專利名稱：探針卡及其組合裝配方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種探針卡及其組合裝配方法，特別是指一種通過(guò)一固定環(huán)與固定件的設(shè)計(jì)，而其使與測(cè)試針的末端形成一微帶線關(guān)系(micro strip line)的探針卡結(jié)構(gòu)及其組合裝配方法，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低，適用于測(cè)量高頻寬訊號(hào)的探針卡片使用。

背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體廠中，當(dāng)晶圓已進(jìn)行完所有制程時(shí)，通常都會(huì)進(jìn)行晶圓的電性測(cè)試(wafer testing；WAT)，以確認(rèn)所述的晶圓產(chǎn)品的電性是否正常；而一般對(duì)晶圓執(zhí)行電性測(cè)試時(shí)，會(huì)通過(guò)一探針卡(probe card)來(lái)做為測(cè)量介面，以確保制程的品質(zhì)，檢測(cè)合格后才可送交進(jìn)行封裝(package)步驟與各性質(zhì)測(cè)試(final test)。
如圖5所示，所述的探針卡是一印刷電路板A，其具有許多電路與每一電路電連接的測(cè)試針C(probe pins)，其中所述的探針卡設(shè)有一中心孔B(centralaperture)，所述的數(shù)個(gè)測(cè)試針C是結(jié)合在探針卡的底面的外周圍區(qū)域上，并以向下延伸方式、沿著一傾斜方向而自周圍區(qū)域朝向所述的探針卡的中心孔B，且各測(cè)試針C的末端恰好位于所述的中心孔B的下方位置上，而每一針尖以及與其對(duì)應(yīng)的電路即構(gòu)成一通道，當(dāng)欲進(jìn)行晶圓的電性測(cè)量時(shí)，只需將探針卡上的所有針尖精準(zhǔn)地點(diǎn)在晶圓上的特定接觸點(diǎn)，并通入測(cè)量訊號(hào)，即可判斷出所述的晶圓的電性特性是否正常，然而當(dāng)測(cè)量訊號(hào)頻率變高，速度增加，即需考慮阻抗匹配的問(wèn)題，傳統(tǒng)探針的制造方法則無(wú)法滿足此一需求。
現(xiàn)今高頻探針卡的設(shè)計(jì)上，是以利用同軸電纜取代傳統(tǒng)探針來(lái)進(jìn)行測(cè)量，但由于同軸線本身體積較粗，無(wú)法在有限的基板空間上設(shè)計(jì)與制作，且對(duì)于操作者而言，調(diào)整與測(cè)量上并非十分方便。另外，業(yè)界也研發(fā)出一種薄膜探針，以取代同軸電纜進(jìn)行高頻訊號(hào)的測(cè)量，其雖可達(dá)到所需的目的，惟在制造上須增加開(kāi)光罩等繁瑣步驟，且其成本較高也是一個(gè)問(wèn)題。


發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的是提供一種探針卡及其組合裝配方法，通過(guò)一固定環(huán)與固定件的設(shè)計(jì)，而使其與測(cè)試針的末端形成一微帶線關(guān)系(micro strip line)。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案包括 一種探針卡，其特征在于，其包括一具有電子電路的基板，所述的基板上設(shè)有一孔洞；數(shù)個(gè)測(cè)試針，所述的測(cè)試針設(shè)有一本體；一固定環(huán)，其中央部份有一貫穿孔洞，所述的固定環(huán)底部外壁上結(jié)合有所述的數(shù)個(gè)測(cè)試針，且固定環(huán)底部與測(cè)試針具有預(yù)定距離，所述的固定環(huán)穿塞在上述基板的孔洞上，所述的測(cè)試針本體前端與基板或外接線路形成電連接，而末端則位于所述的孔洞的下方；以及一固定件，結(jié)合在上述固定環(huán)的孔洞上，且所述的固定件末端是凸出在孔洞外，所述的固定件末端與所述的測(cè)試針末端形成微帶線關(guān)系。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案還包括 一種組合裝配如權(quán)利要求1所述的探針卡的方法，其特征在于，其包括以下步驟a、將數(shù)個(gè)測(cè)試針排列在一治具上；b、通過(guò)一粘著劑使數(shù)個(gè)測(cè)試針本體與設(shè)有孔洞的固定環(huán)底部間局部位置相互膠接固定；c、將固定環(huán)穿塞在探針卡基板的孔洞上，并將所述的測(cè)試針本體前端與基板或外接線路形成電連接；d、調(diào)整探針卡孔洞下的測(cè)試針，使所述的測(cè)試針末端位于所述的孔洞的下方；e、將一固定件結(jié)合在固定環(huán)的孔洞后，所述的固定件末端凸出在所述的孔洞外，而與測(cè)試針末端形成微帶線關(guān)系。
與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本發(fā)明具有的有益效果是 1.本發(fā)明另設(shè)有一固定件，令所述的固定件穿塞在固定環(huán)的孔洞后，所述的固定件末端凸出在所述的孔洞外，而與測(cè)試針末端形成一微帶線關(guān)系(micro stripline)，同時(shí)所述的固定環(huán)底部是可設(shè)為與測(cè)試針前端與末端間的本體形成微帶線關(guān)系，以達(dá)到與提高測(cè)量高頻訊號(hào)的目的與效果。
2.本發(fā)明是利用固定件與固定環(huán)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，即可達(dá)到測(cè)量高頻訊號(hào)的目的，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低等功效。
3.本發(fā)明的固定件是可直接成形在固定環(huán)的孔洞內(nèi)，而使所述的固定環(huán)與固定件形成一固定座，使所述的固定座底部至末端都可與相對(duì)的所述的測(cè)試針本體大部份形成微帶線關(guān)系(micro strip line)，以達(dá)到更佳的測(cè)量效率。



圖1是本發(fā)明探針卡的外觀分解剖示圖； 圖2是本發(fā)明探針卡組合后的外觀剖示圖； 圖3是本發(fā)明探針卡組合方法的流程圖； 圖4是本發(fā)明探針卡中固定環(huán)與固定件形成一固定座后的組合外觀剖示圖； 圖5是現(xiàn)有探針卡的外觀剖示圖。
附圖標(biāo)記說(shuō)明1-探針卡；11-基板；111-孔洞；12-測(cè)試針；121-本體；122-末端；13-固定環(huán)；131-孔洞；132-外壁；14-固定件；141-末端；15-固定座；151-末端；152-外壁；2-粘著劑；A-印刷電路板；B-中心孔；C-測(cè)試針；步驟a-將所述的數(shù)個(gè)測(cè)試針排列在一治具上；步驟b-通過(guò)一粘著劑使數(shù)個(gè)測(cè)試針本體與一穿設(shè)有孔洞的固定環(huán)底部間局部相互固定；步驟c-令固定環(huán)穿塞在探針卡基板的一孔洞上，并使所述的測(cè)試針本體前端供與基板或外接線路形成電連接；步驟d-調(diào)整探針卡孔洞下的測(cè)試針；步驟e-令一固定件結(jié)合在固定環(huán)的孔洞后，所述的固定件末端可凸出在所述的孔洞外，而與測(cè)試針末端形成一微帶線關(guān)系。

具體實(shí)施例方式 請(qǐng)參閱圖1、圖2，圖示內(nèi)容為本發(fā)明探針卡1的一實(shí)施例，其是由一具有電子電路的基板11、數(shù)個(gè)測(cè)試針12、一固定環(huán)13與一固定件14所組成。
所述的基板11上設(shè)有一孔洞111，所述的測(cè)試針12設(shè)有一本體121。
所述的固定環(huán)13，其中央部份貫穿有一孔洞131，所述的固定環(huán)13底部是設(shè)有一向下的傾斜方向的外壁132，供上述數(shù)個(gè)測(cè)試針12結(jié)合其上，且結(jié)合后固定環(huán)13底部與測(cè)試針12形成一距離，且所述的外壁132是與測(cè)試針12前端與末端間的本體121形成一微帶線關(guān)系(micro strip line)，使所述的固定環(huán)13穿塞在上述基板11的孔洞111上時(shí)，所述的測(cè)試針12本體121末端122則位于所述的孔洞111的下方的位置上，而測(cè)試針12本體121前端供與基板11或外接線路形成電連接，另所述的數(shù)個(gè)測(cè)試針12本體121是以一向下的傾斜方向圍繞排列結(jié)合在固定環(huán)13的外壁132上，且所述的測(cè)試針12的末端122是形成供進(jìn)行測(cè)量的一角度彎折。
所述的固定件14是以螺合方式結(jié)合在所述的孔洞131上，且所述的固定件14末端141是凸出在孔洞131外，而使所述的固定件14末端141與所述的測(cè)試針12末端122形成微帶線關(guān)系(micro strip line)。
實(shí)施時(shí)，請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D1～3圖，首先將數(shù)個(gè)測(cè)試針12排列在一治具上，并通過(guò)一粘著劑2使數(shù)個(gè)測(cè)試針12本體121與固定環(huán)13底部間局部相互固定，再將固定環(huán)13穿塞在探針卡1基板11的孔洞111上，并使所述的測(cè)試針12本體121前端供與基板11或外接線路形成電連接，而末端122則位于所述的孔洞111的下方的位置上，以供與晶圓上相對(duì)的一接合焊墊接觸。
然后，將穿設(shè)有孔洞131的固定環(huán)13穿塞在探針卡1基板11的孔洞111內(nèi)，通過(guò)所述的孔洞131來(lái)調(diào)整探針卡1孔洞111下的測(cè)試針12后，再將固定件14穿塞在固定環(huán)13的孔洞131上，使所述的固定件14末端141凸出在所述的孔洞131外，而與測(cè)試針12末端122形成微帶線關(guān)系(micro strip line)。
因此，本發(fā)明是主要包括以下步驟 a、將所述的數(shù)個(gè)測(cè)試針排列在一治具上； b、通過(guò)一粘著劑使數(shù)個(gè)測(cè)試針本體與一穿設(shè)有孔洞的固定環(huán)底部間局部相互固定； c、令固定環(huán)穿塞在探針卡基板的一孔洞上，并使所述的測(cè)試針本體前端供與基板或外接線路形成電連接； d、調(diào)整探針卡的孔洞下的測(cè)試針； e、令一固定件結(jié)合在固定環(huán)的孔洞后，所述的固定件末端凸出在所述的孔洞外，而與測(cè)試針末端形成一微帶線關(guān)系(micro strip line)。
此外，如圖4所示，本發(fā)明前述的固定件14是可直接成形在前述固定環(huán)13的孔洞131內(nèi)，而使前述的固定環(huán)13與固定件14形成一固定座15，使所述的固定座15底部末端151與所述的測(cè)試針12末端122形成一微帶線關(guān)系(micro stripline)。且所述的固定座15底部也可設(shè)為一向下的傾斜方向的外壁152，且所述的外壁152是與測(cè)試針12前端與末端間的本體121形成一微帶線關(guān)系(micro stripline)。
以上說(shuō)明對(duì)本發(fā)明而言只是說(shuō)明性的，而非限制性的，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解，在不脫離權(quán)利要求所限定的精神和范圍的情況下，可作出許多修改、變化或等效，但都將落入本發(fā)明的權(quán)利要求可限定的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種探針卡，其特征在于，其包括
一具有電子電路的基板，所述的基板上設(shè)有一孔洞；
數(shù)個(gè)測(cè)試針，所述的測(cè)試針設(shè)有一本體；
一固定環(huán)，其中央部份有一貫穿孔洞，所述的固定環(huán)底部外壁上結(jié)合有所述的數(shù)個(gè)測(cè)試針，且固定環(huán)底部與測(cè)試針具有預(yù)定距離，所述的固定環(huán)穿塞在上述基板的孔洞上，所述的測(cè)試針本體前端與基板或外接線路形成電連接，而末端則位于所述的孔洞的下方；以及
一固定件，結(jié)合在上述固定環(huán)的孔洞上，且所述的固定件末端是凸出在孔洞外，所述的固定件末端與所述的測(cè)試針末端形成微帶線關(guān)系。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于所述的固定環(huán)底部是設(shè)有一向下的傾斜方向的外壁，且所述的外壁是與測(cè)試針前端與末端間的本體形成微帶線關(guān)系。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于所述的固定件是以螺合方式與固定環(huán)的孔洞結(jié)合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于所述的固定件是直接成形在固定環(huán)的孔洞內(nèi)，而使所述的固定環(huán)與固定件形成一固定座，使所述的固定座底部末端與所述的測(cè)試針末端形成微帶線關(guān)系。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針卡，其特征在于所述的固定座底部是設(shè)有一向下的傾斜方向的外壁，且所述的外壁是與測(cè)試針前端與末端間的本體形成一微帶線關(guān)系。
6.一種組合裝配如權(quán)利要求1所述的探針卡的方法，其特征在于，其包括以下步驟
a、將數(shù)個(gè)測(cè)試針排列在一治具上；
b、通過(guò)一粘著劑使數(shù)個(gè)測(cè)試針本體與設(shè)有孔洞的固定環(huán)底部間局部位置相互膠接固定；
c、將固定環(huán)穿塞在探針卡基板的孔洞上，并將所述的測(cè)試針本體前端與基板或外接線路形成電連接；
d、調(diào)整探針卡孔洞下的測(cè)試針，使所述的測(cè)試針末端位于所述的孔洞的下方；
e、將一固定件結(jié)合在固定環(huán)的孔洞后，所述的固定件末端凸出在所述的孔洞外，而與測(cè)試針末端形成微帶線關(guān)系。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的組合裝配探針卡的方法，其特征在于步驟e中的固定件是直接成形在固定環(huán)的孔洞內(nèi)，而使所述的固定環(huán)與固定件形成一固定座，使所述的固定座底部末端與所述的測(cè)試針末端形成微帶線關(guān)系。
全文摘要
本發(fā)明是一種探針卡及其組合裝配方法，其包括一基板、數(shù)個(gè)測(cè)試針、一固定環(huán)與一固定件，其中固定環(huán)貫穿有一孔洞，固定環(huán)底部外壁是供測(cè)試針結(jié)合在上，且結(jié)合后固定環(huán)與測(cè)試針形成一距離，使所述的固定環(huán)穿塞在基板的孔洞上時(shí)，所述的測(cè)試針本體末端則位于所述的孔洞的下方的位置上，而前端供與基板或外接線路形成電連接，所述的固定件供結(jié)合在固定環(huán)的孔洞上，且所述的固定件末端是凸出在孔洞外，而使所述的固定件末端與所述的測(cè)試針末端形成一微帶線關(guān)系(micro strip line)。
文檔編號(hào)G01R1/067GK101329365SQ200710112429
公開(kāi)日2008年12月24日 申請(qǐng)日期2007年6月21日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月21日
發(fā)明者王正儀 申請(qǐng)人:均揚(yáng)電子有限公司