專利名稱：用于光學(xué)相干層析的旁軸物光共焦濾波方法及探測(cè)鏡組的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光學(xué)檢測(cè)技術(shù)中層析測(cè)量的濾波方法及探測(cè)鏡組裝置。
背景技術(shù)：
光學(xué)相干層析是光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域正在發(fā)展的一類新型測(cè)量技術(shù)。對(duì)于各種光學(xué)相干層析方法來(lái)講，探測(cè)光路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是其核心技術(shù)，因?yàn)槊恳环N光學(xué)相干層析技術(shù)的測(cè)量對(duì)象、測(cè)量方法以及測(cè)量效果主要是取決于探測(cè)光路系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)和工作原理。信噪比是影響光學(xué)相干層析測(cè)量效果的一個(gè)主要因素，而信噪比的大小與探測(cè)光路的設(shè)計(jì)密切相關(guān)?，F(xiàn)有的大多數(shù)光學(xué)相干層析技術(shù)，是在光學(xué)低相干層析(OCT)技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的，所采用的探測(cè)光路一般是光學(xué)共焦濾波系統(tǒng)與邁克爾孫干涉系統(tǒng)的組合。這種探測(cè)光路雖然能夠檢測(cè)到被測(cè)點(diǎn)的干涉信號(hào)，但是不能濾除探測(cè)光束中由被測(cè)物內(nèi)測(cè)點(diǎn)以外各點(diǎn)的逆向散射光和被測(cè)物表面反射光構(gòu)成的噪聲，因此系統(tǒng)的信噪比低，測(cè)量分辨率和探測(cè)深度也受到很大的限制。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為光學(xué)相干層析提供一種能夠有效提高信噪比的旁軸物光共焦濾波方法及探測(cè)鏡組，以提高光學(xué)相干層析的測(cè)量精度和探測(cè)深度。
本發(fā)明的用于光學(xué)相干層析的旁軸物光共焦濾波方法，采用探測(cè)物鏡、共焦透鏡和針孔濾波器組成共焦濾波光路；共焦濾波光路中的探測(cè)物鏡、共焦透鏡、針孔濾波器以及分別位于探測(cè)物鏡與共焦透鏡之間的共焦濾波光路主光軸兩側(cè)的第一平面反射鏡、第一部分反射鏡、第二平面反射鏡、第二部分反射鏡、第三平面反射鏡和被測(cè)物組成旁軸干涉光路；利用第一部分反射鏡將光源發(fā)出的垂直于共焦濾波光路主光軸的平行相干光分成兩束，其中一束光為物光，另一束光為參考光；參考光依次經(jīng)第一部分反射鏡反射、第二平面反射鏡反射、第二部分反射鏡透射、第三平面反射鏡反射和第二部分反射鏡反射射向共焦透鏡，通過(guò)共焦透鏡后會(huì)聚于針孔濾波器的通光孔；物光透過(guò)第一部分反射鏡射向第一平面反射鏡，經(jīng)第一平面反射鏡反射射向探測(cè)物鏡，被探測(cè)物鏡匯聚于探測(cè)物鏡的前焦點(diǎn)，使探測(cè)物鏡的前焦點(diǎn)處于箱體通光孔外側(cè)的被測(cè)物的內(nèi)部，由前焦點(diǎn)逆向散射的光再次通過(guò)探測(cè)物鏡成為與共焦濾波光路主光軸平行的平行光束，此平行光束中的一部分光按原入射路徑返回，被第一平面反射鏡遮擋，此平行光束中的其余部分光射向共焦透鏡，被共焦透鏡會(huì)聚于針孔濾波器的通光孔，形成有效物光；有效物光與參考光會(huì)聚于針孔濾波器的通光孔中心，并發(fā)生干涉，形成干涉信號(hào)；用光電轉(zhuǎn)換器將干涉信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)后送入計(jì)算機(jī)數(shù)字采集分析系統(tǒng)；計(jì)算機(jī)數(shù)字采集分析系統(tǒng)控制三維機(jī)械位移調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)探測(cè)鏡組對(duì)被測(cè)物作三維連續(xù)掃描，得到連續(xù)變化的逆散射光干涉信號(hào)。
用于實(shí)現(xiàn)上述旁軸物光共焦濾波方法的探測(cè)鏡組，包括帶有通光孔的箱體，箱體內(nèi)沿通光孔的中心線(即主光軸)，同軸線依次安裝有探測(cè)物鏡、共焦透鏡、針孔濾波器和光電轉(zhuǎn)換器，探測(cè)物鏡、共焦透鏡和針孔濾波器組成共焦濾波光路；在探測(cè)物鏡與共焦透鏡之間的共焦濾波光路主光軸的一側(cè)設(shè)有45°斜置且相互平行的第一平面反射鏡和第二部分反射鏡，以及與共焦濾波光路主光軸平行的第三平面反射鏡，其中，第一平面反射鏡的一端與共焦濾波光路的主光軸相割，共焦濾波光路主光軸的另一側(cè)設(shè)有45°斜置且相互平行的第一部分反射鏡和第二平面反射鏡，以及發(fā)出垂直于共焦濾波光路主光軸的平行相干光的光源；光電轉(zhuǎn)換器的輸入端接收針孔濾波器通光孔的干涉信號(hào)，光電轉(zhuǎn)換器的輸出端與設(shè)置在箱體外部，控制三維機(jī)械位移調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)探測(cè)鏡組對(duì)被測(cè)物作三維連續(xù)掃描的計(jì)算機(jī)數(shù)字采集分析系統(tǒng)相連。
本發(fā)明中所說(shuō)的光源可以是高相干光源、低相干光源或準(zhǔn)相干光源。采用何種光源，取決于測(cè)量類型和測(cè)量目的。
旁軸物光共焦濾波的工作原理是，來(lái)自光源的平行光被45°角設(shè)置的第一部分反射鏡透射和反射，分成兩束光，其中透射光物光，反射光為參考光。物光射向第一平面反射鏡，被該反射鏡反射后成為處在主光軸一側(cè)且與主光軸平行的平行光束，這束平行光射向探測(cè)物鏡，通過(guò)探測(cè)物鏡后匯聚于探測(cè)物鏡的前焦點(diǎn)；使探測(cè)物鏡的前焦點(diǎn)進(jìn)入被測(cè)物的內(nèi)部，由前焦點(diǎn)逆向散射的光再次通過(guò)探測(cè)物鏡成為平行光束，此光束中按原入射路徑返回的光以及沿主光軸傳播的光被第一平面反射鏡遮擋，從而被系統(tǒng)濾除，而其余不受第一平面反射鏡遮擋的光射向共焦透鏡，通過(guò)共焦透鏡后會(huì)聚于針孔濾波器的通光孔，形成有效物光；參考光依次經(jīng)45°角設(shè)置的第二平面反射鏡反射、45°角設(shè)置的第二部分反射鏡透射、平行于共焦濾波光路主光軸設(shè)置的第三平面反射鏡反射、第二部分反射鏡反射后射向共焦透鏡，被共焦透鏡聚焦于針孔濾波器的通光孔；有效物光與參考光在針孔濾波器的通光孔發(fā)生干涉，形成干涉信號(hào)；有效物光自第一反射鏡反射后直至到達(dá)針孔濾波器之前，除了在探測(cè)物鏡的前焦點(diǎn)發(fā)生匯聚外，始終是處在主光軸的側(cè)翼，這種傳播特點(diǎn)稱為旁軸性質(zhì)，因此有效物光也可以叫做旁軸物光；由于有效物光自光源發(fā)出后，是按無(wú)重復(fù)路徑傳播到達(dá)針孔濾波器通光孔的，并且具有旁軸性質(zhì)，因此當(dāng)探測(cè)物鏡的前焦點(diǎn)處于被測(cè)物的內(nèi)部時(shí)，在有效物光中既不含被測(cè)物內(nèi)前焦點(diǎn)之外的點(diǎn)發(fā)出的逆向散射光，也不含被測(cè)物表面的反射光和漫射光；無(wú)效物光中雖然含有被測(cè)物內(nèi)前焦點(diǎn)之外一些點(diǎn)發(fā)出的逆向散射光以及被測(cè)物表面的漫射光，但無(wú)效物光全部被第一平面反射鏡遮擋，不能到達(dá)針孔濾波器；由于含高量噪聲的無(wú)效物光不能越過(guò)第一平面反射鏡，只有含低量噪聲的有效物光能夠與參考光干涉，形成干涉信號(hào)，因此旁軸物光共焦濾波探測(cè)鏡組具有很高的信噪比。當(dāng)探測(cè)物鏡的前焦點(diǎn)正好處在被測(cè)物的表面時(shí)，有一部分表面反射光透過(guò)探測(cè)物鏡后不受第一反射鏡的遮擋，直接射向共焦透鏡，被共焦透鏡聚焦于針孔濾波器的通光孔，形成有效物光；被測(cè)物表面反射光的強(qiáng)度一般遠(yuǎn)大于內(nèi)部散射光的強(qiáng)度，利用這個(gè)性質(zhì)可以確定探測(cè)物鏡與被測(cè)物的相對(duì)位置。對(duì)于旁軸物光共焦干涉探測(cè)鏡組來(lái)講，由于有效物光具有旁軸性質(zhì)，只有當(dāng)探測(cè)物鏡的前焦點(diǎn)嚴(yán)格處于被測(cè)物的表面時(shí)，才會(huì)有表面反射光到達(dá)針孔濾波器的通光孔，而當(dāng)探測(cè)物鏡的前焦點(diǎn)離開被測(cè)物的表面時(shí)，針孔濾波器接受到的表面反射光立刻消失，因此利用表面反射光可以獲得很高的定位精度。
本發(fā)明的有益效果在于與現(xiàn)有各種光學(xué)相干層析方法所采用的探測(cè)光路相比，旁軸物光共焦濾波方法及探測(cè)鏡組的主要特點(diǎn)是第一，能夠有效濾除探測(cè)光束中由被測(cè)物內(nèi)測(cè)點(diǎn)以外各點(diǎn)的逆向散射光構(gòu)成的噪聲和被測(cè)物表面反射光及漫射光構(gòu)成的噪聲，因此可以獲得高信噪比，測(cè)量分辨率和探測(cè)深度也得到提高；第二，能夠適合不同類型的層析測(cè)量對(duì)光源相干性的不同要求，因此既可以用于低相干層析，也可以用于高相干層析；第三，能夠利用物光的旁軸性質(zhì)確定探測(cè)物鏡與被測(cè)物的相對(duì)位置，并且容易獲得較高的定位精度。


圖1是旁軸物光共焦濾波探測(cè)鏡組構(gòu)成及光路示意圖；圖2是測(cè)定被測(cè)物厚度和折射率的示意圖。
具體實(shí)施例方式
參照?qǐng)D1，用于光學(xué)相干層析的旁軸物光共焦濾波探測(cè)鏡組包括帶有通光孔13的箱體12，箱體12內(nèi)沿通光孔13的中心線，即主光軸14，同軸線依次安裝有探測(cè)物鏡1、共焦透鏡4、針孔濾波器5和光電轉(zhuǎn)換器11，探測(cè)物鏡1、共焦透鏡4和針孔濾波器5組成共焦濾波光路；在探測(cè)物鏡1與共焦透鏡4之間的共焦濾波光路主光軸14的一側(cè)設(shè)有45°斜置且相互平行的第一平面反射鏡2和第二部分反射鏡3，以及與共焦濾波光路主光軸平行的第三平面反射鏡6，其中，第一平面反射鏡2的一端與共焦濾波光路的主光軸相割，共焦濾波光路主光軸的另一側(cè)設(shè)有45°斜置且相互平行的第一部分反射鏡7和第二平面反射鏡8，以及發(fā)出垂直于共焦濾波光路主光軸的平行相干光的光源10；探測(cè)物鏡1、第一平面反射鏡2、第一部分反射鏡7、第二平面反射鏡8、第二部分反射鏡3、第三平面反射鏡6、共焦透鏡4、針孔濾波器5以及處于箱體通光孔外側(cè)的被測(cè)物9組成旁軸干涉光路。第一部分反射鏡7將光源10發(fā)出的平行相干光分成兩束，其中透射光物光，反射光為參考光。參考光依次經(jīng)第一部分反射鏡7反射、第二平面反射鏡8反射、第二部分反射鏡3透射、第三平面反射鏡6反射和第二部分反射鏡3反射射向共焦透鏡4，通過(guò)共焦透鏡4后會(huì)聚于針孔濾波器5的通光孔；物光透過(guò)第一部分反射鏡7后射向第一平面反射鏡2，經(jīng)第一平面反射鏡2反射射向探測(cè)物鏡1，被探測(cè)物鏡1匯聚于探測(cè)物鏡1的前焦點(diǎn)，使探測(cè)物鏡1的前焦點(diǎn)處于箱體通光孔外側(cè)的被測(cè)物9的內(nèi)部。被測(cè)物9是具有光散射性質(zhì)的光透明物質(zhì)，例如生物組織、高分子聚合物等。由前焦點(diǎn)逆向散射的光再次通過(guò)探測(cè)物鏡1成為與共焦濾波光路主光軸14平行的平行光束，此平行光束中的一部分光按原入射路徑返回，被與主光軸相割的第一平面反射鏡2遮擋，第一平面反射鏡2對(duì)部分逆散射光的這種遮擋，起到濾除噪聲的作用。通常使第一平面反射鏡2的遮光區(qū)域略微超過(guò)半場(chǎng)，即略微超過(guò)探測(cè)物鏡1通光孔徑的二分之一。平行光束中的其余部分光射向共焦透鏡4，被共焦透鏡4會(huì)聚于針孔濾波器5的通光孔，形成有效物光；有效物光與參考光發(fā)生干涉，形成干涉信號(hào)；光電轉(zhuǎn)換器11的輸入端接收在針孔濾波器5通光孔產(chǎn)生的干涉信號(hào)，光電轉(zhuǎn)換器11的輸出端與設(shè)置在箱體外部的數(shù)據(jù)采集分析系統(tǒng)16連接。將箱體12安裝在三維機(jī)械位移調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)15上，以便于通過(guò)數(shù)據(jù)采集分析系統(tǒng)16控制三維機(jī)械位移調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)15帶動(dòng)探測(cè)鏡組對(duì)被測(cè)物作連續(xù)掃描。
數(shù)據(jù)采集分析系統(tǒng)16一般由數(shù)據(jù)采集卡、計(jì)算機(jī)及分析軟件組成。三維機(jī)械位移調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)15的位移分辨率一般應(yīng)達(dá)到0.1微米，或者更高。
為方便在測(cè)量前調(diào)整物光與參考光的光程差，獲得適當(dāng)?shù)南喔啥?，可以將第三平面反射鏡6安裝在位移調(diào)節(jié)座17上，利用位移調(diào)節(jié)座17使第三平面反射鏡6能夠垂直于主光軸14作直線移動(dòng)。例如在使用低相干光源的情況下，通過(guò)調(diào)整第三平面反射鏡6，可以使物光與參考光的光程差接近于零。
第一部分反射鏡7的反射-透射比應(yīng)根據(jù)對(duì)物光與參考光的強(qiáng)度比要求來(lái)確定。
光源10可以是高相干光源，例如氦氖激光器，也可以是低相干光源，例如發(fā)光二級(jí)管，或準(zhǔn)相干光源，例如鈉光燈，采用何種光源，取決于測(cè)量類型和測(cè)量目的，其安裝定位應(yīng)保證入射第一部分反射鏡7的光束軸線與主光軸14垂直。
測(cè)量時(shí)，將被測(cè)物9置于機(jī)箱通光孔13的前方，用三維機(jī)械位移調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)15調(diào)整鏡組與被測(cè)物9的相對(duì)位置。光源10發(fā)出平行光束，射入45°斜置的第一部分反射鏡7，入射光束在第一部分反射鏡7上發(fā)生透射和反射，分成兩路，透射光為物光，反射光為參考光。物光垂直穿過(guò)主光軸14射向第一平面反射鏡2，被該反射鏡反射后成為靠近主光軸14且與主光軸14平行的平行光束，這束平行光射向探測(cè)物鏡1，通過(guò)探測(cè)物1鏡后匯聚于探測(cè)物鏡1的前焦點(diǎn)；使探測(cè)物鏡1的前焦點(diǎn)處于被測(cè)物9的內(nèi)部，由前焦點(diǎn)逆向散射的光再次通過(guò)探測(cè)物鏡1成為平行于主光軸14的平行光束，此光束中按原入射路徑返回的光被第一平面反射鏡2遮擋，成為無(wú)效物光，而其余不受第一平面反射鏡2遮擋的光平行于主光軸14，射向共焦透鏡4，通過(guò)共焦透鏡4后會(huì)聚于針孔濾波器5的通光孔，形成有效物光。參考光離開第一部分反射鏡7后平行于主光軸14，以45°角入射第二平面反射鏡8，經(jīng)第二平面反射鏡8反射，以45°角入射第二部分反射鏡3，其中一部分透過(guò)第二部分反射鏡3，垂直入射第三平面反射鏡6，由第三平面反射鏡6反射，再次以45°角入射第二部分反射鏡3，被第二部分反射鏡3反射后平行于主光軸14射向共焦透鏡4，被共焦透鏡4聚焦于針孔濾波器5的通光孔。有效物光與參考光在針孔濾波器的通光孔發(fā)生干涉，形成干涉信號(hào)。干涉信號(hào)由光電轉(zhuǎn)換器11轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，送入數(shù)據(jù)采集分析系統(tǒng)16。
在測(cè)量過(guò)程中，可以利用被測(cè)物表面的高反射性和有效物光的旁軸性質(zhì)確定探測(cè)物鏡1與被測(cè)物9的相對(duì)位置，這種方法稱為表面定位。表面定位的具體作法，參見圖2，用三維機(jī)械位移調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)15由遠(yuǎn)及近調(diào)整鏡組與被測(cè)物9的間距，當(dāng)光電轉(zhuǎn)換器11檢測(cè)到光強(qiáng)信號(hào)急劇增加然后迅速衰減時(shí)，則光強(qiáng)的峰值表明探測(cè)物鏡1的前焦點(diǎn)正好位于被測(cè)物9的前表面18。繼續(xù)向前移動(dòng)鏡組，當(dāng)探測(cè)物鏡1的前焦點(diǎn)達(dá)到被測(cè)物9的后表面19時(shí)，也可以由光電轉(zhuǎn)換器11檢測(cè)到一個(gè)光強(qiáng)的極大值。
如果被測(cè)物9的厚度h已知，利用上述表面定位方法可以測(cè)定被測(cè)物9的折射率n，見圖2。方法是用三維機(jī)械位移調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)15將探測(cè)物鏡1的前焦點(diǎn)由被測(cè)物9的前表面18移動(dòng)到后表面19，同時(shí)記下移動(dòng)的距離d，然后由以下公式計(jì)算被測(cè)物9的折射率n
n＝h/d(1)如果被測(cè)物9的折射率是均勻的切折射率n為已知，利用上述表面定位方法可以測(cè)定被測(cè)物9的厚度h，見圖2。方法是用三維機(jī)械位移調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)15將探測(cè)物鏡1的前焦點(diǎn)由被測(cè)物9的前表面18移動(dòng)到后表面19，同時(shí)記下移動(dòng)的距離d，然后由以下公式計(jì)算被測(cè)物9的厚度hh＝nd (2)。
權(quán)利要求
1.用于光學(xué)相干層析的旁軸物光共焦濾波方法，其特征是該方法采用探測(cè)物鏡(1)、共焦透鏡(4)和針孔濾波器(5)組成共焦濾波光路；共焦濾波光路中的探測(cè)物鏡(1)、共焦透鏡(4)、針孔濾波器(5)以及分別位于探測(cè)物鏡(1)與共焦透鏡(4)之間的共焦濾波光路主光軸兩側(cè)的第一平面反射鏡(2)、第一部分反射鏡(7)、第二平面反射鏡(8)、第二部分反射鏡(3)、第三平面反射鏡(6)和被測(cè)物(9)組成旁軸干涉光路；利用第一部分反射鏡(7)將光源(10)發(fā)出的垂直于共焦濾波光路主光軸的平行相干光分成兩束，其中一束光為物光，另一束光為參考光；參考光依次經(jīng)第一部分反射鏡(7)反射、第二平面反射鏡(8)反射、第二部分反射鏡(3)透射、第三平面反射鏡(6)反射和第二部分反射鏡(3)反射射向共焦透鏡(4)，通過(guò)共焦透鏡(4)后會(huì)聚于針孔濾波器(5)的通光孔；物光透過(guò)第一部分反射鏡(7)射向第一平面反射鏡(2)，經(jīng)第一平面反射鏡(2)反射射向探測(cè)物鏡(1)，被探測(cè)物鏡(1)匯聚于探測(cè)物鏡(1)的前焦點(diǎn)，使探測(cè)物鏡(1)的前焦點(diǎn)處于箱體通光孔外側(cè)的被測(cè)物(9)的內(nèi)部，由前焦點(diǎn)逆向散射的光再次通過(guò)探測(cè)物鏡(1)成為與共焦濾波光路主光軸平行的平行光束，此平行光束中的一部分光按原入射路徑返回，被第一平面反射鏡(2)遮擋，此平行光束中的其余部分光射向共焦透鏡(4)，被共焦透鏡(4)會(huì)聚于針孔濾波器(5)的通光孔，形成有效物光；有效物光與參考光會(huì)聚于針孔濾波器(5)通光孔中心，并發(fā)生干涉，形成干涉信號(hào)；用光電轉(zhuǎn)換器(11)將干涉信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)后送入計(jì)算機(jī)數(shù)字采集分析系統(tǒng)(16)；計(jì)算機(jī)數(shù)字采集分析系統(tǒng)(16)控制三維機(jī)械位移調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(15)帶動(dòng)探測(cè)鏡組對(duì)被測(cè)物(9)作三維連續(xù)掃描，得到連續(xù)變化的逆散射光干涉信號(hào)。
2.用于實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求1所述旁軸物光共焦濾波方法的探測(cè)鏡組，其特征是包括帶有通光孔(13)的箱體(12)，箱體(12)內(nèi)沿通光孔(13)的中心線同軸線依次安裝有探測(cè)物鏡(1)、共焦透鏡(4)、針孔濾波器(5)和光電轉(zhuǎn)換器(11)；探測(cè)物鏡(1)、共焦透鏡(4)和針孔濾波器(5)組成共焦濾波光路；在探測(cè)物鏡(1)與共焦透鏡(4)之間的共焦濾波光路主光軸(14)的一側(cè)設(shè)有45°斜置且相互平行的第一平面反射鏡(2)和第二部分反射鏡(3)，以及與共焦濾波光路主光軸(14)平行的第三平面反射鏡(6)，其中，第一平面反射鏡(2)的一端與共焦濾波光路的主光軸相割，共焦濾波光路主光軸(14)的另一側(cè)設(shè)有45°斜置且相互平行的第一部分反射鏡(7)和第二平面反射鏡(8)，以及發(fā)出垂直于共焦濾波光路主光軸(14)的平行相干光的光源(10)；光電轉(zhuǎn)換器(11)的輸入端接收針孔濾波器(5)通光孔的干涉信號(hào)，光電轉(zhuǎn)換器(11)的輸出端與設(shè)置在箱體外部，控制三維機(jī)械位移調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(15)帶動(dòng)探測(cè)鏡組對(duì)被測(cè)物(9)作三維連續(xù)掃描的計(jì)算機(jī)數(shù)字采集分析系統(tǒng)(16)相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的旁軸物光共焦濾波探測(cè)鏡組，其特征是光源(10)可以是高相干光源、低相干光源或準(zhǔn)相干光源。
全文摘要
本發(fā)明公開了用于光學(xué)相干層析的旁軸物光共焦濾波方法及探測(cè)鏡組。探測(cè)鏡組由光學(xué)共焦濾波光路與旁軸光學(xué)干涉光路組合而成，其中旁軸干涉光路由兩塊部分反射鏡和三塊全反射鏡構(gòu)成。該方法的特點(diǎn)是探測(cè)物光只在共焦濾波光路的旁軸區(qū)域內(nèi)以單一軌跡行進(jìn)，因此當(dāng)探測(cè)物鏡的前焦點(diǎn)位于被測(cè)物內(nèi)部時(shí)，只有前焦點(diǎn)的逆向散射光能夠達(dá)到系統(tǒng)的后焦點(diǎn)，而前焦點(diǎn)以外各點(diǎn)的逆向散射光和被測(cè)物表面的反射光均被系統(tǒng)濾除，由此可以消除層析測(cè)量的主要噪聲來(lái)源，使干涉信號(hào)的信噪比得到大幅度的提高，測(cè)量分辨率和探測(cè)深度也得到提高。以該方法及探測(cè)鏡組裝置為核心，可以制成高性能層析干涉測(cè)量?jī)x。
文檔編號(hào)G01N21/41GK101071101SQ200710069228
公開日2007年11月14日 申請(qǐng)日期2007年6月7日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月7日
發(fā)明者魯陽(yáng) 申請(qǐng)人:浙江大學(xué)