專利名稱：被檢測光學元件旋轉(zhuǎn)保持裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及相對用于測定透鏡等的光學元件的偏芯量的偏芯量測定裝置的光學系統(tǒng)、將被檢測光學元件以可圍著規(guī)定的軸旋轉(zhuǎn)的方式保持的被檢測光學元件旋轉(zhuǎn)保持裝置。
背景技術：
以往，公知有采用所謂自準直法的方法來對被檢測光學元件的偏芯量進行測定的偏芯量測定裝置(參照以下專利文獻1)。
在這樣的偏芯量測定裝置中，需要用于相對測定用光學系統(tǒng)將被檢測光學元件以可圍著規(guī)定的軸旋轉(zhuǎn)的方式保持的旋轉(zhuǎn)保持機構(gòu)。以下專利文獻1中記載了具備可使被檢測光學元件在吸引保持的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)的吸引保持臺的旋轉(zhuǎn)保持機構(gòu)。
另一方面，作為這種旋轉(zhuǎn)保持機構(gòu)，公知有吸引保持臺自身不旋轉(zhuǎn)的類型的機構(gòu)。例如，以下專利文獻2中記載了使吸引保持臺所吸引保持的被檢測光學元件的周面從一方側(cè)與V字狀的定位部件抵接，并且從另一方側(cè)與自轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)圓板抵接，由此通過該旋轉(zhuǎn)圓板而使被檢測光學元件旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)保持機構(gòu)(以下，稱作“被檢測體夾持型的旋轉(zhuǎn)保持機構(gòu)”)。
專利文獻1特開2005-55202號公報專利文獻2特願2005-167504號說明書但是，在使用上述的被檢測體夾持型的旋轉(zhuǎn)保持機構(gòu)來測定厚度相互不同的多個種類的被檢測光學元件的情況下，當被檢測光學元件的厚度改變時，需要進行吸引保持臺、V字狀的定位部件和旋轉(zhuǎn)圓板之間的軸方向的相對位置調(diào)整。以往的被檢測體夾持型的旋轉(zhuǎn)保持機構(gòu)中按照在該相對的位置調(diào)整時使吸引保持臺沿軸方向移動的方式構(gòu)成。
但是，在用于使吸引保持臺沿軸方向移動的Z軸移動臺等的機構(gòu)中存在機械加工上的誤差，在這種情況下當位置調(diào)整時，在吸引保持臺的中心軸和測定用光學系統(tǒng)的光軸之間產(chǎn)生微小的偏差，從而由于該偏差的存在而產(chǎn)生偏芯量的測定精度的下降之虞。另外，由于存在該偏差，也產(chǎn)生來自被檢測面的反射光不能返回到攝像面上的情況。
因此，以往的被檢測體夾持型的旋轉(zhuǎn)保持機構(gòu)中，每當吸引保持臺沿光軸方向移動時，需要進行吸引保持臺和測定用光學系統(tǒng)之間的軸對準的再調(diào)整，在這種調(diào)整上需要大量的勞力和時間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問題而提出的，其目的在于，提供一種具備被檢測體夾持型的旋轉(zhuǎn)保持機構(gòu)的被檢測光學元件旋轉(zhuǎn)保持裝置，該被檢測體夾持型的旋轉(zhuǎn)保持機構(gòu)可使被檢測光學元件的厚度改變時的軸方向的位置調(diào)整在不對偏芯量的測定產(chǎn)生壞影響的狀態(tài)下易于進行。
本發(fā)明的被檢測光學元件旋轉(zhuǎn)保持裝置，相對偏芯量測定裝置的光學系統(tǒng)將被檢測光學元件以圍著規(guī)定的軸可旋轉(zhuǎn)的方式保持，具備吸引保持臺，將上述被檢測光學元件吸引保持在上述光學系統(tǒng)的光軸上；圓盤狀旋轉(zhuǎn)體，與上述吸引保持臺所吸引保持的上述被檢測光學元件的周面從一方側(cè)抵接，并且使該被檢測光學元件圍著所述軸旋轉(zhuǎn)；V字狀抵接體，與上述吸引保持臺所吸引保持的所述被檢測光學元件的周面按照夾持上述軸的方式從上述圓盤狀旋轉(zhuǎn)體的相反側(cè)抵接，防止上述被檢測光學元件在旋轉(zhuǎn)時的位置偏差；第一軸方向位置調(diào)整部件，用來進行上述圓盤狀旋轉(zhuǎn)體的上述軸方向的位置調(diào)整；和第二軸方向位置調(diào)整部件，用來進行上述V字狀抵接體的上述軸方向的位置調(diào)整。
本發(fā)明的被檢測光學元件旋轉(zhuǎn)保持裝置，其中優(yōu)選具備加力部件，對上述圓盤狀旋轉(zhuǎn)體按照沿上述被檢測光學元件的周面的方式施加力；和制動器，克服上述加力部件的作用力將上述圓盤狀旋轉(zhuǎn)體保持在從所述被檢測光學元件的周面離開的位置。
根據(jù)本發(fā)明的被檢測光學元件旋轉(zhuǎn)保持裝置，通過具備用于進行圓盤狀旋轉(zhuǎn)體的軸方向的位置調(diào)整的第一軸方向位置調(diào)整部件、和用于進行V字狀抵接體的軸方向的位置調(diào)整的第二軸方向位置調(diào)整部件，可得到如下的效果。
也就是，被檢測光學元件的厚度改變時的吸引保持臺、圓盤狀旋轉(zhuǎn)體及V字狀抵接體之間的軸方向的相對位置調(diào)整，可在吸引保持臺的軸方向位置固定的狀態(tài)下，通過使圓盤狀旋轉(zhuǎn)體及V字狀抵接體沿軸方向移動來進行。
因而，在進行上述相對的位置調(diào)整時，不存在在吸引保持臺的中心軸和測定用光學系統(tǒng)的光軸之間產(chǎn)生偏差之虞，能防止給偏芯量的測定帶來壞影響。另外，與以往技術不同，每當進行上述相對的位置調(diào)整時不需要進行吸引保持臺和測定用光學系統(tǒng)統(tǒng)之間的軸對準的再調(diào)整，即使被檢測光學元件的厚度改變時，也能在短時間內(nèi)容易進行上述相對的位置調(diào)整。


圖1是一實施方式的被檢測光學元件旋轉(zhuǎn)保持裝置的平面圖；圖2是一實施方式的被檢測光學元件旋轉(zhuǎn)保持裝置的正面圖；圖3是對圖1所示的旋轉(zhuǎn)保持部的結(jié)構(gòu)破斷一部分后進行表示的平面圖；圖4是沿圖3的A-A線的剖面圖；圖5是反射型的偏芯量測定裝置的概略構(gòu)成圖。
圖中1-偏芯量測定裝置；2-被檢測透鏡；2A-上面；2B-下面；3-被檢測光學元件旋轉(zhuǎn)保持裝置；4-吸引保持臺；5-旋轉(zhuǎn)保持部；6-定位保持部；7A、7B、18-Z軸移動臺；8-傾斜度調(diào)整臺；9-XY軸移動臺；10-測定用光學系統(tǒng)；11-光源；12-分劃板；13-分光器；14-準直透鏡；15-物鏡；16-CCD攝像機；17-解析運算部；19-固定臺；41-(吸引保持臺的)基部；42-透鏡載置部；43-吸引孔；44-吸引室；45-空氣排出口；51-圓盤狀旋轉(zhuǎn)體；51a-(圓盤狀旋轉(zhuǎn)體的)基部；51b-O環(huán)；51c-軸部；51d-軸受部；52-滑板；52a-操作銷；53-(旋轉(zhuǎn)保持部的)基板；53a-凹部；53b、54b、62a-槽部；54-頂板；54a-導向槽；55-(旋轉(zhuǎn)保持部的)基部；56-導向銷；57-線圈彈簧；58-制動器；58a-掛止部；58b-保持部；59、64-固定螺釘；59a-螺釘部；59b-按壓部；59c-操作部；61-V字狀抵接體；62-(定位保持部的)基板；63-(定位保持部的)基部；81、82-傾斜度調(diào)整架臺；83-載置臺；84～86-傾斜度調(diào)整螺釘；C1、C2-球面中心；P-規(guī)定位置(光聚焦點)；Z1-(測定用光學系統(tǒng)的)中心軸；Z2-(吸引保持臺的)中心軸；Z3-(圓盤狀旋轉(zhuǎn)體軸部的)中心軸。
具體實施例方式
下面，參照附圖詳細地說明本發(fā)明的實施方式。圖1是表示本發(fā)明的一實施方式的被檢測光學元件旋轉(zhuǎn)保持裝置的整體結(jié)構(gòu)的平面圖，圖2是其正面圖。另外，圖3是對圖1所示的旋轉(zhuǎn)保持部的結(jié)構(gòu)破斷一部分后進行表示的平面圖，圖4是沿圖3的A-A線的剖面圖。另外，圖5是示意表示反射型的偏芯量測定裝置的整體結(jié)構(gòu)的圖。
首先，基于圖5概略地說明反射型的偏芯量測定裝置的構(gòu)成。該偏芯量測定裝置1，用于測定被檢測光學元件即被檢測透鏡2的偏芯量，具備對成為被檢測面的上面2A及下面2B照射光的光源11、使來自光源11的光束通過的分劃板12、測定用光學系統(tǒng)10，該測定用光學系統(tǒng)10具備將來自分劃板12的光以大致直角反射的分光器13；使所入射的光形成為平行光束的準直透鏡14；和使平行光束聚焦在規(guī)定位置(光聚焦點)P上的物鏡15。此外，在進行測定時，將上述規(guī)定位置(光聚焦點)P按照與上述上面10A的球面中心C1及上述下面10B的球面中心C2依次一致的方式進行調(diào)整。
另外，該偏芯量測定裝置1具備CCD攝像機16，捕獲由上面2A及下面2B反射的經(jīng)由準直透鏡14及分光器13所入射的反射光，并且對分劃板12的分劃像進行攝像；和解析運算部17，對該CCD攝像機16所獲得的圖像信息進行解析、運算。進一步具備Z軸移動臺18，將上述測定用光學系統(tǒng)10及上述CCD攝像機16以一體化方式保持、且沿該測定用光學系統(tǒng)10的光軸Z1的方向移動；和固定臺19，載置固定該Z軸移動臺18。
接著基于圖1～圖4對本實施方式的被檢測光學元件旋轉(zhuǎn)保持裝置進行說明。圖1及圖2所示的被檢測光學元件旋轉(zhuǎn)保持裝置3，用于相對上述偏芯測定裝置1的測定用光學系統(tǒng)10將所述被檢測透鏡2以可圍著規(guī)定的軸旋轉(zhuǎn)的方式保持，具備吸引保持臺4、旋轉(zhuǎn)保持部5及定位保持部6。
上述吸引保持臺4將被檢測透鏡吸引保持在圖5所示的測定用光學系統(tǒng)10的光軸Z1上，由基部4 1及透鏡載置部42構(gòu)成。另外，該吸引保持臺4如圖2所示，具備沿著該吸引保持臺4的中心軸Z2從透鏡載置部42的前端部延伸至基部41的內(nèi)部的吸引孔43；與該吸引孔43連結(jié)的吸引室44；和與該吸引室44連結(jié)的空氣排出口45，利用與該空氣排出口45連接的真空泵(未圖示)將吸引孔43及吸引室44內(nèi)的空氣抽出至外部，從而將載置在透鏡載置部42的前端部的被檢測透鏡2以維持規(guī)定的姿勢的方式吸引保持。
另一方面，如圖2所示，上述旋轉(zhuǎn)保持部5具備與吸引保持臺4所吸引保持的被檢測透鏡2的周面從一方側(cè)(圖中右側(cè))抵接，并且使該被檢測透鏡2圍著上述中心軸Z2旋轉(zhuǎn)的圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51；保持該圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51的滑板52；將該滑板52以可沿圖中左右方向移動的方式保持的基板53和頂板54；和保持該基板53的基部55。
詳細而言，如圖4所示，上述圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51由圓盤狀的基部51a、安裝在該基部51a的外周面的橡膠等所構(gòu)成的O環(huán)51b、與基部51a及O環(huán)51b一起旋轉(zhuǎn)的軸部51c、和將該軸部51c以可旋轉(zhuǎn)的方式支撐的軸受部51d構(gòu)成，并且按照將O環(huán)51b的外周面與上述被檢測透鏡2(參照圖2)的周面抵接的方式構(gòu)成。另外，該圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51，通過操作者捏住上述軸部51c而使其旋轉(zhuǎn)或用手指使O環(huán)51b旋轉(zhuǎn)，從而以該軸部51c的中心軸Z3為中心自轉(zhuǎn)。
另外，在上述基板53上形成有構(gòu)成上述滑板52的移動空間的凹部53a、和用于對該基板53進行在該基板53固定于上述基部55(參照圖2)時的圖中左右方向的位置調(diào)整的槽部53b。進一步，如圖3所示，在上述凹部53a設置有沿圖中左右方向延伸的導向銷56，在該導向銷56上安裝有作為加力部件的線圈彈簧57。
另外，如圖4所示，上述頂板54具備與突設在上述滑板52的圖中右端部上面的操作銷52a卡合的導向槽54a；和與上述基板53上形成的上述槽部53b以大致同形的方式形成的槽部54b，在上述基板53的上面由螺栓等固定。
另外，如圖3所示，上述滑板52具備在圖中右下端部上述導向銷56被插通的插通孔(未圖示)，按照沿該導向銷56可在圖中左右方向移動的方式構(gòu)成。另外，該滑板52通過借助上述線圈彈簧57的彈性的作用力沿圖中左方向被施加力，通過該作用力將上述圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51的O環(huán)51b按壓在上述被檢測透鏡2(參照圖2)的周面。進一步，該滑板52通過操作者捏住上述操作銷52a沿著上述導向槽54a進行操作，而沿圖中左方向移動。
另外，如圖1及圖2所示，上述旋轉(zhuǎn)保持部5具備克服上述線圈彈簧57的作用力而將上述圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51保持在從上述被檢測透鏡2的周面離開的位置上的制動器58；和用于將上述基板53及頂板54固定在上述基部55的固定螺釘59。
詳細而言，如圖3所示，上述制動器58由棒狀的掛止部58a、和將該掛止部58a以沿前后方向(圖中上下方向)可移動的方式保持的保持部58b構(gòu)成，針對移動至上述導向槽54a的圖中右端部為止的上述操作銷52a，通過將掛止部58a突出來掛止，從而將由上述滑板52保持的上述圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51保持在通過克服上述線圈彈簧57的作用力而從上述被檢測透鏡2的周面離開的位置上。
另外，如圖4所示，上述固定螺釘59由上述基板53及上述頂板54的各槽部53b、54b內(nèi)所插通的螺釘部59a、固定在該螺釘部59a的上端部的按壓部59b、固定在該按壓部59b的上端部的操作部59c。該固定螺釘用于將相對上述基部55(參照圖2)進行了圖中左右方向的位置調(diào)整的上述基板53及上述頂板54固定在上述基部55上，其前端部被螺著于基部55所形成的螺釘孔(未圖示)。
另外，如圖2所示，上述旋轉(zhuǎn)保持部5經(jīng)由作為第一軸方向位置調(diào)整部件的Z軸移動臺7A設置在傾斜度調(diào)整臺8上，通過上述Z軸移動臺7A可進行上述圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51的沿上下方向(吸引保持臺4的中心軸Z2方向)的位置的微調(diào)整。另外，上述傾斜度調(diào)整臺8由兩個傾斜度調(diào)整架臺81、82和載置臺83構(gòu)成，通過對圖1所示的3個傾斜度調(diào)整螺釘84～86進行操作而調(diào)整載置臺83的傾斜度，利用該載置臺83的傾斜度調(diào)整，可進行相對上述測定用光學系統(tǒng)10的光軸Z1(參照圖5)的上述吸引保持臺4的中心軸Z2的傾斜度的調(diào)整。
另外，如圖1及圖2所示，上述定位保持部6具備與上述吸引保持臺4所保持的被檢測透鏡2的周面按照夾持上述中心軸Z2的方式從上述圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51的相反側(cè)抵接、并且防止上述被檢測透鏡2旋轉(zhuǎn)時的位置偏差的V字狀抵接體61；保持該V字狀抵接體61的基板62；和保持該基板62的基部63。
如圖1所示，在上述基板62上形成有用于對該基板62進行在該基板62固定在上述基部63上時的圖中左右方向的位置調(diào)整的槽部62a，在該槽部62a上設置有用于將進行完相對上述基部63的位置調(diào)整的上述基板62固定于上述基部63上的固定螺釘64。該固定螺釘64與上述固定螺釘59相同地構(gòu)成，其前端部被螺著于上述基部63上形成的螺釘孔(未圖示)。
另外，如圖2所示，上述定位保持部6經(jīng)由XY軸移動臺9及作為第二軸方向位置調(diào)整部件的Z軸移動臺7B被設置在上述傾斜度調(diào)整臺8上。利用上述XY軸移動臺9可進行上述V字狀抵接體61的沿前后及左右方向(與吸引保持臺4的中心軸Z2正交的兩個方向)的位置的微調(diào)整，利用上述Z軸移動臺7B可進行上述V字狀抵接體61的沿上下方向(吸引保持臺4的中心軸Z2方向)的位置的微調(diào)整。
以下，對被檢測光學元件旋轉(zhuǎn)保持裝置3的作用及調(diào)整方法進行說明。首先，作為初始設定，進行上述測定用光學系統(tǒng)10的光軸Z1(參照圖5)和上述吸引保持臺4的中心軸Z2(參照圖2)之間的軸對準調(diào)整。使用上述傾斜度調(diào)整臺8按照上述測定用光學系統(tǒng)10的光軸Z1的傾斜度和上述吸引保持臺4的中心軸Z2的傾斜度相互一致的方式進行該軸對準調(diào)整。
接著，將上述被檢測透鏡2載置在上述吸引保持臺4的透鏡載置部42的前端部，并將其吸引保持。
接著，由上述旋轉(zhuǎn)保持部5的圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51及上述定位保持部6的V字狀抵接體61來夾持吸引保持臺4所吸引保持的被檢測透鏡2。此時，以圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51及V字狀抵接體61適當?shù)嘏c被檢測透鏡2的周面抵接的方式，在旋轉(zhuǎn)保持部5及定位保持部6中分別進行位置調(diào)整。
若基于圖2說明該位置調(diào)整，則使用Z軸移動臺7A進行上述旋轉(zhuǎn)保持部5中的圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51的圖中上下方向的位置調(diào)整，圖中左右方向的位置調(diào)整通過使基板53相對旋轉(zhuǎn)保持部5的基部55移動而進行。在進行該左右方向的位置調(diào)整時，考慮通過上述線圈彈簧57(參照圖3)的作用力將圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51適當?shù)匕磯涸诒粰z測透鏡2的周面上。位置調(diào)整后的基板53由固定螺釘59被固定在基部55。
另一方面，使用Z軸移動臺7B進行定位保持部6中的V字狀抵接體61的圖中上下方向的位置調(diào)整，使用XY軸移動臺9進行圖中左右及前后方向的位置調(diào)整。此外，通過使基板62相對定位保持部6的基部63移動而進行V字狀抵接體61的圖中左右方向的大致的位置調(diào)整，位置調(diào)整后的基板62由固定螺釘64固定在基部63上。
接著，通過使上述圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51旋轉(zhuǎn)，而一邊使由上述圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51及上述V字狀抵接體61所夾持的被檢測透鏡2以上述中心軸Z2為中心旋轉(zhuǎn)，一邊進行偏芯量的測定。此外，圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51按照操作者捏住上述軸部51c(參照圖4)而使其旋轉(zhuǎn)的方式構(gòu)成，但是也可以構(gòu)成為由電動電機等的驅(qū)動力來使圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51旋轉(zhuǎn)。另外，為了操作者可目視旋轉(zhuǎn)角度，在圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51上設置旋轉(zhuǎn)角度的刻度也可。
偏芯量測定后，由圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51及V字狀抵接體61所保持的被檢測透鏡2的夾持被解除，并且基于吸引保持臺4的吸引被解除，被檢測透鏡2從吸引保持臺4取出。此外，在使圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51從被檢測透鏡2離開時，只要操作者使上述滑板52沿圖中右方向移動，將其由上述制動器58掛止即可。
由此，被檢測光學元件旋轉(zhuǎn)保持裝置3中，吸引保持臺4不具備上下方向的位置調(diào)整機構(gòu)，吸引保持臺4所保持的被檢測透鏡2和圓盤狀旋轉(zhuǎn)體51及V字狀抵接體61之間的相對高度調(diào)整通過使用旋轉(zhuǎn)保持部5側(cè)的Z軸移動臺7A和定位保持部6側(cè)的Z軸移動臺7B來進行。因此在保持厚度不同的其他被檢測透鏡(未圖示)時，即使在進行上述相對高度調(diào)整時，吸引保持臺4的中心軸Z2的傾斜度和位置不會發(fā)生變化。
從而，在進行上述相對的位置調(diào)整時，不存在在吸引保持臺的中心軸Z2和測定用光學系統(tǒng)10的光軸Z1之間產(chǎn)生偏差之虞，能防止給偏芯量的測定帶來壞影響。另外，每當進行上述相對的位置調(diào)整時無需進行吸引保持臺4和測定用光學系統(tǒng)10之間的軸對準的再調(diào)整，因此即使被檢測透鏡2的厚度改變時，也能在短時間內(nèi)容易地進行上述相對的位置調(diào)整。
權(quán)利要求
1.一種被檢測光學元件旋轉(zhuǎn)保持裝置，相對偏芯量測定裝置的光學系統(tǒng)將被檢測光學元件以可圍著規(guī)定的軸旋轉(zhuǎn)的方式保持，具備吸引保持臺，將上述被檢測光學元件吸引保持在上述光學系統(tǒng)的光軸上；圓盤狀旋轉(zhuǎn)體，與上述吸引保持臺所吸引保持的上述被檢測光學元件的周面從一方側(cè)抵接，并且使該被檢測光學元件圍著所述軸旋轉(zhuǎn)；V字狀抵接體，與上述吸引保持臺所吸引保持的所述被檢測光學元件的周面按照夾持上述軸的方式從上述圓盤狀旋轉(zhuǎn)體的相反側(cè)抵接，防止上述被檢測光學元件在旋轉(zhuǎn)時的位置偏差；第一軸方向位置調(diào)整部件，用來進行上述圓盤狀旋轉(zhuǎn)體的上述軸方向的位置調(diào)整；和第二軸方向位置調(diào)整部件，用來進行上述V字狀抵接體的上述軸方向的位置調(diào)整。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的被檢測光學元件旋轉(zhuǎn)保持裝置，其中，具備加力部件，對上述圓盤狀旋轉(zhuǎn)體按照沿上述被檢測光學元件的周面的方式施加力；和制動器，克服上述加力部件的作用力將上述圓盤狀旋轉(zhuǎn)體保持在從所述被檢測光學元件的周面離開的位置。
全文摘要
提供一種具備被檢測體夾持型的旋轉(zhuǎn)保持機構(gòu)的被檢測光學元件旋轉(zhuǎn)保持裝置，該被檢測體夾持型的旋轉(zhuǎn)保持機構(gòu)可使被檢測光學元件的厚度改變時的軸方向的位置調(diào)整在不對偏芯量的測定產(chǎn)生壞影響的狀態(tài)下易于進行。具有圓盤狀旋轉(zhuǎn)體(51)的旋轉(zhuǎn)保持部(5)經(jīng)由Z軸移動臺(7A)設置在傾斜度調(diào)整臺(8)上，具有V字狀抵接體(61)的定位保持部(6)經(jīng)由(XY)軸移動臺(9)及Z軸移動臺(7B)設置在傾斜度調(diào)整臺(8)上。吸引保持臺(4)所保持的被檢測透鏡和圓盤狀旋轉(zhuǎn)體(51)及V字狀抵接體之間的相對高度調(diào)整通過使用旋轉(zhuǎn)保持部(5)側(cè)的(Z)軸移動臺(7A)和定位保持部(6)側(cè)的(Z)軸移動臺(7B)來進行。
文檔編號G01B11/27GK101082538SQ200710108749
公開日2007年12月5日 申請日期2007年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月2日
發(fā)明者孫萍, 大井重德 申請人:富士能株式會社