專利名稱：用于測量表面平移的方法和測量設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于測量表面平移的方法和測量i殳備。
背景技術(shù)：
兩個(gè)圖像的校正值可用于檢測表面的移動(dòng)、升高、降低、傾斜、形式 上的變化以及不動(dòng)性。如果圖^^目似，則表面保持不變，且校正值高。另 一方面，如果圖像之間有差異，則表面在某一方面已發(fā)生了變化，這使得 校正值減小。通過按照時(shí)間或位置移動(dòng)將要相互比較的圖像來查找最大校 正值，可提供有關(guān)待測表面的移動(dòng)信息。
通過在移動(dòng)方向上創(chuàng)建移動(dòng)表面的圖像行以及通過將圖像行設(shè)置成 圖像矩陣，還可以測量表面的移動(dòng)速率。矩陣中線的角系數(shù)可用于確定表 面速率。這種方案在芬蘭的專利80527中進(jìn)行了描述。
然而，現(xiàn)有技術(shù)存在著問題。校正要求關(guān)于待測表面存在可比較的圖 像。除了利用校正和各種速率測量外，測量(近乎)不動(dòng)的表面、來回移
速率)也4^艮困難的或者是不可能的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種改進(jìn)的方法以及實(shí)施該方法的測量設(shè)備。這 通過測量表面平移的方法來實(shí)現(xiàn)，其中待測目標(biāo)的移動(dòng)具有至少一個(gè)主移 動(dòng)方向。本方法還包括通過至少一個(gè)檢測器的檢測器行來重復(fù)檢測表面， 該檢測器行的方向與該表面的主移動(dòng)方向相同，并且同時(shí)檢測該表面和檢 測器之間的距離以產(chǎn)生放大數(shù)據(jù)和響應(yīng)行；將連續(xù)的響應(yīng)行i更置成響應(yīng)矩 陣；確定每個(gè)響應(yīng)矩陣中至少一個(gè)曲線的方向；以及基于放大數(shù)據(jù)，在所 形成的響應(yīng)矩陣中借助至少一個(gè)曲線或曲線部分的一個(gè)或多個(gè)方向來確 定表面平移。
本發(fā)明還涉及一種用于測量表面平移的測量i殳備。該測量i殳備包括
至少一個(gè)檢測器，該檢測器包括檢測器行；檢測器用于測量表面和所述檢 測器之間的距離以便確定放大數(shù)據(jù)；以及信號(hào)處理單元；為了形成響應(yīng)行， 每個(gè)檢測器行被設(shè)置成連續(xù)檢測待測目標(biāo)的表面，所述表面具有至少一個(gè) 主移動(dòng)方向，并且每個(gè)檢測器行的方向祐i殳置成與所i^面的主移動(dòng)方向 相同；所述信號(hào)處理單元被設(shè)置成接^巨離信息以及由每個(gè)檢測器行形成 的響應(yīng)行，并且形成與每個(gè)檢測器行有關(guān)的連續(xù)響應(yīng)行的響應(yīng)矩陣，以及 確定每個(gè)響應(yīng)矩陣中至少一個(gè)曲線的方向；并且所述信號(hào)處理單元被設(shè)置 成基于放大數(shù)據(jù)，在所形成的響應(yīng)矩陣中借助至少一個(gè)曲線或曲線部分的 一個(gè)或多個(gè)方向來確定表面平移。
從屬權(quán)利要求中公開了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。
根據(jù)本發(fā)明的方法和測量設(shè)備提供了若干優(yōu)點(diǎn)。待測表面的質(zhì)量幾乎 根本不對(duì)測量構(gòu)成限制。此外，沒有必要預(yù)期表面移動(dòng)是連續(xù)的還^MJ，J
的，并JL^面缺省地也可以是不動(dòng)的。


現(xiàn)在借助于參考附圖的優(yōu)選實(shí)施例來詳細(xì)地描述本發(fā)明，在附圖中 圖1A圖示了測量i殳備的系統(tǒng)圖； 圖1B圖示了測量i殳備的4匡圖； 圖1C圖示了測量設(shè)備中兩個(gè)檢測器的使用； 圖1D圖示了與兩個(gè)檢測器的使用有關(guān)的測量； 圖2A圖示了當(dāng)表面靠近檢測器時(shí)的圖像矩陣； 圖2B圖示了朝向檢測器的表面移動(dòng)； 圖3A圖示了當(dāng)表面離開檢測器時(shí)的圖像矩陣； 圖3B圖示了遠(yuǎn)離檢測器的表面移動(dòng)； 圖4A圖示了當(dāng)表面和檢測器朝彼此傾斜時(shí)的圖像矩陣； 圖4B圖示了角度a的表面傾斜； 圖5A圖示了當(dāng)表面中有移動(dòng)凹陷時(shí)的圖像矩陣； 圖5B圖示了凹陷的移動(dòng)；
圖6圖示了在橫向方向上輕微移動(dòng)的表面的圖像矩陣；
圖7A圖示了待測目標(biāo)的前邊緣經(jīng)過檢測器行的移動(dòng)；
圖7B圖示了當(dāng)待測目標(biāo)的前邊緣移動(dòng)經(jīng)過檢測器行時(shí)的矩陣；
圖8A圖示了待測目標(biāo)的后邊緣經(jīng)過檢測器行的移動(dòng)；
圖8B圖示了當(dāng)待測目標(biāo)的后邊緣移動(dòng)經(jīng)過檢測器行時(shí)的矩陣；
圖9A圖示了參考圖案；
圖9B圖示了當(dāng)檢測器相對(duì)于參考圖案旋轉(zhuǎn)之后參考圖案的編輯圖像； 圖9C圖示了當(dāng)檢測器平行于參考圖案移動(dòng)之后參考圖案的編輯圖像； 圖9D圖示了參考圖案的期望編輯圖像； 圖10A圖示了包括角度陡的線的響應(yīng)矩陣； 圖IOB圖示了執(zhí)行了行轉(zhuǎn)移的響應(yīng)矩陣；以及 圖11圖示了本方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式
本方案可應(yīng)用于測量圖案化表面，該圖案化表面可以A^質(zhì)表面、紙 表面、金屬表面、道路表面、織物表面或者當(dāng)利用適當(dāng)放大時(shí)其被檢測信 號(hào)響應(yīng)發(fā)生變化的其它類似表面。圖案化表面可以指其響應(yīng)根據(jù)待檢測參 數(shù)而變化的表面。所述參數(shù)可以是強(qiáng)度、波長、兩者的結(jié)合，或者以所使 用的波長在表面上^L檢測并且其響應(yīng)值可^Li殳置到響應(yīng)行中、再被進(jìn)一步 設(shè)置成矩陣的其它特性。在這樣形成的響應(yīng)矩陣中，圖案的響應(yīng)變化可被 檢測為曲線，該曲線也可被稱為線。所述曲線的寬度及其相互距離可根據(jù) 待測表面而變化。曲線的方向與測量有關(guān)。應(yīng)用可包括對(duì)半導(dǎo)體盤、紙和 /或板、金屬條和/或片等等的質(zhì)量控制，本發(fā)明不受限于這些。
圖1A圖示了測量設(shè)備的系統(tǒng)圖的示例。測量設(shè)備可包括檢測器 100、信號(hào)處理單元108以及可能的輻射源114,其中檢測器100包括行 或矩陣102，所述行或矩陣102包括適于檢測的單元。檢測器100可以是 例如可被包括在例如移動(dòng)電話中的照相機(jī)。如果輻射源114是可用的并且 被使用，則其可以照亮待測目標(biāo)116的表面104，使得帶狀檢測區(qū)域106 完全被照亮。與圖1A不同，待測目標(biāo)116還可以在檢測器100和輻射源 114之間，在這種情況下，輻射源114所發(fā)出的輻射穿透待測目標(biāo)。輻射 源114可發(fā)出電磁輻射，比如伽馬輻射、X-射線輻射、光輻射或射頻輻射，
聲輻射，比如超聲波或粒子輻射。檢測器行102檢測檢測區(qū)域106并將對(duì) 應(yīng)于所述檢測的電信號(hào)饋送到信號(hào)處理單元108中以便生成測量數(shù)據(jù)。信 號(hào)處理單元108可以控制檢測器100和輻射源114的操作。此外，測量設(shè) 備可以例如通過數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)與外部設(shè)備通信。測量設(shè)備可利用公共電網(wǎng)或電 池作為其電源。
現(xiàn)在參考圖1B來描述根據(jù)上述測量設(shè)備的測量方案。在該方案中， 檢測器100例如在檢測器100的檢測器行102中產(chǎn)生表面104的圖像。也 可以使用非成像光學(xué)器件來取代成像光學(xué)器件。檢測器行102的檢測器的 成像區(qū)域序列在表面104上產(chǎn)生帶狀檢測區(qū)域106。該成像區(qū)域也可被稱 為檢測區(qū)域，但在該示例中，我們將使用術(shù)語"成像區(qū)域"。檢測器行102 包括至少兩個(gè)檢測器單元，即像素1020。商用的行檢測器在一行中可包 括從幾個(gè)檢測器單元到數(shù)千個(gè)檢測器單元，且當(dāng)使用相鄰行時(shí)，單元的數(shù) 量可增加到幾百萬單元。在檢測器行102中，可以^^面104成像，或者 更一般地，可以以期望的頻率連續(xù)檢測該表面，所述頻率可針對(duì)所ii^面 或表面平移的主移動(dòng)被調(diào)整。為了檢測某些現(xiàn)象，每天或每月進(jìn)行成像就 足夠了。最高成像頻率受限于檢測器的操作，但是可以以IOOO像素的行 檢測器使用大約100kHz的頻率。不僅僅可以使用行檢測器，還可以使用 矩陣檢測器，在這種情況下矩陣檢測器的一個(gè)或多個(gè)像素行可以用作行檢 測器。矩陣檢測器可以用于通過使用交叉檢測行來確定在相對(duì)檢測行而言 的橫向方向上的檢測器和待測表面之間的傾斜(見圖4A和4B )。
表面104的主移動(dòng)方向通過箭頭示出。表面的主移動(dòng)指的是表面連續(xù) 進(jìn)行的明確移動(dòng)。如果所考慮的表面部分平行于所述主移動(dòng)，則在主移動(dòng) 方向上移動(dòng)的目標(biāo)的平移與另外平行于主移動(dòng)但沿表面所測量的平移是 相等的。表面平移指的是偏離目標(biāo)主移動(dòng)的移動(dòng)或輕m動(dòng)妄。這種移動(dòng) 包括朝向或遠(yuǎn)離檢測器行的表面移動(dòng)、表面相對(duì)于檢測器行的傾斜(或反 之亦然)、靜止目標(biāo)的表面的局部變形和/或輕微運(yùn)動(dòng)。
該測量裝置可用于以現(xiàn)有技術(shù)方式確定表面平面方向上的表面速率， 其按以下來執(zhí)行。通過將檢測器行102的至少兩個(gè)連續(xù)的圖像行收集到信 號(hào)處理單元108的存儲(chǔ)器或普通響應(yīng)行中，響應(yīng)行可祐i殳置成響應(yīng)矩陣。 在響應(yīng)矩陣中，強(qiáng)度或另一特性與周圍環(huán)境不同的點(diǎn)形成線狀曲線，該曲 線的方向依賴于表面移動(dòng)。可梠^據(jù)測量幾何(measuring geometry)來選 擇位置和時(shí)間軸，在這種情況下，通過旋繞響應(yīng)矩陣可測量到描述每個(gè)曲 線的方向的角系數(shù)，以^更獲得例如平行于位置軸和時(shí)間軸的傾斜度。在這
種情況下，獲得角系數(shù)作為這些傾斜度之間的關(guān)系，并且可針對(duì)響應(yīng)矩陣 中的每個(gè)點(diǎn)來確定速率或者與之成正比的值。可進(jìn)一步通過將每個(gè)響應(yīng)行 的速率值進(jìn)行平均來改進(jìn)測量精度?？赏ㄟ^只將那些平方和超過預(yù)定值的 值取到將被總計(jì)的值當(dāng)中，來控制將被包括在平均值中的值的選擇。這樣， 只有響應(yīng)矩陣中響應(yīng)矩陣線中之一所包括的點(diǎn)被選取到將被平均的值當(dāng)
中。這種方案在芬蘭的專利80527中進(jìn)行了詳細(xì)的描述。
另一現(xiàn)有技術(shù)方案涉及在兩個(gè)點(diǎn)檢測移動(dòng)表面并在校正的基礎(chǔ)上確 定表面在測量點(diǎn)之間平移所需的時(shí)間。除時(shí)間之外，還可確定表面速率。 可以通過直接關(guān)聯(lián)檢測器單元信號(hào)或者通過關(guān)聯(lián)檢測器單元的頻率響應(yīng) 來進(jìn)行測量，這取決于表面104的結(jié)構(gòu)和/或其是否被圖案化。這種測量 布置可根據(jù)圖1A來實(shí)施，在這種情況下，可在兩個(gè)檢測器單元的響應(yīng)信 號(hào)之間或在一組兩個(gè)期望檢測器單元之間形成關(guān)聯(lián)。可通過在待測區(qū)域中 盡可能精確和全面地測量檢測器和待測表面之間的距離，來確定在表面平 移的測量中同時(shí)使用的放大數(shù)據(jù)。
在圖1C中，借助于兩個(gè)檢測器來確定放大數(shù)據(jù)。圖1C圖示了使用 兩個(gè)檢測器(例如照相機(jī))120、 122的方案，這兩個(gè)檢測器以兩個(gè)不同 的放大率來檢測待測表面104，并且可以基本類似于檢測器100。檢測器 行及其光學(xué)器件可枕故置成使得它們在主移動(dòng)方向上具有^^共的光平面。 加粗的線150圖示了兩個(gè)檢測器一起檢測的線狀區(qū)域。
放大率M可通過關(guān)系式L/F來確定，其中L為待測目標(biāo)到檢測器的 距離，F(xiàn)為光學(xué)器件的焦距。通過例如以下設(shè)置可以實(shí)現(xiàn)不同的放大率。 距離L1和L2是不同的并且/或者焦距F1和F2是不同的。光學(xué)器件之一 還可以是遠(yuǎn)心的。還可以通過利用例如分束器(圖1C中未示出)將ii^ 光學(xué)器件之一的光信號(hào)分到不同距離處的兩個(gè)檢測器行中來實(shí)現(xiàn)不同的 放大率。兩個(gè)放大率的使用還集中在當(dāng)前邊緣和后邊緣從一個(gè)像素移動(dòng)到 另一像素時(shí)所述邊緣平移的測量(見圖7A至8B),所述集中是基于距離 以及一個(gè)或多個(gè)檢測器的信號(hào)響應(yīng)的使用。還可以借助于單獨(dú)的距離測量 來確定放大數(shù)據(jù)，在這種情況下，例如檢測器122可確定距離。
圖1D圖示了所述方案的不同測量。檢測器120的焦距為Fl，檢測器 122的焦距為F2。檢測器120到待測表面104的距離為Ll，檢測器122 到待測表面104的距離為L2。在檢測器120上形成的目標(biāo)S0的圖像的像 素大小為Pl,在檢測器122上形成的目標(biāo)SO的圖〗象的像素大小為P2。 為簡^^UL，兩個(gè)檢測器120， 122的像素大小可被確定為相同，即PL。 特定待測目標(biāo)的大小為SO,且檢測器之間的距離為AL。檢測器120的放 大率M1將為M1-L1/F1，檢測器122的放大率M2-L2/F2。下式適用于 距離L2: L2=L1+AL。由于S0=P1*M1*PL=P2*M2*PL，因此可導(dǎo)出下 式
L1 =P2*AL*P1〗/[P1*F2 — P2*F1
(l)
由于公式(1 )中除了目標(biāo)的圖像大小Pl和P2以外的其它因ltA常 數(shù)，因此可通過確定待測表面104的距離和/或測量期間該距離的變化來 確定圖像中目標(biāo)的圖像大小Pl和P2。所i^巨離的變化通常意味著待測目 標(biāo)的表面104的高度或形狀的變化。測量至少部分相同的檢測區(qū)域的兩個(gè)
類似檢測器的使用提供了精確而冗余的目標(biāo)和表面平移以;sj逸率的測量。
該測量不同于傳統(tǒng)的測量，原因在于該測量不是借助于僅一個(gè)點(diǎn)來進(jìn)行， 而是借助于整個(gè)的行矩陣來進(jìn)行。此外，兩個(gè)不同的檢測器可以用于平移 和速率測量中的自診斷，使得可以分別通過兩個(gè)檢測器來測量平移和速 率，且結(jié)果可以相互比較。如果結(jié)^J&此相差很大，則與某一檢測器有關(guān) 的測量i殳備部分有缺陷。
在根據(jù)圖2A的情形下，表面104靠近檢測器行102。通過平行設(shè)置 若干響應(yīng)行1至6來形成響應(yīng)矩陣10。在響應(yīng)矩陣IO中圖示了描述測量 原理的連續(xù)時(shí)刻^至tn的連續(xù)移動(dòng)以及包括在行中的一些檢測單元。由 于表面104靠近檢測器行，因此響應(yīng)矩陣10的曲線200至204看起4U4: 此發(fā)散。即使實(shí)際上所述曲線可以利用檢測單元的精確性而變得可見，在 該示例中也畫出所述曲線以便更好地描述測量原理?？赏ㄟ^確定曲線的角 度(p或角系數(shù)kk來測量曲線方向，角度cp或角系數(shù)kk相互依賴， tan(q>)=kk，其中tan()表示三角正切函數(shù)?？梢哉J(rèn)為在曲線的角系數(shù)kk 和4測目標(biāo)的速率v之間有依賴關(guān)系v=k*kk，其中k為常數(shù)，且k可通 過計(jì)算或?qū)嶒?yàn)來確定。常數(shù)k依賴于例如測量中使用的放大率。通常，常 數(shù)k根據(jù)放大系數(shù)M來按比例確定，即通過測量所獲得的放大數(shù)據(jù)被用 作在主移動(dòng)方向上的被測表面平移和所計(jì)算的平移之間的比例系數(shù)。有關(guān) 角度的信息因此對(duì)應(yīng)于所計(jì)算的測量信息。通過測量至少一個(gè)曲線的方向 變化Aq^cpr(pi，可確定檢測器行102和表面104之間的平移。所述平移可 被確定為使104之間平移的速率。所述平移可被確定為檢測器行102和表 面104彼此靠近的速率?？商孢x地或另外，可以確定和相互比較至少兩個(gè) 曲線的方向q)2和cp3，以便確定方向變化A(p-(pr93，以及檢測器行102和表 面104之間的平^。
圖2B圖示了根據(jù)圖2A的測量幾何的變化。在h時(shí)刻，待測表面104 距檢測器100的檢測器行102有由實(shí)線表示的距離，而在t4時(shí)刻,表面104 距檢測器100的檢測器行102有由虛線表示的距離。箭頭表示平移的方向。
在根據(jù)圖3A的情形下，表面104離開檢測器行102,但另外該圖示 對(duì)應(yīng)于圖2A中的情形，盡管在該圖中未示出響應(yīng)矩陣的單元。在這種情 況下，響應(yīng)矩陣10的曲線200至204看起來彼此靠近。如圖2A中所示
的情況，可以通過測量至少一個(gè)曲線的方向上的變化Acp-(p2-(Pi，來確定檢 測器行102和表面104之間的平移。該平移可確定為檢測器行102和表面
104彼此離開的速率?？商孢x地或另外，可以確定并相互比較至少兩個(gè)曲 線的方向q)2和93，以便確定方向變化A(p-(p2-q)3以及檢測器行102和表面 104之間的平移。在圖2A和3A的情況下，可測量表面104法線方向上 的速率。例如，曲線角度的平均可用來測量表面104在表面平面方向上的 主速率.在這些示例中，表面104是靜止的，根本沒有在表面104平面上 移動(dòng)。
圖3B圖示了根據(jù)圖3A的測量幾何的變化。在^時(shí)刻，待測表面104 距檢測器100的檢測器行102有由實(shí)線表示的距離，而在t4時(shí)刻，表面104 距檢測器100的檢測器行102有由虛線表示的距離。箭頭表示平移的方向。
圖4A圖示了表面的響應(yīng)矩陣10，其中，圖像區(qū)域106的末端110比 該圖像區(qū)域的始端112更接近檢測器行102，即檢測器行102的方向和待 測表面104的法線彼此不成垂直角。圖4A中的圖示對(duì)應(yīng)于圖2A中的情 形，盡管該圖中并未示出響應(yīng)矩陣的單元。在圖4A所示的情形下，曲線 彼此離開。在相反傾斜的情況下，曲線將彼此靠近，如圖2A和3A所示
的情況下，可通過測量至少一個(gè)曲線的方向上的變化A(p-cp2-q)i來確定檢測 器行102和表面104之間的平移。該平移可被確定為檢測器行102和表面
104相對(duì)于彼此的傾斜角度a?？商孢x地或另外，可以確定并相互比較至 少兩個(gè)曲線的方向(P2和(P3，以^f更確定方向變化Acp-92-93以及檢測器行102 和表面104之間的平移。在圖4A的情況下，傾斜角度a增加。
圖4B圖示了棉*據(jù)圖4A的平移。在t時(shí)刻，待測表面104相對(duì)于檢 測器100的檢測器行102處于用實(shí)線標(biāo)記的位置處，而在tn時(shí)刻，表面 104相對(duì)于檢測器100的檢測器行102處于用虛線標(biāo)記的位置處。
圖2A至4B圖示了測量表面104和檢測器行102之間的移動(dòng)或者距 離上的變化。
圖5A和5B圖示了表面輪廓的測量。在該示例中，測量了與表面104 中的凹陷類似的平移510。除凹陷之外，也可以是凸起。圖5A中的圖示 對(duì)應(yīng)于圖2A中的情形，盡管該圖中并未示出響應(yīng)矩陣單元。在從h時(shí)刻 到tn時(shí)刻的響應(yīng)矩陣10的連續(xù)圖像中，由凹陷引起的曲線500至506的 變形508隨著表面104的主移動(dòng)而在行圖像中移動(dòng)。表面104的主速率可 基于凹陷移動(dòng)的距離以及移動(dòng)該距離所用的時(shí)間來測量。表面的主速率還 可禍JI曲線的方向(其通過角JLy示出)來確定。平移510的大小可借助 于由凹陷引起的變形508的方向(其通過角度cp4示出)來確定。通過角度 (P4指示的方向可以與例如指示表面速率的角度Y的方向來比較。從該比較 可以確定變化Acp，-(P4，以表達(dá)例如凹陷底部比表面104的其余部分離檢 測器行102遠(yuǎn)多少，即，可確定凹陷深度。表面輪廓的測量可用于測量待 測表面的均勻度或者片狀目標(biāo)的平坦度。
圖5A和5B涉;5L^面104和檢測器行102之間距離的變化。 在圖5B中，表面的主速率及其方向，即其ilJL，由矢量5表示。對(duì)
于測量，通常有必要將檢測器行102的方向F設(shè)置成平行于表面的主i^L ^ 。
還可以通過在成像時(shí)使用兩個(gè)或更多個(gè)不同的放大率來測量描述平 移的變化(見圖1C和1D)。由于不同的放大率，每個(gè)被測曲線或曲線部 分的方向在相同^Ht下產(chǎn)生的編輯圖像中是不同的，即在響應(yīng)矩陣中，每 個(gè)被測曲線或曲線部分的方向是不同的。被測曲線的數(shù)量可從一個(gè)到多個(gè) 變化。因此，4吏用一個(gè)放大率所產(chǎn)生的編輯圖像可用來作為4吏用另一放大 率所產(chǎn)生的編輯圖像的參考。
成1象光學(xué)器件之一可以是遠(yuǎn)心成^象光學(xué)器件，在這種情況下，距離變 化不引起線方向的變化，但是當(dāng)使用遠(yuǎn)心光學(xué)器件時(shí)，圖2A， 3A， 4A 和5A中所示的曲線^Ufr作筆直的。其原因在于當(dāng)在成像過程中使用遠(yuǎn)心 光學(xué)器件時(shí)沒有透視。這樣，當(dāng)在成像過程中使用遠(yuǎn)心光學(xué)器件時(shí)，圖 2A的曲線平行于直線202,圖3A的曲線平行于曲線302，圖4A的曲線 平行于曲線400，且圖5A的曲線在所有ti至tn時(shí)刻都成角度Y。由遠(yuǎn)心 光學(xué)器件形成的直線可用作參考，使得利用非遠(yuǎn)心光學(xué)器件成像的曲線的 方向與利用遠(yuǎn)心光學(xué)器件成像的曲線的方向進(jìn)行比較。在這種情況下，曲 線方向之間的差與表面平移成比例。
圖6圖示了"零速率"的測量。與其它示例不同，在該實(shí)施例中，表面的主移動(dòng)方向?qū)?yīng)于平移方向。根據(jù)該示例的簡單響應(yīng)矩陣600包括7x7
檢測器單元。在單元C中的^至t4行中可以看見呈現(xiàn)直線形的曲線。這 意味著當(dāng)測量到這些行時(shí)，被測表面沒有平移。在ts至t7行中，在單元B 中可以看見線狀曲線.這意味著依賴于成像光學(xué)器件，導(dǎo)致線狀曲線的表 面目標(biāo)向左或右移動(dòng)了對(duì)應(yīng)于一個(gè)l象素寬度的距離，其可被看作在t4和 ts時(shí)刻像素之間在方向和位置上的變化。在通常情況下，在表面水平方向 上超過預(yù)定閾值的表面104平移可被設(shè)置為附加手段的IH中。如果預(yù)定值 為0個(gè)像素，則曲線602必須保:持完全筆直。在圖6的情況下，平移為1 個(gè)像素，因此執(zhí)行附加手段。附加手段可以是對(duì)例如可由平移引起的產(chǎn)品 質(zhì)量下降這一事實(shí)的警告，或者是平移的校正移動(dòng)以便消除平移。
有時(shí)，允許小的平移，但不允許大的平移。在這種情況下，針對(duì)平移 的預(yù)定閾值可以是例如在5或50個(gè)連續(xù)時(shí)刻之間的2個(gè)像素。在圖6的 情況下，平移將小于預(yù)定閾值，不執(zhí)行附加手段。
由于具有像素大小的平移通常很小，因此測量設(shè)備可被認(rèn)為是精確的 平移計(jì)。因此，測量設(shè)備可被用于監(jiān)測待測表面是否保持靜止，或者表面 是否緩慢地移動(dòng)。如果平移是連續(xù)的，則測量設(shè)備還可以用于確定表面速 率。
當(dāng)考慮到相對(duì)于檢測器的操作速率緩慢或^^慢的移動(dòng)時(shí)，可刪除響 應(yīng)矩陣行。這樣，響應(yīng)矩陣可被壓縮，在這樣情況下，由慢現(xiàn)象引起的線 開始越來越偏離由靜止目標(biāo)所產(chǎn)生的線(垂直方向)。
現(xiàn)在參考圖7A至8B來描述目標(biāo)邊緣的測量。這些示了 7x9的 像素矩陣，其中線表示待測的被檢測目標(biāo)。未示出背景被聚焦的像素。圖 7A圖示了待測目標(biāo)116的前邊緣700進(jìn)入檢測區(qū)域106，且前邊緣700 在每個(gè)成像時(shí)刻進(jìn)一步進(jìn)入到檢測區(qū)域106中的情況。
圖7B圖示了對(duì)應(yīng)于圖7A中矩陣的矩陣，其由成像行產(chǎn)生。盡管實(shí) 際上，矩陣像素的數(shù)量可以是數(shù)千個(gè)甚至幾百萬個(gè)，但是為了圖示和簡便， 圖中的矩陣像素?cái)?shù)量很少。在t時(shí)刻，待測目標(biāo)被成像到兩個(gè)像素上。在 t2時(shí)刻，待測目標(biāo)被成像到三個(gè)像素上。在t3時(shí)刻，待測目標(biāo)還被成像到 三個(gè)像素上。在t4時(shí)刻，待測目標(biāo)被成像到四個(gè)像素上，在這樣情況下， 待測目標(biāo)的前邊緣處于測量行的中間。在t5時(shí)刻，待測目標(biāo)被成像到五個(gè) 像素上。在t6時(shí)刻，待測目標(biāo)被成像到六個(gè)像素上。在t7時(shí)刻，待測目標(biāo) 被成像到七個(gè)像素上。在ts時(shí)刻，待測目標(biāo)^像到全部的七個(gè)像素上。 在t9時(shí)刻，待測目標(biāo)被成像到全部的七個(gè)像素上。
在特定時(shí)刻待測目標(biāo)116未成像到的矩陣像素中可以看見垂直線。這 些線可通過信號(hào)處理單元108被確定為完M止。盡管意味著移動(dòng)的對(duì)角 線出現(xiàn)在將待測目標(biāo)116的表面104成像的像素中，但是矩陣區(qū)域?qū)⑻峁?一個(gè)表示比待測目標(biāo)的真實(shí)速率慢得多的速率值作為平均值。因此當(dāng)在待 測目標(biāo)116的移動(dòng)中觀察到有突變時(shí)，待測目標(biāo)116的邊緣700能夠^L^見 察和檢測到。此外，當(dāng)已經(jīng)在整個(gè)檢測區(qū)域106內(nèi)并且因此在整個(gè)像素行 內(nèi)(即，從根據(jù)圖7B的示例的t7時(shí)刻開始)檢測到待測目標(biāo)116之后， 可以測量到待測目標(biāo)116的移動(dòng)。
圖8A圖示了待測目標(biāo)116的后邊緣700 l檢測區(qū)域106，并且后 邊緣800在每個(gè)成像時(shí)刻進(jìn)一步itJV檢測區(qū)域106的情形。
圖8B圖示了對(duì)應(yīng)于圖8A的由成像行形成的矩陣。在^時(shí)刻，待測 目標(biāo)被成像到全部的像素上。在t2時(shí)刻，待測目標(biāo)被成像到全部的像素上。 在t3時(shí)刻，待測目標(biāo)M像到六個(gè)像素上。在t4時(shí)刻，待測目標(biāo)被成像到 五個(gè)像素上。在ts時(shí)刻，待測目標(biāo)還被成像到五個(gè)像素上。在t6時(shí)刻，待 測目標(biāo)^/f象到四個(gè)〗象素上，且待測目標(biāo)的前邊緣處于測量行的中間。在 t7時(shí)刻，待測目標(biāo)被成像到三個(gè)像素上。在ts時(shí)刻，待測目標(biāo)M像到三 個(gè)像素上。在t9時(shí)刻，待測目標(biāo)被成像到兩個(gè)像素上。
如在前邊緣的情況下，在特定時(shí)刻待測目標(biāo)116未成1象到的矩陣^象素 中可以看見垂直線，且信號(hào)處理單元108確定這些線為完4^止的。盡管 意味著移動(dòng)的對(duì)角線出現(xiàn)在將待測目標(biāo)116的表面104成像的像素中，但 是矩陣區(qū)域?qū)⑻峁┮粋€(gè)表示比待測目標(biāo)的真實(shí)速率慢得多的速率值作為 平均值。因此當(dāng)在待測目標(biāo)116的移動(dòng)中觀察到有突變時(shí)，待測目標(biāo)116 的邊緣700能夠^f見察和檢測到。此外，當(dāng)已經(jīng)在整個(gè)檢測區(qū)域106內(nèi)并 且因此在整個(gè)像素行內(nèi)(即，從根據(jù)圖7B的示例的t6時(shí)刻開始)檢測到 待測目標(biāo)116之后，可以測量到待測目標(biāo)116的移動(dòng)。
由于隨著目標(biāo)116的移動(dòng)，通過同一測量設(shè)備可以檢測到前和后邊 緣，因此不需要分離的檢測器iM^測待測目標(biāo)的邊緣，這簡化了測量設(shè)備。
圖9A圖示了用于使測量設(shè)備聚焦以便測量的參考圖案的示例。參考 圖案卯O可在金屬、塑料或紙上圖案化。參考圖案卯O還可直接在待測目 標(biāo)116的表面104上圖案化。參考圖案可以例如打印或印刷在期望目標(biāo)的 表面上，且參考圖案卯0的大小可祁_據(jù)目的而變化。參考圖案在期望的測 量方向上被置于待測目標(biāo)116的表面104上?？梢砸云谕木_度來確定 和測量所述方向和位置。當(dāng)一個(gè)或多個(gè)參考圖案卯0被置于待測目標(biāo)116上時(shí)，檢測器100可借助于參考圖案900而在待測目標(biāo)116上聚焦。
參考圖案900可包括在檢測的橫向方向上具有變化寬度的圖案.取代 或除了寬度之外，變化的M還可以例如是強(qiáng)度或顏色。圖像可以是等邊、 等腰或直角三角形或其它圖案。在參考圖案900的末端，可以有頂點(diǎn)在參 考圖案900中間的三角形。在末端的三角形的高度h可以與參考圖案900 中間的其它三角形的寬度1相同。在光學(xué)測量中可以用不同的^JL比例或 顏色將這些三角形彼此分開。
圖9B圖示了在檢測器100的行檢測器902相對(duì)于參考圖案900旋轉(zhuǎn) 的情況下，檢測器100所檢測的參考圖案900的編輯圖像952。編輯圖像 也被稱為響應(yīng)矩陣。由于參考圖案卯0包括變化的圖案，其在編輯圖像中 的寬度取決于檢測區(qū)域與每個(gè)圖案相交的情況。因此，從圖9B可以4艮容 易地看到，行檢測器102不平行于參考圖案900。還可以推斷出偏離角度， 從而易于將檢測器100旋轉(zhuǎn)到行檢測器102平行于參考圖案卯O的位置。
圖9C圖示了在檢測器100平行于參考圖案卯0移動(dòng)的情形下，檢測 器100所檢測的參考圖案900的編輯圖像954。在這種情況下， 一些圖案 (白色部分)比其它圖案(劃線部分)寬。末端圖案為，每個(gè)末端圖案所 產(chǎn)生的編輯圖案在參考圖案的中間軸上具有最大寬度。類似地，參考圖案 卯0的圖像954中的末端圖案比其它圖案窄。這種情況可以通過平行地移 動(dòng)檢測器100來校正，在成功的校正之后，檢測器100可檢測到根據(jù)圖 9D的編輯圖像956，其中所有圖案具有相同的寬度，編輯圖案的總長度 為其最大值，且由末端所產(chǎn)生的編輯圖案具有其最大寬度。在參考圖案中， 末端圖案被看作圖案頂點(diǎn)。因此易于根據(jù)待測表面的主移動(dòng)方向來設(shè)置參 考圖案。
參考圖案卯0還可包括例如三個(gè)更小的圃形圖案960至964,借助于 所述圓形圖案，檢測器100可大致并快速地在參考圖案900上聚焦，原因 是在檢測器102上將產(chǎn)生的圖4象中，圓形960至964的寬度根據(jù)不同的對(duì) 準(zhǔn)偏離而發(fā)生變化.
測量設(shè)備還可以在沒有參考圖案900的情況下被聚焦以便進(jìn)行測量。 下面可就一個(gè)檢測器對(duì)其進(jìn)行描述，不過該描述也適用于兩個(gè)檢測器。借 助于均勻移動(dòng)的表面，通過繞光軸旋轉(zhuǎn)檢測器，可搜索到響應(yīng)矩陣中所檢 測的一個(gè)或多個(gè)曲線的角系數(shù)的最大值。在這之后，可在待測表面的主移 動(dòng)方向上傾斜檢測器，使得在檢測器起始處檢測的一個(gè)或多個(gè)曲線的角系 數(shù)相同。在零速率和移動(dòng)表面兩種情況下，都可以可*、通過計(jì)算支持
地或完全自動(dòng)地執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)。
圖10A圖示了在響應(yīng)矩陣600中觀察到由與檢測器100的操作速率 相比的快速現(xiàn)象所產(chǎn)生的線1500的情形。由于這種原因，線1500處于(非 常)陡的角度a。如果角度a大于例如70°,則難以精確測量待測目標(biāo)的 速率。可通過執(zhí)行行轉(zhuǎn)移來減小線1500的角度a。例如，可轉(zhuǎn)移行，該 轉(zhuǎn)移使角度減小45°,由線1502來標(biāo)注?？赏ㄟ^轉(zhuǎn)移每一行來執(zhí)行行轉(zhuǎn)移， 使得在每行中，由線1502貫穿的像素移動(dòng)到矩陣的左邊緣。同時(shí)，該行 中的其它l象素相應(yīng)移動(dòng)。
圖IOB圖示了執(zhí)行了行轉(zhuǎn)移的響應(yīng)矩陣。線1500的上升角減小，其 有利于并集中了待測目標(biāo)的測量.可執(zhí)行遠(yuǎn)離0軸的對(duì)應(yīng)轉(zhuǎn)移，以利于并 集中在響應(yīng)矩陣中觀察到由與檢測器的操作速率相比的慢現(xiàn)象所導(dǎo)致的 線的情形下的信號(hào)處理。
通過執(zhí)行若干次連續(xù)的行轉(zhuǎn)移，以及通過確定與每次轉(zhuǎn)移有關(guān)的待測 目標(biāo)的移動(dòng)，例如三次轉(zhuǎn)移可產(chǎn)生有關(guān)待測目標(biāo)的移動(dòng)的三個(gè)可能不同的 結(jié)果?？蓪⑦@些結(jié)果平均，并且由于每個(gè)結(jié)果都包括彼此獨(dú)立的隨機(jī)餘溪， 因此針對(duì)待測目標(biāo)的移動(dòng)，可獲得比各個(gè)結(jié)果中的任意一個(gè)更為精確的結(jié) 果。實(shí)際上，該結(jié)果改進(jìn)與測量結(jié)果的平方根成比例。例如，通過三次行
轉(zhuǎn)移，測量誤差可改進(jìn)y^。
圖11圖示了根據(jù)本方法的流程圖。在該方法中，表面104的移動(dòng)具 有至少一個(gè)主移動(dòng)方向。在步驟1100中，通過至少一個(gè)檢測器的檢測器 行重復(fù)檢測表面，檢測器行的方向與表面的主移動(dòng)方向相同，且同時(shí)檢測 表面和檢測器之間的距離以產(chǎn)生放大數(shù)據(jù)和響應(yīng)行。在步驟1102中，將 連續(xù)的響應(yīng)行i殳置成響應(yīng)矩陣。在步驟1104中，確定每個(gè)響應(yīng)矩陣中至 少一個(gè)曲線的方向。在步驟1106中，基于放大數(shù)據(jù)，在所形成的響應(yīng)矩 陣中借助至少一個(gè)曲線或曲線部分的一個(gè)或多個(gè)方向來確定表面平移。
圖11所示的方法可被實(shí)施為基于邏輯電路或計(jì)算M序的方案。計(jì) 算M序可在計(jì)算M序發(fā)行介質(zhì)上提供，以便其發(fā)行。計(jì)算M序發(fā)行 介質(zhì)可通過數(shù)據(jù)處理設(shè)備來讀取，并且其對(duì)計(jì)算機(jī)程序命令進(jìn)行編碼以便 測量表面平移。
發(fā)行介質(zhì)可以是用于發(fā)行計(jì)算機(jī)程序的現(xiàn)有技術(shù)方案，比如可通過數(shù) 據(jù)處理設(shè)備讀取的介質(zhì)、程序存儲(chǔ)介質(zhì)、可通過數(shù)據(jù)處理設(shè)備讀取的存儲(chǔ) 器、可通過數(shù)據(jù)處理設(shè)備讀取的程序發(fā)行包、可通過數(shù)據(jù)處理設(shè)備讀取的
信號(hào)、可通過數(shù)據(jù)處理設(shè)備讀取的電信信號(hào)或者可通過數(shù)據(jù)處理設(shè)備讀取 的壓縮軟件包。
除了上述之外，本方案還可應(yīng)用于識(shí)別車輛移動(dòng)狀態(tài)和位置。在這樣 的情況下，其可用作車輛穩(wěn)定系統(tǒng)的一部分。所述車輛可以是例如不需要 司機(jī)就可自動(dòng)移動(dòng)或者由司機(jī)控制的工業(yè)動(dòng)力工具。
盡管參考根據(jù)附圖的示例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述，很顯然本發(fā)明不限于 這些，而是可以在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)以各種方式進(jìn)行修改。
權(quán)利要求
1.一種測量表面平移的方法，所述方法包括待測目標(biāo)(116)的表面(104)的移動(dòng)具有至少一個(gè)主移動(dòng)方向，其特征在于，通過至少一個(gè)檢測器(100，120，122)的檢測器行(102)來重復(fù)檢測(1100)所述表面(104)，所述檢測器行(102)的方向與所述表面的主移動(dòng)方向相同，并且同時(shí)檢測所述表面(104)和所述檢測器(100，120，122)之間的距離以產(chǎn)生放大數(shù)據(jù)和響應(yīng)行(1至6)；將連續(xù)的響應(yīng)行(1至6)設(shè)置(1102)成響應(yīng)矩陣(10，600)；確定(1104)每個(gè)響應(yīng)矩陣(10，600)中至少一個(gè)曲線(200-204，300-304，400-404，500-506，602)的方向；以及基于放大數(shù)據(jù)，在所形成的所述響應(yīng)矩陣(10，600)中借助于至少一個(gè)曲線(200-204，300-304，400-404，500-506，602)或曲線部分的一個(gè)或多個(gè)方向來確定(1106)表面(104)平移；
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，通過比較至少一個(gè)曲 線(200-204， 300-304， 400-404， 500-506, 602 )至少在兩個(gè)不同時(shí)刻的 方向來確定所^4面(104)平移。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，通過比較不同曲線 (200-204， 300-304, 400-404， 500-506， 602)的方向來確定所述平移。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，通過比較由遠(yuǎn)心光學(xué) 器件形成的響應(yīng)矩陣(10, 600)中至少一個(gè)曲線(200-204， 300-304， 400-404， 500-506， 602)的方向和由非遠(yuǎn)心光學(xué)器件形成的響應(yīng)矩陣(10， 600)中至少一個(gè)曲線(200-204， 300-304， 400-404， 500-506， 602)的 方向，來確定所W面(104)平移。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，借助于放大率來測量 所i^面(104)和所述檢測器行(102)之間距離上的變化或移動(dòng)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，借助于所W面(104 ) 平移來測量所W面(104)和所述檢測器行(102)之間的傾斜。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，借助于所述表面(104 ) 平移來測量表面(104)輪廓。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，通過借助于超過所述 響應(yīng)矩陣中曲線(200-204， 300-304， 400-404， 500-506， 602)的預(yù)定閾 值的偏離來測量在所W面(104)平面的平移，從而測量零速率時(shí)的所 W面(104)平移。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，通過至少兩個(gè)檢測器 單元(1020)的響應(yīng)信號(hào)之間的校正測量，來進(jìn)一步確定表面(104)速 率。
10. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的方法，其特征在于，通過至少兩個(gè)檢測器 (120， 122)來測量待測表面(104)上目標(biāo)(124)的圖像(126， 128)的大小，并且根據(jù)所述圖像大小來確定所述待測表面(104)的距離和/ 或多巨離變4t。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，通過至少一個(gè)曲線的 方向來確定待測目標(biāo)(116)的速率，并且通過所述速率的變化來檢測所 述待測目標(biāo)(116)的邊緣(700， 800)。
12. —種用于測量表面平移的測量i殳備，其特征在于，所述測量i殳備 包括至少一個(gè)檢測器(100, 120， 122)，包括檢測器行(102);檢測器(100， 120， 122)用于測量表面(104)和所述檢測器(100， 120， 122)之間距離以便確定放大數(shù)據(jù)；以及信號(hào)處理單元(108);并且為了形成響應(yīng)行(1至6 )，每個(gè)檢測器行(102 )被設(shè)置成重復(fù), 測待測目標(biāo)(116)的所W面(104)，所^面具有至少一個(gè)主移動(dòng)方 向，并且每個(gè)檢測器行(102)的方向^Li殳置成和所i^面(104)的主移 動(dòng)方向壽目同；所述信號(hào)處理單元(108)被設(shè)置成接^巨離信息以及由每個(gè)檢測器 行(102 )形成的所述響應(yīng)行(1至6 )，根據(jù)連續(xù)的響應(yīng)行(1至6 )形成 與每個(gè)檢測器行(102)有關(guān)的響應(yīng)矩陣，以及確定每個(gè)響應(yīng)矩陣(10, 600)中至少一個(gè)曲線(200-204， 300-304， 400-404, 500-506， 602)的 方向；并且所述信號(hào)處理單元(108)被設(shè)置成基于放大數(shù)據(jù)，在所形成的響應(yīng) 矩陣(10, 600)中借助于至少一個(gè)曲線(200-204, 300-304， 400-404, 500-506， 602)或曲線部分的一個(gè)或多個(gè)方向來確定表面(104)平移。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的測量設(shè)備，其特征在于，所述信號(hào)處理 單元(108)被設(shè)置成通過比較一個(gè)曲線(200-204， 300-304， 400-404， 500-506， 602)至少在兩個(gè)不同時(shí)刻的方向來確定所^面(104)平移。
14. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的測量設(shè)備，其特征在于，所述信號(hào)處理 單元被設(shè)置成通過比較不同曲線(200-204， 300-304， 400-404， 500-506， 602)的方向來確定所述平移。
15. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的測量設(shè)備，其特征在于，所述檢測器(100， 120， 122)被i殳置成形成至少兩個(gè)響應(yīng)矩陣(10， 600),其中至少一個(gè)響 應(yīng)矩陣由遠(yuǎn)心成^f象光學(xué)器件形成，并且至少一個(gè)矩陣由非遠(yuǎn)心成像光學(xué)器 件形成；并且所述信號(hào)處理單元(108)被設(shè)置成通過比較由遠(yuǎn)心光學(xué)器 件形成的響應(yīng)矩陣(10， 600 )中至少一個(gè)曲線(200-204， 300-304， 400-404， 500-506， 602)的方向和由非遠(yuǎn)心光學(xué)器件形成的響應(yīng)矩陣(10， 600) 中至少一個(gè)曲線(200-204， 300-304， 400-404, 500-506, 602)的方向， 來確定所ii^面(104)平移。
16. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的測量設(shè)備，其特征在于，所述信號(hào)處理 單元(108 )被設(shè)置成借助于放大率來測量所i^面(104 )和所述檢測器 行(102)之間距離上的變化或移動(dòng).
17. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的測量設(shè)備，其特征在于，所述信號(hào)處理 單元(108)被設(shè)置成借助于所i^面(104)平移來測量所ii^面(104 ) 和所述檢測器行(102)之間的傾斜。
18. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的測量設(shè)備，其特征在于，所述信號(hào)處理 單元(108)被設(shè)置成借助于所i^面(104)平移來測量表面(104)輪 廊，
19. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的測量設(shè)備，其特征在于，所述信號(hào)處理 單元(108)被設(shè)置成通過借助于超過所述響應(yīng)矩陣中曲線(200-204， 300-304, 400-404， 500-鄰6, 602 )的預(yù)定閾值的偏離，來測量在表面(104) 平面的平移，從而測量零速率時(shí)的所^面(104)平移。
20. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的測量設(shè)備，其特征在于，所述信號(hào)處理 單元(108)被設(shè)置成借助于至少兩個(gè)檢測器單元(1020)的響應(yīng)信號(hào)之 間的校正測量，來確定表面(104)速率。
21. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的測量設(shè)備，其特征在于，所述信號(hào)處理 單元(108)被設(shè)置成通過至少兩個(gè)檢測器(120， 122)來測量所述待測 表面(104)上目標(biāo)(124)的圖像(126, 128)的大小，并且+艮據(jù)所述圖 像大小來確定所述待測表面(104)的距離和/或距離變化。
22.根據(jù)權(quán)利要求12所述的測量設(shè)備，其特征在于，所述信號(hào)處理 單元(108 ) ^Li殳置成通過至少一個(gè)曲線的方向來確定待測目標(biāo)(116)的 速率，并且通過所^it率的變化i)b險(xiǎn)測所述待測目標(biāo)(116)的邊緣(700， 800 )。
全文摘要
通過至少一個(gè)檢測器(100)的檢測器行(102)來重復(fù)檢測表面(104)，檢測器行(102)的方向與表面(104)的主移動(dòng)方向相同，同時(shí)檢測表面(104)和檢測器(100)之間的距離以產(chǎn)生放大數(shù)據(jù)和響應(yīng)行。將連續(xù)的響應(yīng)行設(shè)置成響應(yīng)矩陣，并確定矩陣中至少一個(gè)曲線的方向?；诜糯髷?shù)據(jù)，在所形成的矩陣中借助至少一個(gè)曲線或曲線部分的一個(gè)或多個(gè)方向來確定表面(104)的平移。
文檔編號(hào)G01P3/68GK101375127SQ200780003799
公開日2009年2月25日 申請(qǐng)日期2007年1月30日 優(yōu)先權(quán)日2006年1月30日
發(fā)明者漢努·約基寧 申請(qǐng)人:維?？诽毓?