專(zhuān)利名稱(chēng)：一種光學(xué)諧振腔的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光學(xué)諧振腔。具體說(shuō)是關(guān)于諧振式光學(xué)陀螺中的光學(xué)諧振腔。
背景技術(shù)：
在諧振式光學(xué)陀螺中，光學(xué)諧振腔是決定陀螺精度和靈敏度的核心器件，在本實(shí)用新型作出前，光學(xué)諧振腔大多采用圓形光纖環(huán)形諧振腔和波導(dǎo)環(huán)形諧振腔，由于波導(dǎo)和光纖都有這樣的一個(gè)特點(diǎn)，直波導(dǎo)或直光纖的損耗非常小，當(dāng)彎曲的曲率半徑越小，光波的損耗就越大，這樣，就限制了器件尺寸不能做的太小，也就影響了器件采用集成光學(xué)的方法集成到芯片上，無(wú)法滿(mǎn)足實(shí)際需求對(duì)器件微型化的要求。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種光波損耗小、利于微型化的光學(xué)諧振腔。
本實(shí)用新型的光學(xué)諧振腔包括由集成有反射鏡的波導(dǎo)圍成的閉合折角多邊形波導(dǎo)環(huán)形腔和彎成的具有端口的直角拐彎波導(dǎo)，所說(shuō)的反射鏡設(shè)在波導(dǎo)折角處，直角拐彎波導(dǎo)在波導(dǎo)環(huán)形腔的一側(cè)或在波導(dǎo)環(huán)形腔的相對(duì)兩側(cè)，直角拐彎波導(dǎo)中有一根波導(dǎo)與波導(dǎo)環(huán)形腔中某一根波導(dǎo)平行、相耦合。
工作時(shí)，光沿著直角拐彎波導(dǎo)輸入和輸出，通過(guò)相耦合的波導(dǎo)，光耦合進(jìn)入折角多邊形波導(dǎo)環(huán)形腔，波導(dǎo)中的光通過(guò)反射鏡在拐角處實(shí)現(xiàn)方向的改變，當(dāng)符合諧振條件的特定波長(zhǎng)(頻率)的光在環(huán)形腔發(fā)生諧振時(shí)，沿直角拐彎波導(dǎo)有最小或最大的光強(qiáng)輸出。此諧振頻率有固定的間隔(周期)，于是能得到一條諧振峰或谷周期出現(xiàn)的諧振曲線(xiàn)。
本實(shí)用新型的光學(xué)諧振腔因使用反射鏡，故能完全采用直波導(dǎo)構(gòu)成呈折角多邊形的環(huán)形諧振腔，且反射鏡與波導(dǎo)是集成的整體，與已有技術(shù)相比，諧振腔的尺寸不受曲率半徑限制，利于將尺寸做小，不僅可減小損耗，也易于將光學(xué)諧振腔集成到芯片上，實(shí)現(xiàn)微型化。


圖1是本實(shí)用新型的一種具體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型的另一種具體結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型的又一種具體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
參照?qǐng)D1、圖2、圖3，本實(shí)用新型的光學(xué)諧振腔包括由集成有反射鏡1的波導(dǎo)2圍成的閉合折角多邊形波導(dǎo)環(huán)形腔3和彎成的具有端口的直角拐彎波導(dǎo)4，反射鏡設(shè)在波導(dǎo)折角處，閉合折角多邊形可以是任意形狀，如圖1為三角形，圖2為五邊形，圖3為矩形。圖1、圖2所示實(shí)例，直角拐彎波導(dǎo)4位于波導(dǎo)環(huán)形腔3的一側(cè)，直角拐彎波導(dǎo)4中的一根波導(dǎo)A與波導(dǎo)環(huán)形腔3中的一根波導(dǎo)B平行，相耦合，端口處的二根波導(dǎo)中的一根為輸入波導(dǎo)，另一根為輸出波導(dǎo)。如波導(dǎo)a為輸入波導(dǎo)，波導(dǎo)b為輸出波導(dǎo)。在特定頻率下發(fā)生諧振時(shí)，在波導(dǎo)b有最小的光強(qiáng)輸出，此諧振頻率有固定的間隔，于是得到一條諧振谷周期出現(xiàn)的諧振曲線(xiàn)。
圖3所示實(shí)例，在矩形波導(dǎo)環(huán)形腔3的相對(duì)兩側(cè)，分別設(shè)有直角拐彎波導(dǎo)4，兩直角拐彎波導(dǎo)中的波導(dǎo)A各與波導(dǎo)環(huán)形腔中的波導(dǎo)B平行，相耦合。其中一個(gè)直角拐彎波導(dǎo)為輸入波導(dǎo)，另一個(gè)直角拐彎波導(dǎo)為輸出波導(dǎo)。如當(dāng)一個(gè)直角拐彎波導(dǎo)中的波導(dǎo)a為輸入波導(dǎo)時(shí)，則另一個(gè)直角拐彎波導(dǎo)中的波導(dǎo)b為輸出波導(dǎo)，在特定頻率下發(fā)生諧振時(shí)，在波導(dǎo)b有最大的光強(qiáng)輸出，此諧振頻率有固定的間隔，于是得到一條諧振峰周期出現(xiàn)的諧振曲線(xiàn)。
權(quán)利要求1.一種光學(xué)諧振腔，其特征是它包括由集成有反射鏡[1]的波導(dǎo)[2]圍成的閉合折角多邊形波導(dǎo)環(huán)形腔[3]和彎成的具有端口的直角拐彎波導(dǎo)[4]，所說(shuō)的反射鏡[1]設(shè)在波導(dǎo)折角處，直角拐彎波導(dǎo)[4]在波導(dǎo)環(huán)形腔[3]的一側(cè)或在波導(dǎo)環(huán)形腔[3]的相對(duì)兩側(cè)，直角拐彎波導(dǎo)[4]中有一根波導(dǎo)[A]與波導(dǎo)環(huán)形腔中某一根波導(dǎo)[B]平行、相耦合。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型的一種光學(xué)諧振腔包括由集成有反射鏡的波導(dǎo)圍成的閉合折角多邊形波導(dǎo)環(huán)形腔和彎成的具有端口的直角拐彎波導(dǎo)，所說(shuō)的反射鏡設(shè)在波導(dǎo)折角處，直角拐彎波導(dǎo)在波導(dǎo)環(huán)形腔的一側(cè)或在波導(dǎo)環(huán)形腔的相對(duì)兩側(cè)，直角拐彎波導(dǎo)中有一根波導(dǎo)與波導(dǎo)環(huán)形腔中某一根波導(dǎo)平行、相耦合。該光學(xué)諧振腔因使用反射鏡，故能完全采用直波導(dǎo)構(gòu)成呈折角多邊形的環(huán)形諧振腔，且反射鏡與波導(dǎo)是集成的整體，與已有技術(shù)相比，諧振腔的尺寸不受曲率半徑限制，利于將尺寸做小，不僅可減小損耗，也易于將光學(xué)諧振腔集成到芯片上，實(shí)現(xiàn)微型化。
文檔編號(hào)G01C19/58GK2529196SQ0221616
公開(kāi)日2003年1月1日 申請(qǐng)日期2002年3月13日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月13日
發(fā)明者金仲和, 郭偉, 唐衍哲, 王躍林 申請(qǐng)人:浙江大學(xué)