專(zhuān)利名稱(chēng)：半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于物體變形后對(duì)其結(jié)構(gòu)微位移量精確測(cè)量的半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀。
背景技術(shù)：
目前用于對(duì)物體結(jié)構(gòu)變形后的檢測(cè)技術(shù)有以下幾種一種是激光全息干涉技術(shù)，先布置好全息光路，對(duì)被測(cè)物體受力前后兩次曝光，再對(duì)全息干版進(jìn)行顯定影處理，最后通過(guò)激光實(shí)現(xiàn)再現(xiàn)?？傊摷夹g(shù)必須經(jīng)過(guò)繁雜的顯定影濕處理，且還要經(jīng)過(guò)一個(gè)再現(xiàn)的過(guò)程，以上的工作必須嚴(yán)格在暗房中進(jìn)行。若要用此技術(shù)實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)檢測(cè)，必須使全息干版精確復(fù)位，方法更為復(fù)雜，因此該技術(shù)在實(shí)際推廣應(yīng)用中受到限制。
另一種電子散斑干涉器件，用參考物形成參考光，測(cè)量物體變形后的離面位移，但測(cè)得并非純離面位移W場(chǎng)的結(jié)果。
還有一種采用朗其光柵產(chǎn)生剪切，實(shí)現(xiàn)電子剪切散斑干涉，檢測(cè)物體變形后的離面位移，但朗其光柵制造相對(duì)困難。
目前國(guó)外也有多種電子散斑干涉儀，但只具有單獨(dú)測(cè)量離面位移W場(chǎng)功能或只有單一剪切散斑的檢測(cè)功能，國(guó)外的各類(lèi)電子散斑干涉儀結(jié)構(gòu)相對(duì)復(fù)雜，功能單一，并且測(cè)得的不是純離面位移W場(chǎng)，而是離面位移W場(chǎng)和面內(nèi)位移U場(chǎng)的混合場(chǎng)。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是解決現(xiàn)有的電子散斑干涉儀功能單一，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，測(cè)量誤差大的缺點(diǎn)，而提供一種具有測(cè)量離面位移，面內(nèi)位移，電子剪切散斑多項(xiàng)功能，測(cè)量精確，使用方便的半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉測(cè)量裝置。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀，由測(cè)量裝置及處理測(cè)量數(shù)據(jù)的計(jì)算機(jī)構(gòu)成，該計(jì)算機(jī)的輸入端通過(guò)數(shù)據(jù)總線與測(cè)量裝置的輸出端連接；其特點(diǎn)是，所述的測(cè)量裝置包括箱體、激光源、光路部件、成像部件、分光器件；所述的激光源設(shè)置在箱體內(nèi)前部；所述的光路部件由設(shè)在箱體內(nèi)的若干個(gè)反射鏡、一分光棱鏡以及設(shè)在箱體外的若干個(gè)擴(kuò)束鏡組件組成；其中第一反射鏡間隔設(shè)置在激光源的激光輸出端一側(cè)，該反射鏡中心與激光輸出端在同一光軸線上；一分光棱鏡與第二反射鏡前、后對(duì)應(yīng)間隔設(shè)置在第一反射鏡后部，該分光棱鏡與第二反射鏡的中心在同一光軸線上；第三反射鏡與第四反射鏡橫向?qū)?yīng)間隔設(shè)置在第二反射鏡右側(cè)，該第三反射鏡中心與第四反射鏡的中心在同一光軸線上；第五反射鏡對(duì)應(yīng)間隔設(shè)置在第四反射鏡后部，該第五反射鏡中心與第四反射鏡的中心在同一光軸線上；第七反射鏡對(duì)應(yīng)間隔設(shè)置在分光棱鏡的左側(cè)，該第七反射鏡中心與分光棱鏡的中心在同一光軸線上；第八反射鏡對(duì)應(yīng)間隔設(shè)置在第七反射鏡后部，該第八反射鏡中心與第七反射鏡的中心在同一光軸線上；所述的設(shè)在箱體外的若干個(gè)擴(kuò)束鏡組件，其中第一擴(kuò)束鏡組件由第一擴(kuò)束鏡與第六反射鏡構(gòu)成，第一擴(kuò)束鏡和第六反射鏡橫向?qū)?yīng)間隔設(shè)置在箱體外右側(cè)，并且第一擴(kuò)束鏡的圓心與設(shè)置在箱體內(nèi)的第五反射鏡的中心在同一條光軸線上；第二擴(kuò)束鏡組件由第二擴(kuò)束鏡與第九反射鏡構(gòu)成，第二擴(kuò)束鏡與第九反射鏡橫向?qū)?yīng)間隔設(shè)在箱體外左側(cè)，并且第二擴(kuò)束鏡的圓心與設(shè)置在箱體內(nèi)的第八反射鏡的中心在同一光軸線上；第三擴(kuò)束鏡組件由第三擴(kuò)束鏡與第十反射鏡構(gòu)成，第三擴(kuò)束鏡與第十反射鏡構(gòu)前、后對(duì)應(yīng)間隔設(shè)置在箱體后部外，并且第三擴(kuò)束鏡的圓心與設(shè)置在箱體內(nèi)的第三反射鏡的中心在同一條光軸線上；所述的成像部件由設(shè)置在箱體內(nèi)后部的攝像頭和設(shè)置在箱體外的成像鏡前、后對(duì)應(yīng)設(shè)置構(gòu)成；攝像頭的信號(hào)輸出端通過(guò)數(shù)據(jù)總線與計(jì)算機(jī)的輸入端連接；所述的分光器件設(shè)置在成像鏡的前端部。
上述的半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀，其中，所述的分光器件由半反射半透射的分光鏡及布置在該分光鏡一側(cè)的漫射器構(gòu)成。
上述的半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀，其中，所述的激光源由固體泵浦激光器構(gòu)成。
上述的半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀，其中，還包括一晶體剪切鏡，該晶體剪切鏡可與分光器件互換，設(shè)置在成像鏡前端部。
本實(shí)用新型由于采用了上述的技術(shù)方案，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下的優(yōu)點(diǎn)和積極效果1、本實(shí)用新型半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀，只需更換或改變個(gè)別元件的位置，就能方便地實(shí)現(xiàn)三種功能的轉(zhuǎn)換，通過(guò)激光源、光路部件，由CCD攝像頭獲取被測(cè)物體的第一幅圖像，對(duì)被測(cè)物體加載并獲取第二幅圖像，輸入計(jì)算機(jī)中的圖像卡，將兩幅圖像進(jìn)行相減處理，可以在屏幕上直接觀察到與物體變形相關(guān)的干涉條紋，即可測(cè)量計(jì)算離面位移，面內(nèi)位移，離面位移梯度；實(shí)用功能強(qiáng)。
2、本實(shí)用新型半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀由于實(shí)現(xiàn)了光路的垂直入射和接收，所測(cè)得的離面位移是純法向位移W場(chǎng)，面內(nèi)位移U場(chǎng)也是純U場(chǎng)位移，這對(duì)力學(xué)分析和強(qiáng)度分析十分重要。
3、本實(shí)用新型半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀中由于設(shè)有晶體剪切鏡，剪切散斑干涉效果好。
4、本實(shí)用新型半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀中的激光源由于采用固體泵浦激光器，使本儀器具有功率大，體積小，相干性好，可用于現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)。
5、本實(shí)用新型半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀，若在測(cè)量水平結(jié)構(gòu)的面內(nèi)位移U場(chǎng)的光路中將第六反射鏡換成帶有壓電陶瓷相移器的反射鏡；在測(cè)量離面位移W場(chǎng)的光路中將漫射器換成帶有壓電陶瓷相移器的反射鏡；離面位移和面內(nèi)位移均可實(shí)現(xiàn)相移，從而使本儀器具有高靈敏度。
6、本實(shí)用新型半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀，由于采用非接觸測(cè)量，可獲得被測(cè)物全場(chǎng)位移對(duì)被測(cè)物表面不需特殊處理，使用方便；可以用于結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)；可以為有限元計(jì)算提供可靠邊界條件；可以廣泛用于細(xì)觀殘余應(yīng)力、復(fù)合材料、結(jié)構(gòu)分析及非破壞性檢測(cè)；可以用于現(xiàn)場(chǎng)對(duì)物體變形后的檢測(cè)；可以研究沖擊、動(dòng)態(tài)和振動(dòng)問(wèn)題；可以用于力學(xué)分析和測(cè)量；并可以通過(guò)必要的后處理獲得設(shè)計(jì)者所需的信息，直接在監(jiān)控器上顯示干涉條紋圖像；還可用于教學(xué)中，幫助學(xué)生了解計(jì)算機(jī)在激光干涉中的作用。


通過(guò)以下對(duì)本實(shí)用新型的一實(shí)施例結(jié)合其附圖的描述，可以進(jìn)一步理解本實(shí)用新型的目的、具體結(jié)構(gòu)特征和優(yōu)點(diǎn)。其中，附圖為圖1是本實(shí)用新型半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀測(cè)試裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本實(shí)用新型半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀在測(cè)量面內(nèi)位移U場(chǎng)時(shí)的雙光束光路原理圖。
圖3是本實(shí)用新型半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀在測(cè)量離面位移W場(chǎng)時(shí)的光路原理圖。
圖4是本實(shí)用新型半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀在測(cè)量離面位移梯度時(shí)的光路原理圖。
具體實(shí)施方式
請(qǐng)參見(jiàn)圖1，半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀，由測(cè)量裝置1及處理數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)的計(jì)算機(jī)2構(gòu)成；測(cè)量裝置1由箱體11、激光源12、光路部件13、成像部件14、分光器件15、晶體剪切鏡16組成；激光源12設(shè)置在箱體內(nèi)前部；光路部件13由設(shè)在箱體內(nèi)的七個(gè)反射鏡131、133、134、135、136、139、1310、一分光棱鏡132以及設(shè)在箱體外的三個(gè)擴(kuò)束鏡組件組成；其中第一反射鏡131間隔設(shè)置在激光源12的激光輸出端一側(cè)，該反射鏡131中心與激光輸出端在同一光軸線上；一分光棱鏡132與第二反射鏡133前、后對(duì)應(yīng)間隔設(shè)置在第一反射鏡131后部，該分光棱鏡132中心與第二反射鏡133的中心在同一光軸線上；第三反射鏡134與第四反射鏡135橫向?qū)?yīng)間隔設(shè)置在第二反射鏡133右側(cè)，該第三反射鏡134的中心與第四反射鏡135的中心在同一光軸線上；第五反射鏡136對(duì)應(yīng)間隔設(shè)置在第四反射鏡135后部，該第五反射鏡136的中心與第四反射鏡135中心在同一光軸線上；第七反射鏡139對(duì)應(yīng)間隔設(shè)置在分光棱鏡132的左側(cè)，該第七反射鏡139的中心與分光棱鏡132的中心在同一光軸線上；第八反射鏡1310對(duì)應(yīng)間隔設(shè)置在第七反射鏡139后部，該第八反射鏡1310的中心與第七反射鏡139的中心在同一光軸線上；所述的設(shè)在箱體外的三個(gè)擴(kuò)束鏡組件，其中第一擴(kuò)束鏡組件由第一擴(kuò)束鏡137與第六反射鏡138構(gòu)成，第一擴(kuò)束鏡137和第六反射鏡138橫向?qū)?yīng)間隔設(shè)置在箱體外右側(cè)，并且第一擴(kuò)束鏡137的圓心與設(shè)置在箱體11內(nèi)的第五反射鏡136的中心在同一條光軸線上；第二擴(kuò)束鏡組件由第二擴(kuò)束鏡1311與第九反射鏡1312構(gòu)成，第二擴(kuò)束鏡1311與第九反射鏡1312橫向?qū)?yīng)間隔設(shè)在箱體11外左側(cè)，并且第二擴(kuò)束鏡1311的圓心與設(shè)置在箱體內(nèi)的第八反射鏡1310的中心在同一光軸線上；第三擴(kuò)束鏡組件由第三擴(kuò)束鏡1314與第十反射鏡1315構(gòu)成，第三擴(kuò)束鏡1314與第十反射鏡1315前、后對(duì)應(yīng)間隔設(shè)置在箱體11后部外，并且第三擴(kuò)束鏡1314的圓心與設(shè)置在箱體11內(nèi)的第三反射鏡134的中心在同一條光軸線上。
成像部件14由設(shè)置在箱體11內(nèi)后部的攝像頭141和設(shè)置在箱體11外的成像鏡142前、后對(duì)應(yīng)設(shè)置構(gòu)成；攝像頭141的信號(hào)輸出端通過(guò)數(shù)據(jù)總線與計(jì)算機(jī)2的輸入端連接。
分光器件15設(shè)置在成像鏡142的前端部。分光器件15由半反射半透射的分光鏡151及布置在分光鏡一側(cè)的漫射器152構(gòu)成；晶體剪切鏡16可與分光器件16互換使用，設(shè)置在成像鏡142前端部。
本實(shí)用新型半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀結(jié)合計(jì)算機(jī)技術(shù)、圖象處理技術(shù)、激光散斑及全息干涉技術(shù)有著廣泛的應(yīng)用前景，其基本原理是當(dāng)激光照射在被測(cè)物的表面，在表面前方的空間形成隨機(jī)分布的明暗點(diǎn)(散斑)，散斑隨物體表面的變形(或移動(dòng))而運(yùn)動(dòng)，計(jì)錄物體變形前后兩個(gè)錯(cuò)動(dòng)了的散斑圖，并比較變形前后散斑圖的變化，可以高精度地檢測(cè)物體表面各點(diǎn)位移。用CCD攝像頭首先取得加載前的第一幅圖像，然后對(duì)檢測(cè)物加載并取得第二幅圖像，輸入圖像卡AD轉(zhuǎn)化成數(shù)據(jù)(數(shù)值化)由計(jì)算機(jī)通過(guò)程序出理，使得兩幅圖像相減，最后可以直接在電腦屏幕上顯示與物體變形相關(guān)的干涉條紋。
本實(shí)用新型的測(cè)量裝置機(jī)箱內(nèi)的本體可以測(cè)量離面位移；開(kāi)通箱體外左右兩側(cè)邊分別設(shè)置的擴(kuò)束鏡和反射鏡，即可以測(cè)面內(nèi)位移；在成像鏡前卸下分光器件，裝上晶體剪切鏡則能測(cè)量離面位移梯度；本實(shí)用新型只需更換或改變個(gè)別元件的位置，就能方便地實(shí)現(xiàn)三種功能的轉(zhuǎn)換。
請(qǐng)參見(jiàn)圖2，本實(shí)用新型半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀測(cè)量水平結(jié)構(gòu)的面內(nèi)位移U場(chǎng)的工作原理激光源12發(fā)射激光，經(jīng)第一反射鏡131反射到分光棱鏡132，激光通過(guò)分光棱鏡時(shí)，分成反射和透射兩路光；其中一路光經(jīng)第七反射鏡139、第八反射鏡1310、通過(guò)第二擴(kuò)束鏡1311形成擴(kuò)束光，再經(jīng)第九反射鏡1312反射，照射在被測(cè)試件A的表面，形成散斑光，經(jīng)成像鏡142成像，被CCD攝像頭141接受，光信號(hào)通過(guò)數(shù)據(jù)線輸入計(jì)算機(jī)的圖像采集卡進(jìn)行處理，由計(jì)算機(jī)計(jì)算；其中另一路光經(jīng)第二反射鏡133、第四反射鏡135、第五反射鏡136、通過(guò)第一擴(kuò)束鏡137形成擴(kuò)束光，再經(jīng)第六反射鏡138反射，照射在被測(cè)試件A的表面，形成散斑光，經(jīng)成像鏡142成像，被CCD攝像頭141接受，光信號(hào)通過(guò)數(shù)據(jù)線輸入計(jì)算機(jī)的圖像采集卡進(jìn)行處理，由計(jì)算機(jī)計(jì)算；由于兩光束入射角相等，從而可測(cè)量水平結(jié)構(gòu)的面內(nèi)位移U場(chǎng)。本實(shí)用新型半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉測(cè)量裝置若在測(cè)量水平結(jié)構(gòu)的面內(nèi)位移U場(chǎng)的光路中將第六反射鏡換成帶有壓電陶瓷相移器，面內(nèi)位移可實(shí)現(xiàn)相移，從而使本裝置具有高靈敏度。
請(qǐng)參見(jiàn)圖3，本實(shí)用新型半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀測(cè)量離面位移W場(chǎng)的工作原理激光源12發(fā)射激光，經(jīng)第一反射鏡131、第二反射鏡133和第三反射鏡134反射，通過(guò)第三擴(kuò)束鏡1314形成擴(kuò)束光；再經(jīng)第十反射鏡1315反射，垂直入射在分光器件15的分光鏡151上，形成反射和透射兩路光，其中一路反射光經(jīng)分光鏡151反射，垂直照射在被測(cè)試件A的表面形成散斑光，反射后透過(guò)分光鏡151，經(jīng)成像鏡42成像，被CCD攝像頭141接受，光信號(hào)同樣通過(guò)數(shù)據(jù)線輸入計(jì)算機(jī)的圖像采集卡進(jìn)行處理；另一路透射光透過(guò)分光鏡151后，照射在漫射器152上，反射后再經(jīng)分光鏡151的反射，經(jīng)成像鏡142成像，被CCD攝像頭141接受，光信號(hào)通過(guò)數(shù)據(jù)線輸入計(jì)算機(jī)的圖像采集卡進(jìn)行處理，由計(jì)算機(jī)計(jì)算離面位移W場(chǎng)。本實(shí)用新型半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀若在測(cè)量離面位移W場(chǎng)的光路中將漫射器換成帶有壓電陶瓷相移器的反射鏡，離面位移可實(shí)現(xiàn)相移，從而使本裝置具有高靈敏度。
請(qǐng)參見(jiàn)圖4，本實(shí)用新型半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀測(cè)量離面位移梯度的工作原理，先取去分光器件15，晶體剪切鏡16設(shè)置在成像鏡142前端部；激光源12發(fā)射激光，經(jīng)第一反射鏡131、第二反射鏡133和第三反射鏡134反射，通過(guò)第三擴(kuò)束鏡1314形成擴(kuò)束光；照射在被測(cè)試件A的表面，形成散斑光，反射通過(guò)晶體剪切鏡16，經(jīng)成像鏡142成像，被CCD攝像頭141接受，光信號(hào)通過(guò)數(shù)據(jù)線輸入計(jì)算機(jī)的圖像采集卡進(jìn)行處理，由計(jì)算機(jī)計(jì)算離面位移梯度。
本實(shí)用新型半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀光路布置緊湊、合理，靈敏度高，可用于現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量，通過(guò)激光部件、CCD攝像頭將圖像數(shù)據(jù)輸入計(jì)算機(jī)，即可測(cè)量計(jì)算離面位移，面內(nèi)位移，離面位移梯度，使用功能強(qiáng)；在屏幕上顯示與變形相關(guān)的干涉條紋，直觀性強(qiáng)。本實(shí)用新型半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉測(cè)量裝置已應(yīng)用于壓力容器受氣壓后的變形測(cè)量，使用方便，測(cè)量精確。
權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀，由測(cè)量裝置及處理測(cè)量數(shù)據(jù)的計(jì)算機(jī)構(gòu)成，該計(jì)算機(jī)的輸入端通過(guò)數(shù)據(jù)總線與測(cè)量裝置的輸出端連接；其特征在于所述的測(cè)量裝置包括箱體、激光源、光路部件、成像部件、分光器件；所述的激光源設(shè)置在箱體內(nèi)前部；所述的光路部件由設(shè)在箱體內(nèi)的若干個(gè)反射鏡、一分光棱鏡以及設(shè)在箱體外的若干個(gè)擴(kuò)束鏡組件組成；其中第一反射鏡間隔設(shè)置在激光源的激光輸出端一側(cè)，該反射鏡中心與激光輸出端在同一光軸線上；一分光棱鏡與第二反射鏡前、后對(duì)應(yīng)間隔設(shè)置在第一反射鏡后部，該分光棱鏡與第二反射鏡的中心在同一光軸線上；第三反射鏡與第四反射鏡橫向?qū)?yīng)間隔設(shè)置在第二反射鏡右側(cè)，該第三反射鏡中心與第四反射鏡的中心在同一光軸線上；第五反射鏡對(duì)應(yīng)間隔設(shè)置在第四反射鏡后部，該第五反射鏡中心與第四反射鏡的中心在同一光軸線上；第七反射鏡對(duì)應(yīng)間隔設(shè)置在分光棱鏡的左側(cè)，該第七反射鏡中心與分光棱鏡的中心在同一光軸線上；第八反射鏡對(duì)應(yīng)間隔設(shè)置在第七反射鏡后部，該第八反射鏡中心與第七反射鏡的中心在同一光軸線上；所述的設(shè)在箱體外的若干個(gè)擴(kuò)束鏡組件，其中第一擴(kuò)束鏡組件由第一擴(kuò)束鏡與第六反射鏡構(gòu)成，第一擴(kuò)束鏡和第六反射鏡橫向?qū)?yīng)間隔設(shè)置在箱體外右側(cè)，并且第一擴(kuò)束鏡的圓心與設(shè)置在箱體內(nèi)的第五反射鏡的中心在同一條光軸線上；第二擴(kuò)束鏡組件由第二擴(kuò)束鏡與第九反射鏡構(gòu)成，第二擴(kuò)束鏡與第九反射鏡橫向?qū)?yīng)間隔設(shè)在箱體外左側(cè)，并且第二擴(kuò)束鏡的圓心與設(shè)置在箱體內(nèi)的第八反射鏡的中心在同一光軸線上；第三擴(kuò)束鏡組件由第三擴(kuò)束鏡與第十反射鏡構(gòu)成，第三擴(kuò)束鏡與第十反射鏡構(gòu)前、后對(duì)應(yīng)間隔設(shè)置在箱體后部外，并且第三擴(kuò)束鏡的圓心與設(shè)置在箱體內(nèi)的第三反射鏡的中心在同一條光軸線上；所述的成像部件由設(shè)置在箱體內(nèi)后部的攝像頭和設(shè)置在箱體外的成像鏡前、后對(duì)應(yīng)設(shè)置構(gòu)成；攝像頭的信號(hào)輸出端通過(guò)數(shù)據(jù)總線與計(jì)算機(jī)的輸入端連接；所述的分光器件設(shè)置在成像鏡的前端部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀，其特征在于所述的分光器件由半反射半透射的分光鏡及布置在該分光鏡一側(cè)的漫射器構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀，其特征在于所述的激光源由固體泵浦激光器構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀，其特征在于還包括一晶體剪切鏡，該晶體剪切鏡可與分光器件互換，設(shè)置在成像鏡前端部。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體泵浦全固體激光多功能電子散斑干涉儀，包括測(cè)量裝置及處理測(cè)量數(shù)據(jù)的計(jì)算機(jī)構(gòu)成，其特點(diǎn)是，測(cè)量裝置包括箱體、激光源、光路部件、成像部件、分光器件；激光源設(shè)置在箱體內(nèi)前部；光路部件由若干個(gè)反射鏡、一分光棱鏡以及若干個(gè)擴(kuò)束鏡組件組成；成像部件由設(shè)置在箱體后部?jī)?nèi)的攝像頭和設(shè)置在箱體后部外的成像鏡前、后對(duì)應(yīng)設(shè)置構(gòu)成；攝像頭的信號(hào)輸出端通過(guò)數(shù)據(jù)總線與計(jì)算機(jī)的輸入端連接；分光器件設(shè)置在成像鏡前端部。更換或改變光路部件中個(gè)別元件的位置，由攝像頭獲取被測(cè)件的圖像，輸入計(jì)算機(jī)中程序處理，可測(cè)得物體變形后的高精度離面位移、面內(nèi)位移、離面位移梯度；在屏幕上顯示干涉條紋，使用方便，功能強(qiáng)。
文檔編號(hào)G01B9/02GK2622669SQ03230508
公開(kāi)日2004年6月30日 申請(qǐng)日期2003年4月21日 優(yōu)先權(quán)日2003年4月21日
發(fā)明者張熹, 吳君毅, 夏遠(yuǎn)富, 陸鵬, 李利平 申請(qǐng)人:中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一一研究所