專利名稱：片式氣體傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型實(shí)施例涉及傳感器，尤其涉及一種片式氣體傳感器。
背景技術(shù)：
目前，人們使用的氣體傳感器通常采用管式氣體傳感器。管式氣體傳感器通常由 如下部件組成加熱絲以及覆有導(dǎo)電極和敏感材料的陶瓷管，加熱絲穿過陶瓷管，利用加熱 絲通電后產(chǎn)生的熱量使陶瓷管外部的敏感材料的電阻發(fā)生變化，以對氣體進(jìn)行檢測。在實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問題由于管式 氣體傳感器中的導(dǎo)電極和敏感材料均設(shè)置在陶瓷管上，陶瓷管將占用加大的空間，使管式 氣體傳感器的尺寸增大；另外，加熱絲穿設(shè)在 陶瓷管中，通過加熱陶瓷管來實(shí)現(xiàn)對敏感材料 的加熱，加熱的效率較低，并且加熱過程中的功耗較大，從而導(dǎo)致管式氣體傳感器的檢測效 率低下并且功耗過大。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種片式氣體傳感器，解決現(xiàn)有技術(shù)中 管式氣體傳感器的檢測效率低下，功耗過大的缺陷，實(shí)現(xiàn)通過片式氣體傳感器提高氣體傳 感器的檢測效率，并降低氣體傳感器的功耗。本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案是，一種片式氣體傳感器，包括基座和基板；所述基 座上開設(shè)有四個安裝孔，每個所述安裝孔中插設(shè)有連接管腳；所述基板的下表面上依次設(shè) 置有兩條測量電極和敏感膜，兩條所述測量電極固設(shè)在所述基板的下表面上，所述敏感膜 覆蓋住所述測量電極并固設(shè)在所述基板的下表面；所述基板的上表面上依次設(shè)置有兩條加 熱電極、加熱膜和玻璃膜，兩條所述加熱電極固設(shè)在所述基板的上表面上，所述加熱膜覆蓋 住所述加熱電極并固設(shè)在所述基板的上表面，所述玻璃膜固設(shè)在所述加熱膜上；兩條所述 測量電極分別與兩個所述連接管腳連接，兩條所述加熱電極分別與另外兩個所述連接管腳 連接。本實(shí)施例片式氣體傳感器，通過在基板下表面設(shè)置測量電極和敏感膜用于氣體檢 測，并通過在基板上表面設(shè)置加熱電極、加熱膜和玻璃膜對敏感膜進(jìn)行加熱，從而實(shí)現(xiàn)片式 氣體傳感器對外界氣體進(jìn)行檢測。由于加熱膜直接固設(shè)在基板的上表面，加熱膜產(chǎn)生的熱 量能夠快速的通過基板傳給敏感膜，從而使敏感膜的溫度能夠在較短的時(shí)間內(nèi)升高，進(jìn)行 氣體的檢測，從而提高了本實(shí)施例片式氣體傳感器檢測效率；并由于加熱膜產(chǎn)生的熱量大 部分被基板吸收并傳給加熱膜，從而使加熱膜消耗較少的能量便能實(shí)現(xiàn)本實(shí)施例片式傳感 器進(jìn)行正常的工作，從而降低了本實(shí)施例片式氣體傳感器功耗。另外，由于在基板的上下表 面上設(shè)置敏感膜、加熱膜和玻璃膜等部件充分利用了基板的空間，從而使本實(shí)施例片式氣 體傳感器的體積變小。如上所述的片式氣體傳感器，為了提高片式氣體傳感器中的測量電極的測量精 度，所述測量電極包括第一條形電極和至少一根垂直固設(shè)在所述第一條形電極的第二條形電極；一所述測量電極中的第一條形電極與另一所述測量電極中的第一條形電極相互平行，并且一所述測量電極中的第二條形電極與另一所述測量電極中的第二條形電極相互平 行。如上所述的片式氣體傳感器，為了提高片式氣體傳感器中的加熱電極的加熱效 率，所述加熱電極包括第三條形電極和至少一根垂直固設(shè)在所述第三條形電極的第四條形 電極；一所述加熱電極中的第三條形電極與另一所述加熱電極中的第三條形電極相互平 行，并且一所述加熱電極中的第四條形電極與另一所述加熱電極中的第四條形電極相互平 行。如上所述的片式氣體傳感器，為了方便的將測量電極和加熱電極與連接管腳牢靠 的連接，片式氣體傳感器還包括兩個第一電極墊片和兩個第二電極墊片；所述第一電極 墊片與所述測量電極連接，所述第一電極墊片用于與所述連接管腳連接以使所述測量電極 與所述連接管腳連接；所述第二電極墊片與所述加熱電極連接，所述第二電極墊片用于與 所述連接管腳連接以使所述加熱電極與所述連接管腳連接。如上所述的片式氣體傳感器，為了更加方便的將測量電極和加熱電極與連接管腳 牢靠的連接，所述基板的一端部開設(shè)有兩個通孔，兩個所述第一電極墊片分別覆蓋住所述 通孔，所述第二電極墊片位于所述基板遠(yuǎn)離所述通孔的端部上；所述片式氣體傳感器還包 括兩個第三電極墊片，位于所述加熱膜與所述基板的上表面之間并固設(shè)在所述基板的上 表面上；兩個所述第三電極墊片分別覆蓋住所述通孔并分別與所述第一電極墊片連接，并 且所述第三電極墊片與所述加熱電極絕緣設(shè)置；所述第三電極墊片用于與所述連接管腳連 接以使所述測量電極與所述連接管腳連接。如上所述的片式氣體傳感器，為了使第三電極墊片和第二電極墊片與連接管腳連 接的更加牢靠，每個所述第二電極墊片為雙層結(jié)構(gòu)；每個所述第三電極墊片為雙層結(jié)構(gòu)。如上所述的片式氣體傳感器，為了對基板進(jìn)行保護(hù)，防止外部雜物對基板造成損 傷，片式氣體傳感器還包括管帽，所述管帽的上端部為鏤空結(jié)構(gòu)，所述管帽罩住所述基板并 固設(shè)在所述基座上。

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例 或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是 本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提 下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實(shí)用新型片式氣體傳感器實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型片式氣體傳感器實(shí)施例中基板下表面的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型片式氣體傳感器實(shí)施例中基板下表面部件的爆炸圖；圖4為本實(shí)用新型片式氣體傳感器實(shí)施例中測量電極的結(jié)構(gòu)示意圖一；圖5為本實(shí)用新型片式氣體傳感器實(shí)施例中測量電極的結(jié)構(gòu)示意圖二 ；圖6為本實(shí)用新型片式氣體傳感器實(shí)施例中基板上表面的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本實(shí)用新型片式氣體傳感器實(shí)施例中基板上表面部件的爆炸圖；圖8為本實(shí)用新型片式氣體傳感器實(shí)施例中加熱電極的結(jié)構(gòu)示意圖一；[0022]圖9為本實(shí)用新型片式氣體傳感器實(shí)施例中加熱電極的結(jié)構(gòu)示意圖
二。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新 型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描 述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施 例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于 本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。圖1為本實(shí)用新型片式氣體傳感器實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，本實(shí)施例片 式氣體傳感器，包括基座1和基板2。基座1上開設(shè)有四個安裝孔12，每個安裝孔12中插設(shè)有連接管腳11。具體的，本 實(shí)施例中的基座1用于支撐安裝基板2，使基板2上測量電極和加熱電極與基座上的四根連 接管腳11連接，從而可以通過連接管腳11與外部的設(shè)備連接，實(shí)現(xiàn)片式氣體傳感器對氣體 進(jìn)行檢測?；?的下表面上依次設(shè)置有兩條測量電極和敏感膜，兩條測量電極固設(shè)在基板 2的下表面上，敏感膜覆蓋住測量電極并固設(shè)在基板2的下表面。具體的，圖2為本實(shí)用新 型片式氣體傳感器實(shí)施例中基板下表面的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為本實(shí)用新型片式氣體傳感器 實(shí)施例中基板下表面部件的爆炸圖。如圖1-3所示，本實(shí)施例中的基板2的下表面21上依 次設(shè)置有兩條測量電極211和敏感膜212。其中，測量電極211固設(shè)在基板2的下表面21 上；而敏感膜212覆蓋住測量電極211并固定設(shè)置在基板2的下表面21上，從而測量電極 211能夠收到敏感膜212檢測到的氣體信號?；?的上表面上依次設(shè)置有兩條加熱電極、加熱膜和玻璃膜，兩條加熱電極固 設(shè)在基板2的上表面上，加熱膜覆蓋住加熱電極并固設(shè)在基板2的上表面，玻璃膜固設(shè)在加 熱膜上。具體的，圖6為本實(shí)用新型片式氣體傳感器實(shí)施例中基板上表面的結(jié)構(gòu)示意圖，圖 7為本實(shí)用新型片式氣體傳感器實(shí)施例中基板上表面部件的爆炸圖。如圖1、圖6和圖7所 示，本實(shí)施例中的基板2的上表面22上依次設(shè)置有兩條加熱電極221、加熱膜222和玻璃膜 223。其中，加熱電極221固設(shè)在基板2的上表面22上；加熱膜222覆蓋住加熱電極221并 固定設(shè)置在基板2的上表面22上，玻璃膜223固設(shè)在加熱膜222上，從而可通過加熱電極 221通電后，對加熱膜222進(jìn)行供電，使加熱膜222產(chǎn)生熱量并直接傳給基板2。最終，熱量 通過基板2傳給基板2下表面21上設(shè)置的敏感膜212，使敏感膜212檢測外部的氣體。兩條測量電極211分別與兩個連接管腳11連接，兩條加熱電極221分別與另外兩 個連接管腳11連接。具體的，加熱電極221通過與電源連接的連接管腳11將電能供給基板 2上表面22上設(shè)置的加熱膜222，從而使加熱膜222得電產(chǎn)生熱能；加熱膜222產(chǎn)生的熱能 通過基板2傳給基板2下表面21上設(shè)置的敏感膜212，使敏感膜212的溫度迅速升高到檢 測氣體時(shí)需要的溫度，從而敏感膜212根據(jù)檢測到的氣體使自身的電阻改變；測量電極211 與敏感膜212貼合在一起，測量電極211將敏感膜212檢測到的信息通過基座1上其他的 兩個連接管腳11輸出到外部設(shè)備上，使用戶得知所要檢測的氣體的性質(zhì)。本實(shí)施例片式氣體傳感器，通過在基板下表面設(shè)置測量電極和敏感膜用于氣體檢 測，并通過在基板上表面設(shè)置加熱電極、加熱膜和玻璃膜對敏感膜進(jìn)行加熱，從而實(shí)現(xiàn)片式氣體傳感器對外界氣體進(jìn)行檢測。由于加熱膜直接固設(shè)在基板的上表面，加熱膜產(chǎn)生的熱 量能夠快速的通過基板傳給敏感膜，從而使敏感膜的溫度能夠在較短的時(shí)間內(nèi)升高，進(jìn)行 氣體的檢測，從而提高了本實(shí)施例片式氣體傳感器檢測效率；并由于加熱膜產(chǎn)生的熱量大 部分被基板吸收并傳給加熱膜，從而使加熱膜消耗較少的能量便能實(shí)現(xiàn)本實(shí)施例片式氣體 傳感器進(jìn)行正常的工作，從而降低了本實(shí)施例片式氣體傳感器功耗。另外，由于在基板的上 下表面上設(shè)置敏感膜、加熱膜和玻璃膜等部件充分利用了基板的空間，從而使本實(shí)施例片 式氣體傳感器的體積變小。 基于上述技術(shù)方案，可選的，為了提高片式氣體傳感器中的測量電極211的測量 精度，如圖1-圖5所示，本實(shí)施例中的測量電極211包括第一條形電極2111和至少一根 垂直固設(shè)在第一條形電極2111的第二條形電極2112 ；—測量電極211中的第一條形電極 2111與另一測量電極211中的第一條形電極2111相互平行，并且一測量電極211中的第二 條形電極2112與另一測量電極211中的第二條形電極2112相互平行。 具體而言，本實(shí)施例中的測量電極211可以由第一條形電極2111和垂直固設(shè)在第 一條形電極2111的第二條形電極2112組成。其中，第二條形電極2112可以是一條也可以 是多條。并且，固設(shè)在基板2上的兩個測量電極211，其中一個測量電極211可以是具有兩 條第二條形電極2112，而另一個測量電極211可以具有一條第二條形電極2112，本實(shí)用新 型對測量電極211的具體結(jié)構(gòu)不做限制。由上可知，測量電極211 與敏感膜212的接觸面 積更大，更有利于提高本實(shí)施例片式氣體傳感器中的測量電極211的測量精度。進(jìn)一步的，為了提高片式氣體傳感器中的加熱電極221的加熱效率，如圖1-圖9 所示，本實(shí)施例中的加熱電極221包括第三條形電極2211和至少一根垂直固設(shè)在第三條形 電極2211的第四條形電極2212 ；—加熱電極221中的第三條形電極2211與另一加熱電極 221中的第三條形電極2211相互平行，并且一加熱電極221中的第四條形電極2212與另一 加熱電極221中的第四條形電極2212相互平行。具體而言，本實(shí)施例中的加熱電極221可以由第三條形電極2211和垂直固設(shè)在第 三條形電極2211的第四條形電極2212組成。其中，第四條形電極2212可以是一條也可以 是多條。并且，固設(shè)在基板2上的兩個加熱電極221，其中一個加熱電極221可以是具有兩 條第四條形電極2212，而另一個加熱電極221可以具有一條第四條形電極2212，本實(shí)用新 型對加熱電極221的具體結(jié)構(gòu)不做限制。由上可知，加熱電極221與加熱膜222的接觸面 積更大，更有利于提高本實(shí)施例片式氣體傳感器中的加熱電極221的加熱效率?；谏鲜黾夹g(shù)方案，可選的，為了方便的將測量電極211和加熱電極221與連接管 腳11牢靠的連接，如圖1-圖9所示，本實(shí)施例片式氣體傳感器還包括兩個第一電極墊片 213和兩個第二電極墊片224 ；第一電極墊片213與測量電極211連接，第一電極墊片213 用于與連接管腳11連接以使測量電極211與連接管腳11連接；第二電極墊片224與加熱 電極221連接，第二電極墊片224用于與連接管腳11連接以使加熱電極221與連接管腳11 連接。具體而言，第一電極墊片213的一端與測量電極211連接，第一電極墊片213的另 一端與連接管腳11連接，從而可以通過第一電極墊片213將測量電極211和連接管腳11 更加可靠的電連接在一起。其中，測量電極211與第一電極墊片213可以通過印刷的方式 牢固的連接在一起，而第一電極墊片213可以通過由低導(dǎo)熱率制成的合金絲與連接管腳11連接，例如，合金絲可以是由黃金-鈀金-白金的合金材料制成。同樣的，第二電極墊片224 將加熱電極221和連接管腳11更加可靠的電連接在一起。具體連接方式可參見第一電極 墊片213的連接過程，在此不再贅述。進(jìn)一步的，為了更加方便的將測量電極211和加熱電極221與連接管腳11牢靠的 連接，本實(shí)施例中的基板2的一端部可以開設(shè)有兩個通孔23，兩個第一電極墊片213分別 覆蓋住通孔23，第二電極墊片224位于基板2遠(yuǎn)離通孔23的端部上；本實(shí)施例片式氣體傳 感器還可以包括兩個第三電極墊片225，該第三電極墊片225位于加熱膜222與基板2的 上表面22之間并固設(shè)在基板2的上表面22上；兩個第三電極墊片225分別覆蓋住通孔23 并分別與第一電極墊片213連接，并且第三電極墊片225與加熱電極221絕緣設(shè)置；第三電 極墊片225用于與連接管腳11連接以使測量電極211與連接管腳11連接。具體而言，為了方便的將基板2上設(shè)置的測量電極211和加熱電極221與連接管 腳11連接，本實(shí)施例中的基板2上開設(shè)有通孔23，并且將第一電極墊片213覆蓋在通孔23 上。而第三電極墊片225在基板2的上表面22上并也覆蓋在通孔23上，并且第一電極墊 片213與第三電極墊片225連接。從而可以通過位于同一平面上的第三電極墊片225和第 二電極墊片224與連接管腳11連接，實(shí)現(xiàn)測量電極211和加熱電極221與連接管腳11連 接。其中，第一電極墊片213與第三電極墊片225通過在通孔23中通過堵孔漿料連接在一 起，而堵孔漿料可以采用 黃金、白金、鈀金或者銀制成。更進(jìn)一步的，為了使第三電極墊片225和第二電極墊片224與連接管腳11連接的 更加牢靠，本實(shí)施例中的每個第二電極墊片224為雙層結(jié)構(gòu)；每個第三電極墊片225為雙層 結(jié)構(gòu)。具體而言，通過將第二電極墊片224和第三電極墊片225設(shè)置為雙層結(jié)構(gòu)，可以增 強(qiáng)合金絲與第二電極墊片224和第三電極墊片225的連接強(qiáng)度，使合金絲更加牢固的連接 在第二電極墊片224和第三電極墊片225上，從而有利于提高本實(shí)施例片式氣體傳感器中 基板2與基座1的連接強(qiáng)度。基于上述技術(shù)方案，可選的，為了對基板2進(jìn)行保護(hù)，防止外部雜物對基板2造成 損傷，本實(shí)施例片式氣體傳感器還包括管帽3，管帽3的上端部為鏤空結(jié)構(gòu)31，管帽3罩住 基板2并固設(shè)在基座1上。具體而言，本實(shí)施例中的管帽3可以保護(hù)基板2免受外部雜物的碰撞，并且管帽3 的上端部的鏤空結(jié)構(gòu)31能夠方便氣體進(jìn)入管帽3與基座1形成的空間中，使基板2上的敏 感膜212進(jìn)行檢測。另外，本實(shí)施例中基座1可以采用鍍金處理，鍍金層的強(qiáng)度為焊料球剪切試驗(yàn)法 測得剪切強(qiáng)度(> 1300g)；并且鍍金層的厚度可以在0.6-0. 7微米之間。本實(shí)施例中基板 2的厚度可以是0. 25毫米，邊長可以為1毫米；敏感膜212可以是金屬氧化物半導(dǎo)體膜，例 如Sn02、ZnO, In203等，其厚度可以為10微米；加熱膜222可以是Ru02，厚度可以為8_10 微米。本實(shí)施例中的各種電極可以采用印刷的方式印制在基板2上。最后應(yīng)說明的是以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對其限制； 盡管參照前述實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解 其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等 同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的精 神和范圍。
權(quán)利要求一種片式氣體傳感器，其特征在于，包括基座和基板；所述基座上開設(shè)有四個安裝孔，每個所述安裝孔中插設(shè)有連接管腳；所述基板的下表面上依次設(shè)置有兩條測量電極和敏感膜，兩條所述測量電極固設(shè)在所述基板的下表面上，所述敏感膜覆蓋住所述測量電極并固設(shè)在所述基板的下表面；所述基板的上表面上依次設(shè)置有兩條加熱電極、加熱膜和玻璃膜，兩條所述加熱電極固設(shè)在所述基板的上表面上，所述加熱膜覆蓋住所述加熱電極并固設(shè)在所述基板的上表面，所述玻璃膜固設(shè)在所述加熱膜上；兩條所述測量電極分別與兩個所述連接管腳連接，兩條所述加熱電極分別與另外兩個所述連接管腳連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的片式氣體傳感器，其特征在于，所述測量電極包括第一條形 電極和至少一根垂直固設(shè)在所述第一條形電極的第二條形電極；一所述測量電極中的第一 條形電極與另一所述測量電極中的第一條形電極相互平行，并且一所述測量電極中的第二 條形電極與另一所述測量電極中的第二條形電極相互平行。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的片式氣體傳感器，其特征在于，所述加熱電極包括第三條形 電極和至少一根垂直固設(shè)在所述第三條形電極的第四條形電極；一所述加熱電極中的第三 條形電極與另一所述加熱電極中的第三條形電極相互平行，并且一所述加熱電極中的第四 條形電極與另一所述加熱電極中的第四條形電極相互平行。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的片式氣體傳感器，其特征在于，還包括兩個第一電極 墊片和兩個第二電極墊片；所述第一電極墊片與所述測量電極連接，所述第一電極墊片用 于與所述連接管腳連接以使所述測量電極與所述連接管腳連接；所述第二電極墊片與所述 加熱電極連接，所述第二電極墊片用于與所述連接管腳連接以使所述加熱電極與所述連接 管腳連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的片式氣體傳感器，其特征在于，所述基板的一端部開設(shè)有兩 個通孔，兩個所述第一電極墊片分別覆蓋住所述通孔，所述第二電極墊片位于所述基板遠(yuǎn) 離所述通孔的端部上；所述片式氣體傳感器還包括兩個第三電極墊片，位于所述加熱膜與所述基板的上表 面之間并固設(shè)在所述基板的上表面上；兩個所述第三電極墊片分別覆蓋住所述通孔并分別 與所述第一電極墊片連接，并且所述第三電極墊片與所述加熱電極絕緣設(shè)置；所述第三電 極墊片用于與所述連接管腳連接以使所述測量電極與所述連接管腳連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的片式氣體傳感器，其特征在于，每個所述第二電極墊片為雙 層結(jié)構(gòu)；每個所述第三電極墊片為雙層結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的片式氣體傳感器，其特征在于，還包括管帽，所述管帽的上端 部為鏤空結(jié)構(gòu)，所述管帽罩住所述基板并固設(shè)在所述基座上。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種片式氣體傳感器，包括基座和基板；基座上開設(shè)有四個安裝孔，每個安裝孔中插設(shè)有連接管腳；基板的下表面上依次設(shè)置有兩條測量電極和敏感膜，兩條測量電極固設(shè)在基板的下表面上，敏感膜覆蓋住測量電極并固設(shè)在基板的下表面；基板的上表面上依次設(shè)置有兩條加熱電極、加熱膜和玻璃膜，兩條加熱電極固設(shè)在基板的上表面上，加熱膜覆蓋住加熱電極并固設(shè)在基板的上表面，玻璃膜固設(shè)在加熱膜上；兩條測量電極分別與兩個連接管腳連接，兩條加熱電極分別與另外兩個連接管腳連接。通過片式氣體傳感器提高了氣體傳感器的檢測效率，并降低了氣體傳感器功耗。
文檔編號G01N27/18GK201575984SQ20092029919
公開日2010年9月8日 申請日期2009年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月24日
發(fā)明者張小水, 王利利, 祁明鋒, 范子亮, 谷永謙, 鐘克創(chuàng), 高勝國 申請人:鄭州煒盛電子科技有限公司