專利名稱：軌跡測(cè)定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及關(guān)于軌跡(trace)測(cè)定裝置中的探針的形狀。
背景技術(shù)：
在液晶顯示裝置等的電路的檢查中，利用軌跡測(cè)定裝置的滑動(dòng)接觸進(jìn)行檢查。
軌跡測(cè)定裝置具有與測(cè)定對(duì)象物接觸的探針，一邊使此探針與對(duì)象物接觸，在預(yù)定的方向上移動(dòng)探針，以進(jìn)行檢查。在電路的檢查的場(chǎng)合，一般是在橫跨電路的方向上滑動(dòng)探針。探針與測(cè)定對(duì)象物接觸的頂端為直徑數(shù)微米的球。
然而，在現(xiàn)有的裝置的場(chǎng)合中，因?yàn)樘结橅敹藶榍?，與測(cè)定對(duì)象物的接觸為點(diǎn)接觸，因此對(duì)于對(duì)象物的荷重變大，而產(chǎn)生使測(cè)定對(duì)象物傷害等的問題。特別是在彩色液晶的基板的場(chǎng)合，其表面膜柔軟，此問題較為嚴(yán)重。

發(fā)明內(nèi)容
為此，目前的現(xiàn)狀中，為了減輕探針對(duì)測(cè)定物的接觸荷重、且維持真正的接觸，對(duì)探針保持機(jī)構(gòu)的改進(jìn)，但并沒有針對(duì)探針本身作任何的改善。
本發(fā)明的目的是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)中的存在的問題。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，在本發(fā)明的軌跡測(cè)定裝置中，探針與測(cè)定對(duì)象物接觸，且相對(duì)于測(cè)定對(duì)象物相對(duì)移動(dòng)，在測(cè)定對(duì)象物上滑動(dòng)接觸以進(jìn)行測(cè)定，特征在于上述探針在與測(cè)定對(duì)象物的軌跡方向的大致正交的方向上線性接觸。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可使探針與測(cè)定對(duì)象物的接觸面積變大，因此使對(duì)象物上的荷重大幅減輕，可回避因探針而傷害對(duì)象物的危險(xiǎn)。又，因?yàn)樵谂c軌跡方向正交的方向上的接觸面積擴(kuò)大，而在軌跡方向上的接觸面積不擴(kuò)大，復(fù)數(shù)的探針可與以前相同的間距在軌跡方向上排列多個(gè)探針，可維持在與以前相同的短間距測(cè)定，而達(dá)到不縮短探針壽命的效果。
上述線接觸可為直線形的線接觸，也可為曲線形的線接觸。
為了得到直線形的線接觸，探針的剖面形狀做成方形狀，在該方形的一邊，可與對(duì)象物構(gòu)成線接觸。而且，為了得到曲線形的線接觸，探針的剖面形狀做成具有圓弧的邊的方式的結(jié)構(gòu)，在該圓弧的邊，可與對(duì)象物構(gòu)成線接觸。


圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施例的概略圖；圖2是表示本發(fā)明的另一實(shí)施例的概略圖；圖3是表示本發(fā)明的一實(shí)施例的動(dòng)作的說明圖；圖4是表示本發(fā)明的一實(shí)施例的動(dòng)作的說明圖；圖5是表示本發(fā)明的一實(shí)施例的動(dòng)作的說明圖；圖6是表示的一例子的說明圖；以及圖7是表示本發(fā)明的測(cè)定裝置的探針支持機(jī)構(gòu)的一例子的側(cè)面圖。
具體實(shí)施例方式
以下根據(jù)

本發(fā)明的實(shí)施例。
最初表示軌跡測(cè)定裝置的探針支持機(jī)構(gòu)的一例。圖7為本案申請(qǐng)人所提案的日本特開平8-220136號(hào)申請(qǐng)，在此支持機(jī)構(gòu)中，探針1由保持部50所保持，保持部50受支軸51支持，由壓力調(diào)整用彈簧52來調(diào)整對(duì)于測(cè)定對(duì)象物的接觸壓。
又，支持機(jī)構(gòu)并不限定于圖7。
圖1表示本發(fā)明的探針1的一個(gè)實(shí)施例，探針1的整體做成方棒狀，其頂端的端面10為長(zhǎng)方形，其一邊作為直線形接觸邊11。直線形接觸邊11的方形部形成R，較佳為圓形。由此直線形接觸邊11進(jìn)行直線形的線接觸。
圖2表示另一實(shí)施例，該探針2的整體為圓柱縱向切割的形狀，其頂端的端面12具有圓弧邊。其圓弧邊作為圓弧形接觸邊13使用。由此圓弧狀接觸邊13得到圓弧狀的線接觸。
上述探針1、2系，例如，如第7圖所示的保持部50所保持，如第3圖所示，在軌跡方向M以45°的程度傾斜，與電路圖型40接觸，在軌跡方向M上移動(dòng)，進(jìn)行電路圖型40的測(cè)定。
探針1、2通常利用兩個(gè)，分別在軌跡方向M上與鄰接的電路圖型40、40接觸，由此結(jié)構(gòu)，可檢測(cè)出電路圖型40、40的短路。
如圖4所示，因?yàn)樘结?、2與電路圖型40線接觸，接觸荷重大幅減少至1/25的程度，減少損傷電路圖型40的危險(xiǎn)。
而且，在軌跡方向M上，接觸面積未擴(kuò)大，如圖5和圖6所示，頂端可檢查的間距可被維持在與以往的球狀探針60相同的間距，即使有摩耗，也與以往相同。
如以上說明的那樣，根據(jù)本發(fā)明的軌跡測(cè)定裝置，可使探針與測(cè)定對(duì)象物的接觸面積變大，而使對(duì)象物上的荷重大幅減輕，可回避因探針而傷害對(duì)象物的危險(xiǎn)。又，因?yàn)樵谂c軌跡方向正交的方向上的接觸面積擴(kuò)大，而在軌跡方向上的接觸面積不擴(kuò)大，可維持短測(cè)定間距，且達(dá)到不縮短探針壽命的效果。
權(quán)利要求
1.一種軌跡測(cè)定裝置，其探針與測(cè)定對(duì)象物接觸，且相對(duì)于測(cè)定對(duì)象物相對(duì)移動(dòng)，在測(cè)定對(duì)象物上滑動(dòng)接觸以進(jìn)行測(cè)定，其中，上述探針是與測(cè)定對(duì)象物和軌跡方向大致正交的方向上線接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的軌跡測(cè)定裝置，其特征在于，上述線接觸為直線形的線接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的軌跡測(cè)定裝置，其特征在于，上述線接觸為曲線形的線接觸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的軌跡測(cè)定裝置，其特征在于，上述探針的剖面為方形狀，在該方形的一邊，與對(duì)象物線接觸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的軌跡測(cè)定裝置，其特征在于，上述探針的剖面形狀具有圓弧的邊，在該圓弧的邊上與對(duì)象物線接觸。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種軌跡測(cè)定裝置的探針，其可減輕接觸荷重。探針(1)以方形狀構(gòu)成，其頂端的端面(10)以長(zhǎng)方形構(gòu)成，其一邊作成直線形接觸邊(11)，且在其兩端形成(R)。該直線形接觸邊(11)以與軌跡方向大致正交，與測(cè)定對(duì)象物接觸，以擴(kuò)大接觸面積，且能減輕接觸荷重。同時(shí)可避免增大軌跡方向的接觸面積，不使測(cè)定間距增大，且不使摩耗增大。
文檔編號(hào)G01R31/02GK1441254SQ0215868
公開日2003年9月10日 申請(qǐng)日期2002年12月18日 優(yōu)先權(quán)日2002年2月28日
發(fā)明者古見忠 申請(qǐng)人:株式會(huì)社阿迪泰克工程