專利名稱：光譜自校正光度計(jì)及其測量方法
光譜自校正光度計(jì)及其測量方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測量光度、輻射度或/和色度量的儀器，尤其涉及一種光譜自校
正光度計(jì)。背景技術(shù)：
光(輻射)度量包括光(輻射)通量、(輻射)照度、(輻射)光強(qiáng)、(輻射)亮
度等，以及色度量，是評價(jià)光源、照明現(xiàn)場等十分重要的量值。其中光度量考慮了人眼對光
輻射的響應(yīng)，是光譜輻射功率與V(A)函數(shù)的加權(quán)積分值，V(A)函數(shù)是國際照明委員會(CIE)標(biāo)準(zhǔn)光譜視效率函數(shù)。光度量中的光強(qiáng)單位"坎德拉"是七個(gè)國際基本單位之一。輻射度量是光譜輻射功率直接積分或與其它相應(yīng)函數(shù)加權(quán)積分的量值，而色度量是通過相對光譜輻射功率與CIE色度三剌激值函數(shù)加權(quán)積分計(jì)算的。光度量、輻射度量以及色度量的測量方法基本類似，下文以光度量測量加以說明。 光度計(jì)是測量光度量的最常用和最基本的儀器，在光度計(jì)的光電傳感器件前安置濾光片使光度計(jì)的光譜靈敏度曲線與V(A)函數(shù)曲線相匹配，從而使光電傳感器件在接收待測光時(shí)所產(chǎn)生的電信號與待測光的光度量成正比，這種光度測量方法也可稱作"積分法"。光度計(jì)的V(A)匹配程度是影響積分法測量精度的最關(guān)鍵因素之一，CIE用f/來表示光度計(jì)的失匹配程度。然而V(A)匹配對工藝的要求極高，實(shí)施成本較大，目前僅有3家德國公司能提供高精度的光度探計(jì)(CIE Class L，f/ < 1.5%)。而且在光度計(jì)的實(shí)際測量中，光度計(jì)的測量精度對被測光的光譜具有較強(qiáng)的依賴性，若被測光源與定標(biāo)光源的光譜相差較大，則即便是高精度光度探計(jì)，由光譜失匹配帶來的誤差也可能會有10%以上。
除了光度計(jì)之外，也可以使用光譜儀通過"分光法"來測量光度量。由光譜儀測得待測光的絕對光譜功率分布，與V(A)函數(shù)加權(quán)后得到相應(yīng)的光度量。分光法不存在V(入)失匹配問題，但該方法的缺點(diǎn)在于造價(jià)高、量值傳遞鏈長且光譜儀的光電傳感器件的線性動(dòng)態(tài)范圍一般較窄，存在非線性問題，此外光電傳感器件的穩(wěn)定度以及光譜儀內(nèi)部的雜散光等因素也會影響其測量精度。 利用光譜儀測量待測光的相對光譜功率分布、并利用已知的光度計(jì)的相對光譜靈敏度計(jì)算光譜校正值，并用該校正值校正光度計(jì)的測量值是比較好的光度方法。然而，該方法一般通過標(biāo)準(zhǔn)燈分別定標(biāo)光譜儀和光度計(jì)，量值傳遞鏈較長，每次量值傳遞中都不可避免地存在各種不確定因素，因此影響最終測量結(jié)果的不確定因素很多，導(dǎo)致最終的測量精度不夠高。 同時(shí)，現(xiàn)有的實(shí)現(xiàn)光譜校正的光度測量裝置還存在以下問題 在多數(shù)情況下，光度計(jì)和光譜儀往往采用不同的光學(xué)幾何裝置定標(biāo)和測量，如使用光強(qiáng)測量儀測量光源光強(qiáng)，而使用積分球系統(tǒng)測量光源的相對光譜功率分布，該測量方法不適用于光譜功率分布會因時(shí)間或空間角度的不同而發(fā)生變化的被測光源；測量其它一般光源時(shí)也因?yàn)闇y量幾何的不同而存在較大的隨機(jī)誤差和系統(tǒng)誤差；并且測量耗時(shí)、操作很不方便；
遠(yuǎn)方公司發(fā)明的分光-積分相結(jié)合的光譜儀配備有參考光度探頭，光度探頭和光 譜儀取樣端(一般為光纖)在同一個(gè)測量幾何裝置的兩個(gè)光信號采集窗口同時(shí)采樣，這雖 然能部分降低上述測量誤差，但一方面兩個(gè)信號采集窗口會增加系統(tǒng)誤差因素，如雜散光， 采樣對準(zhǔn)，積分球系統(tǒng)中多窗口對光學(xué)幾何的影響等；另一方面該方法不適用于空間各方 向光譜不同的光源(如LED、顯示屏等)；事實(shí)上在很多情況下，無法在測量幾何裝置開設(shè)兩 個(gè)采樣窗口，因此也就無法在同一個(gè)幾何裝置上測量。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有光輻射度量測量中的上述缺陷，本發(fā)明旨在提供一種光譜自校正光 度計(jì)及其測量方法，能夠大幅度減小光輻射測量中的量值傳遞誤差、對被測光源的光譜依 賴性以及線性誤差等其它各類系統(tǒng)誤差和隨機(jī)誤差，且克服了由被測光源的空間光譜功率 分布不均勻和發(fā)光隨時(shí)間變化等帶來的問題，具有很高的測量精度，且操作方便，易于實(shí) 現(xiàn)，可應(yīng)用于各種光度系統(tǒng)中。
本發(fā)明的上述技術(shù)問題主要是通過下述技術(shù)方案得以解決的，即光譜自校正光 度計(jì)，其特征在于包括入光口、光學(xué)分光鏡、光譜儀、硅光電池和信號處理與輸出單元；
光學(xué)分光鏡位于入光口后，被測光束經(jīng)入光口入射到光學(xué)分光鏡，光譜儀的取樣 部件和硅光電池分別位于光學(xué)分光鏡的兩個(gè)出射光束光路中； 硅光電池的感光面前設(shè)置有濾色片，濾色片使硅光電池對入射入光口的被測光束 響應(yīng)的相對光譜靈敏度曲線與特定的光譜效能函數(shù)相匹配； 處理光譜儀和硅光電池的測量信號并輸出測量結(jié)果的信號處理與輸出單元電連 接光譜儀和硅光電池。 利用該光譜自校正光度計(jì)可實(shí)現(xiàn)絕對光輻射度量的測量，其步驟如下
a.經(jīng)絕對輻射計(jì)定標(biāo)后的硅光電池與光譜儀同時(shí)測量入射入光口的被測光束，得 J光源的相對光譜功率分布和硅光電池的響應(yīng)光電流，并將結(jié)果輸入信號處理與輸出
到待測 單元；
b.信號處理與輸出單元根據(jù)步驟a的結(jié)果按下式計(jì)算出被測光束的光輻射度 G「M./ f魯A，(" 式中，I為硅光電池對被測光束的響應(yīng)光電流，A )為光譜儀測得的被測光的 相對光譜功率分布，X( A )為特定光譜效能函數(shù)，也即硅光電池對被測光束響應(yīng)的相對光譜 靈敏度需與之相匹配的光譜函數(shù)，M為光譜效能函數(shù)的單位轉(zhuǎn)換系數(shù)，M*X(A)為特定絕對 光譜效能函數(shù)，、 A2是相應(yīng)光輻射度量對應(yīng)的波長范圍；SMl(A)為硅光電池對被測 光束響應(yīng)的相對光譜靈敏度，Kd為硅光電池對被測光束響應(yīng)的絕對光譜靈敏度的最大值。
f尸/(;i).x(，;i 在式(1)中，"^-實(shí)際上是對硅光電池所測的結(jié)果的修正，相當(dāng)于
硅光電池利用光譜儀的測量值，實(shí)現(xiàn)對被測光束的自定標(biāo)大幅降低了由SMl(A)與x(入) 的是匹配帶來的誤差。在本發(fā)明的光譜自校正光度計(jì)中，硅光電池和光譜儀同時(shí)測量同一
4束待測光，硅光電池的濾色片光譜修正和光譜儀的測量精度本身都不需要很高，但二者相 結(jié)合后的光輻射度精度卻能很高，對被測光源的光譜依賴性很小。 與多測量幾何、多光信號采樣窗口的測量方案相比，由光源不穩(wěn)定、光源空間光譜 不均勻、儀器狀態(tài)不穩(wěn)定、儀器對準(zhǔn)等帶來的系統(tǒng)誤差和隨機(jī)誤差大大減小，測量重復(fù)性 高，且測量方便省時(shí)，單個(gè)光信號采集窗口的設(shè)計(jì)使光譜自校正光度計(jì)幾乎適用于任何光 度系統(tǒng)。 而且在使用本發(fā)明的光譜自校正光度計(jì)測量時(shí)，只需定標(biāo)硅光電池對被測光束響 應(yīng)的絕對光譜靈敏度和光譜儀的相對光譜響應(yīng)，絕對量值的傳遞無需使用標(biāo)準(zhǔn)燈，而可直 接溯源至國家實(shí)驗(yàn)室的絕對輻射計(jì)，量值傳遞鏈較短，避免了長量值傳遞鏈中的諸多不確 定因素。 上述的分布光度計(jì)可以通過下一方案進(jìn)一步限定和完善 上述的硅光電池前的濾色片使硅光電池對入射入光口的被測光束響應(yīng)的相對光 譜靈敏度與V( A )曲線相匹配，即從入光口經(jīng)過光學(xué)分光鏡、濾色片等光學(xué)元件后，各元件 對入射光光譜成分變化的貢獻(xiàn)與硅光電池光譜靈敏度的乘積經(jīng)歸一化后與V(A)函數(shù)相 匹配，此時(shí)光譜自校正光度計(jì)測量的是光度量。 上述的硅光電池前的濾色片使硅光電池對入射入光口的被測光束響應(yīng)的相對光
譜靈敏度與平坦的直線相匹配，此時(shí)光譜自校正光度計(jì)測量的是寬帶輻射度量。 上述的硅光電池前的濾色片也使硅光電池對入射入光口的被測光束響應(yīng)的與CIE
色度光譜三剌激值曲線相匹配的濾色片，在光譜自校正光度計(jì)中共有三塊或四塊帶濾色片
的硅光電池，分別測量各個(gè)剌激值，光譜自校正光度計(jì)測量的是色度量。 上述的硅光電池對被測光束響應(yīng)的光譜靈敏度也可與其它光譜函數(shù)相匹配，測量 指定輻射度量，本處不再一一贅述。 上述的光學(xué)分光鏡是立方半透半反鏡，即光學(xué)分光鏡由兩塊直角棱鏡組成、其中
一塊的斜面上鍍半透半反膜。在該方案中，光學(xué)分光鏡的光束入射面對準(zhǔn)入光口 ，光學(xué)分光
鏡具有兩個(gè)光束出射面，分別為透射出射面和反射出射面。 上述的光信號采集裝置的入光口前端設(shè)置有光學(xué)漫反射器。 上述光譜儀的取樣部件和光學(xué)分光鏡之間設(shè)置有光學(xué)漫反射器。 上述的光譜儀是具有多通道陣列探測器的光譜儀。該類光譜儀一般具有毫秒級的
測量速度，一方面能進(jìn)一步提高本發(fā)明的光譜自校正光度計(jì)的測量速度；另一方面瞬態(tài)測
量更能適應(yīng)發(fā)光隨時(shí)間變化的被測光源。 在光學(xué)分光鏡是立方形的半透半反鏡方案中，反射出射面對面的一個(gè)面也可以作 為光束入射面，稱為備用光束入射面，從備用光束入射面入射到光學(xué)分光鏡的光束也按固 定比例地被分成兩束，從透射出射面和反射出射面后射出。因此在備用光束入射面前設(shè)置 備用入光口 ，備用入光口是可遮蔽的，在不使用時(shí)處于遮蔽狀態(tài)。備用光束入光口可用于校 準(zhǔn)光信號采集裝置，使標(biāo)準(zhǔn)燈的光束從備用光束入光口進(jìn)入光學(xué)分光鏡后分別被光譜儀和 硅光電池接收和測量。標(biāo)準(zhǔn)燈可固定設(shè)置在備用入光口前，位于光學(xué)分光鏡中心和備用入 光口中心的延長線上。 上述入光口可視作限制光闌。例如在使用本發(fā)明的光譜自校正光度計(jì)測量LED的 平均光強(qiáng)時(shí)，入光口的口徑面積為lcm2。
在上述光譜自校正光度計(jì)的測量方法中，可采用標(biāo)準(zhǔn)光源對光譜自校正光度計(jì)定 標(biāo)，也可采用絕對光譜響應(yīng)量值的絕對輻射計(jì)作為標(biāo)準(zhǔn)源利用替代法定標(biāo)使用光譜自校正 光度計(jì)的絕對值在相同的條件下，具有絕對輻射計(jì)和光譜自校正光度計(jì)先后測量同一束 單色光，硅光電池對單色光的響應(yīng)光電流與絕對輻射計(jì)測得的單色光的功率相比，以一定 的波長間隔測量所需光譜范圍內(nèi)的各個(gè)單色光，得到硅光電池對被測光響應(yīng)的絕對光譜靈 敏度。 絕對輻射計(jì)可以為國家計(jì)量實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)量值基準(zhǔn)的輻射計(jì)或者直接溯源于該基 準(zhǔn)，經(jīng)過這樣的定標(biāo)方法，整個(gè)光譜自校正光度計(jì)的量值傳遞過程很短，距國家最基準(zhǔn)量值 僅兩步。而如使用標(biāo)準(zhǔn)燈定標(biāo)，由于標(biāo)準(zhǔn)燈量值就是由基準(zhǔn)輻射計(jì)經(jīng)眾多傳遞過程而得到 的，在量值傳遞過程中的誤差因素不可避免，因此最后總的測量精度也會受到很大的影響。
在上述光譜自校正光度計(jì)的測量方法中，濾色片使硅光電池對進(jìn)入光學(xué)分光鏡前 的入射光的光譜靈敏度與V(A)曲線相匹配，式(1)中的X(A)為V(A)， M為683， A工為 380nm， A 2為780nm。 根據(jù)以上所述，本發(fā)明具有光學(xué)分光鏡使帶濾色片的硅光電池和光譜儀同時(shí)測量 同一束待測光，硅光電池的光譜修正和光譜儀本身的精度都無需很高，就可大幅減小由光 譜失匹配帶來的誤差，且單個(gè)光信號采集窗口使整個(gè)測量的系統(tǒng)誤差和隨機(jī)誤差都較小， 操作方便省時(shí)，重復(fù)性高，幾乎可與任何光度系統(tǒng)相配合使用；同時(shí)光譜自校正光度計(jì)可直 接溯源于絕對光譜輻射計(jì)，無需標(biāo)準(zhǔn)燈就能實(shí)現(xiàn)光輻射度量的絕對測量，大大減小了量值 傳遞中的誤差。


附圖1是本發(fā)明的光譜自校正光度計(jì)的一個(gè)實(shí)施例的示意圖；
附圖2是本發(fā)明的光譜自校正光度計(jì)的另一個(gè)實(shí)施例的示意圖；
附圖3是本發(fā)明的光譜自校正光度計(jì)定標(biāo)的示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖的實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步具體說明 如圖1所示的光譜自校正光度計(jì)的示意圖，包括入光口7、光學(xué)分光鏡1、光譜儀2、 硅光電池3和信號處理與輸出單元4。光學(xué)分光鏡1位于入光口 7后，被測光束經(jīng)入光口 7 后入射到光學(xué)分光鏡1，光譜儀2的取樣部件6和硅光電池3分別位于光學(xué)分光鏡1的兩個(gè) 出射光束光路中。硅光電池3前設(shè)置有濾色片5，使硅光電池3對的入射入光口的被測光束 的響應(yīng)的光譜靈敏度與特定曲線相匹配，取樣部件6到光學(xué)分光鏡1之間設(shè)置還有漫射器 8。信號處理與輸出單元4用于處理光譜儀2和硅光電池3的測量信號并輸出測量結(jié)果，它 與光譜儀2和硅光電池3電連接。 光學(xué)分光鏡1為半透半反鏡，被測光束從入光口 7進(jìn)入光學(xué)分光鏡l，被測光束的 光軸與光學(xué)分光鏡1的反射面成45。夾角。被測光束被光學(xué)分光鏡l按固定比例分成兩 束，光譜儀2的取樣部件6設(shè)置在反射光束光路中；硅光電池3的感光面設(shè)置在透射光束 光路中，硅光電池3前的濾色片5使硅光電池3對入射入光口的光束的相對光譜響應(yīng)度與 V(入)函數(shù)相匹配，并且硅光電池3與其電子單元9相連。
在圖2中的所示的實(shí)施例中，在入光口前安裝漫射器10，同時(shí)光學(xué)分光鏡1為立方 半透半反鏡，即光學(xué)分光鏡由兩塊直角棱鏡組成、其中一塊的斜面上鍍半透半反膜。光學(xué)分 光鏡1的光束入射面對準(zhǔn)入光口 7，光學(xué)分光鏡1具有兩個(gè)光束出射面，分別為透射出射面 和反射出射面。硅光電池3的感光面設(shè)置在透射出射面后，硅光電池3前的濾色片5使硅 光電池3對入射入光口的光束的相對光譜響應(yīng)度與V( A )函數(shù)相匹配，并且硅光電池3與 其電子單元9相連。而在反射出射面后設(shè)置作為漫射器8的積分球，積分球收集的光束經(jīng) 光纖6輸入到光譜輻射計(jì)2，進(jìn)行被測光的光譜測量。光譜輻射計(jì)2和硅光電池3的電子單 元9與信號處理與輸出單元4連接。同時(shí)在光學(xué)分光鏡1的反射出射面后具有備用光束入 射面，在備用光束入射面前設(shè)置可遮蔽的備用入光口 20，在光學(xué)分光鏡1與備用入光口 20 的延長線上設(shè)置標(biāo)準(zhǔn)燈21，用于校準(zhǔn)反射光束和透射光束的比例。 光譜自校正光度計(jì)按圖3所示的替代法定標(biāo)，一具有全光譜的光源11與雙單色儀 12相結(jié)合產(chǎn)生單色光，該單色光先后被光譜自校正光度計(jì)13和絕對輻射計(jì)14所接收，絕對 輻射計(jì)14的絕對光譜靈敏度是已知的，同時(shí)有參考通道15的探測器監(jiān)視單色光的穩(wěn)定度。 光譜自校正光度計(jì)13中的硅光電池3對單色光響應(yīng)的光電流與絕對輻射計(jì)14所測單色光 的功率相比，經(jīng)過雙單色儀12在全光譜范圍內(nèi)的掃描，得到硅光電池對被測光的絕對光譜 靈敏度，光譜自校正光度計(jì)13中的光譜儀2使用常規(guī)的標(biāo)準(zhǔn)燈定標(biāo)其相對光譜。
光譜自校正光度計(jì)定標(biāo)后，可直接測量被測光源的光度量。被測光束進(jìn)入入光口 7 后，光譜儀2測量被測光束的相對光譜功率分布，同時(shí)測得硅光電池3對被測光束的響應(yīng)。 光譜儀2和硅光電池3的電子單元9將測量結(jié)果輸入到信號處理與輸出單元4，在信號處理 與輸出單元4中通過下式計(jì)算得到本次測量的光度量
683./ G: 其中，I為硅光電池對被測光束的響應(yīng)光電流，A )為光譜儀測得的被測光的 相對光譜功率分布，Srel ( A )為硅光電池對被測光束響應(yīng)的相對光譜靈敏度，Kd為硅光電池 對被測光束響應(yīng)的絕對光譜靈敏度的最大值。
權(quán)利要求
光譜自校正光度計(jì)，其特征在于包括入光口(7)、光學(xué)分光鏡(1)、光譜儀(2)、硅光電池(3)和信號處理與輸出單元(4)；光學(xué)分光鏡(1)位于入光口(7)后，被測光束經(jīng)入光口(7)入射到光學(xué)分光鏡(1)，光譜儀(2)的取樣部件(6)和硅光電池(3)分別位于光學(xué)分光鏡(1)的兩個(gè)出射光束光路中；硅光電池(3)的感光面前設(shè)置有使硅光電池(3)對入射入光口(7)的被測光束產(chǎn)生響應(yīng)的相對光譜靈敏度曲線與特定光譜效能函數(shù)相匹配的濾色片(5)；處理光譜儀(2)和硅光電池(3)的測量信號并輸出測量結(jié)果的信號處理與輸出單元(4)電連接光譜儀(2)和硅光電池(3)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的光譜自校正光度計(jì)，其特征在于所述的濾色片(5)是使硅光 電池(3)對被測光束響應(yīng)的相對光譜靈敏度曲線與V(A)曲線或平坦的直線或CIE色度光 譜三剌激值函數(shù)相匹配的濾色片(5)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光譜自校正光度計(jì)，其特征在于所述的光學(xué)分光鏡(1) 是由兩塊直角棱鏡組成且兩棱鏡相粘接的面上鍍半透半反膜的立方半透半反鏡。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光譜自校正光度計(jì)，其特征在于入光口 (7)前設(shè)置有漫 射器(10)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光譜自校正光度計(jì)，其特征在于所述的光學(xué)分光鏡(1) 與光譜儀(2)的取樣部件(6)之間設(shè)置有漫射器(8)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光譜自校正光度計(jì)，其特征在于所述的光譜儀(2)是具 有多通道陣列探測器的光譜儀。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的光譜自校正光度計(jì)，其特征在于光學(xué)分光鏡(1)的反射出射 面對面具有備用光束入射面，在備用光束入射面前設(shè)置可遮蔽的備用入光口 (20)，在光學(xué) 分光鏡(1)中心到備用入光口中心的延長線上設(shè)置有標(biāo)準(zhǔn)燈(21)。
8. —種光譜自校正光度計(jì)的測量方法，其特征在于包括以下步驟a. 光譜儀(2)和對被測光束絕對靈敏度已知的硅光電池(3)同時(shí)測量入射入光口 (7) 的被測光束，得到硅光電池(3)的響應(yīng)光電流和待測光源的相對光譜功率分布，并將結(jié)果 輸入信號處理與輸出單元(4);b. 信號處理與輸出單元(4)根據(jù)步驟a的結(jié)果按下式計(jì)算出被測光束的光輻射度式中，I為硅光電池(3)對被測光束的響應(yīng)光電流，ptT(入)為光譜儀(2)測得的被測光 的相對光譜功率分布，X(A)為特定光譜效能函數(shù)，即硅光電池(3)對被測光束響應(yīng)的光譜 靈敏度需與之相匹配的光譜效能函數(shù)，M為光譜效能函數(shù)的單位轉(zhuǎn)換系數(shù)，M*X( A )為特定 絕對光譜效能函數(shù)，、 、是相應(yīng)光輻射度量對應(yīng)的波長范圍；S^(A)為硅光電池(3) 對被測光束響應(yīng)的歸一化相對光譜靈敏度，Kd為硅光電池(3)對被測光束響應(yīng)的絕對光譜 靈敏度的最大值。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光譜自校正光度計(jì)的測量方法，其特征在于在測量被測光束 的光度量時(shí)，所述的X(A)為V(A)，M為683，、為380nm， A 2為780nm。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種光譜自校正光度計(jì)及其測量方法，包括入光口、光學(xué)分光鏡、光譜儀和具有濾色片的硅光電池，光學(xué)分光鏡將被測光按固定比例至少分成兩束，一部分光束被光譜儀接收，另一部分光束被硅光電池接收，二者同時(shí)測得同一束被測光。本發(fā)明的光譜自校正光度計(jì)能大幅減小由光譜失匹配帶來的誤差，對被測光的光譜依賴性小，且克服了由被測光源的空間光譜功率分布不一致和發(fā)光隨時(shí)間變化等帶來的問題，測量的系統(tǒng)誤差和隨機(jī)誤差都相對較小，測量重復(fù)性高；利用絕對光譜輻射計(jì)作為標(biāo)準(zhǔn)源定標(biāo)本發(fā)明的光譜自校正光度計(jì)，光輻射度的絕對量值傳遞鏈很短，光譜自校正光度計(jì)具有較高精度和可靠性的絕對量值，可應(yīng)用于各種光輻射測量系統(tǒng)，測量多種重要的光輻射參數(shù)。
文檔編號G01J1/10GK101782428SQ200910095709
公開日2010年7月21日 申請日期2009年1月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月16日
發(fā)明者李倩, 潘建根 申請人:杭州遠(yuǎn)方光電信息有限公司