cè)效率。其余結(jié)構(gòu)可如實(shí)施例1 中的陣列檢測(cè)設(shè)備所述，在此不贅述。本實(shí)施例提供的陣列檢測(cè)設(shè)備不僅可降低對(duì)陣列電路的測(cè)試成本，提高測(cè)試效率，還可以滿足需要對(duì)垂直相交的兩邊加載測(cè)試信號(hào)的某些測(cè)試基板的需要。以上所述，僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種陣列檢測(cè)設(shè)備，包括基臺(tái)和檢測(cè)探頭；其特征在于，所述基臺(tái)上設(shè)有至少一個(gè)在基臺(tái)上移動(dòng)的檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸，所述每個(gè)檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸上設(shè)有至少一個(gè)沿檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸移動(dòng)的檢測(cè)探針安裝架，所述每個(gè)檢測(cè)探針安裝架上設(shè)有至少一組可用來與陣列基板的信號(hào)輸入端相接觸的檢測(cè)探針。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述檢測(cè)探針安裝架包括沿所述檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸移動(dòng)的滑塊，所述滑塊的一側(cè)設(shè)有滑動(dòng)桿，所述滑動(dòng)桿的移動(dòng)方向與所述檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸的移動(dòng)方向、以及所述滑塊的移動(dòng)方向均垂直，并且所述滑動(dòng)桿的一端固定有所述至少一組可用來與陣列基板的信號(hào)輸入端相接觸的檢測(cè)探針。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述每組檢測(cè)探針包括兩枚爪式結(jié)構(gòu)的檢測(cè)探針。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述每個(gè)檢測(cè)探針安裝架上設(shè)有的檢測(cè)探針的組數(shù)不小于與其相接觸的陣列基板的信號(hào)輸入端的數(shù)量。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，在所述基臺(tái)上還包括承載所述陣列基板的基臺(tái)層，所述基臺(tái)層通過轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述基臺(tái)相連接；通過所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動(dòng)，所述基臺(tái)層可承載著所述陣列基板在與所述基臺(tái)平行的平面上轉(zhuǎn)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其特征在于，在承載的所述陣列基板轉(zhuǎn)動(dòng)到適合位置后，所述基臺(tái)層承載著所述陣列基板固定在轉(zhuǎn)動(dòng)到的所述適合位置上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任意一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于，所述至少一個(gè)檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸中的一個(gè)檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸與另一個(gè)檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸相平行。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任意一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于，所述至少一個(gè)檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸中的一個(gè)檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸與另一個(gè)檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸相垂直。
全文摘要
本發(fā)明的實(shí)施例公開了一種陣列檢測(cè)設(shè)備，涉及TFT-LCD制造工藝領(lǐng)域，解決了現(xiàn)有技術(shù)中檢測(cè)陣列電路時(shí)探針框架易與檢測(cè)探頭碰撞，導(dǎo)致造價(jià)昂貴的檢測(cè)探頭損毀，檢測(cè)效率低的技術(shù)問題。本發(fā)明實(shí)施例提供的陣列檢測(cè)設(shè)備包括基臺(tái)和檢測(cè)探頭；其中，所述基臺(tái)上設(shè)有至少一個(gè)在基臺(tái)上移動(dòng)的檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸，所述每個(gè)檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸上設(shè)有至少一個(gè)沿檢測(cè)探針運(yùn)動(dòng)軸移動(dòng)的檢測(cè)探針安裝架，所述每個(gè)檢測(cè)探針安裝架上設(shè)有至少一組可用來與陣列基板的信號(hào)輸入端相接觸的檢測(cè)探針。本發(fā)明實(shí)施例的方案主要應(yīng)用在對(duì)陣列基板的電路進(jìn)行檢測(cè)的過程中。
文檔編號(hào)G01R1/02GK102236032SQ20101017151
公開日2011年11月9日 申請(qǐng)日期2010年5月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月7日
發(fā)明者張鐵林, 葛興 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司