專利名稱：光電集成加速度地震檢波器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光電集成加速度地震檢波器，屬于加速度及地震波檢測裝置。
本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是在金屬殼體內(nèi)設(shè)置光電集成加速度地震檢波器芯片和激光器，其特征在于芯片是由硅基底，其上覆蓋二氧化硅緩沖層及集成于硅基底上的光波導(dǎo)偏振器、M-Z波導(dǎo)干涉儀、聲光指狀換能器、光電探測器、光電探測器、溫度補(bǔ)償和解調(diào)及信號處理電路組成。在硅基底上蝕刻出十字梁支撐的硅質(zhì)量塊構(gòu)成簡諧振子。M-Z波導(dǎo)干涉儀的輸入端與激光器相連，輸出端與光電探測器相連，信號臂通過十字硅梁的其中一梁，參考臂與平板波導(dǎo)，聲光指狀換能器相連。
本發(fā)明的有益結(jié)果是，由于光電集成化，從而該檢波器可實(shí)現(xiàn)微型化，低成本批量生產(chǎn)，及寬頻帶、高靈敏度、保真度好、抗電磁干擾的檢測。
圖2是

圖1的A-A部分剖面中1.半導(dǎo)體激光器，2.偏振器，3.硅支撐體，4.硅質(zhì)量塊，5.硅橫梁，6.條波導(dǎo)1(作為M-Z干涉儀的信號臂)，7.光電探測器，8.信號處理大規(guī)模集成電路，9.聲光指狀換能器，10.平板波導(dǎo)，11.條波導(dǎo)2(作為M-Z干涉儀的參考臂)，12.M-Z干涉儀，13.SiO2緩沖層當(dāng)施加一加速度a時(shí)，質(zhì)量塊4產(chǎn)生振動，引起硅梁5的變形，進(jìn)而使波導(dǎo)變形并且產(chǎn)生折射率變化，從而使信號臂6中的光相位變化。
權(quán)利要求
1.一種光電集成加速度地震檢波器，在金屬殼體內(nèi)設(shè)置光電集成加速度地震檢波器芯片和激光器，其特征在于芯片是由硅基底，其上覆蓋二氧化硅緩沖層及集成于硅基底上的光波導(dǎo)偏振器、M-Z波導(dǎo)干涉儀、聲光指狀換能器、光電探測器、光電探測器、溫度補(bǔ)償和解調(diào)及信號處理電路組成，在硅基底上蝕刻出十字梁支撐的硅質(zhì)量塊構(gòu)成簡諧振子。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種光電集成加速度地震檢波器，屬于加速度及地震波檢測裝置。在金屬殼體內(nèi)設(shè)置光電集成加速度地震檢波器芯片和激光器，其特征在于芯片是由硅基底，其上覆蓋二氧化硅緩沖層及集成于硅基底上的光波導(dǎo)偏振器、M－Z波導(dǎo)干涉儀、聲光指狀換能器、光電探測器、光電探測器、溫度補(bǔ)償和解調(diào)及信號處理電路組成，在硅基底上蝕刻出十字梁支撐的硅質(zhì)量塊構(gòu)成簡諧振子。其特征在于M－Z波導(dǎo)干涉儀的輸入端與激光器相連，輸出端與光電探測器相連，信號臂通過十字硅梁的其中一梁，參考臂與平板波導(dǎo)，聲光指狀換能器相連。本發(fā)明的有益結(jié)果是可實(shí)現(xiàn)微型化，低成本批量生產(chǎn)，及寬頻帶、高靈敏度、保真度好、抗電磁干擾的檢測。
文檔編號G01V1/20GK1425926SQ0310043
公開日2003年6月25日 申請日期2003年1月14日 優(yōu)先權(quán)日2003年1月14日
發(fā)明者陳才和 申請人:天津大學(xué)