專利名稱：射頻發(fā)生器測試方法及設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域及電磁領(lǐng)域，尤其涉及射頻發(fā)生器測試方法及設(shè)備。
背景技術(shù)：
射頻發(fā)生器在半導(dǎo)體制造業(yè)等行業(yè)應(yīng)用廣泛，用于生成一定頻率和功率的電磁 波。射頻發(fā)生器能否正常工作通常是判斷其能否生成規(guī)定頻率和功率的電磁波，如果其生 成的電磁波的頻率及功率是預(yù)期的，則該射頻發(fā)生器能夠正常工作，否則其不能夠正常工 作。通常來講，射頻發(fā)生器生成的電磁波的頻率是預(yù)期的頻率，但是電磁波的功率可 能不是預(yù)期的功率，這也是射頻發(fā)生器故障的主要表現(xiàn)。如果射頻發(fā)生器生成的電磁波的功率不是預(yù)期功率，則在使用該電磁波時，就可 能給應(yīng)用者帶來各類損失，因此就需要在該射頻發(fā)生器離線狀況即未開始工作時對其進(jìn)行 檢測。但目前業(yè)界缺乏能夠在離線狀況下檢測射頻發(fā)生器的檢測方案。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供射頻發(fā)生器測試方法及設(shè)備，以在離線條件下實(shí)現(xiàn)對射頻發(fā)生器的檢 測，避免了使用有故障的射頻發(fā)生器而可能對使用者帶來各類損失。本發(fā)明提出了射頻發(fā)生器測試方法，該方法包括將射頻發(fā)生器與負(fù)載連接；向 連接有所述負(fù)載的射頻發(fā)生器輸入直流電壓信號；獲得該射頻發(fā)生器基于所述直流電壓信 號生成的電磁波的功率；比較獲得的所述功率與預(yù)期功率是否相等，并在不相等時，確定該 射頻發(fā)生器有故障，所述預(yù)期功率為無故障的射頻發(fā)生器基于該直流電壓信號生成的電磁 波的功率。本發(fā)明還提出了射頻發(fā)生器測試設(shè)備，該設(shè)備包括信號輸入單元，用于向連接有 負(fù)載的射頻發(fā)生器輸入直流電壓信號。本發(fā)明通過向射頻發(fā)生器輸入直流電壓信號，再獲得由射頻發(fā)生器生成的電磁波 的功率是否是預(yù)期功率，并在不是的情況下，測試出該射頻發(fā)生器有故障，從而實(shí)現(xiàn)了對射 頻發(fā)生器的測試，且該測試方案是在射頻發(fā)生器離線工作狀況下實(shí)現(xiàn)的，能夠避免使用有 故障的射頻發(fā)生器而可能對使用者帶來各類損失。


圖1為本發(fā)明實(shí)施例提出的射頻發(fā)生器測試方法流程圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提出的射頻發(fā)生器測試設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式圖1為本發(fā)明實(shí)施例提出的射頻發(fā)生器測試方法流程圖，結(jié)合該圖，本發(fā)明實(shí)施例提出的該方法包括步驟步驟1，將射頻發(fā)生器與負(fù)載連接；所述負(fù)載的電阻值與射頻發(fā)生器的種類有關(guān)， 選擇負(fù)載時，其電阻值通常需滿足能夠使射頻發(fā)生器生成的電磁波功率最大的條件。對于 大多數(shù)射頻發(fā)生器，所述負(fù)載的電阻值為50歐姆。步驟2，向連接有所述負(fù)載的射頻發(fā)生器輸入直流電壓信號；由于射頻發(fā)生器通常有能夠輸出直流電壓的端口，因此在向射頻發(fā)生器輸入直流 電壓信號以產(chǎn)生電磁波時，可以從該輸出端口接收射頻發(fā)生器輸出的原始直流電壓信號， 然后對其處理后得到新的直流電壓信號，并輸回射頻發(fā)生器以產(chǎn)生電磁波，這樣就無需使 用其它電源來產(chǎn)生所述直流電壓信號，可以節(jié)省測試成本，且便于使用，其中原始直流電壓 信號得到新的直流電壓信號可以通過多種常見的電壓轉(zhuǎn)換技術(shù)實(shí)現(xiàn)。此外直流電壓信號也 可以來自其它電源，在射頻發(fā)生器無法輸出原始直流電壓信號時也能夠?qū)崿F(xiàn)射頻發(fā)生器的 測試。步驟3，獲得該射頻發(fā)生器基于所述直流電壓信號生成的電磁波的功率；獲得所述功率的方式有多種，如果射頻發(fā)生器有功率顯示功能，則可以直接從射 頻發(fā)生器上讀取所述功率，此外還可以由射頻發(fā)生器反饋電壓信號，然后根據(jù)該電壓信號 的電壓值及電壓值與功率的對應(yīng)關(guān)系來獲得所述功率。步驟4，比較獲得的所述功率與預(yù)期功率是否相等，并在不相等時，確定該射頻發(fā) 生器有故障；其中所述預(yù)期功率為無故障的射頻發(fā)生器基于該直流電壓信號應(yīng)當(dāng)生成的電 磁波的功率。由于射頻發(fā)生器通常在不同直流電壓作用下，可以激發(fā)出多個不同功率的電磁 波，因此為測試射頻發(fā)生器在各個不同電壓的直流電壓信號作用下能否激發(fā)出相應(yīng)功率的 電磁波，上述方案還可以包括選擇向連接有所述負(fù)載的射頻發(fā)生器輸入的直流電壓信號的 電壓值的步驟。這樣對于需要測量的電壓值，可以直接選擇至該電壓檔，然后進(jìn)行上述操 作，判斷該射頻發(fā)生器能否輸出該電壓值對應(yīng)的電磁波。此外在各個電壓值下，射頻發(fā)生器激發(fā)的電磁波的功率與電壓值通常呈線性等對 應(yīng)關(guān)系，因此本發(fā)明實(shí)施例提出在測試射頻發(fā)生器時，可選的，可以向所述射頻發(fā)生器先后 輸入多個直流電壓信號，并對應(yīng)獲得多個功率值；然后獲得所述多個直流電壓信號及對應(yīng) 的多個功率的對應(yīng)關(guān)系；并基于所述對應(yīng)關(guān)系，測試該射頻發(fā)生器激發(fā)電磁波的穩(wěn)定性。例 如如果正常的射頻發(fā)生器的該對應(yīng)關(guān)系應(yīng)該是線性關(guān)系，而獲得的該對應(yīng)關(guān)系不是線性關(guān) 系，則可以判斷該射頻發(fā)生器在激發(fā)電磁波時的穩(wěn)定性不夠，可能存在故障或需要進(jìn)一步 處理。上述方法通過向射頻發(fā)生器輸入直流電壓信號，再獲得由射頻發(fā)生器生成的電磁 波的功率是否是預(yù)期功率，并在不是的情況下，測試出該射頻發(fā)生器有故障，從而實(shí)現(xiàn)了對 射頻發(fā)生器的測試，且該測試方法是在射頻發(fā)生器離線工作狀況下實(shí)現(xiàn)的，能夠避免使用 有故障的射頻發(fā)生器而可能對使用者帶來各類損失。假設(shè)射頻發(fā)生器為一種微波激發(fā)器，其生成的微波的頻率為13. 56兆赫茲，正常 情況下，該微波激發(fā)器在每1伏特直流電壓信號的作用下能夠生成功率為500瓦特的微波， 因此基于上述 方法，下面給出該微波激發(fā)器的測試過程可以但不限于為首先為該微波激發(fā)器連接50歐姆的負(fù)載，然后選擇輸入該微波激發(fā)器1伏特電壓的直流信號；再接收該微波激發(fā)器生成微波后對應(yīng)反饋回來的電壓信號，如果該反饋回來 的電壓信號值為1伏特，則可知該生成的微波的功率為500瓦特，與預(yù)期功率相符，可以再 繼續(xù)選擇輸入其它電壓值的直流電壓信號，繼續(xù)檢測；而如果該反饋回來的電壓信號值不 等于1伏特，例如為1. 05伏特，則可知該生成的微波的功率為525瓦特，大于預(yù)期功率500 瓦特，說明該微波激發(fā)器有故障。如果需要測量該微波激發(fā)器激發(fā)微波功率的穩(wěn)定性，則可以依次選擇1、2、3、4及 5伏特的直流電壓信號輸入至微波激發(fā)器，然后依次得到對應(yīng)的微波功率，擬合出該直流電 壓信號與功率的關(guān)系曲線，如果該曲線線性極強(qiáng)，則表明該微波激發(fā)器很穩(wěn)定，否則線性較 弱，則表明該微波激發(fā)器的穩(wěn)定性較差，可能存在故障或需要檢修等進(jìn)一步處理。本發(fā)明實(shí)施例還提出射頻發(fā)生器測試設(shè)備，以在射頻發(fā)生器離線工作狀況下實(shí)現(xiàn) 對射頻發(fā)生器的測試，避免在使用有故障的射頻發(fā)生器而可能對使用者帶來各類損失。在測試射頻發(fā)生器時，如果射頻發(fā)生器能夠向用戶顯示其生成的電磁波的功率， 則可以在由測試設(shè)備向該射頻發(fā)生器輸入直流電壓信號，射頻發(fā)生器生成電磁波，并將功 率提示給用戶后，由用戶判斷該功率是否是預(yù)期功率，以進(jìn)一步判斷出該射頻發(fā)生器是否 有故障。于是參照圖2為本發(fā)明實(shí)施例提出的射頻發(fā)生器測試設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖，則本發(fā) 明實(shí)施例提出的射頻發(fā)生器測試設(shè)備20可以包括信號輸入單元21，用于向連接有負(fù)載30 的射頻發(fā)生器40輸入直流電壓信號。該負(fù)載30的電阻值確定方式可以參照上述方法實(shí)施 例，通常采用50歐姆。如果需要由射頻發(fā)生器測試設(shè)備20獲得激發(fā)的電磁波的功率，則該射頻發(fā)生器 測試設(shè)備20可選的還可以包括功率獲得單元22，用于獲得該射頻發(fā)生器40基于所述直流 電壓信號生成的電磁波的功率，其中獲得該功率的方式可以根據(jù)接收反饋電壓信號等多種 方式來獲得，因此該功率獲得單元22可以具體包括用于接收射頻發(fā)生器40返回的反饋直 流電壓信號的子單元；以及用于根據(jù)電壓值與電磁波功率的對應(yīng)關(guān)系及該反饋直流電壓信 號的電壓，獲得所述功率的子單元。其中射頻發(fā)生器測試設(shè)備20可選的還可以包括功率提示單元，用于在功率獲得 單元22獲得該功率后將該功率提示給用戶，以便由用戶判斷提示的功率是否是預(yù)期功率， 進(jìn)而得出測試結(jié)果。該射頻發(fā)生器測試設(shè)備20可選的還可以包括測試結(jié)果提示單元，用于比較功率 獲得單元22獲得的所述功率與預(yù)期功率是否相等，并在不相等時，確定該射頻發(fā)生器40有 故障。此外為能夠向射頻發(fā)生器40輸入多種電壓值的直流電壓信號，可選的，該射頻發(fā) 生器測試設(shè)備20還可以設(shè)置有電壓選擇單元23，用于選擇所述直流電壓信號的電壓值，便 于測試在不同電壓值下，射頻發(fā)生器40能否輸出預(yù)期功率的電磁波，在具體實(shí)施時，可以 設(shè)置0 10伏特的電壓選擇范圍。另外如果需要由射頻發(fā)生器測試設(shè)備20直接輸出該射頻發(fā)生器40是否有故障的 信息，則該射頻發(fā)生器測試設(shè)備20還可以包括用于比較獲得的所述功率與預(yù)期功率是否 相等，并在不相等時，確定該射頻發(fā)生器有故障的單元，所述預(yù)期功率為無故障的射頻發(fā)生 器基于該直流電壓信號生成的電磁波的功率，可以存儲于射頻發(fā)生器測試設(shè)備20中，可以后續(xù)由用戶輸入。
為使得測試設(shè)備40能夠正常工作，測試設(shè)備40需連接直流電壓，其中由于射頻發(fā) 生器20通常能夠輸出直流電壓，則該測試設(shè)備40所需的電壓一般可以由射頻發(fā)生器20提 供，當(dāng)然也可以采用其它直流電源。若由射頻發(fā)生器29提供，則該測試設(shè)備40還可以包括 電源供給單元24，用于接收射頻發(fā)生器40輸出的直流電壓。當(dāng)然可選的，該電源供給單元 24也可以用于接收其它電源產(chǎn)生的直流電壓。本發(fā)明實(shí)施例提供的射頻發(fā)生器測試設(shè)備20能夠由信號輸入單元21向射頻發(fā)生 器40輸入直流電壓信號，由射頻發(fā)生器40生成相應(yīng)的電磁波，再進(jìn)一步判斷其功率是否與 預(yù)期功率相等，以確定該射頻發(fā)生器40是否有故障，從而實(shí)現(xiàn)了在離線條件下對射頻發(fā)生 器40的檢測，避免了使用有故障的射頻發(fā)生器40而可能對使用者帶來各類損失。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精 神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍 之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
一種射頻發(fā)生器測試方法，其特征在于，包括將射頻發(fā)生器與負(fù)載連接；向連接有所述負(fù)載的射頻發(fā)生器輸入直流電壓信號；獲得該射頻發(fā)生器基于所述直流電壓信號生成的電磁波的功率；比較獲得的所述功率與預(yù)期功率是否相等，并在不相等時，確定該射頻發(fā)生器有故障，所述預(yù)期功率為無故障的射頻發(fā)生器基于該直流電壓信號應(yīng)當(dāng)生成的電磁波的功率。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲得該射頻發(fā)生器基于所述直流電壓 信號生成的電磁波的功率，具體包括獲得射頻發(fā)生器自身顯示的所述生成的電磁波的功率。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲得該射頻發(fā)生器基于所述直流電壓 信號生成的電磁波的功率，具體包括接收射頻發(fā)生器返回的反饋直流電壓信號；根據(jù)電壓值與電磁波功率的對應(yīng)關(guān)系及該反饋直流電壓信號的電壓，獲得所述功率。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述負(fù)載的電阻值需滿足能夠使射頻發(fā)生 器激發(fā)出最大功率電磁波的條件。
5.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述負(fù)載的電阻值為50歐姆。
6.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括選擇向連接有所述負(fù)載的射頻發(fā)生 器輸入的直流電壓信號的電壓值的步驟。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，向所述射頻發(fā)生器先后輸入多個直流電壓 信號，并對應(yīng)獲得多個功率值；以及還包括步驟獲得所述多個直流電壓信號及對應(yīng)的多個功率的對應(yīng)關(guān)系； 基于所述對應(yīng)關(guān)系，測試該射頻發(fā)生器激發(fā)電磁波的穩(wěn)定性。
8.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括步驟 接收射頻發(fā)生器輸出的原始直流電壓信號；基于原始直流電壓信號獲得所述輸入的直流電壓信號。
9.一種射頻發(fā)生器測試設(shè)備，其特征在于，包括信號輸入單元，用于向連接有負(fù)載的射頻發(fā)生器輸入直流電壓信號。
10.如權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其特征在于，還包括功率獲得單元，用于獲得該射頻發(fā)生器基于所述直流電壓信號生成的電磁波的功率； 功率提示單元，用于在功率獲得單元獲得該功率后將該功率提示給用戶。
11.如權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其特征在于，還包括功率獲得單元，用于獲得該射頻發(fā)生器基于所述直流電壓信號生成的電磁波的功率； 測試結(jié)果提示單元，用于比較功率獲得單元獲得的所述功率與預(yù)期功率是否相等，并 在不相等時，確定該射頻發(fā)生器有故障，所述預(yù)期功率為無故障的射頻發(fā)生器基于該直流 電壓信號應(yīng)當(dāng)生成的電磁波的功率。
12.如權(quán)利要求10或11所述的設(shè)備，其特征在于，所述功率獲得單元，具體包括 用于接收射頻發(fā)生器返回的反饋直流電壓信號的子單元；用于根據(jù)電壓值與電磁波功率的對應(yīng)關(guān)系及該反饋直流電壓信號的電壓，獲得所述功率的子單元。
13.如權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其特征在于，還包括電壓選擇單元，用于選擇所述直流 電壓信號的電壓值。
14.如權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其特征在于，還包括用于比較獲得的所述功率與預(yù)期功 率是否相等，并在不相等時，確定該射頻發(fā)生器有故障的單元，所述預(yù)期功率為無故障的射 頻發(fā)生器基于該直流電壓信號生成的電磁波的功率。
15.如權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其特征在于，所述負(fù)載的電阻值為50歐姆。
全文摘要
本發(fā)明提供射頻發(fā)生器測試方法及設(shè)備，以在離線條件下實(shí)現(xiàn)對射頻發(fā)生器的檢測，避免了使用有故障的射頻發(fā)生器而可能對使用者帶來各類損失。該方法包括將射頻發(fā)生器與負(fù)載連接；向連接有所述負(fù)載的射頻發(fā)生器輸入直流電壓信號；獲得該射頻發(fā)生器基于所述直流電壓信號生成的電磁波的功率；比較獲得的所述功率與預(yù)期功率是否相等，并在不相等時，確定該射頻發(fā)生器有故障，所述預(yù)期功率為無故障的射頻發(fā)生器基于該直流電壓信號生成的電磁波的功率。
文檔編號G01R31/00GK101839951SQ200910047949
公開日2010年9月22日 申請日期2009年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月20日
發(fā)明者黃國偉 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司