專利名稱：雙頻He-Ne激光器光回饋測(cè)距儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種雙頻He-Ne激光器光回饋測(cè)距儀，屬于激光測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：
自混合干涉或光回饋是指在激光應(yīng)用系統(tǒng)中，激光器輸出光被外部物體反射或散射后，部分光反饋回激光器內(nèi)與腔內(nèi)光混合后引起激光器的輸出功率變化的現(xiàn)象，其輸出信號(hào)與傳統(tǒng)的雙光束干涉信號(hào)類似。
由于自混合干涉嚴(yán)重影響了激光器的性能，因此，研究人員最初關(guān)注如何消除或者避免光回饋對(duì)激光系統(tǒng)的影響。1963年，King首次報(bào)道了自混合干涉現(xiàn)象，當(dāng)一個(gè)可移動(dòng)的外部反射鏡將激光器輸出光反射回激光器諧振腔，激光功率發(fā)生波動(dòng)，并且外部反射鏡每移動(dòng)半個(gè)光波波長(zhǎng)的位移，激光器功率變化一個(gè)條紋，并且條紋的波動(dòng)深度與傳統(tǒng)雙光束干涉系統(tǒng)可比較。這一研究，從根本上改變了人們對(duì)光回饋的觀念，從被動(dòng)的消除，到主動(dòng)利用，對(duì)光回饋展開了大量的研究，取得了一系列的成果。目前，激光自混合干涉現(xiàn)在已經(jīng)廣泛應(yīng)用于形貌測(cè)量、位移和距離的測(cè)量、速度和振動(dòng)測(cè)量等。
基于激光回饋的測(cè)距技術(shù)因?yàn)榫哂薪Y(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，光路系統(tǒng)只有一支激光器和一個(gè)外部反射物，靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)，從上世紀(jì)80年代開始興起，并且主要研究集中于半導(dǎo)體激光器光回饋。1986年，G.Beheim等報(bào)道了光回饋模跳變測(cè)距法。在光回饋LD中，連續(xù)調(diào)制LD的注入電流，激光器輸出功率由于模跳變產(chǎn)生波動(dòng)，模跳變次數(shù)正比于外腔長(zhǎng)度，依據(jù)這一原理實(shí)現(xiàn)了對(duì)回饋外腔長(zhǎng)度的測(cè)量。但是，這一方法的測(cè)量精度受限于注入電流的調(diào)制頻率以及LD的溫度漂移效應(yīng)，同時(shí)測(cè)量速度也受限于注入電流的調(diào)制頻率。F.Gouaux通過考慮熱效應(yīng)補(bǔ)償，重新構(gòu)建LD注入電流，極大地提高了模跳變測(cè)距的分辨率。2002年，Ho Khai Weng研究了VCSEL中的模跳變測(cè)距方案，實(shí)現(xiàn)了測(cè)量范圍0.2-0.6米，最大相對(duì)誤差小于6％。由于半導(dǎo)體激光器光束發(fā)散角大，在回饋光學(xué)系統(tǒng)中，準(zhǔn)直聚焦系統(tǒng)必不可少，限制了其應(yīng)用范圍。并且，半導(dǎo)體激光器的溫度漂移較大，嚴(yán)重影響了激光測(cè)距的精度。


發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的在于提出一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，外腔無(wú)需準(zhǔn)直聚焦元件，信號(hào)處理簡(jiǎn)單，性價(jià)比高的光回饋測(cè)距儀。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采取了如下技術(shù)方案。其含有雙頻He-Ne激光器、激光回饋外腔、測(cè)量電路和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)四個(gè)部分，其中 A雙頻He-Ne激光器，所述的雙頻He-Ne激光器含有 增益管2，內(nèi)部充有He、Ne混合氣體； 增透窗片3；所述的增透窗片3固定在所述增益管2的一端； 諧振腔，所述的諧振腔包括 第一內(nèi)腔反射鏡1，所述的第一內(nèi)腔反射鏡1固定在所述增益管2的另一端； 第二內(nèi)腔反射鏡4，位于上述增透窗片3的另一端； 石英晶體14，位于上述第二內(nèi)腔反射鏡4與增透窗片3之間，該石英晶體14兩面都鍍有增透膜； 第一壓電陶瓷5，固定在上述第一內(nèi)腔反射鏡1上，在輸入電壓作用下，上述的壓電陶瓷5推動(dòng)上述第一內(nèi)腔反射鏡1沿激光軸線方向左右移動(dòng)，改變激光頻率； B激光回饋外腔，所述的激光回饋外腔含有 第二壓電陶瓷7，固定在待測(cè)物體上； 激光回饋外腔反射鏡6，固定在上述第二壓電陶瓷7上，所述激光回饋外腔反射鏡6被第二壓電陶瓷7驅(qū)動(dòng)沿著激光軸線方向運(yùn)動(dòng)，使入射到待測(cè)物體上的兩正交偏振光被反射回激光器諧振腔分別與腔內(nèi)的兩正交偏振光混合，引起兩正交偏振光各自的光強(qiáng)波動(dòng)，產(chǎn)生激光回饋信號(hào)； C測(cè)量電路，含有 偏振分光棱鏡8，位于上述第一內(nèi)腔反射鏡1的一側(cè)，用于將兩正交偏振的激光分開； 第一光電探測(cè)器9、第二光電探測(cè)器10分別探測(cè)所述偏振分光棱鏡8所分開的兩正交偏振光的回饋信號(hào)； D數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，所述的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)包括 模/數(shù)轉(zhuǎn)換器11，輸入信號(hào)分別為第一光電探測(cè)器9和第二光電探測(cè)器10輸出的激光回饋信號(hào)； 數(shù)/模轉(zhuǎn)換器12，該數(shù)/模轉(zhuǎn)換器的輸出與所述的第一壓電陶瓷5、第二壓電陶瓷7的輸入端相連； 計(jì)算機(jī)13，與所述的模/數(shù)轉(zhuǎn)換器11的輸出端相連，讀取激光回饋信號(hào)，并處理數(shù)據(jù)，計(jì)算出待測(cè)物體距離光源的距離，同時(shí)，與所述的數(shù)/模轉(zhuǎn)換器12的輸入端相連，數(shù)/模轉(zhuǎn)換器12的輸出端與第一壓電陶瓷5和第二壓電陶瓷7相連，控制第一壓電陶瓷5和第二壓電陶瓷7，分別用于實(shí)現(xiàn)控制激光頻率和產(chǎn)生激光回饋信號(hào)。
所述的石英晶體14和增透窗片3由一個(gè)兩面都鍍有增透膜的增透窗片3和夾在該窗片上的一個(gè)應(yīng)力施加裝置15替換，該增透窗片3固定在上述增益管2靠近第二內(nèi)腔反射鏡4的一端； 所述的石英晶體14和增透窗片3由一個(gè)兩面都鍍有增透膜的石英晶體楔16替換，該石英晶體楔16固定于上述增益管靠近第二內(nèi)腔反射鏡4的一端。
本發(fā)明提供的雙頻He-Ne激光器光回饋測(cè)距儀，在回饋外腔中無(wú)需準(zhǔn)直聚焦系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，具有信號(hào)處理簡(jiǎn)單，性價(jià)比高的特點(diǎn)。



圖1本發(fā)明所述雙折射外腔回饋位移測(cè)量系統(tǒng)實(shí)施實(shí)例之一 圖2本發(fā)明所述雙折射外腔回饋位移測(cè)量系統(tǒng)實(shí)施實(shí)例之二 圖3本發(fā)明所述雙折射外腔回饋位移測(cè)量系統(tǒng)實(shí)施實(shí)例之三 圖4外腔長(zhǎng)l＝67.5mm時(shí)，兩正交偏振光的回饋曲線 圖5外腔長(zhǎng)l＝135mm時(shí)，兩正交偏振光的回饋曲線 圖6外腔長(zhǎng)l＝202.5mm時(shí)，兩正交偏振光的回饋曲線 圖7外腔長(zhǎng)l＝270mm時(shí)，兩正交偏振光的回饋曲線 圖中1、第一內(nèi)腔反射鏡，2、增益管，3、增透窗片，4、第二內(nèi)腔反射鏡，5、第一壓電陶瓷，6、激光回饋外腔反射鏡，7、第二壓電陶瓷，8、偏振分光棱鏡，9、第一光電探測(cè)器，10、第二光電探測(cè)器，11、模/數(shù)轉(zhuǎn)換器，12、數(shù)/模轉(zhuǎn)換器，13、計(jì)算機(jī)，14、石英晶體，15、應(yīng)力施加裝置，16、石英晶體楔。

具體實(shí)施例方式 下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明 實(shí)施例一 本實(shí)施例的實(shí)驗(yàn)裝置如圖1所示，包括有第一內(nèi)腔反射鏡1、第二內(nèi)腔反射鏡4、增益管2、增透窗片3、第一壓電陶瓷5、石英晶體14、第二壓電陶瓷7、激光回饋外腔反射鏡6、偏振分光棱鏡8、第一光電探測(cè)器9、第二光電探測(cè)器10和計(jì)算機(jī)13。圖1中，第一內(nèi)腔反射鏡1和第二內(nèi)腔反射鏡4的反射率分別為99.9％與99.4％，它們之間的距離，即激光諧振腔長(zhǎng)L為135mm。增益管2內(nèi)有He、Ne混合氣體，He、Ne氣體的氣壓比例為7∶1。增透窗片3固定在上述增益管2的一端。第一內(nèi)腔反射鏡1、增益管2、增透窗片3、第二內(nèi)腔反射鏡4共同構(gòu)成了半外腔632.8nm的He-Ne激光器。本實(shí)施例使用的光源為雙頻激光器，通過在腔內(nèi)放置一個(gè)石英晶體14來(lái)產(chǎn)生雙折射效應(yīng)，把普通的半外腔He-Ne激光器制成了正交偏振的雙頻He-Ne激光器。第一壓電陶瓷5固定在上述第一內(nèi)腔反射鏡上，在輸入電壓的作用下，它推動(dòng)上述第一內(nèi)腔反射鏡沿激光軸線方向左、右移動(dòng)，使得在無(wú)光回饋時(shí)兩正交偏振光光強(qiáng)相等。激光回饋外腔反射鏡6的反射率為30％，激光回饋外腔反射鏡6和第二內(nèi)腔反射鏡4之間的距離為回饋外腔長(zhǎng)，記作l。第二壓電陶瓷7固定在上述激光回饋外腔反射鏡6上，在輸入電壓的作用下，它推動(dòng)上述激光回饋外腔反射鏡6沿激光軸線方向左、右移動(dòng)，產(chǎn)生光回饋信號(hào)。偏振分光棱鏡8把兩正交偏振激光從空間上分開，第一光電探測(cè)器9和第二光電探測(cè)器10為兩個(gè)光電探測(cè)器；模/數(shù)轉(zhuǎn)換器11把上述光電探測(cè)器接收到的光回饋信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字量；數(shù)/模轉(zhuǎn)換器12的輸出信號(hào)分別用于控制第一壓電陶瓷5和第二壓電陶瓷7。計(jì)算機(jī)13通過數(shù)/模轉(zhuǎn)換器12實(shí)現(xiàn)對(duì)第一壓電陶瓷5和第二壓電陶瓷7的控制來(lái)產(chǎn)生合適的光回饋信號(hào)，通過模/數(shù)轉(zhuǎn)換器11實(shí)現(xiàn)光回饋信號(hào)的采集，最后通過數(shù)據(jù)分析得到激光回饋外腔長(zhǎng)度，即待測(cè)距離l。
本發(fā)明的原理如下 單模He-Ne激光器在光回饋情況下，單位長(zhǎng)度內(nèi)的增益變化量Δg為 Δg＝g-g0＝-ξcos(4πνl/c)，(1) 式中，g為有光回饋時(shí)的單位長(zhǎng)度內(nèi)的線性增益，g0為無(wú)光回饋時(shí)的單位長(zhǎng)度內(nèi)的線性增益，ξ為激光回饋因子，ν為激光頻率，c為真空中的光速，l為激光回饋外腔長(zhǎng)的變化。
由于回饋時(shí)激光強(qiáng)度的變化正比于線性增益的變化，即 I＝I0-kΔg，(2) 式中，I0為沒有回饋時(shí)的初始光強(qiáng)，k為一常量。
則存在光回饋的條件下，激光器的兩正交偏振光(即o光、e光)的光強(qiáng)為 (3) 式中，νo和νe是o光和e光的頻率，Io0為沒有回饋時(shí)的o光初始光強(qiáng)，Ie0為沒有回饋時(shí)的e光初始光強(qiáng)，ξo為o光回饋因子，ξe為e光回饋因子。(3)式表明當(dāng)回饋外腔長(zhǎng)l變化λ/2時(shí)，兩正交偏振光的強(qiáng)度都波動(dòng)一個(gè)周期，但它們之間存在一個(gè)位相差δ 式中Δν＝νo-νe是兩個(gè)正交偏振光的頻差，Λ是激光縱模間隔。由(4)式知，當(dāng)激光器被選定后，δ將由激光回饋外腔長(zhǎng)l(即待測(cè)距離)與頻差Δν決定。如果Δν小于均勻加寬增益曲線線寬(大約200MHz)，兩個(gè)正交偏振模式的燒孔將會(huì)重疊，因此必須要考慮模式競(jìng)爭(zhēng)的影響，此時(shí)Io和Ie的位相關(guān)系將并不僅僅依賴于(4)式，而會(huì)出現(xiàn)一個(gè)偏振光強(qiáng)度增加導(dǎo)致另一個(gè)偏振光強(qiáng)度減小的現(xiàn)象。如果Δν大于均勻加寬增益曲線線寬，模式競(jìng)爭(zhēng)的影響可以被忽略，則Io和Ie之間的位相關(guān)系δ由(4)式?jīng)Q定唯一決定。
由于系統(tǒng)所用的雙頻He-Ne激光器，其頻差約為550MHz，遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于激光介質(zhì)光譜的均勻加寬(約200MHz)，因此兩正交偏振光o光、e光之間的相位差δ與模式競(jìng)爭(zhēng)無(wú)關(guān)。此時(shí)，兩者之間的相位差δ正比于回饋外腔長(zhǎng)l，而激光諧振腔長(zhǎng)L，兩正交偏振光的頻差Δν以及激光縱模間隔Λ這些參數(shù)都是確定的，因此，只需測(cè)量出兩正交偏振的o光和e光之間的相位差δ，就可以很方便的根據(jù)(4)式計(jì)算出激光回饋外腔長(zhǎng)l，即待測(cè)距離。這就是本發(fā)明的理論依據(jù)。
圖4～圖7分別為不同外腔長(zhǎng)下，兩正交偏振光回饋信號(hào)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。發(fā)現(xiàn)，隨著回饋外腔長(zhǎng)從67.5mm變化至270mm，兩正交偏振光回饋信號(hào)之間的相位差也相應(yīng)地從約0.5π變化至2π，兩者之間呈線性關(guān)系。根據(jù)(4)式，當(dāng)回饋外腔長(zhǎng)分別是l＝67.5mm；l＝135mm；l＝202.5mm；l＝270mm時(shí)，理論計(jì)算得到兩正交偏振光回饋信號(hào)之間的相位差分別是δ＝0.5π，δ＝π，δ＝1.5π，δ＝2π。理論計(jì)算結(jié)果和實(shí)驗(yàn)結(jié)果相符合。因此，兩正交偏振光回饋信號(hào)之間的相位差δ正比于回饋外腔長(zhǎng)度l這一現(xiàn)象，可以用于距離測(cè)量。根據(jù)(4)式，對(duì)于特定的參數(shù)Δν和Λ，相位差δ的周期是

即回饋外腔長(zhǎng)l每變化2L，相位差變化2π。而實(shí)驗(yàn)得到的兩正交偏振光的回饋信號(hào)之間的相位差δ范圍為0～2π，因此，本系統(tǒng)的距離測(cè)量范圍為2倍的激光諧振腔長(zhǎng)，即2L。當(dāng)然，通過調(diào)整激光器參數(shù)Δν和Λ，其測(cè)量范圍還可以擴(kuò)大。當(dāng)首先知道待測(cè)物體在激光器若干個(gè)諧振腔長(zhǎng)以外時(shí)，通過測(cè)量?jī)烧黄窆饣仞佇盘?hào)之間的相位差δ，再根據(jù)(4)式計(jì)算獲得回饋外腔長(zhǎng)度，從而確定待測(cè)物體的位置。
實(shí)施例二 如圖2所示，本實(shí)施例與實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)基本相同，不同之處僅在于增透窗片3和石英晶體14。本實(shí)施例由一個(gè)兩面都鍍有增透膜的增透窗片3和夾在該窗片上的一個(gè)應(yīng)力施加裝置15替換實(shí)施例一中的石英晶體14和增透窗片3。增透窗片3為一窗片，兩面都鍍有增透膜，固定在增益管2的一端。圖2中的應(yīng)力施加裝置15是一個(gè)鑲有螺釘?shù)募恿Νh(huán)，它沿垂直激光器的軸線方向?qū)υ鐾复捌?施加一個(gè)應(yīng)力，由于增透窗片3的應(yīng)力-雙折射效應(yīng)，一個(gè)頻率被分裂為兩個(gè)頻率。第一內(nèi)腔反射鏡1、增益管2、增透窗片3、第二內(nèi)腔反射鏡4和應(yīng)力施加裝置15共同構(gòu)成雙頻He-Ne激光器。
實(shí)施例三 如圖3所示，本實(shí)施例與實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)基本相同，不同之處僅在于增透窗片3和石英晶體14。本實(shí)施例由一個(gè)兩面都鍍有增透膜的石英晶體楔16替換實(shí)施例一中的石英晶體14和增透窗片3，該石英晶體楔16固定于上述增益管靠近第二內(nèi)腔反射鏡4的一端。石英晶體楔16兩面都鍍有增透膜，固定在增益管2的一端，用于產(chǎn)生頻率分裂。第一內(nèi)腔反射鏡1、增益管2、石英晶體楔16和第二內(nèi)腔反射鏡4共同構(gòu)成雙頻He-Ne激光器。
本發(fā)明所設(shè)計(jì)的雙頻He-Ne激光器光回饋測(cè)距儀由雙頻He-Ne激光器，激光回饋外腔，測(cè)量電路和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)四個(gè)部分組成。測(cè)量過程中，回饋鏡沿激光軸線左右移動(dòng)，產(chǎn)生激光回饋信號(hào)。兩正交偏振光的回饋信號(hào)之間存在一個(gè)相位差，此相位差正比于回饋外腔長(zhǎng)。本發(fā)明利用該特性來(lái)確定外腔反射鏡的位置從而實(shí)現(xiàn)距離測(cè)量。本發(fā)明設(shè)計(jì)的光回饋測(cè)距儀具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、信號(hào)處理簡(jiǎn)單、性價(jià)比高的特點(diǎn)。
權(quán)利要求
1.雙頻He-Ne激光器光回饋測(cè)距儀，其特征在于含有雙頻He-Ne激光器、激光回饋外腔、測(cè)量電路和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)四個(gè)部分，其中
A雙頻He-Ne激光器，所述的雙頻He-Ne激光器含有
增益管(2)，內(nèi)部充有He、Ne混合氣體；
增透窗片(3)；所述的增透窗片(3)固定在所述增益管(2)的一端；
諧振腔，所述的諧振腔包括
第一內(nèi)腔反射鏡(1)，所述的第一內(nèi)腔反射鏡(1)固定在所述增益管(2)的另一端；
第二內(nèi)腔反射鏡(4)，位于上述增透窗片(3)的另一端；
石英晶體(14)，位于上述第二內(nèi)腔反射鏡(4)與增透窗片(3)之間，該石英晶體(14)兩面都鍍有增透膜；
第一壓電陶瓷(5)，固定在上述第一內(nèi)腔反射鏡(1)上，在輸入電壓作用下，上述的壓電陶瓷(5)推動(dòng)上述第一內(nèi)腔反射鏡(1)沿激光軸線方向左右移動(dòng)，改變激光頻率；
B激光回饋外腔，所述的激光回饋外腔含有
第二壓電陶瓷(7)，固定在待測(cè)物體上；
激光回饋外腔反射鏡(6)，固定在上述第二壓電陶瓷(7)上，所述激光回饋外腔反射鏡(6)被第二壓電陶瓷(7)驅(qū)動(dòng)沿著激光軸線方向運(yùn)動(dòng)，使入射到待測(cè)物體上的兩正交偏振光被反射回激光器諧振腔分別與腔內(nèi)的兩正交偏振光混合，引起兩正交偏振光各自的光強(qiáng)波動(dòng)，產(chǎn)生激光回饋信號(hào)；
C測(cè)量電路，含有
偏振分光棱鏡(8)，位于上述第一內(nèi)腔反射鏡(1)的一側(cè)，用于將兩正交偏振的激光分開；
第一光電探測(cè)器(9)、第二光電探測(cè)器(10)分別探測(cè)所述偏振分光棱鏡(8)所分開的兩正交偏振光的回饋信號(hào)；
D數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，所述的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)包括
模/數(shù)轉(zhuǎn)換器(11)，輸入信號(hào)分別為第一光電探測(cè)器(9)和第二光電探測(cè)器(10)輸出的激光回饋信號(hào)；
數(shù)/模轉(zhuǎn)換器(12)，該數(shù)/模轉(zhuǎn)換器的輸出與所述的第一壓電陶瓷(5)、第二壓電陶瓷(7)的輸入端相連；
計(jì)算機(jī)(13)，與所述的模/數(shù)轉(zhuǎn)換器(11)的輸出端相連，讀取激光回饋信號(hào)，并處理數(shù)據(jù)，計(jì)算出待測(cè)物體距離光源的距離，同時(shí)，與所述的數(shù)/模轉(zhuǎn)換器(12)的輸入端相連，數(shù)/模轉(zhuǎn)換器(12)的輸出端與第一壓電陶瓷(5)和第二壓電陶瓷(7)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙頻He-Ne激光器光回饋測(cè)距儀，其特征在于所述的石英晶體(14)和增透窗片(3)由一個(gè)兩面都鍍有增透膜的增透窗片(3)和夾在該窗片上的一個(gè)應(yīng)力施加裝置(15)替換，該增透窗片(3)固定在上述增益管(2)靠近第二內(nèi)腔反射鏡(4)的一端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙頻He-Ne激光器光回饋測(cè)距儀，其特征在于所述的石英晶體(14)和增透窗片(3)由一個(gè)兩面都鍍有增透膜的石英晶體楔(16)替換，該石英晶體楔(16)固定于上述增益管靠近第二內(nèi)腔反射鏡(4)的一端。
全文摘要
本發(fā)明是一種雙頻He-Ne激光器光回饋測(cè)距儀，屬于激光測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。包括雙頻He-Ne激光器、激光回饋外腔、測(cè)量電路和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。雙頻He-Ne激光器包括增益管、固定在增益管一端的增透窗片和諧振腔。諧振腔包括固定在增益管另一端的第一內(nèi)腔反射鏡、位于增透窗片的另一端的第二內(nèi)腔反射鏡、石英晶體和第一壓電陶瓷。測(cè)量過程中，第二壓電陶瓷推動(dòng)激光回饋外腔反射鏡沿激光軸線左右移動(dòng)，產(chǎn)生兩路正交偏振的激光回饋信號(hào)。這兩路激光回饋信號(hào)之間存在一個(gè)相位差，此相位差正比于回饋外腔長(zhǎng)。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、性價(jià)比高的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01S17/00GK101261322SQ200810104260
公開日2008年9月10日 申請(qǐng)日期2008年4月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月18日
發(fā)明者張書練, 談宜東 申請(qǐng)人:清華大學(xué)