專利名稱：氣體傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具備化學(xué)地檢測氣體的傳感器元件部的氣體傳感器。
背景技術(shù)：
作為化學(xué)地檢測環(huán)境中的特定氣體的氣體傳感器，已知有固體電解質(zhì)型氣體傳感器和半導(dǎo)體型氣體傳感器等。固體電解質(zhì)型氣體傳感器，例如，具有在由固體電解質(zhì)所形成的固體電解質(zhì)基板上，設(shè)置具有氣體檢測部的檢測極和對極的傳感器元件部，基于氣體檢測部與被檢測氣體的接觸前后的檢測極一對極間的電動勢的變化，及由與被檢測氣體的接觸而產(chǎn)生的臨界電流等進(jìn)行檢測。另一方面，半導(dǎo)體型氣體傳感器，例如，具有包括由金屬氧化物半導(dǎo)體所構(gòu)成的氣體檢測部和電連接在氣體檢測部的一對電極的傳感器元件部，基于該氣體檢測部與被檢測氣體的接觸前后的氣體檢測部的電阻的變化等進(jìn)行檢測。
這些氣體傳感器的氣體檢測部，一般來說，由含有金屬鹽或金屬氧化物等的金屬化合物的多孔的氣體檢測材料構(gòu)成，但是該氣體檢測材料往往容易受氣氛中的水分的影響。特別是，如果在非工作時氣氛中的水分凝結(jié)而附著在氣體檢測部的表面，則起動后，達(dá)到穩(wěn)定并可以進(jìn)行氣體檢測工作有可能需要長時間。為了防止這種水分的影響，例如，公開了使氣體檢測材料中含有沸石的氣體傳感器(日本特開平11-174024號公報)。
此外，已知有為了抑制與被檢測氣體混雜的有機(jī)氣體的影響，把氣體傳感器容納在具有開口部的框架內(nèi)，在開口部設(shè)置含有沸石的過濾器的氣體傳感器(日本專利第2947381號公報)。

發(fā)明內(nèi)容
但是，現(xiàn)有的氣體傳感器，未必能充分防止氣氛中的水分的影響。一般來說，雖然氣體傳感器可以加熱氣體檢測部到幾百度的高溫并使其工作，但是停止該加熱且氣體傳感器降溫時容易發(fā)生結(jié)露，由于該結(jié)露，存在導(dǎo)致氣體傳感器的性能降低和起動后直到穩(wěn)定的時間增大的問題。特別是，如上述專利文獻(xiàn)2中，在框架的開口部設(shè)置過濾器的氣體傳感器的情況，由于框架內(nèi)部成為一定程度的氣密狀態(tài)，所以冷卻時，容易在氣體傳感器元件表面上發(fā)生結(jié)露。
此外，日本專利第2947381號公報中的氣體傳感器的情況，為了確保安裝過濾器的空間，有必要一定程度地加大框架的尺寸，也存在著難以使裝置小型化的問題。再者，被檢測氣體為了與氣體傳感器元件接觸而需要必須透過過濾器，所以在檢測靈敏度方面也不能滿足。
另一方面，如日本特開平11-174024號公報中，在氣體檢測材料中，含有金屬碳酸鹽等與氣體反應(yīng)的材料和作為吸收水分用的材料的沸石時，雖然可以認(rèn)為一定程度上避免結(jié)露的問題，但是因?yàn)榛旌狭藷o助于氣體的檢測的材料，故存在著氣體檢測材料本身的檢測靈敏度降低的問題。
本發(fā)明鑒于上述情況，目的在于提供一種充分防止結(jié)露，裝置可小型化，且具有足夠的檢測靈敏度的氣體傳感器。
為了解決上述課題，本發(fā)明的氣體傳感器，其特征在于，具有化學(xué)地檢測氣體的傳感器元件部，和與傳感器元件部相接設(shè)置的用于除去水分的水分除去部。
在本發(fā)明的氣體傳感器中，除去水分的水分除去部通過與傳感器元件部相接設(shè)置，可以除去使傳感器元件部附近的氣氛不氣密的氣氛中的水分，可以充分地防止結(jié)露的發(fā)生。此外，由于水分除去部以與傳感器元件部一體化的狀態(tài)構(gòu)成，故對裝置的小型化也有利。進(jìn)而，由于除傳感器元件部以外還設(shè)置了水分除去部，故傳感器元件部的檢測靈敏度也不會降低，可以得到具有足夠的檢測靈敏度的氣體傳感器。
上述水分除去部，因?yàn)槟軌蛞蕴貏e高的效率除去水分，所以優(yōu)選由多孔體構(gòu)成。
在本發(fā)明的氣體傳感器中，傳感器元件部優(yōu)選具有含有固體電解質(zhì)的固體電解質(zhì)基板，和與該固體電解質(zhì)基板相接設(shè)置的檢測極和對極，并以覆蓋檢測極表面的至少一部分的方式設(shè)置水分除去部。在這種所謂固體電解質(zhì)型的氣體傳感器中，通過以覆蓋檢測極表面的方式設(shè)置水分除去部，可以更有效地除去容易受水分影響的檢測極附近的氣氛中的水分。
為了更可靠地防止在高濕度環(huán)境下等的水分的影響，優(yōu)選以覆蓋上述檢測極表面的全部的方式設(shè)置水分除去部。另一方面，在重視提高裝置的小型化、輕量化，和檢測靈敏度的情況下，優(yōu)選以露出上述檢測極表面的一部分的方式設(shè)置水分除去部。
或者，也能夠以覆蓋檢測極的周緣部和檢測極周圍的固體電解質(zhì)基板表面的方式設(shè)置前述水分除去部。由此，可以有效地除去檢測極附近的水分，并且檢測極難以從固體電解質(zhì)基板脫離。
此外，在本發(fā)明的氣體傳感器中，傳感器元件部優(yōu)選具有含有氧化物半導(dǎo)體的氣體檢測部，和與氣體檢測部電連接的一對電極，以覆蓋氣體檢測部表面的至少一部分的方式設(shè)置的水分除去部。在這種所謂半導(dǎo)體型的氣體傳感器中也可以通過以覆蓋氣體檢測部表面的方式設(shè)置水分除去部，更有效地除去容易受水分影響的氣體檢測部附近的氣氛中的水分。


圖1是表示本發(fā)明的氣體傳感器的第一實(shí)施方式的平面圖。
圖2是沿圖1的II-II線的端面圖。
圖3是表示本發(fā)明的氣體傳感器的第一實(shí)施方式的變形形態(tài)的端面圖。
圖4是表示本發(fā)明的氣體傳感器的第一實(shí)施方式的變形形態(tài)的端面圖。
圖5是表示本發(fā)明的氣體傳感器的第一實(shí)施方式的變形形態(tài)的端面圖。
圖6是表示本發(fā)明的氣體傳感器的第二實(shí)施方式的端面圖。
具體實(shí)施例方式
下面就本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，參照附圖詳細(xì)地進(jìn)行說明。
圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的氣體傳感器的第一實(shí)施形態(tài)的平面圖。圖1中所示的氣體傳感器1a具有由含有固體電解質(zhì)而形成的固體電解質(zhì)基板10，在固體電解質(zhì)基板10的一側(cè)的表面上與固體電解質(zhì)基板10相接設(shè)置的檢測極20和對極30，以及設(shè)置在固體電解質(zhì)基板10的檢測極20和對極30的對側(cè)的面上的加熱部40構(gòu)成的傳感器元件部100。即，氣體傳感器1a是所謂的固體電解質(zhì)型氣體傳感器，可以適用作二氧化碳?xì)怏w傳感器、氫氣傳感器、氮氧化物氣體傳感器和一氧化碳?xì)怏w傳感器。而且，在氣體傳感器1a中還以覆蓋檢測極20的表面的一部分的方式設(shè)置用于除去氣氛中的水分的水分除去部50。
圖2是沿圖1的II-II線的端面圖。如圖2中所示，檢測極20具有作為集電體與固體電解質(zhì)基板10相接設(shè)置的金屬層21，和與金屬層21相接并覆蓋它設(shè)置的氣體檢測部22。水分除去部50設(shè)置成與該氣體檢測部22相接而覆蓋氣體檢測部22的表面的一部分。
構(gòu)成氣體檢測部22的氣體檢測材料，通過與二氧化碳?xì)怏w等被檢測氣體的接觸而發(fā)生化學(xué)平衡反應(yīng)。由于該化學(xué)平衡反應(yīng)檢測極20與對極30之間的電動勢發(fā)生變化，基于該電動勢的變化檢測氣體。
上述氣體檢測材料由金屬鹽、金屬氧化物等的，能夠與被檢測氣體之間發(fā)生化學(xué)平衡反應(yīng)的金屬化合物所形成的多孔體構(gòu)成。如果在該氣體檢測材料的表面上發(fā)生結(jié)露，就不能正常地進(jìn)行氣體的檢測，但是在氣體傳感器1a中，通過與氣體傳感器元件部100相接設(shè)置水分除去部50，既可以維持高的檢測靈敏度和氣體檢測部的機(jī)械強(qiáng)度，又可以充分地防止結(jié)露。此外，由于水分除去部50與氣體傳感器元件部100一體化，故裝置可小型化。另外，氣體傳感器1a的非工作時在水分除去部50中所吸附等的水分，起動后因來自加熱部40的熱傳導(dǎo)而被加熱并從水分除去部50內(nèi)被除去，故即使長期使用氣體傳感器1a時，水分也不蓄積于水分除去部50內(nèi)，水分的除去效率不容易降低。
水分除去部50包括吸附水分且具有被檢測氣體能夠透過的程度的細(xì)孔徑的多孔體，優(yōu)選為具有平均0.3～1nm的細(xì)孔徑的多孔體。此外，作為構(gòu)成該多孔體的材料，可以舉出沸石、磷酸鋁、氧化鋁、氧化硅、氮化硼等，其中，優(yōu)選能夠特別高效地吸附水分的沸石、氧化鋁或氧化硅。
水分除去部50的厚度優(yōu)選為10nm～1mm。如果該厚度不足10nm則可能降低除去水分的效率，如果超過1mm，則被檢測氣體難以到達(dá)氣體檢測部22，可能降低檢測靈敏度。這種水分除去部50可以通過涂布法等目前公知的方法形成。
水分除去部50除了以上述的形態(tài)設(shè)置的情況之外，例如，如圖3的端面圖中所示，水分除去部50也可以露出檢測極20的固體電解質(zhì)基板10對側(cè)的面的一部分地覆蓋檢測極20。此時，從檢測靈敏度和水分的除去效率并存的觀點(diǎn)來說特別優(yōu)選，露出在金屬層21的周圍的區(qū)域中的檢測極20的表面。
此外，在需要高濕度環(huán)境下的工作時等為了提高水分的除去效率的情況等，如圖4的端面圖中所示，優(yōu)選設(shè)置覆蓋整個檢測極20的表面的水分除去部50。
或者，如圖5的端面圖中所示，也可以設(shè)置覆蓋檢測極20的周緣部和檢測極20周圍的固體電解質(zhì)基板10表面的水分除去部50。由此，可以特別提高檢測靈敏度，并且可提高檢測極20從固體電解質(zhì)基板10的脫離強(qiáng)度。此外，此時，如圖5中所示，優(yōu)選檢測極20、對極30和水分除去部50各自的與固體電解質(zhì)基板10相對側(cè)的面作為整體形成平坦的面。這樣，由檢測極20和對極30引起的突起部消失，可以防止產(chǎn)生電極的碎片等，氣體傳感器的操作性提高。
水分除去部50只要與氣體傳感器元件部100相接設(shè)置，而不限定于這些圖1～圖5中所示的方式，例如，水分除去部50能夠以覆蓋對極20的方式設(shè)置，也能夠以在加熱部40側(cè)與加熱部40相接的方式設(shè)置。
在氣體傳感器元件部100中，構(gòu)成固體電解質(zhì)基板10的固體電解質(zhì)是固體狀的離子導(dǎo)電體。作為該離子導(dǎo)電體，例如，可以舉出由Na1+xZr2SixP3-xO12(x＝0～3)表示的NASICON、用氧化釔(Y2O3)穩(wěn)定化氧化鋯(ZrO2)的氧化釔穩(wěn)定化氧化鋯(YSZ)、含有稀土類元素的鋇鈰類氧化物等的金屬離子導(dǎo)電體。將氣體傳感器1a用作二氧化碳?xì)怏w傳感器時，優(yōu)選NASICON作為固體電解質(zhì)。
固體電解質(zhì)基板10，通常，其厚度為1μm～1mm左右，主面的面積為1μm2～200mm2左右。這種固體電解質(zhì)基板10可以用固相法、溶膠凝膠法、共沉淀法等通常用的方法制作，優(yōu)選用固相法制作。
構(gòu)成檢測極20的金屬層21由具有可以作為集電體發(fā)揮功能的程度的導(dǎo)電性的金屬材料形成。作為形成金屬層21的金屬材料，例如，可以使用金、鉑、銀、銣、銠、鈀、銥、鎳、銅、鉻和它們的合金等。
金屬層21的厚度為0.01～10μm左右，主面的面積為0.1μm2～200mm2左右。此外，金屬層21，為了使二氧化碳?xì)怏w有效地分散于檢測極20內(nèi)，優(yōu)選為多孔體。這種金屬層21，例如，可以將金屬粉末制成膏狀的混合液由絲網(wǎng)印刷等的涂布的方法，和通過濺射等形成。
構(gòu)成氣體檢測部22的氣體檢測材料，只要是通過與被檢測氣體的接觸而發(fā)生化學(xué)平衡反應(yīng)，且可檢測氣體的材料就不加特別限制。例如，可以分別在二氧化碳?xì)怏w傳感器的情況下，使用金屬碳酸鹽和金屬氧化物等，在氫氣傳感器的情況下，使用金屬氧化物等，在氮氧化物氣體傳感器的情況下，使用金屬亞硝酸鹽等。
氣體檢測部22的厚度通常為0.01μm～1mm左右，例如，可以采用將上述金屬化合物的顆粒分散于溶劑的膏以與金屬層21相接的方式涂布而形成膏狀層，加熱該膏狀層除去溶劑的涂布法等，目前公知的方法形成。
對極30，通常，具有0.01μm～1mm左右的厚度，可以采用針對金屬層21而與上述同樣的金屬材料、方法而形成。在對極30上，為了抑制大氣中的濕氣引起的性能降低，優(yōu)選進(jìn)一步設(shè)置覆蓋包括金屬材料的層的保護(hù)層。該保護(hù)層優(yōu)選由含氟樹脂、陶瓷、鈷酸鹽等形成。再者，對極未必需要像氣體傳感器1a中那樣設(shè)置在固體電解質(zhì)基板的與檢測極同側(cè)處，檢測極和對極也可以隔著含有固體電解質(zhì)的基板設(shè)置在相互對側(cè)的面上。
加熱部40以加熱使檢測極20達(dá)到能夠穩(wěn)定地進(jìn)行檢測工作的規(guī)定的溫度為主要目的而設(shè)置，由氧化釕等，因通電發(fā)熱的發(fā)熱電阻體構(gòu)成。
氣體傳感氣1a，進(jìn)而，還要在連接用于測定檢測極20與對極30之間的電動勢的外部電路，和用于通電到加熱部40的外部電路的狀態(tài)下使用。此外，也可以把整個氣體傳感器1a裝載在具有用于通氣的開口部的框架內(nèi)。此時，優(yōu)選在開口部上安裝網(wǎng)狀的罩等，防止人的手接觸到氣體傳感器1a，并且使通氣性有良好的狀態(tài)。
再者，作為固體電解質(zhì)型氣體傳感器，除了像氣體傳感器1a的基于電動勢的變化而檢測氣體的電動勢式以外，還有所謂臨界電流式的氣體傳感器等，本發(fā)明也可以適用于臨界電流式的氣體傳感器。
圖6是表示本發(fā)明的氣體傳感器的第二實(shí)施方式的端面圖。圖6中所示的氣體傳感器1b的傳感器元件部101包括絕緣性基板11，設(shè)置在絕緣性基板11的一側(cè)的面上并包含含有氧化物半導(dǎo)體的氣體檢測材料的檢測部25，與氣體檢測部25相接并電連接的一對電極31、32，以及設(shè)置在絕緣性基板11的與氣體檢測部25對側(cè)的面上的加熱部40。即，氣體傳感器1b是所謂半導(dǎo)體型的氣體傳感器，可以適用作氫氣傳感器、可燃性氣體傳感器、醇?xì)怏w傳感器、VOC傳感器等。而且，在氣體傳感器1b上，還在氣體檢測部25的與絕緣性基板11相對側(cè)的面上，設(shè)置與氣體檢測部25相接的水分除去部50。
水分除去部50與上述第一實(shí)施方式相同，可以用與關(guān)于第一實(shí)施方式的說明中所說明的同樣的方法形成。水分除去部50，與第一實(shí)施方式的情況相同，可以設(shè)置為覆蓋整個氣體檢測部50，也可以覆蓋氣體檢測部50的周緣部。此外，也可以在水分除去部50上以網(wǎng)狀、條帶狀等任意的方式形成露出氣體檢測部25的表面的多個槽。
氣體檢測部25是由在與還原性的被檢測氣體的接觸前后電阻變化的氧化物半導(dǎo)體構(gòu)成的多孔體。該氧化物半導(dǎo)體可以根據(jù)被檢測氣體的種類等適當(dāng)選擇，可以適用例如，氧化鋅、氧化錫等金屬氧化物，和在這些中組合稀土類氧化物的復(fù)合氧化物等。
氣體傳感器元件部101，可以通過例如，在由氧化鋁等絕緣性材料所形成的絕緣性基板11上，由金、白金等導(dǎo)電性材料形成一對電極31、32后，與這一對電極31、32相接形成氣體檢測部25，進(jìn)一步在絕緣性基板11的與氣體檢測部25相對側(cè)的面上形成發(fā)熱電阻體的薄膜而形成加熱部40的方法得到。各構(gòu)成部分可以用涂布法、濺射法等目前公知的方法形成。
然后，與氣體檢測部25相接，通過涂布法等形成含有沸石等多孔材料的水分除去部50，得到氣體傳感器1b。
氣體傳感器1b，進(jìn)一步，在將用于測定電阻的外部電路，和用于通電于加熱部40的外部電路，在連接在一對電極31、32的狀態(tài)下使用。此外，與氣體傳感器1a同樣，也可以把整個氣體傳感器1b裝載在具有用來通氣的開口部的框架內(nèi)。
實(shí)施例以下，舉出實(shí)施例和對照例，就本發(fā)明更具體地進(jìn)行說明。但是，本發(fā)明不限于以下的實(shí)施例。
(實(shí)施例1)如下，制作具有與圖1和圖2中所示的氣體傳感器1a同樣的構(gòu)成的二氧化碳?xì)怏w傳感器。首先，作為固體電解質(zhì)基板，準(zhǔn)備具有矩形的主面(4mm×4mm)的厚度0.5mm的NASICON基板，在該NASICON基板上通過濺射法形成由Au組成的厚度0.1μm的金屬層和對極。然后，通過涂布法，形成通過涂布法僅覆蓋檢測極的金屬層地由碳酸鋇和碳酸鋰的復(fù)合鹽，與氧化銦的混合物為氣體檢測材料的厚度20μm的氣體檢測部。還在NASICON基板的與氣體檢測部相對側(cè)的面上，作為加熱部通過濺射法形成Pt的薄膜，得到氣體傳感器元件部。
接著，由涂布法覆蓋檢測極的氣體檢測部的上面，形成由沸石粉末(3A型，日本化學(xué)工業(yè)株式會社制)組成的水分除去部。此時所形成的水分除去部的厚度取為200μm。
然后，把具有水分除去部的氣體傳感器元件部裝載在前端具有開口部的圓筒狀(內(nèi)徑10mm，高度15mm)的框架內(nèi)底部，得到二氧化碳?xì)怏w傳感器。
(對照例1)將與實(shí)施例1同樣地得到，沒有水分除去部的氣體傳感器元件部裝載于前端具有開口部的圓筒狀(內(nèi)徑10mm，高度15mm)的框架內(nèi)底部，安裝在開口部填充了沸石粉末的厚5mm的層，得到二氧化碳?xì)怏w傳感器。
(二氧化碳?xì)怏w傳感器的評價)就在上述實(shí)施例和對照例中分別得到的二氧化碳?xì)怏w傳感器，如下，就其檢測靈敏度、起動特性和結(jié)露的發(fā)生狀態(tài)進(jìn)行評價。
<檢測靈敏度和起動特性>
把二氧化碳?xì)怏w傳感器配置于規(guī)定大小的腔室內(nèi)，在腔室內(nèi)，在二氧化碳濃度500ppm，30％RH下，使含有500ppm的二氧化碳的純空氣流以流速0.1L/分鐘流通。在該狀態(tài)下，一邊用電壓計(jì)測定檢測極一對極間的電動勢，一邊在設(shè)定溫度380℃下起動二氧化碳?xì)怏w傳感器的加熱器后，以直到輸出值1小時中的變動率變?yōu)椴蛔?(％/小時)地穩(wěn)定化的時間作為穩(wěn)定化時間。
穩(wěn)定化后，把二氧化碳?xì)怏w傳感器加熱到380℃，并且在25℃，30％RH下，使純空氣氣流中的二氧化碳?xì)怏w濃度變化到5000ppm。然后，將二氧化碳濃度為5000ppm時的電動勢E1，與500ppm時的電動勢(基準(zhǔn)值)E0之差(E1-E0)的值作為檢測靈敏度。
進(jìn)一步，上述初期特性的評價之后，一旦切斷加熱器的電流自然冷卻到室溫后，將二氧化碳?xì)怏w傳感器在濕度95％RH的環(huán)境下放置24小時，再度驅(qū)動，與上述同樣地進(jìn)行檢測靈敏度和穩(wěn)定化時間的測定。
表1中，用將對照例1的檢測靈敏度和穩(wěn)定化時間作為100時的相對值表示的結(jié)果。
<結(jié)露的發(fā)生狀態(tài)>
通過目視觀察在以流速0.1L/分鐘流通25℃，95％RH下含有500ppm的二氧化碳?xì)怏w的純空氣流的腔室內(nèi)，把二氧化碳?xì)怏w傳感器加熱到380℃并放置24小時后，中止二氧化碳?xì)怏w傳感器的加熱，自然冷卻到室溫時的，氣體傳感器元件部表面處的結(jié)露的發(fā)生狀態(tài)。
表1

如表1中所示，實(shí)施例1的二氧化碳?xì)怏w傳感器特別是再起動后的檢測靈敏度優(yōu)異，并且穩(wěn)定化時間相對對照例1大大縮短。并且，相對于對照例1中看到結(jié)露，在實(shí)施例1中看不到結(jié)露。因而，如果用本發(fā)明，則可以確認(rèn)，可以得到可以充分地防止結(jié)露，具有足夠的檢測靈敏度，起動時間短的氣體傳感器。
根據(jù)本發(fā)明，提供了可以充分地防止結(jié)露，裝置可小型化且具有足夠的檢測靈敏度的氣體傳感器。
權(quán)利要求
1.一種氣體傳感器，其特征在于，具有化學(xué)地檢測氣體的傳感器元件部；和與所述傳感器元件部相接設(shè)置的用于除去水分的水分除去部。
2.如權(quán)利要求1所述的氣體傳感器，其特征在于所述水分除去部由多孔體構(gòu)成。
3.如權(quán)利要求1或2所述的氣體傳感器，其特征在于所述傳感器元件部具有含有固體電解質(zhì)的固體電解質(zhì)基板；和與所述固體電解質(zhì)基板相接設(shè)置的檢測極和對極，且以覆蓋所述檢測極表面的至少一部分的方式設(shè)置所述水分除去部。
4.如權(quán)利要求3所述的氣體傳感器，其特征在于以覆蓋所述檢測極表面的全部的方式設(shè)置所述水分除去部。
5.如權(quán)利要求3所述的氣體傳感器，其特征在于以露出所述檢測極表面的一部分的方式設(shè)置所述水分除去部。
6.如權(quán)利要求3所述的氣體傳感器，其特征在于以覆蓋所述檢測極的周緣部和所述檢測極周圍的所述固體電解質(zhì)基板表面的方式設(shè)置所述水分除去部。
7.如權(quán)利要求1或2所述的氣體傳感器，其特征在于所述傳感器元件部具有含有氧化物半導(dǎo)體的氣體檢測部；和與所述氣體檢測部電連接的一對電極，以覆蓋所述氣體檢測部表面的至少一部分的方式設(shè)置所述水分除去部。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種具有化學(xué)地檢測氣體的傳感器元件部，和與傳感器元件部相接設(shè)置的用于除去水分的水分除去部的氣體傳感器。
文檔編號G01N27/407GK1755353SQ20051010802
公開日2006年4月5日 申請日期2005年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月30日
發(fā)明者小野志津子, 伊藤祐義 申請人:Tdk株式會社