專利名稱：質(zhì)量流量傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及質(zhì)量流量控制領(lǐng)域，尤其涉及一種熱式質(zhì)量流量傳感器。
背景技術(shù)：
熱式質(zhì)量流量傳感器作為質(zhì)量流量控制器上的最核心部件，其性能的優(yōu)劣將對(duì)氣 體質(zhì)量流量控制器的整體性能產(chǎn)生重大的影響。鑒于熱式質(zhì)量流量傳感器對(duì)質(zhì)量流量控制 器的重要性，氣體質(zhì)量流量控制器性能改進(jìn)必要求優(yōu)先改進(jìn)其傳感器的性能?，F(xiàn)有技術(shù)中 常用的熱式質(zhì)量流量傳感器體積較大，制作工藝復(fù)雜，而且實(shí)際使用過(guò)程中出現(xiàn)諸多的問(wèn) 題如零漂大，抗干擾能力差，對(duì)安裝的方位很敏感，重復(fù)精度差，響應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)和傳感絲易斷 等缺點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種質(zhì)量流量傳感器，該傳感器體積小、重量輕、易安裝，且 零漂小、抗干擾能力強(qiáng)、響應(yīng)快、對(duì)安裝方位不敏感、重復(fù)精度高，可克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案。 本發(fā)明所提供的質(zhì)量流量傳感器，該傳感器包括傳感器底座，其上設(shè)置有用于安
裝其他部件的通孔；前罩、后罩，均固定在所述傳感器底座上，內(nèi)部均設(shè)置有放置傳感管的
槽；傳感管，其通過(guò)支架支撐固定，兩側(cè)對(duì)稱位置繞有傳感絲；接線板，連接在所述支架上。 其中，該傳感器還包括設(shè)置于所述前罩和/或后罩的槽內(nèi)的保溫層。 其中，所述傳感管為倒U型，其兩個(gè)開(kāi)放端穿過(guò)并固定于所述傳感器底座上的通孔。 其中，所述前罩、后罩的底邊均設(shè)置有允許所述傳感管兩開(kāi)放端通過(guò)的凹槽，所述
后罩的底邊還設(shè)置有允許引出線通過(guò)的凹槽。 其中，所述引出線穿過(guò)所述傳感器底座的通孔。 其中，所述前罩、后罩通過(guò)緊固螺釘合并固定。 其中，所述前罩、后罩均為長(zhǎng)方形罩。 其中，所述前罩、后罩內(nèi)部的槽均為長(zhǎng)方形槽。 其中，所述傳感絲共有四組。 其中，所述接線板設(shè)置有與四組傳感絲的八個(gè)接線頭分別相連的接線端子，以及 與三條引出線分別相連的接線端子。 本發(fā)明的質(zhì)量流量傳感器體積小、重量輕、易安裝，且具有零漂小、抗干擾能力強(qiáng)、 響應(yīng)快、對(duì)安裝方位不敏感、重復(fù)精度高及傳感絲不易斷的優(yōu)點(diǎn)，制作工藝簡(jiǎn)單、成本低。


圖1為依照本發(fā)明一種實(shí)施方式的質(zhì)量流量傳感器剖視圖；
圖2為依照本發(fā)明一種實(shí)施方式的質(zhì)量流量傳感器側(cè)視 圖3為依照本發(fā)明一種實(shí)施方式的質(zhì)量流量傳感器后視圖； 圖4為依照本發(fā)明一種實(shí)施方式的質(zhì)量流量傳感器的前罩結(jié)構(gòu)示意圖 圖5為依照本發(fā)明一種實(shí)施方式的質(zhì)量流量傳感器的后罩結(jié)構(gòu)示意圖 圖6為依照本發(fā)明一種實(shí)施方式的質(zhì)量流量傳感器的支架結(jié)構(gòu)示意圖 圖7為依照本發(fā)明一種實(shí)施方式的熱式質(zhì)量流量傳感器的接線板結(jié)構(gòu)示意圖,
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明提出的熱式質(zhì)量流量傳感器，結(jié)合附圖和實(shí)施例說(shuō)明如下。
如圖l-3所示，依照本發(fā)明一種實(shí)施方式的質(zhì)量流量傳感器，包括傳感器底座1， 其上設(shè)置有用于固定其他部件的通孔；前罩2、后罩3，均為固定在傳感器底座1上的長(zhǎng)方形 或其他形狀的罩，其內(nèi)均設(shè)置有長(zhǎng)方槽(參見(jiàn)圖4、5)用于放置傳感管4，長(zhǎng)方槽的設(shè)置能夠 有效地減小傳感管4可移動(dòng)的分布空間，大大提高其相應(yīng)速度，前罩2、后罩3底邊都設(shè)置有 允許傳感管4兩開(kāi)放端通過(guò)的凹槽，后罩3底邊還設(shè)置有允許引出線9通過(guò)的三個(gè)凹槽(參 見(jiàn)圖5);傳感管4，為倒U型(參見(jiàn)圖1)，其上端及兩側(cè)通過(guò)粘接的支架6支撐固定，兩側(cè) 對(duì)稱位置繞有多組(例如四組)傳感絲5，兩開(kāi)放端穿過(guò)并固定(例如用膠11粘固)于傳 感器底座1上的通孔，傳感絲5的設(shè)置能夠使熱量在前罩2、后罩3所形成的腔體內(nèi)均勻分 布，從而使傳感器具有對(duì)安裝的方位不敏感的優(yōu)點(diǎn)；支架6，其為倒T型銅支架(參見(jiàn)圖6)， 用于保證傳感管4的穩(wěn)定，保護(hù)傳感絲5不易損壞，其水平支架部分使傳感管4兩側(cè)保持平 行且穩(wěn)固，豎直支架部分粘接有接線板7，接線板7為超薄型電路板，以減小工作空間，提高 傳感器的響應(yīng)速度。接線板7可設(shè)置有11個(gè)接線端子(參見(jiàn)圖6)，包括設(shè)置于四組傳感絲 5的八個(gè)接線頭對(duì)應(yīng)位置處、且與該八個(gè)接線頭相連的八個(gè)接線端子，以及底端與三條連接 引出線9相連的接線端子，三條引出線9也穿過(guò)傳感器底座1的相應(yīng)通孔。
前罩2和/或后罩3的長(zhǎng)方槽內(nèi)還設(shè)置有保溫層8，保溫層8采用保溫材料，以防 止內(nèi)外熱交引起的傳感器內(nèi)部熱量分布不平衡，抑制零點(diǎn)漂移，同時(shí)，保護(hù)傳感絲5在收到 振動(dòng)時(shí)不至斷裂。前罩2、后罩3的四角均設(shè)有螺紋通孔，上述各部件分別設(shè)定后，通過(guò)緊固 螺釘10將前罩2、后罩3 二者合并固定。當(dāng)然，前罩2、后罩3也可以采用鉚接等其他相互 固定的方式。 以上實(shí)施方式僅用于說(shuō)明本發(fā)明，而并非對(duì)本發(fā)明的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通 技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有 等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求
一種質(zhì)量流量傳感器，該傳感器包括傳感器底座(1)，其上設(shè)置有用于安裝其他部件的通孔；前罩(2)、后罩(3)，均固定在所述傳感器底座(1)上，內(nèi)部均設(shè)置有放置傳感管(4)的槽；傳感管(4)，其通過(guò)支架(6)支撐固定，兩側(cè)對(duì)稱位置繞有傳感絲(5)；接線板(7)，連接在所述支架(6)上。
2. 如權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量傳感器，其特征在于，該傳感器還包括設(shè)置于所述前 罩(2)和/或后罩(3)的槽內(nèi)的保溫層(8)。
3. 如權(quán)利要求l所述的質(zhì)量流量傳感器，其特征在于，所述傳感管(4)為倒U型，其兩 個(gè)開(kāi)放端穿過(guò)并固定于所述傳感器底座(1)上的通孔。
4. 如權(quán)利要求l所述的質(zhì)量流量傳感器，其特征在于，所述前罩(2)、后罩(3)的底邊 均設(shè)置有允許所述傳感管(4)兩開(kāi)放端通過(guò)的凹槽，所述后罩(3)的底邊還設(shè)置有允許引 出線(9)通過(guò)的凹槽。
5. 如權(quán)利要求4所述的質(zhì)量流量傳感器，其特征在于，所述引出線(9)穿過(guò)所述傳感器 底座(1)的通孔。
6. 如權(quán)利要求l-5任一項(xiàng)所述的質(zhì)量流量傳感器，其特征在于，所述前罩(2)、后罩(3) 通過(guò)緊固螺釘(10)合并固定。
7. 如權(quán)利要求l-5任一項(xiàng)所述的質(zhì)量流量傳感器，其特征在于，所述前罩(2)、后罩(3) 均為長(zhǎng)方形罩。
8. 如權(quán)利要求7所述的質(zhì)量流量傳感器，其特征在于，所述前罩(2)、后罩(3)內(nèi)部的 槽均為長(zhǎng)方形槽。
9. 如權(quán)利要求l-5任一項(xiàng)所述的質(zhì)量流量傳感器，其特征在于，所述傳感絲(5)共有四組。
10. 如權(quán)利要求9所述的質(zhì)量流量傳感器，其特征在于，所述接線板(7)設(shè)置有與四組 傳感絲(5)的八個(gè)接線頭分別相連的接線端子，以及與三條引出線(9)分別相連的接線端 子。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種質(zhì)量流量傳感器，該傳感器包括傳感器底座(1)，其上設(shè)置有用于安裝其他部件的通孔；前罩(2)、后罩(3)，均固定在所述傳感器底座(1)上，內(nèi)部均設(shè)置有放置傳感管(4)的槽；傳感管(4)，其通過(guò)支架(6)支撐固定，兩側(cè)對(duì)稱位置繞有傳感絲(5)；接線板(7)，連接在所述支架(6)上。本發(fā)明的傳感器體積小、重量輕、易安裝，且零漂小、抗干擾能力強(qiáng)、響應(yīng)快、對(duì)安裝方位不敏感、重復(fù)精度高，可克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。
文檔編號(hào)G01F1/76GK101699228SQ20091023844
公開(kāi)日2010年4月28日 申請(qǐng)日期2009年11月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月20日
發(fā)明者王茂林, 蘇乾益 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司