專利名稱：檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置及方法、以及工序檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于設(shè)定在生產(chǎn)線的中間工序中的工序檢查中所使用的檢查基準(zhǔn)的技術(shù)。
背景技術(shù)：
由多個(gè)工序構(gòu)成的生產(chǎn)線中，在最終工序中加入判斷完成品的良/次的最終檢查，在各中間工序中進(jìn)行判斷中間品的合格與否的工序檢查。
工序檢查的第一目的在于，發(fā)現(xiàn)不滿足該工序所規(guī)定的質(zhì)量級(jí)別的中間品，防止這樣的不合格品流入后續(xù)工序中。為了達(dá)到該目的，只要根據(jù)針對(duì)每個(gè)工序確定的質(zhì)量級(jí)別(公差等)設(shè)定檢查基準(zhǔn)(用于判斷中間品的合格與否的閾值等)即可。
但是，并非只要滿足質(zhì)量級(jí)別的中間品，最終就一定成為良品。這是因?yàn)?，即使是滿足質(zhì)量級(jí)別的中間品，也包含在后續(xù)工序中引發(fā)缺陷的潛在缺陷因素。將這樣的潛在缺陷因素稱為“缺陷征兆”。因此，在工序檢查中優(yōu)選為，不僅要排除不滿足質(zhì)量級(jí)別的中間品，還要排除表現(xiàn)出缺陷征兆的中間品，將后續(xù)工序中的缺陷發(fā)生防患于未然。
盡管如此，適當(dāng)?shù)卦O(shè)定用于檢測(cè)缺陷征兆的檢查基準(zhǔn)是非常困難的。其原因是很難明確要表現(xiàn)出何種程度的征兆、才在后續(xù)工序中成為缺陷的因果關(guān)系而對(duì)其定量地進(jìn)行掌握。而且，在工序檢查中的檢查項(xiàng)目為多個(gè)時(shí)，確定調(diào)節(jié)哪個(gè)檢查項(xiàng)目的檢查基準(zhǔn)才較有效也是困難的。但是，如果過(guò)度地使缺陷征兆的發(fā)現(xiàn)優(yōu)先而將檢查基準(zhǔn)設(shè)定得過(guò)于嚴(yán)格，則工序檢查中的直行率(合格品在檢查總數(shù)中所占比例)下降，出現(xiàn)了導(dǎo)致成品率的惡化或再檢查成本的增加的問(wèn)題。
另外，作為支持檢查基準(zhǔn)的設(shè)定的技術(shù)，公知有專利文獻(xiàn)1中所公開(kāi)的方法。但是，該方法通過(guò)計(jì)算/顯示檢查結(jié)果的過(guò)判斷率，使用戶確認(rèn)過(guò)判斷率是否滿足預(yù)定的管理基準(zhǔn)，因此只不過(guò)是催促檢查基準(zhǔn)調(diào)節(jié)的必要性的判斷的方法。即，該方法對(duì)于應(yīng)如何調(diào)節(jié)哪個(gè)工序的哪個(gè)檢查項(xiàng)目的檢查基準(zhǔn)的具體判斷不起任何作用。
專利文獻(xiàn)1日本特開(kāi)2004-214394號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述情況而提出的，其目的在于提供用于適當(dāng)?shù)卦O(shè)定檢查基準(zhǔn)的技術(shù)，該檢查基準(zhǔn)用于在工序檢查中檢測(cè)缺陷征兆。
本發(fā)明是用于在執(zhí)行工序檢查和最終檢查的生產(chǎn)線上，設(shè)定所述工序檢查中所使用的檢查基準(zhǔn)(或者支持檢查基準(zhǔn)的設(shè)定)的技術(shù)，該工序檢查通過(guò)對(duì)于多個(gè)檢查項(xiàng)目、對(duì)從中間品中提取的特征量和預(yù)定的檢查基準(zhǔn)進(jìn)行比較來(lái)判斷中間品的合格與否，該最終檢查在最終工序中判斷完成品的良/次。
通過(guò)工序檢查裝置進(jìn)行工序檢查。工序檢查裝置使用公知的傳感技術(shù)，從中間品中提取與檢查項(xiàng)目對(duì)應(yīng)的特征量。例如，可以利用圖像傳感器對(duì)中間品進(jìn)行拍攝，通過(guò)圖像處理或圖像識(shí)別，從圖像中提取各種特征量(位置、大小、形狀、顏色、濃淡、頻譜、紋理等)，或是利用熱傳感器測(cè)量中間品的溫度，或是利用壓力傳感器測(cè)量作用于中間品的應(yīng)力和扭矩。然后，工序檢查裝置通過(guò)將提取出的特征量和預(yù)先設(shè)定的檢查基準(zhǔn)進(jìn)行比較，來(lái)判斷中間品是否滿足檢查基準(zhǔn)。針對(duì)每個(gè)檢查項(xiàng)目預(yù)先設(shè)定待提取的特征量的類型和成為比較對(duì)象的檢查基準(zhǔn)的值。不論是利用一個(gè)工序檢查裝置對(duì)多個(gè)檢查項(xiàng)目進(jìn)行檢查的結(jié)構(gòu)，還是多個(gè)工序檢查裝置分別對(duì)一個(gè)或多個(gè)檢查項(xiàng)目進(jìn)行檢查的結(jié)構(gòu)均可以。
本發(fā)明的檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置由至少具有存儲(chǔ)單元和顯示單元的信息處理裝置構(gòu)成。另外，也可以作為工序檢查裝置的一個(gè)功能而實(shí)現(xiàn)檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置。
檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置將對(duì)于工序檢查的各檢查項(xiàng)目提取出的特征量(的值)以及最終檢查的判斷結(jié)果存儲(chǔ)在存儲(chǔ)單元中。通過(guò)最終檢查裝置對(duì)最終檢查進(jìn)行自動(dòng)處理時(shí)，應(yīng)使該判斷結(jié)果自動(dòng)地記錄到檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置的存儲(chǔ)單元中。并且，人工進(jìn)行最終檢查時(shí)，可以由作業(yè)者將判斷結(jié)果輸入到檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置中。
然后，檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置利用分離度計(jì)算單元，根據(jù)存儲(chǔ)于所述存儲(chǔ)單元中的多個(gè)產(chǎn)品的數(shù)據(jù)，針對(duì)工序檢查的每個(gè)檢查項(xiàng)目或每個(gè)檢查項(xiàng)目的組合，計(jì)算分離度，該分離度表示在對(duì)于該檢查項(xiàng)目提取出的特征量的分布中、在最終檢查中判斷為良品的產(chǎn)品和判斷為次品的產(chǎn)品以何種程度分離而分布。
該分離度也可以說(shuō)是將工序檢查中所檢查的檢查項(xiàng)目和最終檢查中所檢查的缺陷類別之間的因果關(guān)系(相關(guān)度)的強(qiáng)度數(shù)值化而得到。即，檢查項(xiàng)目和缺陷類別之間的因果關(guān)系小時(shí)，相應(yīng)的檢查項(xiàng)目的特征量的值不論是良品還是次品均產(chǎn)生偏差，分離度減小，相反，因果關(guān)系大時(shí)，在良品的特征量的值和次品的特征量的值中出現(xiàn)顯著的差異，分離度增大。
具體講，分離度計(jì)算單元將多個(gè)產(chǎn)品的特征量分布分為2類，將屬于其中一類的產(chǎn)品看作良品，將屬于另一類的產(chǎn)品看作次品，根據(jù)該分類結(jié)果與最終檢查中的良/次判斷結(jié)果一致的產(chǎn)品的比例、以及不一致的產(chǎn)品的比例，計(jì)算分離度。
由此，能夠與檢查項(xiàng)目(特征量)的數(shù)量、特征量分布的值域、預(yù)先對(duì)工序檢查設(shè)定的檢查基準(zhǔn)的好壞等無(wú)關(guān)地，通過(guò)簡(jiǎn)單的處理計(jì)算客觀的分離度。另外，在特征量分布的分類中，可以采用公知的聚類(Clustering)方法。
此處，優(yōu)選為分離度是分類結(jié)果與最終檢查中的良/次判斷結(jié)果一致的產(chǎn)品的比例越大、或不一致的產(chǎn)品的比例越小，則越大的指標(biāo)。
而且，檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置通過(guò)設(shè)定對(duì)象選擇單元，從所述檢查項(xiàng)目或檢查項(xiàng)目的組合中，根據(jù)該分離度的大小，選擇應(yīng)重新設(shè)定檢查基準(zhǔn)的檢查項(xiàng)目。
由此，能夠容易地確定與缺陷發(fā)生的因果關(guān)系強(qiáng)的檢查項(xiàng)目、即可確切地檢測(cè)出缺陷征兆的檢查項(xiàng)目。
此處，設(shè)定對(duì)象選擇單元也可以選擇分離度最大的檢查項(xiàng)目或檢查項(xiàng)目的組合作為應(yīng)重新設(shè)定檢查基準(zhǔn)的檢查項(xiàng)目。由此，能夠自動(dòng)地確定應(yīng)重新設(shè)定檢查基準(zhǔn)的檢查項(xiàng)目。
而且，設(shè)定對(duì)象選擇單元也可以按照分離度的大小順序提示多個(gè)檢查項(xiàng)目或檢查項(xiàng)目的組合作為選擇候選，使用戶從這些選擇候選中選擇要重新設(shè)定檢查基準(zhǔn)的檢查項(xiàng)目。此時(shí)，優(yōu)選為提示各選擇候選的分離度的大小。如果這樣提示選擇候選，則能夠支持用戶選擇設(shè)定對(duì)象項(xiàng)目。
而且，檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置通過(guò)檢查基準(zhǔn)設(shè)定單元對(duì)于所選擇的檢查項(xiàng)目設(shè)定新的檢查基準(zhǔn)。由此，能夠在工序檢查中適當(dāng)?shù)卦O(shè)定用于檢測(cè)缺陷征兆的新的檢查基準(zhǔn)。
此處，檢查基準(zhǔn)設(shè)定單元也可以計(jì)算變更了檢查基準(zhǔn)時(shí)的、工序檢查和最終檢查各自的判斷結(jié)果的變化，使用預(yù)定的成本函數(shù)計(jì)算由判斷結(jié)果的變化產(chǎn)生的成本效果，確定新的檢查基準(zhǔn)，使得計(jì)算出的成本效果為最大。由此，能夠自動(dòng)地確定新的檢查基準(zhǔn)。
另外，檢查基準(zhǔn)設(shè)定單元也可以使用戶輸入新的檢查基準(zhǔn)，并且，在輸入了新的檢查基準(zhǔn)時(shí)，計(jì)算變更為該新的檢查基準(zhǔn)時(shí)的、工序檢查和最終檢查各自的判斷結(jié)果的變化而進(jìn)行提示。通過(guò)這樣的界面，用戶能夠?qū)ψ兏藱z查基準(zhǔn)時(shí)的判斷結(jié)果的變化進(jìn)行仿真，能夠找出檢查基準(zhǔn)的最佳值。
另外，本發(fā)明可以作為具有上述單元中的至少一部分的檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置或工序檢查裝置。并且，本發(fā)明還可作為包括上述處理中的至少一部分的檢查基準(zhǔn)設(shè)定方法、或用于實(shí)現(xiàn)這樣的方法的檢查基準(zhǔn)設(shè)定程序。上述單元以及處理可以分別盡可能地相互進(jìn)行組合來(lái)構(gòu)成本發(fā)明。
根據(jù)本發(fā)明，能夠適當(dāng)?shù)卦O(shè)定在工序檢查中用于檢測(cè)缺陷征兆的檢查基準(zhǔn)。


圖1是表示表面安裝線的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的圖。
圖2是表示焊錫印刷工序中的檢查項(xiàng)目的一例的列表。
圖3是表示部件安裝工序中的檢查項(xiàng)目的一例的列表。
圖4是表示檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
圖5是表示檢查結(jié)果DB的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的一例的圖。
圖6是表示檢查基準(zhǔn)設(shè)定處理的流程的流程圖。
圖7是表示關(guān)注缺陷選擇畫(huà)面的一例的圖。
圖8是表示分離度計(jì)算處理的流程的流程圖。
圖9是表示特征量分布的一例的直方圖。
圖10是表示基準(zhǔn)設(shè)定畫(huà)面的一例的圖。
圖11是表示判斷結(jié)果的變化的計(jì)算方法的圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式示例性地進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。這里，舉出將本發(fā)明應(yīng)用于在基板上對(duì)電子部件進(jìn)行表面安裝的生產(chǎn)線的例子。但是，本發(fā)明不限于表面安裝線，可應(yīng)用于執(zhí)行工序檢查和最終檢查的各種生產(chǎn)線。
(表面安裝線)圖1示出了表面安裝線的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。
該系統(tǒng)具有焊錫印刷裝置1、部件安裝裝置2以及回流焊裝置3，作為制造裝置。在表面安裝線中，首先，由焊錫印刷裝置1將焊膏印刷到印刷基板的各焊盤(pán)上(焊錫印刷工序)，接著，由部件安裝裝置2將電子部件安裝到焊膏上(部件安裝工序)，最后，通過(guò)由回流焊裝置3將焊錫加熱熔化/冷卻，將電子部件焊接到焊盤(pán)上(回流焊工序)。
并且，該系統(tǒng)具有印刷檢查裝置4、安裝檢查裝置5以及基板檢查裝置6，作為檢查裝置。印刷檢查裝置4設(shè)置于焊錫印刷裝置1的下游，在作為中間工序的焊錫印刷工序中判斷焊膏的印刷質(zhì)量的合格與否。安裝檢查裝置5設(shè)置于部件安裝裝置2的下游，在作為中間工序的部件安裝工序中判斷部件的安裝質(zhì)量的合格與否。并且，基板檢查裝置6設(shè)置于回流焊裝置3的下游，在作為最終工序的回流焊工序中判斷最終的完成品的良/次。即，印刷檢查裝置4和安裝檢查裝置5是工序檢查裝置，基板檢查裝置6相當(dāng)于最終檢查裝置。
信息處理裝置7由具有CPU、存儲(chǔ)器、輔助存儲(chǔ)裝置、顯示裝置、以及輸入裝置等的通用計(jì)算機(jī)構(gòu)成，通過(guò)LAN等的電氣通信線路與制造裝置和檢查裝置連接。信息處理裝置7擔(dān)負(fù)著存儲(chǔ)/管理/顯示制造裝置的制造狀況、以及檢查裝置的檢查狀況等，或管理/更新/顯示制造裝置的制造條件、以及檢查裝置的檢查基準(zhǔn)等的作用。在本實(shí)施方式中，通過(guò)該信息處理裝置7構(gòu)成了檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置。
下面，對(duì)各工序中執(zhí)行的檢查的細(xì)節(jié)進(jìn)行說(shuō)明之后，對(duì)檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置的細(xì)節(jié)進(jìn)行說(shuō)明。
(檢查工序1焊錫印刷工序)印刷檢查裝置4接收到焊錫印刷后的印刷基板時(shí)，使用攝像裝置拍攝印刷基板，獲得印刷基板上的各部件(各焊盤(pán))的圖像。對(duì)各個(gè)圖像進(jìn)行管理，通過(guò)印刷基板的識(shí)別序號(hào)和部件序號(hào)的組合而變得唯一。
印刷檢查裝置4使用該圖像對(duì)多個(gè)檢查項(xiàng)目進(jìn)行檢查。圖2是表示焊錫印刷工序中的檢查項(xiàng)目的一例的列表。在檢查項(xiàng)目中包括焊錫過(guò)少檢查、焊錫過(guò)多檢查、焊錫和焊盤(pán)之間的相對(duì)X偏移檢查、焊錫和焊盤(pán)之間的相對(duì)Y偏移檢查、塌落/流溢檢查(縱方向)、以及塌落/流溢檢查(橫方向)等。而且，分別針對(duì)每個(gè)檢查項(xiàng)目設(shè)定了要從圖像中提取的特征量的類型和單位、以及與該特征量的值進(jìn)行比較的檢查基準(zhǔn)。
例如，在焊錫過(guò)少檢查中，印刷檢查裝置4通過(guò)模板匹配(templatematching)等確定焊盤(pán)區(qū)域后，提取表現(xiàn)出焊錫顏色的區(qū)域，計(jì)算焊錫面積相對(duì)于焊盤(pán)面積的比例(％)。然后，在其計(jì)算結(jié)果比表示焊錫面積的容許值的檢查基準(zhǔn)小時(shí)，判斷為不合格(焊錫過(guò)少)。
并且，在焊錫和焊盤(pán)之間的相對(duì)X偏移檢查中，印刷檢查裝置4通過(guò)模板匹配等確定焊盤(pán)區(qū)域后，提取表現(xiàn)出焊錫顏色的區(qū)域，計(jì)算焊盤(pán)的重心和焊錫的重心的X方向之差(mm)。然后，在其計(jì)算結(jié)果比表示X方向容許偏移量的檢查基準(zhǔn)大時(shí)，判斷為不合格(X偏移)。
這樣，印刷檢查裝置4自動(dòng)地對(duì)多個(gè)檢查項(xiàng)目執(zhí)行合格與否判斷。此時(shí)，將在各檢查項(xiàng)目中所提取出的特征量和判斷結(jié)果發(fā)送給信息處理裝置7，存儲(chǔ)到信息處理裝置7的檢查結(jié)果DB中。
另外，在任意一個(gè)的檢查項(xiàng)目中出現(xiàn)了不合格的判斷時(shí)，從生產(chǎn)線上取下該印刷基板，轉(zhuǎn)入再檢查。由此，能夠防止不合格品流入到后續(xù)工序(部件安裝工序)中。
(工序檢查2部件安裝工序)安裝檢查裝置5接收到部件安裝后的印刷基板時(shí)，使用攝像裝置拍攝印刷基板，獲得印刷基板上的各部件(各焊盤(pán))的圖像。對(duì)該圖像也進(jìn)行管理，通過(guò)基板的識(shí)別序號(hào)和部件序號(hào)的組合而變得唯一。
安裝檢查裝置5使用該圖像對(duì)多個(gè)檢查項(xiàng)目進(jìn)行檢查。圖3是表示部件安裝工序中的檢查項(xiàng)目的一例的列表。在檢查項(xiàng)目中包括角度檢查、橫偏檢查、以及縱偏檢查等。而且，分別針對(duì)每個(gè)檢查項(xiàng)目設(shè)定了要從圖像中提取的特征量的類型和單位、以及與該特征量的值進(jìn)行比較的檢查基準(zhǔn)。
例如，在角度檢查中，安裝檢查裝置5通過(guò)模板匹配等確定部件主體區(qū)域后，計(jì)算以圖像的水平方向?yàn)榛鶞?zhǔn)的部件主體區(qū)域的傾斜角度(度)。然后，在其計(jì)算結(jié)果比表示部件的容許傾斜度的檢查基準(zhǔn)小時(shí)，判斷為不合格(部件傾斜)。
并且，在橫偏檢查中，安裝檢查裝置5通過(guò)模板匹配等確定部件主體區(qū)域后，計(jì)算以圖像的左上側(cè)為原點(diǎn)時(shí)的部件主體區(qū)域的重心的水平坐標(biāo)(mm)。然后，在其計(jì)算結(jié)果比表示水平方向容許偏移量的檢查基準(zhǔn)大時(shí)，判斷為不合格(橫偏)。
這樣，安裝檢查裝置5自動(dòng)地對(duì)多個(gè)檢查項(xiàng)目執(zhí)行合格與否判斷。此時(shí)，將在各檢查項(xiàng)目中提取出的特征量和判斷結(jié)果發(fā)送給信息處理裝置7，存儲(chǔ)到信息處理裝置7的檢查結(jié)果DB中。
另外，在任意一個(gè)的檢查項(xiàng)目中出現(xiàn)了不合格的判斷時(shí)，從生產(chǎn)線上取下該印刷基板，轉(zhuǎn)入再檢查。由此，能夠防止不合格品流入到后續(xù)工序(回流焊工序)中。
(最終檢查回流焊工序)在回流焊后出現(xiàn)的缺陷中例如包括下述的多種缺陷焊腳異常(焊錫的形狀不適當(dāng))、潤(rùn)濕異常(焊錫和焊盤(pán)、或焊錫和部件的電極之間的接合出現(xiàn)問(wèn)題)、焊橋(部件的電極間附著了焊錫而導(dǎo)致短路)、安裝異常(部件或焊錫從焊盤(pán)偏移)、部件脫落(沒(méi)有部件)等?；鍣z查裝置6對(duì)這些多個(gè)項(xiàng)目執(zhí)行檢查，自動(dòng)地判斷完成品是良品還是次品。
本實(shí)施方式的基板檢查裝置6采用了所謂的色彩增強(qiáng)方式。色彩增強(qiáng)方式是指如下技術(shù)利用入射角互不相同的多個(gè)光源(例如，紅、綠、藍(lán)的三色光)照射基板，對(duì)其反射光進(jìn)行拍攝，由此作為偽彩色像而取得焊錫的三維形狀(焊腳形狀)，根據(jù)該偽彩色像的色彩分布檢查焊接安裝質(zhì)量。
將基板檢查裝置6的判斷結(jié)果發(fā)送給信息處理裝置7，存儲(chǔ)到信息處理裝置7的檢查結(jié)果DB中。
(檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置)作為產(chǎn)生缺陷的原因，可以想到如下的各種原因各工序中的制造條件或處理步驟等的問(wèn)題(工序的問(wèn)題)、基板或部件本身的結(jié)構(gòu)問(wèn)題(設(shè)計(jì)的問(wèn)題)、工序檢查中的檢查基準(zhǔn)的不適當(dāng)(工序檢查的問(wèn)題)。因此，在研究應(yīng)對(duì)所發(fā)生的缺陷的措施時(shí)，首先，需要弄清缺陷發(fā)生原因在于工序/設(shè)計(jì)/工序檢查中的哪一項(xiàng)。因?yàn)橛纱舜捎玫膶?duì)策變得不同。
缺陷發(fā)生原因在于工序或設(shè)計(jì)上時(shí)，作為其對(duì)策，可能需要工序改進(jìn)、重新設(shè)計(jì)這樣的大動(dòng)作。相對(duì)于此，如果是工序檢查的問(wèn)題，則僅將檢查基準(zhǔn)調(diào)節(jié)為適當(dāng)?shù)闹?即，可檢測(cè)缺陷征兆的值)即可應(yīng)對(duì)，所以在時(shí)間上和成本上都是有利的。
盡管如此，對(duì)于在工序檢查的檢查基準(zhǔn)上是否有問(wèn)題、或者假設(shè)有問(wèn)題，應(yīng)如何調(diào)節(jié)哪個(gè)檢查項(xiàng)目的檢查基準(zhǔn)做出判斷并不簡(jiǎn)單。通常，中間工序中的檢查項(xiàng)目存在十幾個(gè)乃至幾十個(gè)，所以用戶嘗試性(現(xiàn)場(chǎng))地進(jìn)行調(diào)節(jié)是不現(xiàn)實(shí)的。
因此，在本實(shí)施方式中，通過(guò)由檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置對(duì)工序檢查和最終檢查中所存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，實(shí)現(xiàn)應(yīng)重新設(shè)定檢查基準(zhǔn)的檢查項(xiàng)目(設(shè)定對(duì)象項(xiàng)目)的發(fā)現(xiàn)和檢查基準(zhǔn)的調(diào)節(jié)的自動(dòng)化或用戶支持。
在圖4中示出了檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置的功能結(jié)構(gòu)。檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置大致具有檢查結(jié)果DB 10、關(guān)注缺陷選擇部11、分離度計(jì)算部12、設(shè)定對(duì)象選擇部13、以及檢查基準(zhǔn)設(shè)定部14。通過(guò)由信息處理裝置7執(zhí)行檢查基準(zhǔn)設(shè)定程序來(lái)實(shí)現(xiàn)這些功能。
檢查結(jié)果DB 10構(gòu)建在信息處理裝置7的輔助存儲(chǔ)裝置(磁存儲(chǔ)裝置或光存儲(chǔ)裝置等)內(nèi)。圖5表示檢查結(jié)果DB 10的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的一例。檢查結(jié)果DB 10的各記錄(record)與利用基板序號(hào)和部件序號(hào)的組合而唯一地確定的一個(gè)部件對(duì)應(yīng)。各記錄至少包括對(duì)于工序檢查的各檢查項(xiàng)目提取出的特征量的值、以及對(duì)最終檢查的各缺陷項(xiàng)目的判斷結(jié)果。
關(guān)注缺陷選擇部11的作用是根據(jù)存儲(chǔ)于檢查結(jié)果DB 10中的多個(gè)產(chǎn)品的判斷結(jié)果，選出作為分析對(duì)象的缺陷項(xiàng)目。分離度計(jì)算部12具有根據(jù)存儲(chǔ)于檢查結(jié)果DB 10中的多個(gè)產(chǎn)品的數(shù)據(jù)，針對(duì)工序檢查的每個(gè)檢查項(xiàng)目計(jì)算分離度的功能。分離度是表示在對(duì)于某個(gè)檢查項(xiàng)目提取出的特征量的分布中、在最終檢查中判斷為良品的產(chǎn)品和判斷為次品的產(chǎn)品以何種程度分離而分布的指標(biāo)。并且，設(shè)定對(duì)象選擇部13具有根據(jù)該分離度的大小，從檢查項(xiàng)目中選擇應(yīng)重新設(shè)定檢查基準(zhǔn)的檢查項(xiàng)目的功能。并且，檢查基準(zhǔn)設(shè)定部14具有對(duì)所選擇的檢查項(xiàng)目設(shè)定新的檢查基準(zhǔn)的功能。
將這些各功能的處理結(jié)果顯示于信息處理裝置7的顯示裝置上，或?qū)?shù)據(jù)輸出到輔助存儲(chǔ)裝置中。并且，在各功能的處理中需要用戶輸入時(shí)，用戶可使用信息處理裝置7的輸入裝置進(jìn)行信息輸入。
(檢查基準(zhǔn)設(shè)定處理)沿著圖6的流程圖，對(duì)檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置的處理的流程進(jìn)行說(shuō)明。
在步驟S1中，關(guān)注缺陷選擇部11統(tǒng)計(jì)存儲(chǔ)于檢查結(jié)果DB 10中的多個(gè)產(chǎn)品的判斷結(jié)果，計(jì)算每個(gè)缺陷項(xiàng)目的發(fā)生頻數(shù)(缺陷率)。然后，選擇發(fā)生頻數(shù)最高的缺陷項(xiàng)目作為“關(guān)注缺陷”，即分析對(duì)象。圖7表示由關(guān)注缺陷選擇部11輸出的關(guān)注缺陷選擇畫(huà)面的一例。在該畫(huà)面中，以帕雷托(pareto)圖和列表顯示出每個(gè)缺陷項(xiàng)目的發(fā)生頻數(shù)。在初始顯示中，選擇發(fā)生頻數(shù)最高的缺陷項(xiàng)目“焊腳異?！弊鳛殛P(guān)注缺陷，但是也可以由用戶操作輸入裝置來(lái)指定其它的缺陷項(xiàng)目。在帕雷托圖和列表中，按照發(fā)生頻數(shù)的高低順序?qū)θ毕蓓?xiàng)目進(jìn)行排列，所以用戶能夠一目了然地掌握問(wèn)題點(diǎn)。這樣，通過(guò)將分析對(duì)象縮減為一個(gè)，接下來(lái)的相關(guān)度的評(píng)價(jià)變得簡(jiǎn)單。
在步驟S2中，分離度計(jì)算部12求出各檢查項(xiàng)目和關(guān)注缺陷之間的相關(guān)度(因果關(guān)系)。此處，作為表示相關(guān)強(qiáng)度的指標(biāo)，采用在最終檢查中判斷為良品的產(chǎn)品組的特征量的分布和在最終檢查中判斷為次品的產(chǎn)品組的特征量的分布之間的分離度。
圖8表示分離度計(jì)算處理的流程。分離度計(jì)算部12在選擇作為計(jì)算對(duì)象的檢查項(xiàng)目(步驟S20)時(shí)，從檢查結(jié)果DB中讀取該檢查項(xiàng)目的特征量(步驟S21)。接著，對(duì)各特征量的值進(jìn)行歸一化，使得特征量分布的方差為1(步驟S22)。
然后，以預(yù)定的閾值(例如“1”)為基準(zhǔn)，將特征量分布分為2類，將屬于其中一類的產(chǎn)品看作良品，將屬于另一類的產(chǎn)品看作次品(步驟S23)。至于將哪一類看作良品，取決于檢查項(xiàng)目的內(nèi)容。即，在根據(jù)與容許最大值之間的大小來(lái)判斷合格與否的檢查項(xiàng)目的情況下，比上述閾值小的一類成為良品類，在根據(jù)與容許最小值之間的大小來(lái)判斷合格與否的檢查項(xiàng)目的情況下，比上述閾值大的一類成為良品類。
接著，分離度計(jì)算部12參照檢查結(jié)果DB 10中的判斷結(jié)果，計(jì)算在最終檢查中判斷為良品的產(chǎn)品中、屬于良品類的產(chǎn)品的數(shù)量“n11”；在最終檢查中判斷為良品的產(chǎn)品中、屬于次品類的產(chǎn)品的數(shù)量“n12”；在最終檢查中判斷為次品的產(chǎn)品中、屬于良品類的產(chǎn)品的數(shù)量“n21”；在最終檢查中判斷為次品的產(chǎn)品中、屬于次品類的產(chǎn)品的數(shù)量“n22”，通過(guò)下述式計(jì)算分離度(也可以稱之為SN比或odds比)(步驟S24)。
其中，p11=n11n11+n12,p12=n12n11+n12,p21=n21n21+n22,p22=n22n21+n22]]>
在上述式中，(p11×p22)表示分類的結(jié)果與最終檢查中的良/次判斷結(jié)果相一致的產(chǎn)品的比例，而(p12×p21)表示不一致的產(chǎn)品的比例。因此，分類的結(jié)果與最終檢查中的良/次判斷結(jié)果相一致的產(chǎn)品的比例越大，或不一致的產(chǎn)品的比例越小，則分離度越大。
圖9(a)、(b)是由直方圖表示歸一化后的特征量分布的圖。直方圖中的陰影部分表示在最終檢查中判斷為良品的產(chǎn)品。并且，將比閾值“1”大的部分看作次品類，將小于等于“1”的部分看作良品類。
圖9(a)中，良品和次品的特征量在整個(gè)直方圖中混合存在，看不出兩者的特征量有特別的差異。檢查項(xiàng)目和關(guān)注缺陷之間的相關(guān)度小時(shí)，直方圖表示出這樣的傾向。在這樣的情況下，(p12×p21)的值增大，分離度減小。另一方面，圖9(b)中，次品的特征量偏向直方圖的右側(cè)(次品類側(cè))。檢查項(xiàng)目和關(guān)注缺陷之間的相關(guān)度越大，這樣的傾向越強(qiáng)。在該情況下，(p11×p22)的值增大，分離度增大。
這樣，通過(guò)分離度這樣的指標(biāo)，將檢查項(xiàng)目和關(guān)注缺陷之間的相關(guān)強(qiáng)度定量化。而且，最初進(jìn)行歸一化，使每個(gè)檢查項(xiàng)目的特征量的值域一致，因此，能夠使用相同的閾值進(jìn)行分類，分離度計(jì)算處理變簡(jiǎn)單。并且，由于與工序檢查的判斷結(jié)果無(wú)關(guān)地求出分離度，所以，能夠與工序檢查中預(yù)先設(shè)定的檢查基準(zhǔn)的好壞等無(wú)關(guān)地計(jì)算客觀的分離度。
對(duì)所有的檢查項(xiàng)目，計(jì)算出分離度后(步驟S25)，進(jìn)入圖6的步驟S3。
在步驟S3中，設(shè)定對(duì)象選擇部13從所有的檢查項(xiàng)目中、選擇分離度最大的檢查項(xiàng)目作為應(yīng)重新設(shè)定檢查基準(zhǔn)的“設(shè)定對(duì)象項(xiàng)目”。圖10表示基準(zhǔn)設(shè)定畫(huà)面的一例。在該畫(huà)面的上段，顯示了每個(gè)檢查項(xiàng)目的直方圖，并且，在畫(huà)面左下側(cè)，按照分離度(SN比)的大小順序列表顯示了檢查項(xiàng)目和分離度的值。在初始顯示中，選擇了分離度最大的檢查項(xiàng)目“Z橫偏”作為設(shè)定對(duì)象項(xiàng)目，但是，也可以由用戶操作輸入裝置，從直方圖或列表的選擇候選中指定所希望的檢查項(xiàng)目。另外，圖中的“P”表示焊錫印刷工序，“Z”表示部件安裝工序，“S”表示回流焊工序。
接著，在步驟S4中，檢查基準(zhǔn)設(shè)定部14對(duì)于在步驟S3中選擇出的設(shè)定對(duì)象項(xiàng)目，計(jì)算變更了檢查基準(zhǔn)時(shí)的、工序檢查以及最終檢查各自的判斷結(jié)果的變化。如圖11所示，工序檢查的判斷結(jié)果的變化可以用工序檢查的直行率或過(guò)檢率來(lái)表示。并且，最終檢查的判斷結(jié)果的變化可以用最終檢查的直行率或過(guò)檢率來(lái)表示。另外，過(guò)檢是指盡管在最終檢查中判斷為良品、但是在工序檢查中判斷為不合格的檢測(cè)，過(guò)檢率是過(guò)檢不合格品在工序檢查的整體數(shù)量中所占的比例。并且，缺陷率是次品在最終檢查的整體數(shù)量中所占的比例。
如果對(duì)某個(gè)階段的檢查基準(zhǔn)計(jì)算出判斷結(jié)果的變化，則檢查基準(zhǔn)設(shè)定部14使用下述的成本函數(shù)，求出各檢查基準(zhǔn)中的再檢查成本期待值。然后，檢查基準(zhǔn)設(shè)定部14將再檢查成本期待值為最小的(即，成本效果為最大)的檢查基準(zhǔn)的值確定為推薦值(步驟S5)。
再檢查成本期待值＝(1-Tf(x))×Cf+(1-Tm(x))×Cm其中，x檢查基準(zhǔn)的值，Tf(x)最終檢查的直行率，Cf最終檢查次品的再檢查成本，Tm(x)工序檢查的直行率，Cm工序檢查次品的再檢查成本。
在基準(zhǔn)設(shè)定畫(huà)面的右下側(cè)(參照?qǐng)D10)示出了關(guān)于設(shè)定對(duì)象項(xiàng)目，變更了檢查基準(zhǔn)時(shí)的“工序檢查的直行率”、“工序檢查的過(guò)檢率”、“最終檢查的缺陷率”的變化。并且，與該圖重疊地，示出了表示“當(dāng)前的檢查基準(zhǔn)”(虛線)和“新的檢查基準(zhǔn)”(實(shí)線)的條。在初始顯示中，在步驟S5中計(jì)算出的推薦值的位置處設(shè)定有表示新的檢查基準(zhǔn)的條。而且，圖的右側(cè)顯示了新的檢查基準(zhǔn)中的直行率、過(guò)檢測(cè)率、缺陷率各自的值。
用戶可通過(guò)操作輸入裝置而移動(dòng)圖上的表示新的檢查基準(zhǔn)的條。如果移動(dòng)了條(輸入(變更)新的檢查基準(zhǔn)的值)，則與此對(duì)應(yīng)地，計(jì)算直行率、過(guò)檢率、以及缺陷率，并顯示。通過(guò)這樣的界面，用戶能夠?qū)ψ兏藱z查基準(zhǔn)時(shí)的判斷結(jié)果的變化進(jìn)行仿真，能夠找出檢查基準(zhǔn)的最佳值。
然后，由用戶按下“確定”按鈕時(shí)，檢查基準(zhǔn)設(shè)定部14對(duì)設(shè)定對(duì)象項(xiàng)目設(shè)定新的檢查基準(zhǔn)的值(步驟S6)。
根據(jù)上述的檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置，能夠容易地確定與關(guān)注缺陷相關(guān)(因果關(guān)系)強(qiáng)的檢查項(xiàng)目、即可確切地檢測(cè)出缺陷征兆的檢查項(xiàng)目。并且，針對(duì)該確定的檢查項(xiàng)目，可適當(dāng)?shù)卦O(shè)定用于檢測(cè)缺陷征兆的新的檢查基準(zhǔn)。
然后，使用該新的檢查基準(zhǔn)執(zhí)行工序檢查時(shí)，能夠盡早除去與缺陷相關(guān)的可能性高的中間品(缺陷征兆品)。因此，無(wú)需對(duì)缺陷征兆品實(shí)施無(wú)謂的后續(xù)工序處理，能夠削減工序所耗費(fèi)的成本。并且，成為最終檢查的對(duì)象的產(chǎn)品的整體數(shù)量減少，所以能夠?qū)崿F(xiàn)最終檢查的高效化。特別是如目視檢查那樣的由人工進(jìn)行最終檢查時(shí)，其效果大。
另外，有時(shí)所有的檢查項(xiàng)目的分離度為較小的值，表現(xiàn)不出顯著的差別。在這樣的情況下，可以說(shuō)是缺陷的產(chǎn)生原因不在于工序檢查，而存在于工序或設(shè)計(jì)上。因此，在步驟S3中，調(diào)查分離度的最大值和方差，在分離度的最大值或方差小于預(yù)定值時(shí)，優(yōu)選輸出“不能期待通過(guò)檢查基準(zhǔn)的調(diào)節(jié)來(lái)實(shí)現(xiàn)缺陷率的改善”這樣的消息，或中斷檢查基準(zhǔn)設(shè)定處理。
(變形例)上述實(shí)施方式只不過(guò)是例示了本發(fā)明的一個(gè)具體例。本發(fā)明的范圍不限于上述實(shí)施方式，可在其技術(shù)思想的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形。
例如，在上述實(shí)施方式中，針對(duì)每個(gè)檢查項(xiàng)目計(jì)算出了分離度，但也可以針對(duì)每一多個(gè)檢查項(xiàng)目(即，每個(gè)檢查項(xiàng)目的組合)計(jì)算分離度。在該情況下，可以根據(jù)分離度的大小，確定成為設(shè)定對(duì)象的檢查項(xiàng)目的組合之后，對(duì)該組合中所包含的多個(gè)檢查項(xiàng)目中的任意一個(gè)或全部設(shè)定新的檢查基準(zhǔn)。
舉出計(jì)算多個(gè)檢查項(xiàng)目的分離度(SN比)的方法的一例。分離度計(jì)算部12在選擇作為計(jì)算對(duì)象的檢查項(xiàng)目的組合時(shí)，從檢查結(jié)果DB中讀取這些檢查項(xiàng)目的特征量。然后，對(duì)這些特征量的值計(jì)算方差協(xié)方差矩陣和平均值向量。然后，按照下述式，計(jì)算馬氏距離Δ(Mahalanobis’distance)。
Δ2＝(x-μ)′∑-1(x-μ)其中，Δ馬氏距離∑方差協(xié)方差矩陣μ平均值向量X特征量向量。
其后，以預(yù)定的閾值(例如“1”)為基準(zhǔn)，將馬氏距離的分布分割為良品類和次品類的2類。之后的處理與上述實(shí)施方式(圖8)相同。
通過(guò)這樣的處理，能夠?qū)z查項(xiàng)目的組合與關(guān)注缺陷之間的相關(guān)強(qiáng)度定量化，所以針對(duì)由多種缺陷征兆的重疊(復(fù)合缺陷原因)產(chǎn)生的缺陷，也可設(shè)定適當(dāng)?shù)臋z查基準(zhǔn)。
并且，檢查項(xiàng)目中的特征量或檢查基準(zhǔn)的選擇方式不限于上述實(shí)施方式。例如，也可以在一個(gè)檢查項(xiàng)目中，設(shè)定多種特征量和檢查基準(zhǔn)的組合，在其中的任意一個(gè)特征量不滿足檢查基準(zhǔn)時(shí)，判斷為不合格。并且，也可以通過(guò)運(yùn)算將多種特征量的值(加權(quán)和、MTS法等)總括為一個(gè)指標(biāo)，利用該指標(biāo)是否滿足檢查基準(zhǔn)來(lái)判斷合格與否。
權(quán)利要求
1.一種檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置，用于在執(zhí)行工序檢查和最終檢查的生產(chǎn)線上，設(shè)定所述工序檢查中所使用的檢查基準(zhǔn)，該工序檢查通過(guò)對(duì)于多個(gè)檢查項(xiàng)目、對(duì)從中間品中提取的特征量和預(yù)定的檢查基準(zhǔn)進(jìn)行比較來(lái)判斷中間品的合格與否，該最終檢查在最終工序中判斷完成品的良/次，該檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置具有存儲(chǔ)單元，其存儲(chǔ)對(duì)于工序檢查的各檢查項(xiàng)目提取出的特征量以及最終檢查的判斷結(jié)果；分離度計(jì)算單元，其根據(jù)存儲(chǔ)于所述存儲(chǔ)單元中的多個(gè)產(chǎn)品的數(shù)據(jù)，針對(duì)工序檢查的每個(gè)檢查項(xiàng)目或每個(gè)檢查項(xiàng)目的組合，計(jì)算分離度，該分離度表示在對(duì)于該檢查項(xiàng)目提取出的特征量的分布中、在最終檢查中判斷為良品的產(chǎn)品和判斷為次品的產(chǎn)品以何種程度分離而分布；設(shè)定對(duì)象選擇單元，其從所述檢查項(xiàng)目或檢查項(xiàng)目的組合中，根據(jù)該分離度的大小，選擇應(yīng)重新設(shè)定檢查基準(zhǔn)的檢查項(xiàng)目；以及檢查基準(zhǔn)設(shè)定單元，其對(duì)于所選擇的檢查項(xiàng)目，設(shè)定新的檢查基準(zhǔn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置，其中，所述分離度計(jì)算單元將多個(gè)產(chǎn)品的特征量分布分為2類，將屬于其中一類的產(chǎn)品看作良品，將屬于另一類的產(chǎn)品看作次品，根據(jù)該分類結(jié)果與最終檢查中的良/次判斷結(jié)果一致的產(chǎn)品的比例、以及不一致的產(chǎn)品的比例，計(jì)算分離度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置，其中，所述分離度是分類結(jié)果與最終檢查中的良/次判斷結(jié)果一致的產(chǎn)品的比例越大、或不一致的產(chǎn)品的比例越小，則越大的指標(biāo)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置，其中，所述設(shè)定對(duì)象選擇單元選擇分離度最大的檢查項(xiàng)目或檢查項(xiàng)目的組合作為應(yīng)重新設(shè)定檢查基準(zhǔn)的檢查項(xiàng)目。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置，其中，所述設(shè)定對(duì)象選擇單元按照分離度的大小順序提示多個(gè)檢查項(xiàng)目或檢查項(xiàng)目的組合作為選擇候選，使用戶從這些選擇候選中選擇要重新設(shè)定檢查基準(zhǔn)的檢查項(xiàng)目。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置，其中，所述檢查基準(zhǔn)設(shè)定單元計(jì)算變更了檢查基準(zhǔn)時(shí)的、工序檢查和最終檢查各自的判斷結(jié)果的變化，使用預(yù)定的成本函數(shù)計(jì)算由判斷結(jié)果的變化產(chǎn)生的成本效果，確定新的檢查基準(zhǔn)，使得計(jì)算出的成本效果為最大。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置，其中，所述檢查基準(zhǔn)設(shè)定單元使用戶輸入新的檢查基準(zhǔn)，并且，若輸入了新的檢查基準(zhǔn)，則計(jì)算變更為該新的檢查基準(zhǔn)時(shí)的、工序檢查和最終檢查各自的判斷結(jié)果的變化而進(jìn)行提示。
8.一種檢查基準(zhǔn)設(shè)定方法，用于在執(zhí)行工序檢查和最終檢查的生產(chǎn)線上，設(shè)定所述工序檢查中所使用的檢查基準(zhǔn)，該工序檢查通過(guò)對(duì)于多個(gè)檢查項(xiàng)目、對(duì)從中間品中提取的特征量和預(yù)定的檢查基準(zhǔn)進(jìn)行比較來(lái)判斷中間品的合格與否，該最終檢查在最終工序中判斷完成品的良/次，其中，具有將對(duì)于工序檢查的各檢查項(xiàng)目提取出的特征量以及最終檢查的判斷結(jié)果存儲(chǔ)在存儲(chǔ)單元中的步驟；根據(jù)存儲(chǔ)于所述存儲(chǔ)單元中的多個(gè)產(chǎn)品的數(shù)據(jù)，針對(duì)工序檢查的每個(gè)檢查項(xiàng)目或每個(gè)檢查項(xiàng)目的組合，計(jì)算分離度，該分離度表示在對(duì)于該檢查項(xiàng)目提取出的特征量的分布中、在最終檢查中判斷為良品的產(chǎn)品和判斷為次品的產(chǎn)品以何種程度分離而分布的步驟；從所述檢查項(xiàng)目或檢查項(xiàng)目的組合中，根據(jù)該分離度的大小，選擇應(yīng)重新設(shè)定檢查基準(zhǔn)的檢查項(xiàng)目的步驟；以及對(duì)于所選擇的檢查項(xiàng)目，設(shè)定新的檢查基準(zhǔn)的步驟。
9.一種工序檢查裝置，具有工序檢查單元，其執(zhí)行工序檢查，該工序檢查通過(guò)對(duì)于多個(gè)檢查項(xiàng)目、對(duì)從中間品中提取的特征量和預(yù)定的檢查基準(zhǔn)進(jìn)行比較來(lái)判斷中間品的合格與否；存儲(chǔ)單元，其存儲(chǔ)對(duì)于工序檢查的各檢查項(xiàng)目提取出的特征量、以及在最終工序中判斷完成品的良/次的最終檢查的判斷結(jié)果；分離度計(jì)算單元，其根據(jù)存儲(chǔ)于所述存儲(chǔ)單元中的多個(gè)產(chǎn)品的數(shù)據(jù)，針對(duì)工序檢查的每個(gè)檢查項(xiàng)目或每個(gè)檢查項(xiàng)目的組合，計(jì)算分離度，該分離度表示在對(duì)于該檢查項(xiàng)目提取出的特征量的分布中、在最終檢查中判斷為良品的產(chǎn)品和判斷為次品的產(chǎn)品以何種程度分離而分布；設(shè)定對(duì)象選擇單元，其從所述檢查項(xiàng)目或檢查項(xiàng)目的組合中，根據(jù)該分離度的大小，選擇應(yīng)重新設(shè)定檢查基準(zhǔn)的檢查項(xiàng)目；以及檢查基準(zhǔn)設(shè)定單元，其對(duì)于所選擇的檢查項(xiàng)目，設(shè)定新的檢查基準(zhǔn)。
全文摘要
檢查基準(zhǔn)設(shè)定裝置及方法、以及工序檢查裝置。本發(fā)明的課題是提供用于適當(dāng)?shù)卦O(shè)定檢查基準(zhǔn)的技術(shù)，該檢查基準(zhǔn)用于在工序檢查中檢測(cè)缺陷征兆。作為解決手段，信息處理裝置將對(duì)于工序檢查的各檢查項(xiàng)目提取出的特征量以及最終檢查的判斷結(jié)果存儲(chǔ)于存儲(chǔ)單元中，根據(jù)存儲(chǔ)于存儲(chǔ)單元中的多個(gè)產(chǎn)品的數(shù)據(jù)，針對(duì)每個(gè)檢查項(xiàng)目或每個(gè)檢查項(xiàng)目的組合，計(jì)算在最終檢查中判斷為良品的產(chǎn)品組的特征量的分布和在最終檢查中判斷為次品的產(chǎn)品組的特征量的分布之間的分離度，從檢查項(xiàng)目或檢查項(xiàng)目的組合中，根據(jù)該分離度的大小，選擇應(yīng)重新設(shè)定檢查基準(zhǔn)的檢查項(xiàng)目，對(duì)于所選擇出的檢查項(xiàng)目，設(shè)定新的檢查基準(zhǔn)。
文檔編號(hào)G01B21/00GK1862259SQ20061008022
公開(kāi)日2006年11月15日 申請(qǐng)日期2006年5月12日 優(yōu)先權(quán)日2005年5月12日
發(fā)明者田崎博, 糀谷和人 申請(qǐng)人:歐姆龍株式會(huì)社