專利名稱：無源逆磁懸浮微動(dòng)傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種微動(dòng)傳感器，尤其涉及一種無源逆磁懸浮微動(dòng)傳感器。
背景技術(shù)：
隨著工業(yè)的發(fā)展，傳感器也不斷創(chuàng)新。目前，微動(dòng)傳感器作為常規(guī)傳感器 被廣泛應(yīng)用到各個(gè)領(lǐng)域，根據(jù)需要各種高敏感的微動(dòng)傳感器被研制，如名稱為
《雙敏感元件微動(dòng)傳感器》，公開號(hào)為CN2212222的專利；名稱為《微動(dòng)位移傳 感器》，公開號(hào)為CN2611870Y的專利，都是為提高其敏感性而研制的，但從其 內(nèi)容中可以看出，不管什么樣的傳感器都沒有擺脫機(jī)械結(jié)構(gòu)，所以最終就不可 避免會(huì)由于摩擦而產(chǎn)生誤差。
隨著逆磁材料的發(fā)現(xiàn)和發(fā)展，使物體不消耗能量而懸浮于空中成為可能， 這樣在一個(gè)真空的環(huán)境中，懸浮的物體受到外力，其運(yùn)動(dòng)狀態(tài)就不會(huì)受到摩擦 力的干擾。 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的存在的問題，而研制一種新穎、高敏感、實(shí)用 前景好的無源逆磁懸浮微動(dòng)傳感器。
一種無源逆磁懸浮微動(dòng)傳感器，其特征在于包括殼體、永磁體、懸浮體、 上逆磁體和下逆磁體；所述永磁體位于殼體的頂部，在所述殼體內(nèi)自上而下依 次固定上逆磁體、懸浮體和下逆磁體；所述上逆磁體、下逆磁體同殼體形成一 個(gè)密封空間；所述懸浮體為永磁體位于上述的密封空間內(nèi)，由于永磁體、上逆 磁體和下逆磁體的作用懸浮體懸浮于所述密封空間內(nèi)；所述上逆磁體下表面和 下逆磁體的上表面固定有小線圈，所述參與形成密封空間的殼體壁上也固定有 線圈。所述永磁體、距上逆磁體可上下調(diào)動(dòng)，相應(yīng)的懸浮體的懸浮位置也可上 下調(diào)動(dòng)。所述密封空間為真空，并且參與形成密封空間的殼體為透明材料制成。
由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型提供的無源逆磁懸浮微動(dòng)傳感器， 通過一種新穎的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了，傳感過程不受摩擦力影響，使傳感信號(hào)更加準(zhǔn)確、 靈敏。由于其設(shè)計(jì)思路新穎，為傳感領(lǐng)域開辟了一條新途徑，另外其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于生產(chǎn)，適于在運(yùn)動(dòng)傳感器領(lǐng)域廣泛推廣。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖2為本實(shí)用新型中逆磁體上排部小線圈的示意圖3為本實(shí)用新型的線圈結(jié)構(gòu)示意圖4為本實(shí)用新型的電路結(jié)構(gòu)框圖。
圖中1、殼體，2、永磁體，3、懸浮體，4、上逆磁體，5、下逆磁體， 6、小線圈，7、線圈。
具體實(shí)施方式

如圖1所示，本實(shí)用新型所提供的無源逆磁懸浮微動(dòng)傳感器，由殼體l、永 磁體2、懸浮體3、上逆磁體4和下逆磁體5構(gòu)成，其中懸浮體3為永磁體；所 述永磁體2位于殼體1的頂部，在殼體l內(nèi)自上而下依次固定上逆磁體4、懸浮 體3和下逆磁體5;上逆磁體4、下逆磁體5同殼體形成一個(gè)密封空間，懸浮體 3位于密封空間內(nèi)，由于永磁體2、上逆磁體4以及下逆磁體5的作用使懸浮體 3懸浮于所述密封空間內(nèi)；在上逆磁體4下表面和下逆磁體5的上表面固定有小 線圈6 (如圖2)，參與形成密封空間的殼體壁上也固定有線圈7，其中小線圈6 和線圈7可集成在線路板上；如圖3所示各線圈的輸出端a、 b通過集成電路板 連接到檢測(cè)電路上，經(jīng)過信號(hào)處理后發(fā)送到主控單元中進(jìn)行邏輯運(yùn)算(如圖4 所示)。使用時(shí)將傳感器安置在使用體上，懸浮體3在密封空間穩(wěn)定懸浮，當(dāng)使 用體產(chǎn)生動(dòng)作，則殼體1也隨之產(chǎn)生動(dòng)作，而懸浮體3保持原來位置不變，因 為懸浮體3為永磁體，所以當(dāng)殼體l動(dòng)時(shí)，懸浮體3會(huì)切割安置在上逆磁體4、 下逆磁體5及殼體壁上的線圈，使小線圈6和線圈7產(chǎn)生電信號(hào)。跟據(jù)不同位 置的線圈產(chǎn)生的信號(hào)大小不同，可以將其作為三維信息檢測(cè)傳感器被使用；如 圖1所示永磁體2、距上逆磁體4可上下調(diào)動(dòng)，相應(yīng)的懸浮體3的懸浮位置也可 上下調(diào)動(dòng)；為保證傳感器的高敏感性可將密封空間設(shè)為真空，并且為方便觀察 參與形成密封空間的殼體為透明材料制成。
以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施方式
，但本實(shí)用新型的保護(hù)范 圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)， 根據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)方案及其發(fā)明構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本 實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種無源逆磁懸浮微動(dòng)傳感器，其特征在于包括殼體(1)、永磁體(2)、懸浮體(3)、上逆磁體(4)和下逆磁體(5)；所述永磁體(2)位于殼體(1)的頂部，在所述殼體(1)內(nèi)自上而下依次固定上逆磁體(4)、懸浮體(3)和下逆磁體(5)；所述上逆磁體(4)、下逆磁體(5)同殼體形成一個(gè)密封空間；所述懸浮體(3)為永磁體位于上述的密封空間內(nèi)，由于永磁體(2)、上逆磁體(4)和下逆磁體(5)的作用懸浮體(3)懸浮于所述密封空間內(nèi)；所述上逆磁體(4)下表面和下逆磁體(5)的上表面固定有小線圈(6)，所述參與形成密封空間的殼體壁上也固定有線圈(7)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的無源逆磁懸浮微動(dòng)傳感器，其特征在于所述永磁 體(2)、距上逆磁體(4)可上下調(diào)動(dòng)，相應(yīng)的懸浮體(3)的懸浮位置也可上 下調(diào)動(dòng)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的無源逆磁懸浮微動(dòng)傳感器，其特征在于所述密封 空間為真空，并且參與形成密封空間的殼體為透明材料制成。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種無源逆磁懸浮微動(dòng)傳感器，其特征在于包括殼體、永磁體、懸浮體、上逆磁體和下逆磁體；所述永磁體位于殼體的頂部，在所述殼體內(nèi)自上而下依次固定上逆磁體、懸浮體和下逆磁體；所述上逆磁體、下逆磁體同殼體形成一個(gè)密封空間；所述懸浮體為永磁體位于上述的密封空間內(nèi)，由于永磁體、上逆磁體和下逆磁體的作用懸浮體懸浮于空間內(nèi)；所述上逆磁體下表面和下逆磁體的上表面固定有小線圈，所述參與形成密封空間的殼體壁上也固定有線圈。該無源逆磁懸浮微動(dòng)傳感器，具有傳感信號(hào)更加準(zhǔn)確、靈敏，適于在運(yùn)動(dòng)傳感器領(lǐng)域廣泛推廣。
文檔編號(hào)G01D5/12GK201229177SQ20082001341
公開日2009年4月29日 申請(qǐng)日期2008年6月11日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月11日
發(fā)明者呂泳秋, 李慶偉, 王耀華 申請(qǐng)人:呂泳秋;李慶偉;王耀華