專利名稱：識(shí)別半導(dǎo)體器件測(cè)試處理機(jī)中器件傳送系統(tǒng)的工作位置的裝置和方法
本申請(qǐng)要求申請(qǐng)日為2001年12月17日、申請(qǐng)?zhí)枮镻2001-80155的韓國(guó)申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)，其內(nèi)容結(jié)合于此供參考。
處理機(jī)是用來(lái)測(cè)試半導(dǎo)體器件的一種裝置。該處理機(jī)使用半導(dǎo)體器件傳送系統(tǒng)自動(dòng)把裝在一盤上的半導(dǎo)體器件傳送到另一作業(yè)線、把半導(dǎo)體器件裝載到一測(cè)試地點(diǎn)的測(cè)試插座上進(jìn)行所需測(cè)試，然后把已測(cè)試半導(dǎo)體器件分類成各種級(jí)別卸載該盤上的半導(dǎo)體器件。該處理機(jī)反復(fù)執(zhí)行上述步驟進(jìn)行測(cè)試。


圖1示出一普通半導(dǎo)體器件測(cè)試處理機(jī)的布置。
如圖1所示，一處理機(jī)本體1的前部有一裝載裝置2和一卸載裝置3，裝載裝置2上堆有其上有待測(cè)試半導(dǎo)體器件的盤，卸載裝置3包括多個(gè)盤用來(lái)接受按照測(cè)試結(jié)果分成正品和次品的已測(cè)試半導(dǎo)體器件。此外，裝載裝置2的后方裝有一均熱板7。該均熱板7內(nèi)部有一加熱裝置(圖中未示出)和一冷卻裝置(圖中未示出)把待測(cè)試半導(dǎo)體器件加熱或冷卻到預(yù)定溫度以進(jìn)行溫度測(cè)試。
此外，卸載裝置3后方裝有一拒斥多堆垛器(rejectmulti-stacker)5，其上裝有多個(gè)接受按測(cè)試結(jié)果被歸為次品的半導(dǎo)體器件的盤。
在一位于處理機(jī)本體1最后部的測(cè)試地點(diǎn)10中，裝有一與一外部測(cè)試裝置電連接的測(cè)試插座11測(cè)試各半導(dǎo)體器件的性能。測(cè)試插座11上方裝有分度頭12a和12b作水平運(yùn)動(dòng)，把傳送到測(cè)試插座11兩邊待機(jī)位置上的半導(dǎo)體器件拾取、裝載到測(cè)試插座11上以及把測(cè)試插座11上的已測(cè)試半導(dǎo)體器件拾取、重新傳送到兩邊待機(jī)位置上。
在測(cè)試地點(diǎn)10的前方裝有來(lái)回運(yùn)動(dòng)的第一和第二傳送裝置8a和8b。第一和第二傳送裝置8a和8b把裝載裝置2或均熱板7上的半導(dǎo)體器件傳送到測(cè)試地點(diǎn)10的測(cè)試插座11的兩邊待機(jī)位置上。第一和第二傳送裝置8a和8b的一側(cè)上分別裝有來(lái)回運(yùn)動(dòng)的第三和第四傳送裝置9a和9b。第三和第四傳送裝置9a和9b把已測(cè)試半導(dǎo)體器件從測(cè)試地點(diǎn)10傳送到測(cè)試地點(diǎn)10外部。
處理機(jī)本體1的前端和測(cè)試地點(diǎn)10的最前邊分別裝有橫跨處理機(jī)本體1的固定架13。一對(duì)活動(dòng)架14a和14b可沿固定架13左右運(yùn)動(dòng)地裝在固定架13上。此外，活動(dòng)架14a和14b上分別裝有器件傳送裝置15可沿活動(dòng)架14a和14b來(lái)回運(yùn)動(dòng)、拾取半導(dǎo)體器件。每一器件傳送裝置15包括多個(gè)拾取器(圖中未示出)同時(shí)傳送多個(gè)半導(dǎo)體器件。
此外，一處理機(jī)對(duì)半導(dǎo)體器件如QFP、BGA、SOP等進(jìn)行測(cè)試。在一種半導(dǎo)體器件測(cè)試完后，測(cè)試另一種半導(dǎo)體器件。此時(shí)，按照所測(cè)試半導(dǎo)體器件的種類更換包括該盤、均熱板7、傳送裝置8a、8b、9a、和9b以及測(cè)試插座11等的成套部件。
此時(shí)，由于按照待測(cè)試半導(dǎo)體器件的種類更換的成套部件的供半導(dǎo)體器件著陸的著陸裝置的間距和大小不同，因此需重新設(shè)定器件傳送裝置15的工作位置。即，隨著成套部件的更換，器件傳送裝置15拾取半導(dǎo)體器件的位置改變。因此需重新設(shè)定器件傳送裝置15的位移和器件傳送裝置15的拾取器(圖1中未示出)之間的間距、拾取器的提升高度等。
但是，工人使用測(cè)量規(guī)尺逐個(gè)檢查用上述方式更換的成套部件后把測(cè)量結(jié)果輸入處理機(jī)的一控制裝置(圖中未示出)中進(jìn)行編程，從而設(shè)定工作位置，此時(shí)，輸入時(shí)發(fā)生錯(cuò)誤的可能性高，工作位置的設(shè)定花費(fèi)時(shí)間長(zhǎng)。因此，生產(chǎn)率降低，測(cè)試工作的總效率下降。當(dāng)要更換的成套部件的數(shù)量和種類增加時(shí)這些問(wèn)題尤為嚴(yán)重。
本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種識(shí)別半導(dǎo)體器件測(cè)試處理機(jī)中器件傳送系統(tǒng)的工作位置的裝置和方法，它能隨著待測(cè)試半導(dǎo)體器件的種類的改變識(shí)別所更換的包括盤在內(nèi)的成套部件、從而重新設(shè)定半導(dǎo)體器件傳送系統(tǒng)的工作位置。
本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)、目的和特征一部分見(jiàn)以下說(shuō)明，一部分對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)通過(guò)以下說(shuō)明或在本發(fā)明的實(shí)施過(guò)程中可顯然看出。從書(shū)面說(shuō)明特別指出的結(jié)構(gòu)及其權(quán)利要求以及附圖中可清楚看出本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點(diǎn)。
為實(shí)現(xiàn)上述目的和其他優(yōu)點(diǎn)并按照本申請(qǐng)書(shū)實(shí)施和寬廣說(shuō)明的本發(fā)明的目的，識(shí)別該處理機(jī)中一傳送半導(dǎo)體器件的器件傳送系統(tǒng)的工作位置的裝置包括一可作水平運(yùn)動(dòng)、把一激光光束向下射到其上裝有一個(gè)或多個(gè)盤和成套部件的一底板上、生成相應(yīng)輸出信號(hào)的激光傳感器；一在接收到激光傳感器的輸出信號(hào)時(shí)確定盤和成套部件與底板的相對(duì)位置的控制裝置；及一向所確定位置移動(dòng)、傳送盤和成套部件上的半導(dǎo)體器件的傳送裝置，其中，該激光傳感器固定在該傳送裝置的一邊上。
按照本發(fā)明另一個(gè)方面，一種使用上述裝置識(shí)別一傳送裝置的工作位置的方法包括如下步驟第一步，把一待測(cè)試半導(dǎo)體器件的種類和盤和成套部件的基本信息輸入該控制裝置中；第二步，把該傳送裝置和激光傳感器移動(dòng)到該盤一頂點(diǎn)旁一位置后在水平和垂直方向X和Y上移動(dòng)傳送裝置進(jìn)行激光傳感器的掃描；第三步，激光傳感器在垂直Y方向上掃描時(shí)得出該盤一轉(zhuǎn)角處一點(diǎn)的第一位置值P1y，激光傳感器在水平X方向上掃描時(shí)得出該盤一轉(zhuǎn)角處一點(diǎn)的第二位置值P2x；第四步，把傳送裝置和激光傳感器移動(dòng)到該盤對(duì)角線方向上另一頂點(diǎn)旁的位置后激光傳感器在水平和垂直X和Y方向上掃描；第五步，當(dāng)激光傳感器在第四步中在垂直Y方向上掃描時(shí)得出該盤一轉(zhuǎn)角處一點(diǎn)的第三位置值P3y和當(dāng)激光傳感器在第四步中在水平X方向上掃描時(shí)得出該盤一轉(zhuǎn)角處一點(diǎn)的第四位置值P4x；第六步，控制裝置使用第一至第四位置值和該盤的基本信息計(jì)算傳送裝置在該盤第一行列(1，1)和最后行列(n2，n1)上的半導(dǎo)體器件的中心的坐標(biāo)和水平和垂直間距的坐標(biāo)；第七步，把傳送裝置移動(dòng)到成套部件之一進(jìn)行第二至第五步得出成套部件的各位置值；以及第八步，控制裝置使用由第七步得出的位置值和成套部件的基本信息計(jì)算成套部件在對(duì)應(yīng)成套部件的第一行列(1，1)和最后行列(n2，n1)上的半導(dǎo)體器件的中心的坐標(biāo)和水平和垂直間距的坐標(biāo)。
應(yīng)該指出，對(duì)本發(fā)明的以上簡(jiǎn)述和以下詳細(xì)說(shuō)明都是例示性的，本發(fā)明的進(jìn)一步解釋見(jiàn)權(quán)利要求書(shū)。
具體實(shí)施例方式
下面詳細(xì)說(shuō)明附圖所示本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。各附圖中相同部件盡量用同一標(biāo)號(hào)表示。
為便于理解，應(yīng)用本發(fā)明的識(shí)別一傳送裝置的工作位置的方法的處理機(jī)的結(jié)構(gòu)與圖1中現(xiàn)有處理機(jī)相同。
圖2示出根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的識(shí)別處理機(jī)中器件傳送系統(tǒng)的工作位置的裝置的結(jié)構(gòu)和工作情況。
參見(jiàn)圖2，一向下發(fā)射一激光光束17a、檢測(cè)一受檢測(cè)物體的顏色變化后向一控制裝置(未示出)傳送輸出信號(hào)的激光傳感器17固定裝在一器件傳送裝置15的一邊上。該激光傳感器17隨著該拾取裝置的移動(dòng)掃描處理機(jī)本體。如激光光束17a與顏色與處理機(jī)本體底板不同的成套部件如一盤200、均熱板7和傳送裝置8a、8b、9a、和9b接觸，輸出波形改變，使得激光傳感器17檢測(cè)一物體。
圖3～7說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的識(shí)別器件傳送系統(tǒng)的工作位置的方法。圖3示出用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的識(shí)別處理機(jī)中一傳送裝置的一盤的工作位置的方法的一盤的布置，圖4為圖3中識(shí)別盤的工作位置的方法的流程圖，圖5示出用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的識(shí)別處理機(jī)中一傳送裝置的一成套部件的工作位置的方法的一成套部件的布置，圖6為圖5中識(shí)別成套部件的工作位置的方法的流程圖，以及圖7為用來(lái)說(shuō)明一傳送裝置的一拾取器與一工作位置識(shí)別裝置之間的偏位值的傳送裝置的布置。
首先，在進(jìn)行盤和成套部件的工作位置的識(shí)別操作前，把待測(cè)試半導(dǎo)體器件的種類和盤和成套部件的各種基本信息輸入一控制裝置(圖中未示出)中。輸入控制裝置(圖中未示出)中的盤200和成套部件7、8a、8b、9a、和9b的信息主要由制造商在制作盤和成套部件時(shí)提供。這些信息包括盤200和成套部件7、8a、8b、9a、和9b的大小、原點(diǎn)O與原點(diǎn)旁一半導(dǎo)體器件100的中心之間的水平距離(M1，X1)、原點(diǎn)O與原點(diǎn)旁一半導(dǎo)體器件100的中心之間的垂直距離(M2，Y1)、半導(dǎo)體器件100之間的水平間距(Txp，Xp)、半導(dǎo)體器件100之間的垂直間距(Typ，Yp)、半導(dǎo)體器件100的個(gè)數(shù)、以及一傳送裝置的基準(zhǔn)拾取器15a與激光傳感器的光束發(fā)射點(diǎn)之間的偏位補(bǔ)償值(ΔX，ΔY)(見(jiàn)圖7)。
在基本信息輸入處理機(jī)的控制裝置中后，如圖3和4所示，把器件傳送裝置15移動(dòng)到盤200的用作原點(diǎn)的一頂點(diǎn)旁一點(diǎn)P1。該器件傳送裝置15然后在垂直負(fù)方向-Y上移動(dòng)，用激光傳感器17掃描。
如掃描時(shí)激光傳感器17的激光光束與盤200的一轉(zhuǎn)角接觸，激光傳感器17把檢測(cè)盤200的一信號(hào)傳送給控制裝置。控制裝置然后存儲(chǔ)第一位置值P1y作為拾取裝置在該點(diǎn)上的坐標(biāo)。
然后，器件傳送裝置15移動(dòng)到一點(diǎn)P2后，在水平正方向+X上移動(dòng)器件傳送裝置15，激光傳感器17進(jìn)行掃描，得出盤200一轉(zhuǎn)角的第二位置值P2x。
器件傳送裝置15移動(dòng)到盤200對(duì)角線頂點(diǎn)旁的一點(diǎn)P3后，在垂直正方向+Y上移動(dòng)器件傳送裝置15，激光傳感器17進(jìn)行掃描，得出盤200一轉(zhuǎn)角的第三位置值P3y。
器件傳送裝置15移動(dòng)到一點(diǎn)P4后，在水平負(fù)方向-X上移動(dòng)器件傳送裝置15，激光傳感器17進(jìn)行掃描，得出盤200一轉(zhuǎn)角的第四位置值P4x。
可使用上述第一到第四位置值P1y、P2x、P3y、和P4x和先前輸入控制裝置的信息如盤的大小、裝在該盤上的半導(dǎo)體器件100的個(gè)數(shù)、半導(dǎo)體器件100之間的水平和垂直間距Txp和Typ、原點(diǎn)(O)與相鄰半導(dǎo)體器件中心之間的距離(M，M1)計(jì)算該器件傳送裝置15的坐標(biāo)和盤200在第一行列(1，1)和最后行列(N2，N1)上半導(dǎo)體器件中心點(diǎn)的水平和垂直間距的坐標(biāo)。
例如，第一行列(1，1)上的半導(dǎo)體器件的中心的坐標(biāo)可用方程(1，1)＝{(P2x+M)，(P1y-M1)}求出。
此外，水平間距為(P4x-P2x-2M)/(N1-1)，垂直間距為(P1y-P3y-2M1)/(N2-1)。
同時(shí)，即使在拾取裝置中拾取半導(dǎo)體器件的裝置實(shí)際上為拾取器15a，把激光傳感器17的激光光束用作基準(zhǔn)即可得出各坐標(biāo)。因此，為了使器件傳送裝置15實(shí)際中正確拾取半導(dǎo)體器件，這些坐標(biāo)要補(bǔ)償器件傳送裝置15的基準(zhǔn)拾取器15a與激光光束發(fā)射點(diǎn)之間的距離差。
即，如圖7所示，在重新設(shè)定最后坐標(biāo)的坐標(biāo)設(shè)定上計(jì)算基準(zhǔn)拾取器15a與激光傳感器17的激光光束發(fā)射點(diǎn)之間的偏位補(bǔ)償值(ΔX，ΔY)。
盤200工作位置的識(shí)別操作一旦完成，器件傳送裝置15移動(dòng)到成套部件如均熱板(見(jiàn)圖1)和傳送裝置8a和8b轉(zhuǎn)而以與上述相同方式進(jìn)行工作位置的識(shí)別操作。
參見(jiàn)圖5和6，當(dāng)器件傳送裝置15移動(dòng)到傳送裝置8a或8b一側(cè)頂點(diǎn)旁一點(diǎn)P5后，器件傳送裝置15在水平正方向+X上移動(dòng)，激光傳感器17進(jìn)行掃描，得出傳送裝置8a或8b一轉(zhuǎn)角的第五位置值P5x。器件傳送裝置15移動(dòng)到一點(diǎn)P6后，器件傳送裝置15在垂直正方向+Y上掃描，得出傳送裝置8a或8b一轉(zhuǎn)角的第六位置值P6y。
器件傳送裝置15移動(dòng)到傳送裝置8a或8b的對(duì)角線頂點(diǎn)旁的一點(diǎn)P7后，器件傳送裝置15在水平負(fù)方向-X上掃描，得出第七位置值P7x。
器件傳送裝置15移動(dòng)到傳送裝置8a或8b的對(duì)角線頂點(diǎn)旁的一點(diǎn)P8后，器件傳送裝置15在垂直負(fù)方向-Y上掃描，得出第八位置值P8y。
可使用上述第五到第八位置值P5x、P6y、P7x、和P8y及先前輸入控制裝置的信息如傳送裝置8a或8b的大小、裝在傳送裝置8a或8b上的半導(dǎo)體器件100的個(gè)數(shù)、半導(dǎo)體器件100之間的水平和垂直間距Txp和Typ、原點(diǎn)(O)與相鄰半導(dǎo)體器件100中心之間的距離(M，M1)計(jì)算該器件傳送裝置15的坐標(biāo)和在傳送裝置8a或8b第一行列(1，1)和最后行列(n，m)上半導(dǎo)體器件中心點(diǎn)的水平和垂直間距的坐標(biāo)。
此時(shí)，第一行列(1，1)上的半導(dǎo)體器件100的中心的坐標(biāo)可用方程(1，1)＝{(P5x+X1)，(P6y+Y1)}求出。
得出該坐標(biāo)后，考慮到圖7所示偏位補(bǔ)償值(ΔX，ΔY)，最后計(jì)算第一行列(1，1)和最后行列(n，m)上半導(dǎo)體器件中心的坐標(biāo)而重新設(shè)定。
同時(shí)，成套部件的工作位置的識(shí)別操作完成后，或最好是，在進(jìn)行成套部件工作位置的識(shí)別操作前，器件傳送裝置15對(duì)裝在傳送裝置8a或8b一邊上的傳送裝置ID標(biāo)記80進(jìn)行掃描以檢查所更換的成套部件是否與待測(cè)試半導(dǎo)體器件的種類相配。
第一傳送裝置8a或8b上的傳送裝置ID標(biāo)記80包括多個(gè)間距預(yù)定的孔81。受激光傳感器17識(shí)別的各孔各有一二進(jìn)制碼，從而表示成套部件和半導(dǎo)體器件的種類。
即，當(dāng)激光傳感器17對(duì)傳送裝置ID標(biāo)記80的孔81掃描時(shí)，分別把有孔81的部分和無(wú)孔81的部分識(shí)別成‘0’和‘1’后傳送給控制裝置?？刂蒲b置然后根據(jù)由激光傳感器17傳送的二進(jìn)制碼識(shí)別成套部件識(shí)別裝置80。
例如，表1示出該成套部件識(shí)別裝置的結(jié)構(gòu)，表2例示出測(cè)試14×20TQFP型半導(dǎo)體器件的傳送裝置8a或8b的識(shí)別裝置的結(jié)構(gòu)和根據(jù)表1輸入控制裝置的傳送裝置信息。如表1和表2所示，識(shí)別裝置80的孔81表示的二進(jìn)制碼的頭兩位數(shù)字表示成套部件的種類，而隨后八位數(shù)字表示待測(cè)試半導(dǎo)體器件的種類。
表1

表2

同時(shí)，在上述各實(shí)施例中，為再次識(shí)別坐標(biāo)，求得盤和成套部件的對(duì)角線方向上兩點(diǎn)的位置值。但是，在求得盤或成套部件的位置值時(shí)，操作員可隨機(jī)選擇4個(gè)頂點(diǎn)中的一部分頂點(diǎn)。
例如，盤和成套部件在制作過(guò)程中可能有測(cè)量誤差。此外，裝在處理機(jī)本體中時(shí)，盤和成套部件會(huì)因受驅(qū)動(dòng)裝置干擾稍稍傾斜而位置不準(zhǔn)。為更精確進(jìn)行識(shí)別操作和減小發(fā)生誤差的可能性，最好求出所有4個(gè)頂點(diǎn)的位置值以再次識(shí)別這些坐標(biāo)。當(dāng)然此時(shí)工作位置識(shí)別工作須化更多時(shí)間。
因此，本發(fā)明用簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)就可自動(dòng)、快速設(shè)定用于所更換盤和成套部件的傳送裝置的工作位置，因此能提高工作效率和測(cè)試生產(chǎn)率。
顯然，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不背離本發(fā)明的精神和范圍的前提下，可以對(duì)本發(fā)明作出各種更改和變化。因此，本發(fā)明的各種更改、變化由所附的權(quán)利要求書(shū)及其等同物的內(nèi)容涵蓋。
權(quán)利要求
1.一種識(shí)別處理機(jī)中一傳送半導(dǎo)體器件的器件傳送系統(tǒng)的工作位置的裝置，其特征在于，所述裝置包括一可作水平運(yùn)動(dòng)、把一激光光束向下射到其上裝有一個(gè)或多個(gè)盤和成套部件的一底板上、生成相應(yīng)輸出信號(hào)的激光傳感器；一在接收到所述激光傳感器的所述輸出信號(hào)時(shí)確定所述盤和成套部件與所述底板的相對(duì)位置的控制裝置；以及一向所確定位置移動(dòng)、傳送所述盤和成套部件上的半導(dǎo)體器件的傳送裝置，其中，所述激光傳感器固定在所述傳送裝置的一邊上。
2.一種使用根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置識(shí)別一半導(dǎo)體器件測(cè)試處理機(jī)中所述器件傳送系統(tǒng)的工作位置的方法，其特征在于，所述方法包括如下步驟第一步，把一待測(cè)試半導(dǎo)體器件的種類和盤和成套部件的基本信息輸入所述控制裝置中；第二步，把所述傳送裝置和所述激光傳感器移動(dòng)到所述盤一頂點(diǎn)旁一位置后在水平和垂直方向X和Y上移動(dòng)所述傳送裝置，激光傳感器進(jìn)行掃描；第三步，所述激光傳感器在垂直方向Y上掃描時(shí)得出所述盤一轉(zhuǎn)角處一點(diǎn)的第一位置值P1y；所述激光傳感器在水平方向X上掃描時(shí)得出所述盤一轉(zhuǎn)角處一點(diǎn)的第二位置值P2x；第四步，把所述傳送裝置和所述激光傳感器移動(dòng)到所述盤對(duì)角線方向上另一頂點(diǎn)旁另一位置后所述激光傳感器在水平和垂直方向X和Y上掃描；第五步，當(dāng)所述激光傳感器在所述第四步中在垂直方向Y上掃描時(shí)得出所述盤一轉(zhuǎn)角處一點(diǎn)的第三位置值P3y和當(dāng)所述激光傳感器在所述第四步中在水平方向X上掃描時(shí)得出所述盤一轉(zhuǎn)角處一點(diǎn)的第四位置值P4x；第六步，所述控制裝置使用所述第一至第四位置值和所述盤的所述基本信息計(jì)算所述傳送裝置在所述盤第一行列(1，1)和最后行列(n2，n1)上的半導(dǎo)體器件的中心的坐標(biāo)和水平和垂直間距的坐標(biāo)；第七步，把所述傳送裝置移動(dòng)到所述成套部件之一進(jìn)行所述第二到第五步得出所述成套部件的各位置值；以及第八步，所述控制裝置使用由所述第七步得出的位置值和所述成套部件的所述基本信息計(jì)算所述各成套部件在對(duì)應(yīng)成套部件的第一行列(1，1)和最后行列(n2，n1)上的半導(dǎo)體器件的中心的坐標(biāo)和水平和垂直間距的坐標(biāo)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述器件傳送裝置得出所述盤和所述成套部件的全部頂點(diǎn)旁的轉(zhuǎn)角的位置值，所述控制裝置使用由所述傳送裝置和所述成套部件的所述基本信息求出的位置值得出所述成套部件的頂點(diǎn)上半導(dǎo)體器件中心的位置值。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述盤和成套部件的所述基本信息包括所述盤和成套部件的大小、原點(diǎn)O與第一半導(dǎo)體器件中心之間的水平和垂直距離(M，X1)和(M1，Y1)、半導(dǎo)體器件之間的水平和垂直間距(Txp，Xp)和(Typ，Yp)、半導(dǎo)體器件的個(gè)數(shù)、以及所述傳送裝置的基準(zhǔn)拾取器與所述激光傳感器的光束發(fā)射點(diǎn)之間的偏位補(bǔ)償值(ΔX，ΔY)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，算出所述成套部件的所述位置值之前或之后，所述傳送裝置對(duì)所述成套部件一邊上頂面掃描，檢測(cè)形成在所述成套部件頂面上的成套部件識(shí)別裝置，檢查成套部件的種類是否與用于待測(cè)試半導(dǎo)體器件的所述成套部件相符。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述成套部件識(shí)別裝置包括間隔預(yù)定、把所述成套部件和對(duì)應(yīng)半導(dǎo)體器件的種類表為二進(jìn)制表達(dá)式的多個(gè)孔，所述激光傳感器檢測(cè)到所述識(shí)別裝置的所述孔時(shí)識(shí)別為‘0’或‘1’，未檢測(cè)到所述識(shí)別裝置的所述孔時(shí)識(shí)別為‘1’或‘0’，然后把所識(shí)別的二進(jìn)制表達(dá)式傳送給所述控制裝置，所述控制裝置然后根據(jù)所述激光傳感器傳送的二進(jìn)制碼識(shí)別所述成套部件識(shí)別裝置。
全文摘要
一種識(shí)別半導(dǎo)體器件測(cè)試處理機(jī)中一器件傳送系統(tǒng)的工作位置的裝置和方法，當(dāng)在處理機(jī)中測(cè)試各種半導(dǎo)體器件時(shí)能快速、精確地識(shí)別、重新設(shè)定用于所更換盤和成套部件的傳送裝置的工作位置。一檢測(cè)一物體的顏色變化的激光傳感器裝在一傳送裝置上，在水平和垂直方向上對(duì)所更換的盤和成套部件的各轉(zhuǎn)角進(jìn)行掃描，獲得盤和成套部件的轉(zhuǎn)角的位置信息。本發(fā)明使用先前輸入處理機(jī)的控制裝置中的基本信息和所獲得的信息精確計(jì)算傳送裝置的工作位置以便重新設(shè)定。
文檔編號(hào)G01R1/073GK1430256SQ02158799
公開(kāi)日2003年7月16日 申請(qǐng)日期2002年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2001年12月17日
發(fā)明者黃炫周, 金承煥 申請(qǐng)人:未來(lái)產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社