專利名稱：角速度測量傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總體涉及一種用于測量角速度的傳感器，它由以所述角速度旋轉(zhuǎn)的壓電音叉形成，該音叉包括底座，激勵腿和檢測腿從所述底座延伸，本發(fā)明尤其涉及對檢測腿上的檢測電極的設(shè)置。
背景技術(shù)：
從現(xiàn)有技術(shù)尤其是EP專利0 750 177已經(jīng)知道，由單個音叉形成的陀螺測試儀具有底座，從所述底座延伸出在其上設(shè)置激勵電極的第一腿和在其上設(shè)置檢測電極的第二腿。
圖1示出可以用于陀螺測試儀的音叉1的例子。圖1a中的縱向截面所示的音叉1主要包括被固定到兩條腿3、4上的底座2，該組件由壓電石英材料構(gòu)成。如圖1b中的橫截面所示，每個腿3、4包括電極。激勵腿3包括第一對彼此連接的激勵電極5a、5b，在與圖1a對應(yīng)的主平面中，以該音叉的諧振頻率將交流的電信號施加到所述電極；以及彼此連接的第二對激勵電極6a、6b，并將與施加到電極5a和5b的電信號反相的交流電信號施加到此。這些交流的電信號的施加激勵并且從而引起音叉1的腿3和4在第一平面機(jī)械振動，如箭頭9所示。檢測腿4包括第一對彼此連接的檢測電極7a、7b和第二對彼此連接的檢測電極8a、8b，它們將檢測腿的機(jī)械振動轉(zhuǎn)換成通過與所述的電極連接的檢測電路檢測的電信號。
根據(jù)音叉陀螺測試儀的原理，當(dāng)將激勵信號施加到激勵電極5a-5b、61-6b時，音叉1相對于其縱軸10的角轉(zhuǎn)動產(chǎn)生垂直于激勵腿的速度和旋轉(zhuǎn)軸10的科里奧利力，從而在與激勵振動平面垂直的平面中在檢測腿4中產(chǎn)生振動，如箭頭11所示。通過音叉1的壓電石英將該機(jī)械振動轉(zhuǎn)換為由音叉檢測電極7a-7b、8a-8b檢測的電信號。
采用這種檢測電極設(shè)置所觀察到的一個主要問題是，將在被施加相反電信號的兩個檢測電極之間檢測的場的電通路不是線性的，從而丟失了場線的不可忽略的部分。因此這種檢測測量不是最佳的。
理論上有利的方案是如圖1c所示設(shè)置的兩對檢測電極7a-7b、8a-8b。然而，該方案具有一個較大的缺點(diǎn)，即其需要實施難于控制的復(fù)雜的制造方法。實際上，通過“電極沉積”制造音叉?zhèn)让嫔系碾姌O，這必須在側(cè)面的整個厚度上進(jìn)行。因此，很難將電極沉積分為兩個，以便獲得所需的兩個不同的電極7b、8b。而且，這種陀螺測試儀被成批地制造，即彼此相連。這樣，也很難將在音叉外側(cè)面上制造的電極沉積分為兩個不同的電極7a、8b。
而且，上述各種方案還具有另外的缺點(diǎn)，即音叉的尺寸，用在板狀陀螺測試儀上的音叉理所當(dāng)然優(yōu)選盡可能的小型化。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個主要目的是通過制造這樣的用于測量角速度的傳感器來克服上述缺陷，所述傳感器采用具有音叉的壓電諧振器的形式，該音叉具有這樣的檢測電極結(jié)構(gòu)，所述電極結(jié)構(gòu)在使用容易實施的制造方法的同時，確保了對在檢測腿中產(chǎn)生的電場的最佳測量。
因此，在本發(fā)明的范圍內(nèi)，以這樣的方式設(shè)置檢測電極，使得一方面其制造方法簡單，另一方面在檢測腿中檢測的電場線在相異的電極之間沿基本直線的電通路穿過檢測腿。為此，在音叉檢測腿的側(cè)面上設(shè)置突出部分，使得在頂部設(shè)置的檢測電極可以容易地與在腿的底部設(shè)置的檢測電極分開。
因此，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施例，本發(fā)明涉及根據(jù)說明書開始部分的用于測量角速度的傳感器，其特征在于，檢測腿具有包括兩個上側(cè)面和兩個下側(cè)面的十字形截面，通過相對于上側(cè)面和下側(cè)面伸出的突出部分來分開上側(cè)面和下側(cè)面，其特征還在于，檢測裝置包括相對于彼此設(shè)置的第一和第二檢測電極，每一個被設(shè)置在上側(cè)面之一上，使得在第一和第二檢測電極之間的電場基本直線地通過檢測腿；還包括相對于彼此設(shè)置的第三和第四檢測電極，每一個被設(shè)置在下側(cè)面之一上，使得在第三和第四檢測電極之間的電場基本直線地通過檢測腿。
同樣，為了小型化，優(yōu)選將機(jī)械解耦裝置設(shè)置在音叉的底座，從而進(jìn)一步減小了后者的尺寸。


通過閱讀對只是作為非限制性實例給出的、并由附圖示出的本發(fā)明實施例的詳細(xì)描述，本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點(diǎn)將更加顯而易見。
已經(jīng)描述的圖1a是用于根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的某種陀螺測試儀的音叉的縱向截面圖；已經(jīng)描述的圖1b是圖1a的音叉的激勵和檢測腿的橫向截面I-I；已經(jīng)描述的圖1c是具有對檢測電極的優(yōu)化設(shè)置的音叉的激勵和檢測腿的橫向截面圖；圖2a是用于根據(jù)本發(fā)明第一實施例的陀螺測試儀的音叉的縱向截面圖；圖2b是根據(jù)圖2a的音叉的激勵和檢測腿的放大的橫向截面II-II；圖2c是根據(jù)本發(fā)明第一實施例的變化的音叉兩個腿的放大的橫向截面圖；圖3a是根據(jù)本發(fā)明第二實施例的音叉的激勵和檢測腿的放大的橫向截面圖；圖3b是根據(jù)本發(fā)明第二實施例變化的音叉的激勵和檢測腿的放大的橫向截面圖。
具體實施例方式
根據(jù)圖2a和2b中示出的本發(fā)明的第一優(yōu)選實施例，用于測量角速度的裝置包括由以角速度旋轉(zhuǎn)的單個壓電(常規(guī)為石英)的音叉21形成的傳感器，音叉21由底座22形成，兩個平行的腿23、24從底座22延伸、由槽分開，并且每一個載有形成具有相反極性的電極的導(dǎo)電沉積物，電極產(chǎn)生并檢測腿中的交流電場，其導(dǎo)致音叉由于壓電變形而振動，所述振動又導(dǎo)致形成交流電場。
在兩個腿之一上設(shè)置激勵裝置25、26，稱為激勵腿23，以便響應(yīng)激勵信號而產(chǎn)生傳感器在第一方向上的預(yù)定頻率的振動，所述頻率優(yōu)選對應(yīng)于音叉在其X-Y平面中的諧振頻率。圖2b為沿圖2a的軸II-II的橫截面圖，根據(jù)圖2b中示出的例子，激勵腿23優(yōu)選具有十字形截面，包括兩個上側(cè)面31-32和兩個下側(cè)面35-36，上側(cè)面和下側(cè)面通過突出部分39-40分開，所述突出部分39-40優(yōu)選相對于上下側(cè)面基本沿X軸伸出。根據(jù)第一實施例，激勵裝置包括分別設(shè)置在激勵腿的上側(cè)面31-32和下側(cè)面35-36上的第一對激勵電極25a和25b、和分別設(shè)置在激勵腿的突出部分39和40的整個厚度上的第二對激勵電極26a和26b或側(cè)向電極。
將電極設(shè)置成將其這樣電連接，其中將其常規(guī)中央電極25a和25b連接到激勵源的一個極，將側(cè)向電極26a和26b連接到激勵源的異性極；主要通過沉積在音叉本身上的導(dǎo)電通路來實現(xiàn)這些連接。在圖2a的例子中，以振蕩器43的形式示出激勵源。在工作期間，通過彎曲音叉的激勵腿23可以保持諧振器的振動，這歸因于在腿23、24的面中的橫向交流電場。
在音叉的稱為檢測腿24的另一條腿中設(shè)置檢測裝置27，28，以便響應(yīng)傳感器的第二振動產(chǎn)生電檢測信號，由于第一振動和關(guān)于縱軸10的旋轉(zhuǎn)，所述第二振動具有相同的預(yù)定頻率并在垂直于第一方向的第二方向上。第二振動包括其振幅表示角速度的有效分量。
包含上文描述的音叉的陀螺測試儀還包括適當(dāng)?shù)臏y量裝置，其以接收器44的形式示出，由于其結(jié)構(gòu)取決于測量傳感器角速度所為的目的，所以在此將不描述所述接收器44，該測量裝置通過電檢測信號提供表示角速度的測量信號。
同樣，根據(jù)圖2b示出的例子，檢測腿23具有十字形截面，包括兩個上側(cè)面33-34和兩個下側(cè)面37-38，通過相對于上下側(cè)面伸出的優(yōu)選基本沿x軸的突出部分41-42分開上側(cè)面和下側(cè)面。
檢測裝置包括第一27a和第二28a檢測電極，其分別被相對于彼此地設(shè)置在一個上側(cè)面33和另一個上側(cè)面34上，使得在兩個電極27a和28a之間的電通路基本上直線通過檢測腿24。檢測裝置還包括第三27b和第四28b檢測電極，其分別被相對于彼此地設(shè)置在一個下側(cè)面37和另一個下側(cè)面38上，使得在兩個電極27b和28b之間的電通路基本上直線通過檢測腿24。將電極27a和27b連接到檢測器44的第一極，將電極28a和28b連接到與第一極相異的檢測器44的第二極。從而，在提供類似于在EP專0750177中公開的簡單電極沉積方法的同時，還最優(yōu)化了對在檢測腿中產(chǎn)生的電場的檢測。
同樣出于小型化的原因，優(yōu)選將機(jī)械解耦件45設(shè)置在用于將音叉底座固定到陀螺測試儀的部件46和振動腿23，24之間。根據(jù)第一種變化，這些機(jī)械解耦裝置通過在底座上部制造的凹口45形成。根據(jù)在此未示出的第二種變化，這些機(jī)械解耦裝置通過在底座22上部中心部分設(shè)置的孔形成。也可以考慮使用上述變化的組合。
應(yīng)該注意，在下面將描述的圖2c、3a和3b中，為了簡化，沒有再示出振蕩器43和檢測器44。
圖2c示出相對于圖2a和2b描述的音叉的變化。該變化與第一實施例的不同之處在于對激勵腿23上的激勵電極的設(shè)置。
根據(jù)該變化，可選的是，激勵裝置包括分別設(shè)置在激勵腿的上部和下部的、不覆蓋上側(cè)面31-32和下側(cè)面35-36的第一對激勵電極25a和25b，以及第二對電極或分別為中央電極26a和26b或側(cè)向電極，其分別被設(shè)置在激勵腿的突出部分39和40的整個厚度上，并至少部分覆蓋各個上和下側(cè)面31和35，32和36。
圖3a示出用于根據(jù)本發(fā)明第二實施例的陀螺測試儀的音叉的橫截面。每個激勵腿23和檢測腿24具有基本為十字形的截面，分別包括兩個上側(cè)面31-32和33-34和兩個下側(cè)面35-36和37-38，通過優(yōu)選基本上沿x軸相對于上側(cè)面和下側(cè)面分別伸出的突出部分39-40和41-42來分開上側(cè)面和下側(cè)面。兩個腿中的每個包括各自的頂面47和48、以及各自的底面49和50，其優(yōu)選基本在X，Y平面。
在圖3a所示的例子中，激勵腿23包括在其頂面47上腐蝕的兩個槽51-52和在其底面49上腐蝕的兩個槽53-54。然而，可以考慮，可選地在頂面和底面的每一個上僅提供一個槽。
激勵裝置包括在頂面47上設(shè)置的、以便橫向覆蓋槽51-52的第一激勵電極25a和在底面49上設(shè)置的、以便橫向覆蓋槽53-54的第二激勵電極25b。激勵裝置還包括第三26a和第四26b激勵電極，或側(cè)向電極，其連接到與第一電極25a和25b連接的電勢相反的電勢，并被設(shè)置在激勵腿各自的突出部分39和40的整個厚度上，而且至少部分覆蓋上側(cè)面31和32和下側(cè)面35和36。
以相同方式，檢測腿24包括在其頂面48上腐蝕的兩個槽55-56和在其底面50上腐蝕的兩個槽57-58。每個槽55-58具有側(cè)面。然而，對于激勵腿，可以考慮可選地在頂面和底面上僅提供一個槽。還應(yīng)注意，在兩個面上設(shè)置槽提供了對稱的腿截面，它防止了在其面外側(cè)的腿的變形。槽的設(shè)置促進(jìn)了沿晶體的電軸X的均勻電場的產(chǎn)生。
再根據(jù)圖3a，檢測裝置包括相對于彼此設(shè)置的第一對檢測電極27a-28a，將電極28a設(shè)置在上側(cè)面33上，將另一電極27a設(shè)置在槽55的一個側(cè)面上，使得在兩個電極27a和28a之間的電場基本上直線通過腿24，還包括相對于彼此設(shè)置的第三對檢測電極27c-28c，將電極27c設(shè)置在上側(cè)面34上，將另一電極28c設(shè)置在槽56的一個側(cè)面上，使得在兩個電極27c和28c之間的電場基本上直線通過檢測腿24。以對稱的方式，檢測裝置包括相對于彼此設(shè)置的第二對檢測電極27b-28b，將電極28b設(shè)置在下側(cè)面38上，將另一電極27b設(shè)置在槽58的一個側(cè)面上，使得在兩個電極27b和28b之間的電場基本直線通過腿24，還包括相對于彼此設(shè)置的第四對檢測電極27d-28d，將電極27d設(shè)置在下側(cè)面37上，將另一電極28d設(shè)置在槽57的一個側(cè)面上，使得在兩個電極27d和28d之間的電場基本直線通過檢測腿24。
根據(jù)第二實施例，在激勵腿和檢測腿的每個頂面和底面上縱向腐蝕的槽55-58的深度在腿厚度的20％到45％之間，優(yōu)選在30％左右。
在腿的厚度中腐蝕的槽中設(shè)置電極提高了壓電耦合。在相同的尺寸下，該提高導(dǎo)致音叉等效電阻的降低，從而降低了與其相關(guān)的振蕩器的功耗，因為具有相等的品質(zhì)因數(shù)，該設(shè)置允許諧振器尺寸的減小。
根據(jù)第二實施例的變化，如圖3b所示，激勵腿和檢測腿在每個頂面和底面上僅具有一個槽。在這種情況下，在激勵腿的頂面和底面上設(shè)置的激勵電極橫向覆蓋相應(yīng)的槽。關(guān)于檢測裝置，它們包括相對于彼此設(shè)置的第一對檢測電極27a-28a，將電極28a設(shè)置在上側(cè)面33上，將另一電極27a設(shè)置在槽59的一個側(cè)面上，使得在兩個電極27a和28a之間的電場基本直線地通過檢測腿24，還包括相對于彼此設(shè)置的第三對檢測電極27c-28c，將電極27c設(shè)置在上側(cè)面34上，將另一電極28c設(shè)置在槽59的另一個側(cè)面上，使得在兩個電極27c和28c之間的電場基本直線地通過檢測腿24。以對稱的方式，檢測裝置包括相對于彼此設(shè)置的第二對檢測電極27b-28b，將電極28b設(shè)置在下側(cè)面38上，將另一電極27b設(shè)置在槽60的一個側(cè)面上，使得在兩個電極27b和28b之間的電場基本直線地通過腿24，還包括相對于彼此設(shè)置的第四對檢測電極27d-28d，將電極27d設(shè)置在下側(cè)面37上，將另一電極28d設(shè)置在槽60的另一個側(cè)面上，使得在兩個電極27d和28d之間的電場基本直線地通過檢測腿24。
應(yīng)該注意，優(yōu)選如圖2a、2b和3a、3b所示，壓電音叉是石英的，其主要的頂面和底面基本垂直石英的光軸(z)，并且腿基本沿石英的機(jī)械軸(y)延伸。
顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本說明書中描述的本發(fā)明的各種實施例進(jìn)行各種變化和改進(jìn)，特別應(yīng)該注意，在不脫離由所附權(quán)利要求書限定的本發(fā)明的情況下，可以互換檢測腿和激勵腿，從而將激勵腿用作檢測腿，反之亦然；可以將機(jī)械解耦裝置用于此前提出的每個實施例；所謂的交叉型(crossed)電極音叉方案是可行的，其中在兩腿之間顛倒激勵電極對和檢測電極對。
權(quán)利要求
1.一種用于測量角速度的傳感器，其通過以下形成單個壓電音叉(21)，其以所述角速度旋轉(zhuǎn)，所述音叉包括從底座(22)延伸的第一振動腿(23)和第二振動腿(24)，用于激勵所述音叉的第一振動的裝置(25a、25b、26a、26b)，其被設(shè)置在所述兩個腿中被稱為激勵腿(23)的一個腿上，用于檢測所述音叉的第二振動的裝置(27a、27b、28a、28b)，所述第二振動響應(yīng)所述第一振動和所述音叉的旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生，所述檢測裝置被設(shè)置在所述兩個腿中被稱為檢測腿(24)的另一個腿上，其特征在于，所述檢測腿(24)具有包括兩個上側(cè)面(33，34)和兩個下側(cè)面(37，38)的十字形截面，所述上側(cè)面和下側(cè)面被相對于所述上側(cè)面和下側(cè)面伸出的突出部分(41，42)分開，以及所述檢測裝置包括被相對于彼此設(shè)置的第一檢測電極(27a)和第二檢測電極(28a)，其中每個被設(shè)置在所述上側(cè)面(33，34)中的一個上，使得在所述第一和第二檢測電極之間的電場基本直線地通過所述檢測腿；還包括被相對于彼此設(shè)置的第三檢測電極(27b)和第四檢測電極(28b)，其中每個被設(shè)置在所述下側(cè)面(37，38)中的一個上，使得在所述第三和第四檢測電極之間的電場基本直線地通過所述檢測腿。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的用于測量角速度的傳感器，其特征在于，所述激勵腿(23)具有包括兩個上側(cè)面(31，32)和兩個下側(cè)面(35，36)的十字形截面，所述上側(cè)面和下側(cè)面被相對于所述上側(cè)面和下側(cè)面伸出的第一突出部分(39)和第二突出部分(40)分開，以及所述激勵裝置包括分別被設(shè)置在所述激勵腿的上部和下部的、分別覆蓋所述上側(cè)面(31，32)和所述下側(cè)面(35，36)的第一對激勵電極(25a，25b)；還包括第二對激勵電極(26a，26b)，所述第二對電極的每個電極被設(shè)置在所述激勵腿的一個所述突出部分(39)或另一個所述突出部分(40)的厚度上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的用于測量角速度的傳感器，其特征在于，所述激勵腿(23)具有包括兩個上側(cè)面(31，32)和兩個下側(cè)面(35，36)的十字形截面，所述上側(cè)面和下側(cè)面被相對于所述上側(cè)面和下側(cè)面伸出的第一突出部分(39)和第二突出部分(40)分開，以及所述激勵裝置包括分別被設(shè)置在所述激勵腿的上部和下部的、不覆蓋所述上側(cè)面(31，32)和下側(cè)面(35，36)的第一對激勵電極(25a，25b)；還包括第二對激勵電極(26a，26b)，所述第二對電極中的每個電極被設(shè)置在所述激勵腿的一個所述突出部分(39)或另一個所述突出部分(40)的厚度上，并且至少分別部分覆蓋被設(shè)置在所述第一突出部分(39)的任一側(cè)上的所述上側(cè)面(31)和下側(cè)面(35)、被設(shè)置在所述第二突出部分(40)的任一側(cè)上的所述上側(cè)面(32)和下側(cè)面(36)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項的用于測量角速度的傳感器，其特征在于，所述檢測腿的所述十字形截面具有連接所述兩個上側(cè)面(33，34)的頂面(48)和連接所述兩個下側(cè)面(37，38)的底面(50)，每個所述頂面和底面具有至少一個槽(55，58；59，60)，所述槽具有側(cè)面，所述第一對檢測電極的至少一個電極(27a)被設(shè)置在所述頂面上的所述至少一個槽(55；59)的一個所述側(cè)面上，使得在所述兩個電極(27a，28a)之間的電場基本直線地通過所述檢測腿，以及所述第二對檢測電極的至少一個電極(27b)被設(shè)置在所述底面上的所述至少一個槽(58；60)的一個側(cè)面上，使得在所述兩個電極(27b，28b)之間的電場基本直線地通過所述檢測腿(24)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的用于測量角速度的傳感器，其特征在于，每個所述頂面(48)和底面(50)包括單個槽(59，60)，所述檢測裝置還包括被相對于彼此設(shè)置的第三對檢測電極(27c，28c)，所述第三對電極中的一個電極(28c)被設(shè)置在所述頂面的所述槽(59)的另一個側(cè)面上，所述第三對電極的另一個電極(27c)被設(shè)置在所述上側(cè)面(34)上，使得在所述兩個電極(27c；28c)之間的電場基本直線地通過所述檢測腿(24)，以及所述檢測裝置還包括被相對于彼此設(shè)置的第四對檢測電極(27d，28d)，所述第四對電極中的一個電極(28d)被設(shè)置在所述槽(60)的另一個所述側(cè)面上，所述第四對電極的另一個電極(27d)被設(shè)置在所述下側(cè)面(38)上，使得在所述兩個電極(27d；28d)之間的電場基本直線地通過所述檢測腿。
6.根據(jù)權(quán)利要求4的用于測量角速度的傳感器，其特征在于，每個所述頂面(48)和底面(50)包括兩個槽(55-56，57-58)，所述檢測裝置還包括被相對于彼此設(shè)置的第三對電極(27c，28c)，所述第三對電極的一個電極(28c)被設(shè)置在所述頂面的另一所述槽(56)的一個側(cè)面上，所述第三對電極的另一個電極(27c)被設(shè)置在所述上側(cè)面(34)上，使得在所述兩個電極(27c-28c)之間的電場基本直線地通過所述檢測腿，以及所述檢測裝置還包括被相對于彼此設(shè)置的第四對檢測電極(27d，28d)，所述第四對電極的一個電極(28d)被設(shè)置在所述兩個槽中的另一個(57)的一個所述側(cè)面上，所述第四對電極的另一個電極(27d)被設(shè)置在所述下側(cè)面(37)上，使得在所述兩個電極(27d，28d)之間的電場基本直線地通過所述檢測腿。
7.根據(jù)前面權(quán)利要求中任一項的用于測量角速度的傳感器，其特征在于，所述壓電音叉是石英的，其頂面(48)和底面(50)基本垂直所述石英的光軸(z)，并且所述腿基本沿所述石英的機(jī)械軸(y)延伸。
8.根據(jù)前面權(quán)利要求中任一項的用于測量角速度的傳感器，其特征在于，所述底座(22)在用于固定所述底座的部件(46)和所述音叉的所述腿(23，24)之間被設(shè)置有機(jī)械解耦裝置(45)。
全文摘要
一種用于測量角速度的傳感器，其通過以所述角速度旋轉(zhuǎn)的單個壓電音叉(21)形成。音叉包括從底座(22)延伸的兩個振動腿(23，24)，用于激勵音叉第一振動并被設(shè)置在激勵腿(23)上的裝置(25a、25b、26a、26b)，以及用于檢測響應(yīng)第一振動和音叉旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的音叉第二振動、并被設(shè)置在檢測腿(24)上的裝置(27a、27b、28a、28b)。檢測腿具有包括兩個上側(cè)面(33，34)和兩個下側(cè)面(37，38)的十字形截面，其被相對于所述面伸出的突出部分(41，42)分開。檢測裝置包括相對于彼此設(shè)置的第一檢測電極(27a)和第二檢測電極(28a)，每個被設(shè)置在上側(cè)面(33，34)之一上，使得在第一和第二檢測電極之間的電場基本直線地通過檢測腿，還包括相對于彼此設(shè)置的第三檢測電極(27b)和第四檢測電極(28b)，每個被設(shè)置在下側(cè)面(37，38)之一上，使得在第三和第四檢測電極之間的電場基本直線地通過檢測腿。
文檔編號G01C19/56GK1793934SQ20051013267
公開日2006年6月28日 申請日期2005年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月20日
發(fā)明者S·達(dá)拉·皮亞扎, B·施圖德 申請人:Eta瑞士鐘表制造股份有限公司