專利名稱：表面檢測裝置及利用該檢測裝置的表面檢測方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種雜質(zhì)檢測裝置及檢測方法，尤其涉及為了可以在基板上穩(wěn)定地涂敷光刻膠而用于檢測位于基板上表面或底面的雜質(zhì)的檢測裝置及其方法。
背景技術(shù)：
在當(dāng)前的信息化社會中，顯示器件作為視覺信息的傳遞媒體其重要性比任何時候都受到人們的關(guān)注。形成當(dāng)前主流的陰極射線管(Cathode Ray Tube，又稱布朗管)在重量及體積方面存在較大的問題。因此，目前正在不斷開發(fā)可以克服陰極射線管的這種限制的許多種平板顯示器件(Flat Panel Display)。
平板顯示器件包含液晶顯示面板(LCDLiquid Crystal Display)、場發(fā)射顯示器(Field Emission Display)、等離子顯示面板(Plasma Display Panel)及電致發(fā)光(Electroluminescence)等器件，這些器件中的大部分已經(jīng)被制成產(chǎn)品而在市場上進(jìn)行銷售。
液晶顯示面板可以滿足電子產(chǎn)品輕薄短小的趨勢，而且最近批量生產(chǎn)能力得到提高，因而正在很多應(yīng)用領(lǐng)域中迅速替代陰極射線管。
尤其，利用薄膜晶體管(Thin Film Transistor，下面簡稱“TFT”)驅(qū)動液晶單元的液晶顯示面板具有畫質(zhì)優(yōu)秀、耗電低的優(yōu)勢，而且最近隨著批量生產(chǎn)技術(shù)的有效提高和研究開發(fā)的新成果液晶顯示面板正迅速朝著大型化和高清晰度的方向發(fā)展。
通過這種液晶顯示面板顯示圖像的液晶顯示裝置是利用電場調(diào)節(jié)液晶的透光率來顯示圖像。為此，液晶顯示裝置包含按矩陣形態(tài)排列液晶單元的液晶顯示面板和用于驅(qū)動該液晶顯示面板的驅(qū)動電路。
圖1為表示一般的液晶顯示面板的示意圖。
如圖1所示，在一般的液晶顯示面板1中濾色片陣列基板20與TFT陣列基板30中間夾著液晶層10而貼合。圖1中示出的液晶顯示面板1為全部有效畫面的一部分。
在濾色片陣列基板20中上部玻璃基板22的背面形成濾色片24及共同電極26。上部玻璃基板22的前面貼附偏光板28。濾色片24中布置紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)的濾色片，通過透出特定波長區(qū)域的光來顯示顏色。相鄰顏色的濾色片24之間形成沒有圖示的黑色矩陣(Black Matrix)。黑色矩陣設(shè)置在紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)的濾色片24之間用于分離紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)的濾色片24，并通過吸收從相鄰單元入射的光來防止對比度的降低。
TFT陣列基板30中在下部玻璃基板32的前表面上有多條數(shù)據(jù)線34和柵極線40相互交叉而設(shè)置，在其交叉部上形成TFT(38)。并且，在下部玻璃基板32前表面上數(shù)據(jù)線34與柵極線40之間的單元區(qū)域形成像素電極36。
TFT(38)由連接于柵極線40的柵極、連接于數(shù)據(jù)線34的源極、隔著溝道與源極相對的漏極構(gòu)成。TFT(38)通過貫通漏極的接觸孔連接于像素電極36。這種TFT(38)通過響應(yīng)由柵極線40傳送的柵極信號向像素電極36選擇性地供應(yīng)由數(shù)據(jù)線34傳送的數(shù)據(jù)信號。TFT(38)通過響應(yīng)由柵極線40傳送的掃描信號而切換數(shù)據(jù)線34與像素電極36之間的數(shù)據(jù)傳送路徑，從而驅(qū)動像素電極36。TFT陣列基板30的背面貼附偏光板42。
像素電極36位于由數(shù)據(jù)線34與柵極線40劃分的單元區(qū)域，并由透光率較高的透明導(dǎo)電性物質(zhì)構(gòu)成。該像素電極36根據(jù)經(jīng)過漏極供應(yīng)的數(shù)據(jù)信號與形成在上部玻璃基板22的共同電極26發(fā)生電位差。液晶層10響應(yīng)施加到自身的電場而調(diào)節(jié)經(jīng)過TFT陣列基板30入射的光的透光量。當(dāng)像素電極36與共同電極26之間發(fā)生電位差時，位于下部玻璃基板32與上部玻璃基板22之間的液晶層10的液晶根據(jù)介電異向性而旋轉(zhuǎn)。據(jù)此，從光源經(jīng)過像素電極36而供給的光將入射到上部玻璃基板22。
貼附于濾色片陣列基板20和TFT陣列基板30上的偏光板28、42只能透過向某一方向偏振的光，當(dāng)液晶層10的液晶為90度的扭曲向列(TN)模式時它們的偏振方向相互垂直。濾色片陣列基板20和TFT陣列基板30的朝向液晶的表面形成沒有圖示的配向膜。
為了在濾色片陣列基板20和TFT陣列基板30上形成圖案，在形成電極及線物質(zhì)的上部玻璃基板22及下部玻璃基板32上涂敷光刻膠(PRphotoresist)，然后通過進(jìn)行利用光掩模向光刻膠選擇性地照射紫外線光的曝光工藝和顯影曝光的光刻膠的顯影工藝形成光刻膠圖案。然后，通過利用該光刻膠圖案作為掩模的蝕刻工藝蝕刻電極及線物質(zhì)而形成圖案。
圖2為表示安裝現(xiàn)有的表面檢測裝置的光刻膠層涂層裝置的示意圖。
圖2所示的光刻膠層涂層裝置包含用于放置上部玻璃基板22和下部玻璃基板32的支撐臺50、在所述玻璃基板上涂敷光刻膠物質(zhì)的狹縫噴嘴52、安裝在狹縫噴嘴52上用于檢測雜質(zhì)的表面檢測裝置54。
狹縫噴嘴52離所述玻璃基板具有150μm以下的間距，并在向所述玻璃基板的長度方向移動的過程中在基板的表面上涂敷光刻膠物質(zhì)而形成光刻膠層56。在這種狹縫噴嘴52移動方向的前端貼附表面檢測裝置54。
如果在支撐臺50或上部玻璃基板22、下部玻璃基板32上存在雜質(zhì)的狀態(tài)下涂敷光刻膠層56，則所述雜質(zhì)不僅會損壞狹縫噴嘴52，而且會損壞所述玻璃基板，導(dǎo)致液晶顯示面板上發(fā)生缺陷。
為了防止產(chǎn)生這種問題，表面檢測裝置54安裝在狹縫噴嘴52移動方向的前端，從而當(dāng)狹縫噴嘴52移動時產(chǎn)生激光束60，以檢測支撐臺50、上部玻璃基板22及下部玻璃基板32上的雜質(zhì)，如圖2所示。
一般的光刻膠層涂層裝置如圖2所示，從表面檢測裝置54產(chǎn)生的激光束60利用光接觸點掃描上部玻璃基板22及下部玻璃基板32的表面。
但是，如上所述的現(xiàn)有的涂層裝置由于從表面檢測裝置54產(chǎn)生的激光束60的掃描區(qū)域非常窄，因而不能檢測位于掃描區(qū)域之外的雜質(zhì)，因此不能完全檢測支撐臺50或上部玻璃基板22、下部玻璃基板32上的雜質(zhì)。
若要解決所述的問題需要設(shè)置多個表面檢測裝置54，以用于掃描支撐臺50或上部玻璃基板22、下部玻璃基板32的整個表面，但設(shè)置多個表面檢測裝置54不僅會提高生產(chǎn)成本，而且還使結(jié)構(gòu)變得非常復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決如上所述的問題而提出的，其目的在于提供一種可以通過更為簡單的結(jié)構(gòu)正確地檢測支撐臺或基板上的所有雜質(zhì)的表面檢測裝置及利用該檢測裝置的表面檢測方法。
為了實現(xiàn)上述目的依據(jù)本發(fā)明所提供的表面檢測裝置包含具有發(fā)光部和收光部的光傳感器，以用于在與檢測對象的檢測表面相隔預(yù)定間距的上方按照與檢測對象的檢測表面平行的方向收發(fā)光線；驅(qū)動部，以用于沿著與檢測對象的檢測表面平行但與光傳感器的發(fā)光方向相交叉的方向相對于檢測對象移送光傳感器。
并且，光傳感器的發(fā)光部和收光部設(shè)在被檢測表面的兩側(cè)端外側(cè)，并朝著與移送方向相垂直的方向發(fā)光，以使光線橫跨所述檢測對象的檢測表面。
并且，依據(jù)本發(fā)明所提供的表面檢測裝置還包含位置調(diào)節(jié)器，以用于調(diào)節(jié)檢測對象的檢測表面與所述光傳感器發(fā)光路徑之間的高度；與檢測對象的檢測表面隔離而設(shè)置的移送桿，并在其兩端結(jié)合發(fā)光部和收光部。此時，位置調(diào)節(jié)器構(gòu)成為升降移送桿的結(jié)構(gòu)，以用于改變檢測表面與移送桿之間的間距。并且，所述移送桿和用于向所述檢測對象涂敷涂層液的狹縫噴嘴可以形成為一體。
并且，依據(jù)本發(fā)明所提供的表面檢測裝置包含與檢測對象的檢測表面隔離而設(shè)置的移送桿；一端結(jié)合于移送桿、另一端朝檢測對象的檢測表面延長的條帶，以用于在被施加外力時發(fā)生擾曲；檢測單元，以用于檢測條帶的擾曲狀態(tài)；驅(qū)動部，以用于朝著與檢測對象的檢測表面平行的方向相對于所述檢測對象移送所述移送桿。
并且，條帶的另一端具有長度方向與檢測對象的檢測表面相平行的檢測桿，此時檢測桿延長而形成為橫跨檢測對象的檢測表面兩端的形狀。
此時，檢測單元可以使用結(jié)合于條帶的應(yīng)變儀，也可以使用隨著條帶的擾曲而接觸的接觸傳感器。
并且，依據(jù)本發(fā)明所提供的表面檢測裝置還包含位置調(diào)節(jié)器，以用于調(diào)節(jié)檢測對象的檢測表面與條帶另一端之間的距離。并且，所述移送桿和用于向所述檢測對象涂敷涂層液的狹縫噴嘴可以形成為一體。
依據(jù)本發(fā)明所提供的表面檢測方法，包含步驟利用具有發(fā)光部及收光部的光傳感器在與檢測對象的檢測表面相隔預(yù)定間距的上方按照與檢測對象的檢測表面相平行的方向進(jìn)行發(fā)光及收光；按照平行于檢測對象的檢測表面但與光傳感器的發(fā)光方向相交叉的方向相對于檢測對象移送光傳感器；當(dāng)光傳感器的收光部不能接收光線時，停止用于向檢測對象涂敷涂層液的狹縫噴嘴的操作。
并且，依據(jù)本發(fā)明所提供的表面檢測方法還包含在停止所述狹縫噴嘴的操作之后將所述狹縫噴嘴移送到涂敷初始位置或涂敷終止位置的步驟。將所述狹縫噴嘴移送到涂敷終止位置時，提升狹縫噴嘴并移送到前方。
并且，依據(jù)本發(fā)明所提供的表面檢測方法，還可以包含步驟在與檢測對象的檢測表面相隔預(yù)定間距的上方按照與檢測對象的檢測表面平行的方向相對于檢測對象移送受外力時發(fā)生擾曲的條帶；檢測條帶的擾曲狀態(tài)；當(dāng)檢測到條帶的擾曲狀態(tài)時，停止用于向所述檢測對象涂敷涂層液的狹縫噴嘴的操作。
并且，依據(jù)本發(fā)明所提供的表面檢測方法還包含在停止所述狹縫噴嘴的操作之后將所述條帶及所述狹縫噴嘴移送到涂敷初始位置或涂敷終止位置的步驟。將所述條帶及所述狹縫噴嘴移送到涂敷終止位置時，提升所述條帶及所述狹縫噴嘴并移送到前方。


圖1為表示一般的液晶顯示面板的示意圖；圖2為表示安裝現(xiàn)有的表面檢測裝置的光刻膠層涂層裝置的示意圖；圖3為依據(jù)本發(fā)明第一實施例所提供的表面檢測裝置的示意圖；圖4為依據(jù)本發(fā)明第一實施例所提供的表面檢測裝置的正視圖；圖5為沿著圖4的A-A線截取的本發(fā)明第一實施例所提供的表面檢測裝置的部分剖視圖；圖6為依據(jù)本發(fā)明第二實施例所提供的表面檢測裝置的示意圖；圖7為依據(jù)本發(fā)明第二實施例所提供的表面檢測裝置的正視圖；圖8為沿著圖7的B-B線截取的本發(fā)明第二實施例所提供的表面檢測裝置的部分剖視圖；圖9為當(dāng)基板上表面有雜質(zhì)時條帶因雜質(zhì)發(fā)生擾曲的本發(fā)明第二實施例所提供的表面檢測裝置的部分剖視圖；圖10為本發(fā)明第三實施例所提供的表面檢測裝置的部分剖視圖；圖11為當(dāng)基板上表面有雜質(zhì)時條帶因雜質(zhì)發(fā)生擾曲的本發(fā)明第三實施例所提供的表面檢測裝置的部分剖視圖；圖12為表示圖3中示出的本發(fā)明第一實施例所提供的表面檢測裝置的變形例的示意圖。
主要符號說明100為表面檢測裝置，110為移送桿，120為移動支架，130為光傳感器，140為條帶，150為檢測桿，160為應(yīng)變儀，170為接觸傳感器，200為支撐臺，300為基板，400為狹縫噴嘴。
具體實施例方式
以下，參照附圖詳細(xì)說明依據(jù)本發(fā)明所提供的表面檢測裝置的實施例。
圖3為依據(jù)本發(fā)明第一實施例所提供的表面檢測裝置的示意圖，圖4為依據(jù)本發(fā)明第一實施例所提供的表面檢測裝置的正視圖，圖5為沿著圖4的A-A線截取的本發(fā)明第一實施例所提供的表面檢測裝置的部分剖視圖。
圖3及圖4中示出的本發(fā)明第一實施例所提供的表面檢測裝置100位于狹縫噴嘴400移動方向的前方，該狹縫噴嘴400用于向安裝在支撐臺200的基板300上面涂敷光刻膠層410。這種表面檢測裝置100包含比基板300寬度長并且與基板300的上表面向上隔離一定間隔的移送桿110；具有分別結(jié)合于移送桿110兩端的發(fā)光部132和收光部134的光傳感器130，以用于在與基板300的上表面相隔預(yù)定間距的上方按照與基板300的上表面平行的方向收發(fā)光線；具有連接于移送桿110兩端的移動支架120的驅(qū)動部(未圖示)，以用于向著與基板300的上表面平行但與光傳感器130的發(fā)光方向不同的方向移送移送桿110。
并且，在移送桿110和移動支架120的結(jié)合部分設(shè)有用于調(diào)節(jié)移送桿110高度的位置調(diào)節(jié)器122，因而可以調(diào)節(jié)基板300上表面與光傳感器130發(fā)光路徑之間的間距。因此，用戶通過調(diào)節(jié)基板300上表面與光傳感器130發(fā)光路徑之間的間距，從而可以將檢測裝置設(shè)定為只檢測超過一定大小的雜質(zhì)。即，如果雜質(zhì)非常小也會給基板300帶來較大影響，則通過縮短基板300上表面與光傳感器130發(fā)光路徑之間的間距而使雜質(zhì)發(fā)光裝置還可以檢測微細(xì)的雜質(zhì)；如果比基準(zhǔn)值小的雜質(zhì)不影響基板300，則通過將基板300上表面與光傳感器130發(fā)光路徑之間的間距設(shè)定為基準(zhǔn)值，使雜質(zhì)發(fā)光裝置只檢測基準(zhǔn)值以上的雜質(zhì)。
如圖4及圖5所示，當(dāng)基板300的上表面或底面沒有雜質(zhì)時，從發(fā)光部132入射的光正常地傳遞到收光部134。但是，當(dāng)基板300的上表面有雜質(zhì)時，從發(fā)光部132傳遞的光被雜質(zhì)遮擋，從而不能傳遞到收光部134。當(dāng)基板300的底面有雜質(zhì)時，由于基板300以與雜質(zhì)相同的高度突出，因而從發(fā)光部132傳遞的光被基板300遮擋而不能傳遞到收光部134。
如上所述，當(dāng)起動光傳感器130使發(fā)光部132與收光部134之間進(jìn)行發(fā)光與收光，則朝著與光傳感器130的發(fā)光方向相垂直的方向移送移送桿110，同時掃描整個基板300。
如果光傳感器130正常進(jìn)行發(fā)光與收光，則移送桿110繼續(xù)被移送，而安裝在移送桿110后面的狹縫噴嘴向基板300的上表面涂敷光刻膠層410。此時，如果光傳感器130的收光部134不能正常進(jìn)行收光，則表面檢測裝置100判斷基板300上有雜質(zhì)，因而驅(qū)動部停止移送桿110的移送動作，狹縫噴嘴也停止涂層工作。當(dāng)停止移送桿110的移送及狹縫噴嘴的涂層動作時，將狹縫噴嘴移送到前方或后方。將狹縫噴嘴移送到前方時，為了防止雜質(zhì)損壞所述狹縫噴嘴的端部而將所述狹縫噴嘴提升之后移送到前方。然后，從支撐臺200取回未完成涂層工藝的基板300而進(jìn)行洗滌過程。經(jīng)過洗滌過程而恢復(fù)到初始狀態(tài)的基板300再次進(jìn)行涂層工藝。當(dāng)基板底面有雜質(zhì)時，如果在沒有提升狹縫噴嘴的狀態(tài)下朝前方移送狹縫噴嘴，則狹縫噴嘴和基板接觸而可能在基板上產(chǎn)生劃痕，而且還可能使高價的狹縫噴嘴端部因雜質(zhì)而損壞。而當(dāng)基板上表面有雜質(zhì)時，如果在沒有提升狹縫噴嘴的狀態(tài)下朝前方移送狹縫噴嘴，則狹縫噴嘴使雜質(zhì)向前方移動而可能在基板上產(chǎn)生劃痕，而且狹縫噴嘴自身也可能因雜質(zhì)而受損。由于這種劃痕可能導(dǎo)致基板不能再次使用，而且狹縫噴嘴價格較高，因而為了保護(hù)基板及狹縫噴嘴需要經(jīng)過將狹縫噴嘴提升之后移送到前方的作業(yè)。
如果移送桿110通過整個基板300上表面時光傳感器130的收光部134都能正常進(jìn)行收光，則認(rèn)為基板300上表面或底面沒有雜質(zhì)，因而狹縫噴嘴一次完成基板300上表面的涂層工作。
如上所述，由于依據(jù)本發(fā)明所提供的表面檢測裝置100利用一個光傳感器130也能檢測基板300的整個上表面和底面，因而不僅可以節(jié)省生產(chǎn)成本，還可以使結(jié)構(gòu)變得簡單。此外，依據(jù)本發(fā)明所提供的表面檢測裝置100不僅可以檢測出基板300上表面及底面的雜質(zhì)，而且還可以檢測表面形成凸起的不合格基板300。
本實施例中為了能夠在移送一次移送桿110時掃描整個基板300，使發(fā)光部132與收光部134的間距大于基板300寬度，但發(fā)光部132與收光部134的間距可以根據(jù)需要進(jìn)行掃描的范圍大小來進(jìn)行調(diào)節(jié)。
此外，本實施例中移送桿110的移送方向垂直于光傳感器130的發(fā)光路徑，但是移送桿110的移送方向還可以設(shè)定為按一定角度傾斜于光傳感器130的發(fā)光路徑。
圖6為依據(jù)本發(fā)明第二實施例所提供的表面檢測裝置的示意圖，圖7為依據(jù)本發(fā)明第二實施例所提供的表面檢測裝置的正視圖。
如圖6及圖7所示，本發(fā)明的第二實施例所提供的表面檢測裝置100利用上端結(jié)合于移送桿110、下端朝基板300上表面延長的條帶140來替代第一實施例的光傳感器130，以用于檢測是否存在雜質(zhì)。
移送桿110上結(jié)合多個條帶140，各條帶140的下端連接于檢測桿150，該檢測桿150形狀較長而橫跨基板300的上表面，并與基板300的上表面間隔預(yù)定距離。由于檢測桿150形狀較長而橫跨基板300的上表面，因而不管雜質(zhì)在基板300的任何位置都能與雜質(zhì)發(fā)生干涉，而條帶140由于檢測桿150與雜質(zhì)之間發(fā)生干涉將被擾曲。因此，依據(jù)本發(fā)明所提供的表面檢測裝置可以通過移送一次移送桿110來測定整個基板300上是否存在雜質(zhì)。
此時，檢測桿150的長度可以根據(jù)需要測定是否有雜質(zhì)的范圍而進(jìn)行增減，而且如果條帶140寬度被制作為可以橫跨基板300時，可以省略檢測桿150。
并且，可以通過操作設(shè)在移送桿110與移動支架120之間的位置調(diào)節(jié)器122來改變移送桿110的高度，從而調(diào)節(jié)基板300與檢測桿150之間的間距。由于調(diào)節(jié)基板300與檢測桿150間距的目的和效果與第一實施例所述的調(diào)節(jié)基板300與傳感器發(fā)光路徑之間的間距的目的和效果相同，因而在此省略其說明。
圖8為沿著圖7的B-B線截取的本發(fā)明第二實施例所提供的表面檢測裝置的部分剖視圖，圖9為當(dāng)基板上表面有雜質(zhì)時條帶因雜質(zhì)發(fā)生擾曲的本發(fā)明第二實施例所提供的表面檢測裝置的部分剖視圖。
由于條帶140受很小的外力也會被擾曲，因而在貼附于基板300上表面的雜質(zhì)500與檢測桿150相干涉的狀態(tài)下如果繼續(xù)移送桿110的移送動作，條帶140將被擾曲，如圖9所示。
此時，條帶140被擾曲的程度通過貼附于條帶140上的應(yīng)變儀160來測定，當(dāng)條帶140被擾曲的程度超過一定基準(zhǔn)時驅(qū)動部停止移送桿110的移送動作，狹縫噴嘴的涂層工藝也被中斷。當(dāng)停止移送桿110的移送動作及狹縫噴嘴的涂層動作時，將移送桿110及狹縫噴嘴移送到前方或后方。其后的過程與本發(fā)明的第一實施例所描述的過程相同。
圖10為本發(fā)明第三實施例所提供的表面檢測裝置的部分剖視圖，圖11為當(dāng)基板上表面有雜質(zhì)時條帶因雜質(zhì)發(fā)生擾曲的本發(fā)明第三實施例所提供的表面檢測裝置的部分剖視圖。
如圖所示，本發(fā)明所提供的表面檢測裝置100可以利用通過條帶140的擾曲而接觸的接觸傳感器170來構(gòu)成用于檢測條帶140擾曲程度的檢測單元。
接觸傳感器170的端子分別設(shè)在移送桿110與條帶140相互對應(yīng)的位置，當(dāng)條帶140由貼附于基板300上表面的雜質(zhì)500擾曲時相互接觸，如圖11所示。如上所述，當(dāng)接觸傳感器170的兩個端子相互接觸時，表面檢測裝置100檢測出基板300上有雜質(zhì)而停止移送桿110的移送動作，狹縫噴嘴也停止涂層工作。當(dāng)停止移送桿110的移送動作及狹縫噴嘴的涂層動作時，將移送桿110及狹縫噴嘴移送到前方或后方。其后的過程與本發(fā)明的第一實施例所描述的過程相同。
圖3至圖11中示出了狹縫噴嘴400和檢測裝置100分別由不同的驅(qū)動單元驅(qū)動的實施例，但如果參照作為圖3中示出的本發(fā)明第一實施例所提供的表面檢測裝置變形例的圖12，可以獲知狹縫噴嘴400和檢測裝置100可以由連接桿600形成為一體。因此，與圖3至圖11中示出的實施例相比可以由單個驅(qū)動單元控制狹縫噴嘴400和檢測裝置100，因而可以利用較簡單的結(jié)構(gòu)檢測雜質(zhì)。并且，利用連接桿600實現(xiàn)的單一的結(jié)構(gòu)還可以適用于圖8至圖11中示出的第二實施例及第三實施例。
綜上所述，雖然利用最佳實施例詳細(xì)描述了本發(fā)明，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并非限定于特定實施例，而是要根據(jù)權(quán)利要求來進(jìn)行解釋。
尤其，雖然本實施例中表面檢測裝置主要用于在基板的涂層工藝之前檢測基板上是否有雜質(zhì)，但本發(fā)明所提供的表面檢測裝置還可以用于檢測基板以外的各種產(chǎn)品上是否有雜質(zhì)，或者測定產(chǎn)品的粗糙程度。
此外，在本技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識的工作者應(yīng)該知道，在不脫離本發(fā)明保護(hù)范圍的情況下可以進(jìn)行各種修改和變更。
依據(jù)本發(fā)明所提供的表面檢測裝置不僅可以正確地檢測出基板上表面或底面的雜質(zhì)，還可以檢測出表面上形成凸起的不合格基板，而且由于內(nèi)部結(jié)構(gòu)變得簡單而可以降低生產(chǎn)成本。
并且，依據(jù)本發(fā)明所提供的表面檢測裝置通過與用于向檢測對象涂敷涂層液的狹縫噴嘴形成為一體，因而可以更簡單地檢測雜質(zhì)。
并且，依據(jù)本發(fā)明所提供的表面檢測方法具有可以利用一個光傳感器來檢測整個基板上是否有雜質(zhì)的優(yōu)點。
權(quán)利要求
1.一種表面檢測裝置，其特征在于包含具有發(fā)光部和收光部的光傳感器，以用于在與檢測對象的檢測表面相隔預(yù)定間距的上方按照與所述檢測對象的檢測表面平行的方向收發(fā)光線；驅(qū)動部，以用于沿著與所述檢測對象的檢測表面平行但與所述光傳感器的發(fā)光方向相交叉的方向相對于所述檢測對象移送所述光傳感器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面檢測裝置，其特征在于所述光傳感器的所述發(fā)光部和收光部設(shè)在所述檢測對象的檢測表面的兩側(cè)端外側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的表面檢測裝置，其特征在于所述光傳感器朝著與移送方向相垂直的方向發(fā)光，以使光線橫跨所述檢測對象的檢測表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項所述的表面檢測裝置，其特征在于還包含位置調(diào)節(jié)器，以用于調(diào)節(jié)所述檢測對象的檢測表面與所述光傳感器發(fā)光路徑之間的高度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的表面檢測裝置，其特征在于還包含與所述檢測對象的檢測表面隔離而設(shè)置的移送桿，并在其兩端結(jié)合發(fā)光部和收光部，所述位置調(diào)節(jié)器構(gòu)成為升降所述移送桿的結(jié)構(gòu)，以用于改變所述檢測表面與所述移送桿之間的間距。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的表面檢測裝置，其特征在于所述移送桿和用于向所述檢測對象涂敷涂層液的狹縫噴嘴形成為一體。
7.一種表面檢測裝置，其特征在于包含與檢測對象的檢測表面隔離而設(shè)置的移送桿；一端結(jié)合于所述移送桿、另一端朝所述檢測對象的檢測表面延長的條帶，以用于在被施加外力時發(fā)生擾曲；檢測單元，以用于檢測所述條帶的擾曲狀態(tài)；驅(qū)動部，以用于朝著與所述檢測對象的檢測表面平行的方向相對于所述檢測對象移送所述移送桿。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的表面檢測裝置，其特征在于所述條帶的另一端具有長度方向與檢測對象的檢測表面相平行的檢測桿。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的表面檢測裝置，其特征在于所述檢測桿延長而形成為橫跨所述檢測對象的檢測表面兩端的形狀。
10.根據(jù)權(quán)利要求7至9中的任意一項所述的表面檢測裝置，其特征在于所述檢測單元為結(jié)合于所述條帶的應(yīng)變儀。
11.根據(jù)權(quán)利要求7至9中的任意一項所述的表面檢測裝置，其特征在于所述檢測單元為隨著所述條帶的擾曲而接觸的接觸傳感器。
12.根據(jù)權(quán)利要求7至9中的任意一項所述的表面檢測裝置，其特征在于還包含位置調(diào)節(jié)器，以用于調(diào)節(jié)所述檢測對象的檢測表面與所述條帶另一端之間的距離。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的表面檢測裝置，其特征在于所述移送桿和用于向所述檢測對象涂敷涂層液的狹縫噴嘴形成為一體。
14.一種表面檢測方法，其特征在于包含步驟利用具有發(fā)光部及收光部的光傳感器在與檢測對象的檢測表面相隔預(yù)定間距的上方按照與檢測對象的檢測表面相平行的方向進(jìn)行發(fā)光及收光；按照平行于所述檢測對象的檢測表面但與所述光傳感器的發(fā)光方向相交叉的方向相對于所述檢測對象移送所述光傳感器；當(dāng)所述光傳感器的收光部不能接收光線時，停止用于向所述檢測對象涂敷涂層液的狹縫噴嘴的操作。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的表面檢測方法，其特征在于還包含在停止所述狹縫噴嘴的操作之后將所述狹縫噴嘴移送到涂敷初始位置或涂敷終止位置的步驟。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的表面檢測方法，其特征在于將所述狹縫噴嘴移送到涂敷終止位置時，提升所述狹縫噴嘴并移送到前方。
17.一種表面檢測方法，其特征在于包含步驟在與檢測對象的檢測表面相隔預(yù)定間距的上方按照與所述檢測對象的檢測表面平行的方向相對于檢測對象移送受外力時發(fā)生擾曲的條帶；檢測所述條帶的擾曲狀態(tài)；當(dāng)檢測到所述條帶的擾曲狀態(tài)時，停止用于向所述檢測對象涂敷涂層液的狹縫噴嘴的操作。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的表面檢測方法，其特征在于還包含在停止所述狹縫噴嘴的操作之后將所述條帶及所述狹縫噴嘴移送到涂敷初始位置或涂敷終止位置的步驟。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的表面檢測方法，其特征在于將所述條帶及所述狹縫噴嘴移送到涂敷終止位置時，提升所述條帶及所述狹縫噴嘴并移送到前方。
全文摘要
本發(fā)明提供一種表面檢測裝置及利用該檢測裝置的表面檢測方法。該表面檢測裝置，包含與檢測對象的檢測表面隔離而設(shè)置的移送桿；具有分別結(jié)合于移送桿兩端的發(fā)光部和收光部的光傳感器，以用于在與檢測對象的檢測表面相隔預(yù)定間距的上方按照與檢測對象的檢測表面平行的方向收發(fā)光線；驅(qū)動部，以用于朝著與檢測對象的檢測表面平行但與光傳感器的發(fā)光方向不同的方向移送移送桿；位置調(diào)節(jié)器，以用于調(diào)節(jié)檢測對象的檢測表面與光傳感器發(fā)光路徑之間的距離。由此，可以正確地檢測出基板上表面或底面的雜質(zhì)，而且因結(jié)構(gòu)變得簡單而可以降低生產(chǎn)成本。
文檔編號G01N21/95GK1892202SQ20061009428
公開日2007年1月10日 申請日期2006年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月29日
發(fā)明者趙康一, 盧智晟, 權(quán)晟 申請人:K.C.科技股份有限公司