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具有全譜定標(biāo)、監(jiān)測和控制的加速老化測試設(shè)備的制作方法

文檔序號:6136520閱讀:242來源:國知局
專利名稱:具有全譜定標(biāo)、監(jiān)測和控制的加速老化測試設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及加速老化測試設(shè)備,具體涉及室內(nèi)加速老化測試設(shè)備,它利用人工光源的全譜功率分布(“SPD”)以定標(biāo),監(jiān)測,和控制該設(shè)備。
背景技術(shù)
我們知道,利用室內(nèi)加速老化測試設(shè)備測試涂色表面,織物,塑料薄膜和其他材料的加速老化特征。這種測試是使被測試材料在可控以及高溫度和/濕度條件下接受近似于日光的人工光源高強(qiáng)度輻射的曝光完成的。
在自然的室外環(huán)境下,熱、光和潮濕的組合效應(yīng)使暴露在這種室外老化條件下的產(chǎn)品發(fā)生光學(xué),機(jī)械和化學(xué)變化。一般地說,本發(fā)明和現(xiàn)有技術(shù)的測試設(shè)備可用于得到加速時(shí)間基礎(chǔ)上的這種老化數(shù)據(jù),允許產(chǎn)品制造商獲得關(guān)于他們的產(chǎn)品如何經(jīng)受長年累月老化條件的信息。
通常,加速老化測試設(shè)備可以利用循環(huán)通過系統(tǒng)的空氣以控制被測試樣本的溫度,所以,這些樣本不會因可能存在的加熱器或輻射源而發(fā)生欠熱或過熱,典型的是高強(qiáng)度等離子體燈,例如,氙燈。我們需要被測試的樣本曝光在精確的預(yù)定條件下,允許更準(zhǔn)確地比較各種測試過程,從而可以精確地確定測試設(shè)備提供的老化條件,在需要比較不同年份的各種樣本時(shí),可以重新建立這些老化條件。
在已知的加速老化測試設(shè)備中,用于承載被測試樣本的可轉(zhuǎn)動(dòng)框架環(huán)繞光源,光源通常是發(fā)射有基本紫外光分量輻照度的氙燈??蚣艿霓D(zhuǎn)動(dòng)通常是每分鐘一轉(zhuǎn),以避免系統(tǒng)中樣本定位的系統(tǒng)差別。此外,加到樣本上的典型輻照度級約為1SUN,它在The Society ofAutomotive Engineers J-1885老化測試方法中的定義為340nm紫外光輻射下每平方米0.55W。
其他已知的加速老化測試設(shè)備還加速材料的老化,把這種材料曝光在高于1SUN的輻照度級下,例如,2SUN(或按照以上的定義為每平方米1.1W)。我們注意到,在這種較高的光強(qiáng)下,在樣本區(qū)域框架周圍的光輻照度不均勻性變得更大,從而使樣本溫度發(fā)生變化。因此,測試程序中的樣本可以受這些變化的影響。
其他已知的加速老化測試設(shè)備僅在光源SPD的三個(gè)離散點(diǎn)監(jiān)測和控制光源的輻照度。即,現(xiàn)有技術(shù)測試設(shè)備僅在340納米(“nm”),420nm和300-400nm下測量光源的輻照度。利用固定的帶通光濾波器和相關(guān)的閉環(huán)反饋電路進(jìn)行測量。標(biāo)準(zhǔn)測試方法規(guī)定三個(gè)控制點(diǎn)中一個(gè)控制點(diǎn),它們不是用戶可選擇的。這些已知的測試監(jiān)測和控制方法在幾個(gè)方面是特別不利的。例如,當(dāng)前開發(fā)的測試樣本材料在光源輻照度的曝光下容易老化或退化,其特定的波長不同于設(shè)置的標(biāo)準(zhǔn)波長。在目前的設(shè)備中,不可能控制特定材料具有最大或臨界靈敏度的波長。此外,光源的SPD隨光源以及內(nèi)部和外部外濾波器的老化而變化。而且,在靜態(tài)輻照度控制波長下,不可能實(shí)現(xiàn)最佳的加速老化。因此,測試樣本的可靠性在它們各自測試程序中受這些變化的影響。
定標(biāo)已知的加速老化測試設(shè)備也是很麻煩的,耗費(fèi)時(shí)間以及對客戶加速老化測試設(shè)備的測試結(jié)果引入很大的誤差界限。現(xiàn)有技術(shù)定標(biāo)方案涉及以下步驟根據(jù)1000瓦鎢定標(biāo)標(biāo)準(zhǔn),定標(biāo)光譜輻射計(jì);利用光譜輻射計(jì)測量標(biāo)準(zhǔn)工廠光源和分配定標(biāo)值;利用標(biāo)準(zhǔn)工廠光源的運(yùn)行,定標(biāo)工廠加速老化測試設(shè)備輻射計(jì)并按照定標(biāo)值調(diào)整輻射計(jì)增益;利用客戶標(biāo)準(zhǔn)光源運(yùn)行工廠加速老化測試設(shè)備并基于輻射計(jì)讀數(shù)分配定標(biāo)值;和利用客戶標(biāo)準(zhǔn)光源,運(yùn)行客戶加速老化測試設(shè)備和調(diào)整客戶測試設(shè)備的輻射計(jì)增益以匹配定標(biāo)值。因此,已知現(xiàn)有技術(shù)設(shè)備產(chǎn)生不確定的可能性是相當(dāng)大的。即使工廠完美無缺地執(zhí)行每個(gè)步驟,客戶仍然可能犯錯(cuò)誤。因此,測試樣本在它們的各自測試程序中受這些變化的影響。
一種已知的老化設(shè)備包括輻射測量裝置。測試所用的部分輻射被引導(dǎo)到輻射測量裝置。被引導(dǎo)的輻射是光譜分散的,因此,選取的二極管在SPD上的離散點(diǎn)可以測量強(qiáng)度和/或劑量。輻射檢測器是由指定的光電二極管陣列構(gòu)成以監(jiān)測預(yù)選的離散波長。
另一種現(xiàn)有技術(shù)曝光照相膠片的設(shè)備包括工作在恒定相關(guān)色溫和強(qiáng)度下的照明光源。光譜輻射計(jì)在32-光電二極管的線性上拍攝從380nm至740nm光譜的光學(xué)圖像。因此,光譜輻射計(jì)提供32個(gè)信號,指出從380nm延伸至740nm的32均勻頻帶中每個(gè)頻帶的光強(qiáng)。在32頻帶中每個(gè)頻帶中間的32個(gè)標(biāo)稱波長的色溫和照度值是從傳感器的32個(gè)信號中導(dǎo)出的。根據(jù)這些數(shù)值,可以導(dǎo)出色溫下輻射功率的發(fā)光度。光譜輻射計(jì)產(chǎn)生指出照度和相關(guān)色溫的信號,該信號發(fā)射到可以測試該信號的自動(dòng)控制裝置以確定是否在容許偏差內(nèi)。自動(dòng)控制裝置和步進(jìn)電機(jī)響應(yīng)于光譜輻射計(jì)的信號,可以調(diào)整發(fā)生器發(fā)射的光強(qiáng)。為了保持色溫和輻射為恒定值,改變光源與球面反射鏡之間的距離以調(diào)整光強(qiáng)。
另一種現(xiàn)有技術(shù)老化設(shè)備包括光強(qiáng)監(jiān)測和調(diào)整裝置,該裝置包含光纖構(gòu)成的光波導(dǎo),記錄儀器中的光接收部分和調(diào)整部分。光波導(dǎo)配置成包含一束三等分光纖的柔性管。光波導(dǎo)中的一端被引導(dǎo)到燈,另一個(gè)三等分端與光接收部分連接。每個(gè)部分光纖束的光接收部分中透鏡使光通過各自的濾波器引導(dǎo)到各自的光接收單元,例如,光電管。三個(gè)光接收單元在三個(gè)固定的離散點(diǎn)測量光的成分。一個(gè)傳感器用于控制光強(qiáng),其他的兩個(gè)傳感器用于比較不同設(shè)置點(diǎn)以判斷光譜的質(zhì)量。
另一種現(xiàn)有技術(shù)測試設(shè)備描述利用各個(gè)強(qiáng)度級和光譜分布的輻射以定標(biāo)輻射裝置的方法。該定標(biāo)系統(tǒng)包含沿輻射裝置方向發(fā)射光束的光源,用于定標(biāo)和/或測試裝置。部分的光束被該裝置截取,而其余部分的光束被光電二極管檢測器截取。檢測器的作用是光譜濾波以觀察光源輸出輻射中的一個(gè)或多個(gè)特定光譜帶。檢測器提供輸出電流經(jīng)開關(guān)到控制單元,用于運(yùn)行強(qiáng)度控制器以激勵(lì)光源。單個(gè)光電檢測器的電流是濾波頻帶內(nèi)光強(qiáng)的準(zhǔn)確預(yù)測器,它描述光電檢測器的電流與強(qiáng)度之間的線性關(guān)系。
所以,人們需要一種克服現(xiàn)有技術(shù)缺點(diǎn)的加速老化測試設(shè)備,即相對于光源SPD的固定離散部分,監(jiān)測和控制測試設(shè)備,基于光源的全SPD不能定標(biāo),監(jiān)測和控制測試設(shè)備;相對于用戶可選的離散波長,即,不能測試全SPD中不同部分的材料靈敏度的波長或波長范圍,不能定標(biāo),監(jiān)測和控制測試設(shè)備;在相對于接受的專業(yè)鑒定標(biāo)準(zhǔn)的給定光源全SPD上,不能定標(biāo)測試設(shè)備以及不能監(jiān)測給定光源的全SPD變化,例如,隨時(shí)間退化的光源或相關(guān)的濾波器。

發(fā)明內(nèi)容
按照本發(fā)明可以提供各種改進(jìn),這些改進(jìn)增加本發(fā)明測試設(shè)備定標(biāo),監(jiān)測和控制的準(zhǔn)確性。該測試設(shè)備可用于提供準(zhǔn)確的預(yù)定條件,這些預(yù)定條件在一個(gè)運(yùn)行過程和不同運(yùn)行過程中是基本可預(yù)測和不變的。


參照以下結(jié)合附圖的詳細(xì)描述,可以更好地理解本發(fā)明,在一些附圖中相同的參考數(shù)字代表相同的元件。
圖1是現(xiàn)有技術(shù)加速老化測試設(shè)備的透視圖。
圖2A是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例加速老化測試設(shè)備的正視圖。
圖2B是按照本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例加速老化測試設(shè)備的正視圖。
圖3A是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例加速老化測試設(shè)備的定標(biāo)步驟流程圖。
圖3B是圖3A所示加速老化測試設(shè)備的附加定標(biāo)步驟流程圖。
圖3C是圖3A所示加速老化測試設(shè)備的附加定標(biāo)步驟流程圖。
圖3D是圖3A所示加速老化測試設(shè)備的附加定標(biāo)步驟流程圖。
圖3E是圖3A所示加速老化測試設(shè)備的附加定標(biāo)步驟流程圖。
圖4是圖3D中濾波步驟的流程圖。
圖5是可追蹤光譜輻射計(jì)監(jiān)測的定標(biāo)光源的部分SPD曲線圖。
圖6是客戶加速老化測試設(shè)備中運(yùn)行的定標(biāo)光源第二全SPD的第二組測量結(jié)果曲線圖。
圖7是濾波之后定標(biāo)光源的第一全SPD曲線圖。
圖8是濾波之后圖6所示定標(biāo)光源的第二全SPD曲線圖。
圖9A是初始調(diào)整第一和第二濾波數(shù)據(jù)組步驟的曲線圖。
圖9B是隨后調(diào)整第一和第二濾波數(shù)據(jù)組步驟的曲線圖。
圖10是客戶加速老化測試設(shè)備的系統(tǒng)響應(yīng)因子曲線圖。
圖11是定標(biāo)之后客戶加速老化測試設(shè)備的全SPD曲線圖。
圖12是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例步驟的流程圖,用于運(yùn)行定標(biāo)的客戶加速老化測試設(shè)備。
具體實(shí)施例方式
簡要地說,在本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中,一種在客戶加速老化測試設(shè)備中定標(biāo)輻照度級控制的方法,包括以下步驟在工廠加速老化測試設(shè)備中安裝定標(biāo)光源;在第一定標(biāo)裝置確定的固定功率級下運(yùn)行工廠加速老化測試設(shè)備;收集定標(biāo)光源的第一全SPD;從第一全SPD中產(chǎn)生第一組測量結(jié)果;存儲第一組測量結(jié)果作為第一數(shù)據(jù)組;在客戶加速老化測試設(shè)備中安裝定標(biāo)光源;在第二定標(biāo)裝置確定的固定功率級下運(yùn)行客戶加速老化測試設(shè)備;收集定標(biāo)光源的第二全SPD;從第二全SPD中產(chǎn)生第二組測量結(jié)果;存儲第二組測量結(jié)果作為第二數(shù)據(jù)組;濾波第一數(shù)據(jù)組和第二數(shù)據(jù)組;調(diào)整第一濾波數(shù)據(jù)組和第二濾波數(shù)據(jù)組;和確定客戶加速老化測試設(shè)備的系統(tǒng)響應(yīng)因子,為的是定標(biāo)客戶加速老化測試設(shè)備的輻照度級控制。
在本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例中,一種在客戶加速老化測試設(shè)備中使測試樣本曝光到準(zhǔn)確預(yù)選的輻照度級的方法,包括以下步驟基于光源濾波器組合的類型,定標(biāo)光源的第一數(shù)據(jù)組,和光源控制波長下所需的輻照度級設(shè)置點(diǎn),確定從光源中產(chǎn)生預(yù)選輻照度級的功率級;基于系統(tǒng)響應(yīng)因子調(diào)整的光源第二數(shù)據(jù)組,確定該光源的測量輻照度級;比較控制波長下的功率級與測量輻照度級;產(chǎn)生光源功率控制信號;和在所需時(shí)間段內(nèi)以預(yù)選間隔重復(fù)以上的步驟。
本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例涉及一種加速老化測試設(shè)備,包括測試室。支承測試樣本的測試樣本座設(shè)置在測試室內(nèi)。光源也設(shè)置在測試室內(nèi)以產(chǎn)生輻照度?;诙鄠€(gè)輸入,控制器產(chǎn)生光源功率控制信號。功率源輸出功率到光源以響應(yīng)光源功率控制信號。光譜輻射計(jì)收集光源的全SPD,然后產(chǎn)生代表全SPD的數(shù)據(jù)組,為的是輸出該數(shù)據(jù)組到控制器作為多個(gè)輸入中的一個(gè)輸入。
參照圖1,圖1表示老化測試裝置10,包括限定上測試室14的外殼12,上測試室14中的框架16包含大致球面排列的不銹鋼支架,測試樣本18可以按照與中央光源22大致等距離的方式粘附到不銹鋼支架,光源22可以是氙燈,熒光燈,金屬鹵化物燈,汞燈或鎢燈。這種裝置類似于美國專利號5,503,032和5,854,433中公開的裝置,這些內(nèi)容全文合并在此供參考。
在上測試室14的底部有圓形排列的縫隙26和錐形擋板24,有助于引導(dǎo)空氣沿框架上承載的測試樣本18穿過縫隙26。
常規(guī)的電阻型加熱器元件30可以放置在縫隙26和承載它們的隔板下面,有助于控制測試樣本18周圍空氣的溫度。光源22的安裝可以按照美國專利號5,226,318中所描述的,其中包含給光源22提供的電流和水流導(dǎo)管,全文合并在此供參考。
框架16是由延伸通過上測試室14頂壁36的第一支承件或軸34承載。因此,框架16上承載各種電子裝置的連接可以與軸34穿過頂壁36到微處理器38,微處理器38放置在頂壁36上方的老化測試系統(tǒng)中,它與光源22所用的流水以及高電流和電壓之間有安全的距離。
用于轉(zhuǎn)動(dòng)軸34和框架16的電動(dòng)機(jī)M放置在頂壁36的上方。測試框架16可以承載黑板溫度傳感器40,傳感器40是特別適用于檢測直接來自光源輻射溫度的傳感器。在遠(yuǎn)離光源22的位置還可以設(shè)置干球傳感器以監(jiān)測空氣的溫度。此外,可以配置直接百分比相對濕度傳感器。這些傳感器中的每個(gè)傳感器可以給微處理器38提供信號數(shù)據(jù)。
頂壁還限定代表循環(huán)空氣的循環(huán)高壓室46入口的壁縫隙,空氣的循環(huán)是由吹風(fēng)機(jī)28驅(qū)動(dòng),吹風(fēng)機(jī)28推進(jìn)空氣從測試室14的頂部到底部并通過縫隙26。
在高壓室46內(nèi)是可以開閉的冷卻空氣通風(fēng)口48,它有可活動(dòng)的阻尼器50并包含空氣入口48b和空氣出口48a。阻尼器50的位置可以受控制件51控制,而控制件51按照常規(guī)方式是受微處理器38的控制。
在上測試室44中還配置框架水噴射或噴霧器單元52以及樣本水噴射或噴霧器單元53,在需要時(shí)給樣本提供附加的特定噴射。
在上述美國專利號5,503,032和5,854,433中還公開關(guān)于老化測試機(jī)10的進(jìn)一步細(xì)節(jié)。
參照圖2A和2B,圖2A和2B表示按照本發(fā)明實(shí)施例的加速老化測試設(shè)備正視圖。專業(yè)人員可以知道,本發(fā)明實(shí)施例的結(jié)構(gòu)和功能特征與上述結(jié)合圖1描述和解釋的這些特征相同,不同的是以下給予更詳細(xì)的描述。因此,這個(gè)實(shí)施例的詳細(xì)描述僅僅涉及本實(shí)施例的那些結(jié)構(gòu)和功能特征以及支持和描述圖2A和2B所示實(shí)施例所需圖1所示實(shí)施例的這些特征。結(jié)合圖1所述設(shè)備的結(jié)構(gòu)和功能特征是在本發(fā)明內(nèi)容的范圍內(nèi),此處所描述的內(nèi)容適合于本發(fā)明的其他實(shí)施例。
這些實(shí)施例的加速老化測試設(shè)備10包括上測試室14,框架或測試樣本座16,用于支承測試室14中的測試樣本18。光源22放置在測試室14內(nèi),用于在測試室14中產(chǎn)生輻照度?;谝韵掠懻摰亩鄠€(gè)輸入,控制器60產(chǎn)生光源功率控制信號。功率源62輸出功率到光源22以響應(yīng)光源功率控制信號。輸入裝置64放置在測試室14內(nèi),與光源22的輻照度直接聯(lián)系,為的是能夠監(jiān)測光源22的全SPD。產(chǎn)生代表全SPD的數(shù)據(jù)組并輸出到控制器60作為多個(gè)輸入中的一個(gè)輸入。
基于多個(gè)輸入,控制器60確定從光源22產(chǎn)生預(yù)選輻照度級的功率級。最好是,多個(gè)輸入至少包括以下的內(nèi)容光源濾波器組合的類型;定標(biāo)的光源數(shù)據(jù)組(以下描述);和光源22控制波長所需的輻照度級設(shè)置點(diǎn)。控制器60可能需要附加的輸入并用于更精確地控制功率級是在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
基于系統(tǒng)響應(yīng)因子調(diào)整的光源22數(shù)據(jù)組,控制器還確定光源22的測量輻照度級,以下詳細(xì)地給予描述。專業(yè)人員知道,結(jié)合圖2A和2B實(shí)施例中所用的術(shù)語“數(shù)據(jù)組”等同于以下所用的術(shù)語“第二數(shù)據(jù)組”,且可以互相交換使用??刂破?0比較功率級與測量輻照度級,產(chǎn)生輸出到功率源62的光源功率控制信號,并在所需時(shí)間段內(nèi)以預(yù)選間隔重復(fù)以上的步驟。因此,可以實(shí)現(xiàn)加速老化測試設(shè)備的精確和準(zhǔn)確運(yùn)行,它克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)。
最好是,控制器60包含處理單元和用于處理單元存儲程序指令的存儲器,它使控制器完成以下的功能基于光源濾波器組合的類型,定標(biāo)光源數(shù)據(jù)組和光源控制波長下所需的輻照度設(shè)置點(diǎn),確定從光源產(chǎn)生預(yù)選輻照度級的功率級;基于系統(tǒng)響應(yīng)因子調(diào)整的光源數(shù)據(jù)組,確定從光源產(chǎn)生的測量輻照度級;比較功率級與測量輻照度級;產(chǎn)生光源功率控制信號;和在所需時(shí)間段內(nèi)以預(yù)選間隔重復(fù)以上的步驟。
本發(fā)明的處理器可以是,但不限于,單個(gè)處理器,多個(gè)處理器,DSP,微處理器,ASIC,狀態(tài)機(jī),或能夠處理和執(zhí)行軟件的任何其他裝置。術(shù)語處理器應(yīng)當(dāng)不限于能夠執(zhí)行軟件的硬件,而可以包含DSP硬件,存儲軟件的ROM,RAM,和任何其他易失性或非易失性存儲媒體。
本發(fā)明的存儲器可以是,但不限于,單個(gè)存儲器,多個(gè)內(nèi)存位置,共享存儲器,CD,DVD,ROM,RAM,EEPROM,光存儲器,微代碼,或處理器用于存儲數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)的任何其他非易失性存儲裝置。
功率源62是與結(jié)合圖1所描述實(shí)施例中相同的功率源。然而,結(jié)合控制器60的運(yùn)行現(xiàn)在能夠調(diào)整功率源62,從而在任何測試期間提供可靠的相同輻照度級。
輸入裝置可以是光譜輻射計(jì),接收光裝置或設(shè)置在測試室14內(nèi)任何其他的合適輸入裝置,它可以直接聯(lián)系光源22的輻照度并與光譜輻射計(jì)通信。在圖2A中,輸入裝置64設(shè)置在測試樣本座16周界內(nèi)的柱66上。在圖2B中,輸入裝置64安裝在測試樣本座16上,如同測試樣本座或框架支承這種測試樣本限定的測試樣本面中測試樣本。
在輸入裝置69是接收光裝置或不同于測試室14內(nèi)光譜輻射計(jì)的其他合適裝置情況下,它直接接觸光源22的輻照度,如圖2A或2B所示,光波導(dǎo)可用于引導(dǎo)光源的光到遠(yuǎn)離測試室14設(shè)置的光譜輻射計(jì)或不曝光在直接的輻照度下。
一般地說,光譜輻射計(jì)可以是,但不限于,有單色儀和光敏裝置或二極管陣列的任何合適裝置。最好是,光譜輻射計(jì)是線性電荷耦合器件,它可以按照國家標(biāo)準(zhǔn)和測試研究院(“NIST”)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行定標(biāo)。例如,與本發(fā)明結(jié)合使用的一種合適光譜輻射計(jì)可以是OptronicLaboratories of Orland,F(xiàn)lorida制作的型號OL 754-C。還可以利用實(shí)現(xiàn)本發(fā)明功能特征的其他合適光譜輻射計(jì)。
如上所述,光源22可以選自氙燈,熒光燈,金屬鹵化物燈,汞燈和鎢燈。專業(yè)人員知道,其他已知和以后發(fā)現(xiàn)的合適光源也可用于提供所需的結(jié)果。
圖3A,3B,3C,3D,3E和4表示按照本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例在客戶加速老化測試設(shè)備中定標(biāo)輻照度級控制的各個(gè)步驟流程圖。首先,必須定標(biāo)工廠加速老化測試設(shè)備。更具體地說,按照已知的標(biāo)準(zhǔn)必須定標(biāo)結(jié)合工廠加速老化測試設(shè)備使用的光譜輻射計(jì),為的是在本發(fā)明以后定標(biāo)過程的步驟中提供精確性和準(zhǔn)確性。利用標(biāo)準(zhǔn)輻照度源定標(biāo)光譜輻射計(jì)的已知標(biāo)準(zhǔn)測試方法是在美國測試和材料學(xué)會出版物G138中提出的,全文合并在此供參考。輻照度的標(biāo)準(zhǔn)光源或定標(biāo)光源可以是選自氙燈,熒光燈,金屬鹵化物燈,汞燈和鎢燈的燈。專業(yè)人員知道,其他已知的或以后發(fā)現(xiàn)的合適定標(biāo)光源可用于提供所需的結(jié)果。
簡要地說,圖3A所示的步驟涉及工廠加速老化測試設(shè)備的這個(gè)初始步驟。在步驟300,按照已知的標(biāo)準(zhǔn),在工廠加速老化測試設(shè)備中安裝NIST可追蹤光源。在步驟302,第一定標(biāo)裝置用于設(shè)定NIST可追蹤光源的固定功率級。例如,第一定標(biāo)裝置可以是瓦特計(jì)或其他合適的功率級控制裝置。最好是,第一定標(biāo)裝置和其他上述的定標(biāo)裝置配置成NIST可追蹤瓦特計(jì)。在步驟304,按照上述步驟運(yùn)行工廠加速老化測試設(shè)備,使連接到工廠加速老化測試設(shè)備的光譜輻射計(jì)測量NIST可追蹤光源的全SPD。因此,在步驟306,工廠加速老化測試設(shè)備定標(biāo)到NIST可追蹤光源。
圖3B是以下附加步驟的流程圖,它在客戶加速老化測試設(shè)備中定標(biāo)輻照度級控制。在步驟308,在工廠加速老化測試設(shè)備中安裝定標(biāo)光源。在步驟310,第一定標(biāo)裝置用于設(shè)定運(yùn)行工廠加速老化測試設(shè)備的固定功率級。在步驟312,在工廠加速老化測試設(shè)備的運(yùn)行期間,NIST可追蹤定標(biāo)的光譜輻射計(jì)收集定標(biāo)光源的第一全SPD。在步驟314,NIST可追蹤光譜輻射計(jì)從第一全SPD中產(chǎn)生第一組測量結(jié)果。在步驟316,第一組測量結(jié)果存儲為第一數(shù)據(jù)組。在第一組和/或其他各組測量結(jié)果,等間隔約為1nm,小于1nm或大于1nm。圖5是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例由NIST可追蹤光譜輻射計(jì)收集定標(biāo)光源第一全SPD部分的曲線圖。第一數(shù)據(jù)組用于客戶加速老化測試設(shè)備的定標(biāo)和運(yùn)行,如以下所描述的。專業(yè)人員可以知道,沿X軸的單位是以nm測量的波長,而沿Y軸的單位是以W/m2測量的輻照度。第一組測量中的每個(gè)測量結(jié)果表示為第一全SPD上多個(gè)等間隔離散波長中每個(gè)波長的第一輻照幅度。
最好是,第一數(shù)據(jù)組存儲在數(shù)據(jù)存儲裝置或存儲器中,它可以是,但不限于,單個(gè)存儲器,多個(gè)內(nèi)存位置,共享存儲器,CD,DVD,ROM,RAM,EPROM,光存儲器,宏代碼,或任何其他非易失性存儲器,它能夠存儲處理器使用的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)。更好的是,第一數(shù)據(jù)組存儲在便攜式數(shù)據(jù)存儲裝置或存儲器中,可以利用與客戶加速老化測試設(shè)備結(jié)合使用的定標(biāo)光源發(fā)射,轉(zhuǎn)發(fā)或分配。
圖3C是附加定標(biāo)步驟的流程圖,它在客戶加速老化測試設(shè)備中定標(biāo)輻照度級控制。在步驟318,在客戶加速老化測試設(shè)備中安裝定標(biāo)光源。在步驟320,第二定標(biāo)裝置用于設(shè)定運(yùn)行客戶加速老化測試設(shè)備的固定功率級。如以上所討論的,第二定標(biāo)裝置可以是任何這種合適的裝置,但最好是NIST可追蹤瓦特計(jì)。在步驟322,連接到客戶加速老化測試設(shè)備的光譜輻射計(jì)收集定標(biāo)光源的第二全SPD。在步驟324,從第二全SPD中產(chǎn)生第二組測量結(jié)果。在步驟326,第二組測量結(jié)果存儲為第二數(shù)據(jù)組。圖6是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例運(yùn)行在客戶加速老化測試設(shè)備中定標(biāo)光源第二全SPD的第二組測量結(jié)果曲線圖。專業(yè)人員可以知道,沿X軸的單位是像素(在這個(gè)實(shí)施例中是線性電荷耦合器件的像素),而沿Y軸的單位是計(jì)數(shù)(像素觀察到的計(jì)數(shù))。換句話說,在本發(fā)明的這個(gè)實(shí)施例中,線性電荷耦合器件用作光譜輻射計(jì),而每個(gè)傳感器單元或像素觀察計(jì)數(shù)的數(shù)目,它代表第二全SPD中某個(gè)波長的強(qiáng)度。最好是,第二數(shù)據(jù)組存儲在存儲器或此處定義和用作“存儲器”的數(shù)據(jù)源。
圖3D是附加定標(biāo)步驟的流程圖,它在客戶加速老化測試設(shè)備中定標(biāo)輻照度級控制。在步驟328,濾波第一數(shù)據(jù)組。圖7是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中圖5所示定標(biāo)光源的第一全SPD或?yàn)V波后第一數(shù)據(jù)組的曲線圖。在步驟330,濾波第二數(shù)據(jù)組。圖8是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中圖6所示定標(biāo)光源的第二全SPD或?yàn)V波后第二數(shù)據(jù)組的曲線圖。一般地說,每個(gè)濾波步驟利用算法以隔離和識別第一全SPD和第二全SPD的源峰值。最好是,濾波步驟利用以下算法以隔離和識別第一全SPD和第二全SPD的源峰值yi=xi-[1/16×Σj=0j=6(4-|j-3|)·x(i-(j-3))]]]>其中y=一個(gè)濾波數(shù)據(jù)組;x=另一個(gè)濾波數(shù)據(jù)組;i=下標(biāo)數(shù)字該算法一般是數(shù)學(xué)曲線平滑的指數(shù)公式。最好是,該算法從原始曲線中減去數(shù)學(xué)平滑曲線以隔離和識別第一全SPD和第二全SPD中每個(gè)全SPD的源峰值。
在步驟332,調(diào)整第一濾波數(shù)據(jù)組和第二濾波數(shù)據(jù)組。圖4是步驟332中討論的調(diào)整步驟流程圖。圖9A是第一濾波數(shù)據(jù)組和第二濾波數(shù)據(jù)組的初始調(diào)整步驟的曲線圖。專業(yè)人員可以知道,沿x軸的單位是每個(gè)像素的波長,而沿y軸的單位是源峰值。首先,在波長(第一數(shù)據(jù)組)與像素(第二數(shù)據(jù)組)之間存在差別或誤差。在步驟334,移位第二數(shù)據(jù)組預(yù)選的增量。在步驟336,第一數(shù)據(jù)組在導(dǎo)出誤差或偏移的增量中內(nèi)插波長偏移。在步驟338,確定移位第二數(shù)據(jù)組與內(nèi)插第一數(shù)據(jù)組之間的誤差。在步驟340,比較該誤差與預(yù)選閾值。在誤差大于預(yù)選閾值的情況下,按照以上的步驟重復(fù)調(diào)整第一濾波數(shù)據(jù)組和第二濾波數(shù)據(jù)組的步驟。最好是,預(yù)選閾值約在提供可接受準(zhǔn)確性的范圍內(nèi)。專業(yè)人員可以知道,閾值是與光源和光譜輻射計(jì)有關(guān)。在步驟342,若誤差小于預(yù)選閾值,則確定最佳的移位第二數(shù)據(jù)組和內(nèi)插第一數(shù)據(jù)組的表達(dá)式以及歸一化或調(diào)整各自的數(shù)據(jù)組。
圖9B是在誤差小于閾值和已確定最佳移位和內(nèi)插表達(dá)式之后調(diào)整第一濾波數(shù)據(jù)組和第二濾波數(shù)據(jù)組的隨后步驟曲線圖。同樣地,專業(yè)人員可以知道,沿x軸和沿y軸的單位與圖9A中的相同。
圖3E是附加定標(biāo)步驟的流程圖,它在客戶加速老化測試設(shè)備中定標(biāo)輻照度級控制。在步驟344,確定客戶加速老化測試設(shè)備的系統(tǒng)響應(yīng)因子,為的是定標(biāo)客戶加速老化測試設(shè)備的輻照度級控制。系統(tǒng)響應(yīng)因子是基于濾波的第一數(shù)據(jù)組和第二數(shù)據(jù)組以及最佳的移位和內(nèi)插表達(dá)式。因此,系統(tǒng)響應(yīng)因子代表輸出信號與輸入激勵(lì)的離散波長比率,如此處所描述的。確定系統(tǒng)響應(yīng)因子的步驟包括找到全SPD上每個(gè)波長的輸出與輸入的比率。
圖10是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例客戶加速老化測試設(shè)備的系統(tǒng)響應(yīng)因子曲線圖。專業(yè)人員可以知道,系統(tǒng)響應(yīng)因子表示為客戶加速老化測試設(shè)備的全SPD上多個(gè)離散波長中每個(gè)波長的信號輸出幅度。換句話說,如以下更詳細(xì)討論的,系統(tǒng)響應(yīng)因子用于調(diào)整特定客戶加速老化測試設(shè)備的輻照度級控制到NIST可追蹤電平。
圖11是客戶加速老化測試設(shè)備在定標(biāo)之后產(chǎn)生的全SPD曲線圖。專業(yè)人員可以知道,圖11中的全SPD曲線圖與圖5中的全SPD曲線圖基本相同,它指出客戶加速老化測試設(shè)備中的輻照度級控制現(xiàn)在已定標(biāo)到NIST可追蹤電平。因此,可以從客戶加速老化測試設(shè)備中得到準(zhǔn)確和可預(yù)測的結(jié)果。
在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,收集第一全SPD的步驟是利用與工廠加速老化測試設(shè)備結(jié)合使用的NIST可追蹤光譜輻射計(jì)實(shí)施的。這種光譜輻射計(jì)可以包括單色儀和光敏裝置,并可選自線性電荷耦合器件與二極管陣列的組合。
利用與客戶加速老化測試設(shè)備結(jié)合使用的光譜輻射計(jì)實(shí)施收集第二全SPD的步驟是在本發(fā)明內(nèi)容的范圍內(nèi)。最好是,這種光譜輻射計(jì)可以包括單色儀和光敏裝置,并可選自線性電荷耦合器件與二極管陣列的組合。
圖12是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例運(yùn)行定標(biāo)的客戶加速老化測試設(shè)備以使其中的測試樣本曝光到準(zhǔn)確的預(yù)選輻照度級的步驟流程圖。在步驟408,確定從光源中產(chǎn)生預(yù)選輻照度級的功率級。確定功率級的過程是基于先前的步驟400-406。即,在步驟400,輸入光源濾波器組合的類型。在步驟402和404,輸入光源控制波長的所需輻照度級設(shè)置點(diǎn),和在步驟406,從存儲器中檢索定標(biāo)光源的第一數(shù)據(jù)組。在步驟410,激活客戶加速老化測試設(shè)備,從而使測試樣本曝光在光源的輻照度下。
基于以上的步驟,在步驟418,觀察從光源測量的輻照度級。即,在步驟412,收集和調(diào)節(jié)光源的實(shí)際輻照度,在步驟414,產(chǎn)生第二數(shù)據(jù)組,和在步驟416,利用系統(tǒng)響應(yīng)因子調(diào)整第二數(shù)據(jù)組。
在步驟420,比較控制波長下的功率級與測量的輻照度級。在測量的輻照度級不對應(yīng)于輻照度級設(shè)置點(diǎn)的情況下,在步驟424,產(chǎn)生調(diào)整的光源功率控制信號,并使該過程重新回到步驟410。在測量的輻照度級對應(yīng)于輻照度級設(shè)置點(diǎn)和在步驟426中曝光所需的時(shí)間段沒有終止的情況下,則在步驟428中本發(fā)明這個(gè)實(shí)施例的過程暫停一段時(shí)間,并在暫停之后重設(shè)該過程到步驟410。在步驟426中曝光所需的時(shí)間段終止情況下,在步驟430,客戶加速老化測試設(shè)備中測試樣本的曝光結(jié)束。
控制波長可以是波長范圍或特定的波長范圍以及這個(gè)波長范圍可用于確定光度計(jì)輸出是在本發(fā)明內(nèi)容的范圍內(nèi)。例如,按照專業(yè)人員熟知的數(shù)學(xué)函數(shù),可以從導(dǎo)出的任何全SPD中確定LUX值。在本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中,這可以借助于人眼加權(quán)的原始數(shù)據(jù)給予描述,即,日光視覺響應(yīng)。
在本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中,第一數(shù)據(jù)組包含第一全SPD上的第一組測量結(jié)果,其中第一組測量中的每個(gè)測量結(jié)果表示成第一全SPD上多個(gè)離散等間隔波長中每個(gè)波長的第一輻照幅度。最好是,第一組測量是利用NIST可追蹤光譜輻射計(jì)實(shí)施的。
此外,在本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中,第二數(shù)據(jù)組包含第二全SPD上的第二組測量結(jié)果,其中第二組測量中的每個(gè)測量結(jié)果表示成每個(gè)傳感器單元計(jì)數(shù)的數(shù)目。第二組測量是利用NIST可追蹤光譜輻射計(jì)實(shí)施的,且這種光譜輻射計(jì)可以是線性電荷耦合器件或任何其他合適的裝置。
在不偏離所附權(quán)利要求書精神和范圍的條件下,專業(yè)人員可以作出各種改動(dòng)和變化。例如,該設(shè)備可以配置成利用具有上述優(yōu)點(diǎn)的其他合適光源,定標(biāo)光源和光譜輻射計(jì)運(yùn)行。
權(quán)利要求
1.一種在客戶加速老化測試設(shè)備中定標(biāo)輻照度級控制的方法,包括以下步驟在工廠加速老化測試設(shè)備中安裝定標(biāo)光源;在第一定標(biāo)裝置確定的固定功率級下運(yùn)行工廠加速老化測試設(shè)備;收集定標(biāo)光源的第一全譜功率分布(“SPD”);從第一全SPD中產(chǎn)生第一組測量結(jié)果;存儲第一組測量結(jié)果作為第一數(shù)據(jù)組;在客戶加速老化測試設(shè)備中安裝定標(biāo)光源;在第二定標(biāo)裝置確定的固定功率級下運(yùn)行客戶加速老化測試設(shè)備;收集定標(biāo)光源的第二全SPD;從第二全SPD中產(chǎn)生第二組測量結(jié)果;存儲第二組測量結(jié)果作為第二數(shù)據(jù)組;濾波第一數(shù)據(jù)組和第二數(shù)據(jù)組;調(diào)整第一濾波數(shù)據(jù)組和第二濾波數(shù)據(jù)組;和確定客戶加速老化測試設(shè)備的系統(tǒng)響應(yīng)因子,為的是定標(biāo)客戶加速老化測試設(shè)備的輻照度級控制。
2.按照權(quán)利要求1的方法,其中收集第一全SPD的步驟是利用國家標(biāo)準(zhǔn)和測試研究院(“NIST”)可追蹤光譜輻射計(jì)并結(jié)合工廠加速老化測試設(shè)備實(shí)施的。
3.按照權(quán)利要求2的方法,其中光譜輻射計(jì)包含單色儀和光敏裝置。
4.按照權(quán)利要求2的方法,其中光譜輻射計(jì)選自線性電荷耦合器件與二極管陣列的組合。
5.按照權(quán)利要求1的方法,其中收集第二全SPD的步驟是利用光譜輻射計(jì)并結(jié)合客戶加速老化測試設(shè)備實(shí)施的。
6.按照權(quán)利要求5的方法,其中光譜輻射計(jì)包含單色儀和光敏裝置。
7.按照權(quán)利要求5的方法,其中光譜輻射計(jì)選自線性電荷耦合器件與二極管陣列的組合。
8.按照權(quán)利要求1的方法,其中第一組測量中的每個(gè)測量結(jié)果表示成第一全SPD上多個(gè)等間隔離散波長中每個(gè)波長的第一輻照幅度。
9.按照權(quán)利要求1的方法,其中第二組測量中的每個(gè)測量結(jié)果表示成每個(gè)傳感器單元計(jì)數(shù)的數(shù)目。
10.按照權(quán)利要求1的方法,其中系統(tǒng)響應(yīng)因子表示成全SPD的多個(gè)離散波長中每個(gè)波長的信號輸出幅度。
11.按照權(quán)利要求1的方法,其中濾波步驟利用算法以隔離和識別第一和第二全SPD的源峰值。
12.按照權(quán)利要求1的方法,其中濾波步驟利用以下算法以隔離和識別第一和第二全SPD的源峰值yi=xi-[1/16×Σj=0j=6(4-|j-3|)·x(i-(j-3))]]]>其中y=一個(gè)濾波數(shù)據(jù)組;x=另一個(gè)濾波數(shù)據(jù)組;i=下標(biāo)數(shù)字
13.按照權(quán)利要求1的方法,其中算法執(zhí)行一系列平滑濾波數(shù)據(jù)組的步驟以隔離和識別第一和第二全SPD的源峰值。
14.按照權(quán)利要求1的方法,其中調(diào)整步驟還包括以下步驟移位第二數(shù)據(jù)組一個(gè)預(yù)選的增量;內(nèi)插第一數(shù)據(jù)組一個(gè)波長偏移;確定移位第二數(shù)據(jù)組與內(nèi)插第一數(shù)據(jù)組之間的誤差;比較誤差與預(yù)選的閾值;若誤差大于預(yù)選的閾值,則重復(fù)以上的步驟;若誤差小于預(yù)選的閾值,則確定最佳的移位第二數(shù)據(jù)組和內(nèi)插第一數(shù)據(jù)組的表達(dá)式。
15.按照權(quán)利要求1的方法,其中第一和第二定標(biāo)裝置各自是NIST可追蹤瓦特計(jì)。
16.按照權(quán)利要求1的方法,其中定標(biāo)光源是選自氙燈,熒光燈,金屬鹵化物燈和汞燈中的一種燈。
17.按照權(quán)利要求8的方法,其中的等間隔約為1nm。
18.按照權(quán)利要求8的方法,其中的等間隔小于1nm。
19.按照權(quán)利要求8的方法,其中的等間隔大于1nm。
20.一種在客戶加速老化測試設(shè)備中使測試樣本曝光到準(zhǔn)確預(yù)選輻照度級的方法,包括以下步驟基于光源濾波器組合的類型、定標(biāo)光源的第一數(shù)據(jù)組、和光源控制波長下所需的輻照度級設(shè)置點(diǎn),確定從光源中產(chǎn)生預(yù)選輻照度級的功率級;基于系統(tǒng)響應(yīng)因子調(diào)整的光源第二數(shù)據(jù)組,確定從光源測量的輻照度級;比較控制波長下的功率級與測量的輻照度級;產(chǎn)生光源功率控制信號;和在所需時(shí)間段內(nèi)以預(yù)選間隔重復(fù)以上步驟。
21.按照權(quán)利要求20的方法,其中光源是選自氙燈,熒光燈,金屬鹵化物燈和汞燈中的一種燈。
22.按照權(quán)利要求20的方法,其中定標(biāo)光源是選自氙燈,熒光燈,金屬鹵化物燈和汞燈。
23.按照權(quán)利要求20的方法,其中控制波長是可用于確定光度計(jì)輸出的波長范圍。
24.按照權(quán)利要求20的方法,其中控制波長是一個(gè)波長范圍。
25.按照權(quán)利要求20的方法,其中第一數(shù)據(jù)組包括來自第一全譜功率分布(“SPD”)的第一組測量結(jié)果,其中第一組測量中的每個(gè)測量結(jié)果表示成第一全SPD上多個(gè)等間隔離散波長中每個(gè)波長的第一輻照幅度。
26.按照權(quán)利要求25的方法,其中第一組測量是利用國家標(biāo)準(zhǔn)和測試研究院(“NIST”)可追蹤光譜輻射計(jì)實(shí)施的。
27.按照權(quán)利要求20的方法,其中第二數(shù)據(jù)組包括來自第二全SPD的第二組測量結(jié)果,其中第二組測量中的每個(gè)測量結(jié)果表示成每個(gè)傳感器單元計(jì)數(shù)的數(shù)目。
28.按照權(quán)利要求27的方法,其中第二組測量是利用NIST可追蹤光譜輻射計(jì)實(shí)施的。
29.按照權(quán)利要求28的方法,其中光譜輻射計(jì)是線性電荷耦合器件。
30.一種加速老化測試設(shè)備,包括測試室;測試樣本座,用于支承測試室中的測試樣本;測試室內(nèi)設(shè)置的光源,用于產(chǎn)生測試室中的輻照度;控制器,基于多個(gè)輸入,產(chǎn)生光源功率控制信號;響應(yīng)于光源功率控制信號的功率源,用于輸出功率到光源;和光譜輻射計(jì),用于收集光源的全譜功率分布(“SPD”),產(chǎn)生代表全SPD的數(shù)據(jù)組,和輸出該數(shù)據(jù)組到控制器作為多個(gè)輸入中的一個(gè)輸入。
31.按照權(quán)利要求30的設(shè)備,其中有接收光裝置的光譜輻射計(jì)設(shè)置在測試室內(nèi),用于直接接觸光源輻照度。
32.按照權(quán)利要求30的設(shè)備,其中光波導(dǎo)接收光裝置配置在測試室內(nèi),用于直接接觸光源輻照度并引導(dǎo)光源的光到遠(yuǎn)離測試室配置的光譜輻射計(jì)。
33.按照權(quán)利要求32的設(shè)備,其中接收光裝置設(shè)置在測試樣本座上。
34.按照權(quán)利要求32的設(shè)備,其中接收光裝置設(shè)置在測試樣本座支承的測試樣本限定的測試樣本面上。
35.按照權(quán)利要求30的設(shè)備,其中數(shù)據(jù)組包含來自全SPD的一組測量結(jié)果,其中該組測量中的每個(gè)測量結(jié)果表示成每個(gè)傳感器單元計(jì)數(shù)的數(shù)目。
36.按照權(quán)利要求30的設(shè)備,其中光源是選自氙燈,熒光燈,金屬鹵化物燈和汞燈中的一種燈。
37.按照權(quán)利要求30的設(shè)備,其中光譜輻射計(jì)是國家標(biāo)準(zhǔn)和測試研究院(“NIST”)可追蹤線性電荷耦合器件。
38.按照權(quán)利要求30的設(shè)備,其中基于光源濾波器組合的類型、定標(biāo)光源數(shù)據(jù)組和光源控制波長的所需輻照度級設(shè)置點(diǎn),控制器確定從光源產(chǎn)生預(yù)選輻照度級的功率級。
39.按照權(quán)利要求38的設(shè)備,其中基于系統(tǒng)響應(yīng)因子調(diào)整的光源數(shù)據(jù)組,控制器還確定從光源測量的輻照度級。
40.按照權(quán)利要求39的設(shè)備,其中控制器比較功率級與測量的輻照度級,產(chǎn)生光源功率控制信號和在所需時(shí)間段內(nèi)以預(yù)選間隔重復(fù)以上的步驟。
41.按照權(quán)利要求30的設(shè)備,其中控制器包括處理單元和存儲程序指令的存儲器,在由處理單元使用時(shí),它使控制器具有以下的功能基于光源濾波器組合的類型、定標(biāo)光源數(shù)據(jù)組和光源控制波長所需的輻照度級設(shè)置點(diǎn),確定從光源產(chǎn)生預(yù)選輻照度級的功率級;基于系統(tǒng)響應(yīng)因子調(diào)整的光源數(shù)據(jù)組,確定從光源測量的輻照度級;比較功率級與測量的輻照度級;產(chǎn)生光源功率控制信號;和在所需時(shí)間段內(nèi)以預(yù)選間隔重復(fù)以上的步驟。
全文摘要
一種加速老化測試設(shè)備以及定標(biāo)和運(yùn)行該設(shè)備的方法,包括用于監(jiān)測光源全譜功率分布的光譜輻射計(jì)。定標(biāo)包括在以固定功率級運(yùn)行的工廠測試設(shè)備中定標(biāo)光源并收集定標(biāo)光源的全譜功率分布以產(chǎn)生第一數(shù)據(jù)組。然后,在客戶測試設(shè)備中安裝定標(biāo)光源并以固定功率級運(yùn)行以收集全譜功率分布和產(chǎn)生第二數(shù)據(jù)組。濾波和調(diào)整第一數(shù)據(jù)組和第二數(shù)據(jù)組以確定客戶測試設(shè)備的系統(tǒng)響應(yīng)因子,從而可以定標(biāo)輻照度級控制。
文檔編號G01N17/00GK1651900SQ20051000781
公開日2005年8月10日 申請日期2005年2月2日 優(yōu)先權(quán)日2004年2月2日
發(fā)明者柯特·斯高特, 克里斯托弗·瓦斯, 阿納托利·伊瓦諾夫 申請人:阿特拉斯材料測試技術(shù)有限責(zé)任公司
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