專利名稱：一種確認(rèn)探針與晶片接觸狀態(tài)的機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種電子元器件的檢測(cè)機(jī)構(gòu)，尤其是涉及一種確認(rèn)探針與晶片接觸狀態(tài) 的機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
電子元器件晶圓制造完成后，須對(duì)晶圓上的晶片進(jìn)行全數(shù)電性能測(cè)試，電性能測(cè)試須使 用探針接觸晶片的金屬電極，通過探針將輸入、輸出信號(hào)傳遞給測(cè)試系統(tǒng)或晶片，從而判定
晶片是好是壞。中國(guó)專利公開了一種線路板測(cè)試器探針裝置(授權(quán)公告號(hào)CN 2610336Y) ，其包括有測(cè)試板組、穿越固置于測(cè)試板組之間的探針裝置、位于測(cè)試板組下方經(jīng)由連接線 路連訊的連接板及排線，探針裝置包含有一探針本體與一掛合平面體，其中探針本體具一探 針頭，探針頭下端可自由滑動(dòng)伸縮于下方的探針管體內(nèi)，探針管體為一中空管體，探針管體 中空管內(nèi)可置入探針頭下端與一彈體于探針頭下端的下方，探針管體搭配掛合平面體上所開 的孔洞直徑，具置有一凹環(huán)而可使探針本體卡入掛合平面體內(nèi)，而探針管體下接有一傳遞測(cè) 試訊息的連接線路；掛合平面體為具有彈性的膠質(zhì)體，掛合平面體上開設(shè)有與測(cè)試板組上的 孔洞數(shù)目與位置相對(duì)應(yīng)的洞孔，掛合平面體洞孔直徑約略大于凹環(huán)直徑而小于探針管體截面 的直徑；探針頭、探針管體與探針管體中空管內(nèi)置入的彈體合組為一體成型的探針本體。但 是因?yàn)榫苄?、探針很?xì)，通過顯微鏡也難以判斷探針與晶片電極是否接觸良好，必須通 過測(cè)量接觸電阻來判斷。在采用單電極雙探針方式時(shí)，可以用測(cè)試系統(tǒng)直接測(cè)量出接觸電阻 的大小。但在單電極單探針方式時(shí)，因?yàn)榫袃?nèi)部電阻，無法用測(cè)試系統(tǒng)直接測(cè)量出接觸 電阻的大小。探針與晶片電極接觸狀態(tài)不好，即接觸電阻較大時(shí)，在某些場(chǎng)合會(huì)引起測(cè)試結(jié) 果失真。所以探針與晶片電極接觸狀態(tài)的好壞，對(duì)測(cè)試的可靠性非常重要。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型需要解決的技術(shù)問題是提供一種確認(rèn)探針與晶片接觸狀態(tài)的機(jī)構(gòu)，其主要是 解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的晶片很小、探針很細(xì)，無法判斷探針與晶片電極是否接觸良好等的技 術(shù)問題。
本實(shí)用新型的上述技術(shù)問題主要是通過下述技術(shù)方案得以解決的
本實(shí)用新型的一種確認(rèn)探針與晶片接觸狀態(tài)的機(jī)構(gòu)，包括金屬片，其特征在于所述的金屬片與電子元器件晶圓上的晶片大小一致，金屬片上方設(shè)有可接觸金屬片的探針，探針為2 根及以上根，金屬片的面積大于探針的分布區(qū)域，探針通過線路連接歐姆表、蜂鳴器與發(fā)光 裝置的至少其中一個(gè)，蜂鳴器、發(fā)光裝置連接有電源。金屬片可以由金或鋁制成，金屬片與 晶片大小一致，金屬片的區(qū)域大于探針的分布區(qū)域，使得能夠檢測(cè)所有探針與晶片的接觸性 能。當(dāng)探針和金屬片接觸良好時(shí)，所有探針可通過金屬片導(dǎo)通，即金屬片、探針、歐姆表和 /或蜂鳴器和/或發(fā)光裝置形成回路。探針之間的金屬區(qū)電阻、探針自身的電阻和線路的電阻 很小，可以忽略。
作為優(yōu)選，所述的探針為3根及以上根，線路上連接有可切換連通2根及以上根探針的開 關(guān)。當(dāng)探針較多時(shí)，可以采取多檔開關(guān)，選擇接通探針，這樣能夠檢測(cè)每根探針的接觸性能
作為優(yōu)選，所述的歐姆表與蜂鳴器或/和發(fā)光裝置并聯(lián)設(shè)立，歐姆表、蜂鳴器、發(fā)光裝 置的兩端都連接有可切換連通歐姆表、蜂鳴器、發(fā)光裝置的開關(guān)，開關(guān)連接在線路上。歐姆 表、蜂鳴器、發(fā)光裝置可以單獨(dú)使用，也可以并聯(lián)起來同時(shí)使用?？梢酝ㄟ^開關(guān)來切換所有 實(shí)現(xiàn)的功能。
作為優(yōu)選，所述的探針為4根，每?jī)筛结槥橐唤M，兩組探針各由開關(guān)kh k2切換連通 ;所述的歐姆表、蜂鳴器與發(fā)光裝置互相并聯(lián)設(shè)立，蜂鳴器、發(fā)光裝置兩端各由開關(guān)k3、 k4切換連通，歐姆表、蜂鳴器兩端各由開關(guān)k5、 k6開關(guān)切換連通，開關(guān)kh開關(guān)k3、開關(guān)k5通 過線路連通，開關(guān)k2、開關(guān)k4、開關(guān)k6通過線路連通。每?jī)筛结樅徒饘倨慕佑|電阻值可 以從歐姆表上讀出，當(dāng)接觸電阻足夠小時(shí)，蜂鳴器會(huì)鳴叫或發(fā)光裝置會(huì)點(diǎn)亮。若有任一探針 與全金屬區(qū)未接觸到或接觸不好，即接觸電阻大，則可以從歐姆表上的讀數(shù)反映出來，或者 蜂鳴器不鳴叫、發(fā)光裝置不點(diǎn)亮。
作為優(yōu)選，所述的發(fā)光裝置為發(fā)光二極管。
因此，本實(shí)用新型具有可以確認(rèn)探針與晶片的接觸狀態(tài)，在探針與晶片接觸良好后再開 始電性能測(cè)試，從而保證晶片測(cè)試的可靠性，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、合理等特點(diǎn)。

附圖l是本實(shí)用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中零部件、部位及編號(hào)金屬片l、探針2、歐姆表3、蜂鳴器4、發(fā)光裝置5、電源6、 晶圓7、晶片8、開關(guān)ki、 k2、 k3、 k4、 ks、 k6。
具體實(shí)施方式

下面通過實(shí)施例，并結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步具體的說明。實(shí)施例本例的一種確認(rèn)探針與晶片接觸狀態(tài)的機(jī)構(gòu)，如圖l，有一個(gè)安裝在晶圓7上的 金屬片l，金屬片1與電子元器件晶圓上的晶片8大小一致。金屬片上方設(shè)有可接觸金屬片的 四根探針2，每?jī)筛结槥橐唤M，兩組探針各由開關(guān)kh k2切換連通。每組探針通過線路各 連接歐姆表3、蜂鳴器4、發(fā)光裝置5的兩端，發(fā)光裝置5為發(fā)光二極管。歐姆表3、蜂鳴器4、 發(fā)光裝置5并聯(lián)設(shè)置，并且蜂鳴器、發(fā)光裝置兩端各由開關(guān)k3、 k4切換連通，歐姆表、蜂鳴 器兩端各由開關(guān)k5、 k6開關(guān)切換連通。
使用時(shí)，通過顯微鏡觀察，使四根探針2都接觸金屬片1。首先通過開關(guān)kh k2接通其中 兩根探針，再將開關(guān)k3、 k4接通蜂鳴器4，開關(guān)k5、 k6接通歐姆表，然后可以從歐姆表上讀出 數(shù)據(jù)，當(dāng)接觸電阻足夠小時(shí)，蜂鳴器會(huì)鳴叫。然后通過開關(guān)kh k2接通另外兩根探針，然后
可以從歐姆表上讀出數(shù)據(jù)，當(dāng)接觸電阻足夠小時(shí)，蜂鳴器會(huì)鳴叫。若有任一探針與全金屬區(qū) 未接觸到或接觸不好、接觸電阻大，則可以從歐姆表上的讀數(shù)反映出來，或蜂鳴器不鳴叫或 發(fā)光二極管不點(diǎn)亮。
權(quán)利要求1.一種確認(rèn)探針與晶片接觸狀態(tài)的機(jī)構(gòu)，包括金屬片(1)，其特征在于所述的金屬片(1)與電子元器件晶圓上的晶片大小一致，金屬片(1)上方設(shè)有可接觸金屬片的探針(2)，探針為2根及以上根，金屬片(1)的面積大于探針的分布區(qū)域，探針通過線路連接歐姆表(3)、蜂鳴器(4)與發(fā)光裝置(5)的至少其中一個(gè)，蜂鳴器(4)、發(fā)光裝置(5)連接有電源(6)。
2 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種確認(rèn)探針與晶片接觸狀態(tài)的機(jī)構(gòu)，其特 征在于所述的探針(2)為3根及以上根，線路上連接有可切換連通2根及以上根探針的開關(guān)
3 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種確認(rèn)探針與晶片接觸狀態(tài)的機(jī)構(gòu)， 其特征在于所述的歐姆表(3)與蜂鳴器(4)或/和發(fā)光裝置(5)并聯(lián)設(shè)立，歐姆表(3) 、蜂鳴器(4)、發(fā)光裝置(5)的兩端都連接有可切換連通歐姆表、蜂鳴器、發(fā)光裝置的開 關(guān)，開關(guān)連接在線路上。
4 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種確認(rèn)探針與晶片接觸狀態(tài)的機(jī)構(gòu)，其特 征在于所述的探針(2)為4根，每?jī)筛结槥橐唤M，兩組探針各由開關(guān)(kl、 k2)切換連通 ;所述的歐姆表(3)、蜂鳴器(4)與發(fā)光裝置(5)互相并聯(lián)設(shè)立，蜂鳴器、發(fā)光裝置兩 端各由開關(guān)(k3、 k4)切換連通，歐姆表、蜂鳴器兩端各由開關(guān)(k5、 k6)開關(guān)切換連通， 開關(guān)(kl)、開關(guān)(k3)、開關(guān)(k5)通過線路連通，開關(guān)(k2)、開關(guān)(k4)、開關(guān)(k6 )通過線路連通。
5 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種確認(rèn)探針與晶片接觸狀態(tài)的機(jī)構(gòu)， 其特征在于所述的發(fā)光裝置(5)為發(fā)光二極管。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種電子元器件的檢測(cè)機(jī)構(gòu)，尤其是涉及一種確認(rèn)探針與晶片接觸狀態(tài)的機(jī)構(gòu)。其主要是解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的晶片很小、探針很細(xì)，無法判斷探針與晶片電極是否接觸良好等的技術(shù)問題。本實(shí)用新型包括金屬片(1)，其特征在于所述的金屬片(1)與電子元器件晶圓上的晶片大小一致，金屬片(1)上方設(shè)有可接觸金屬片的探針(2)，探針為2根及以上根，金屬片(1)的面積大于探針的分布區(qū)域，探針通過線路連接歐姆表(3)、蜂鳴器(4)與發(fā)光裝置(5)的至少其中一個(gè)，蜂鳴器(4)、發(fā)光裝置(5)連接有電源(6)。
文檔編號(hào)G01R31/02GK201392379SQ20092030089
公開日2010年1月27日 申請(qǐng)日期2009年2月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月26日
發(fā)明者陳占勝 申請(qǐng)人:浙江博杰電子有限公司