專利名稱：電壓測(cè)量方法,電測(cè)試方法和裝置,半導(dǎo)體器件制造方法和器件襯底制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電壓測(cè)量方法，用于讀出通過操作半導(dǎo)體器件所擁有的各個(gè)象素而施加到一個(gè)象素電極上的電壓值，還涉及用這種電壓測(cè)量方法測(cè)試一個(gè)象素區(qū)工作是否正常的方法。本發(fā)明特別涉及一種非接觸式電壓測(cè)量方法和電測(cè)試方法，以及采用該方法的一種非接觸式電測(cè)試裝置。本發(fā)明還涉及半導(dǎo)體器件的制造方法，它包括采用該測(cè)試方法的測(cè)試程序，還涉及用這種半導(dǎo)體器件制造方法制造的一種半導(dǎo)體器件。本發(fā)明還涉及一種器件襯底的制造方法，它包括采用該測(cè)試方法的測(cè)試程序。
本發(fā)明同時(shí)還涉及在一種OLED面板中測(cè)量電壓的方法，該面板具有密封在襯底和一個(gè)蓋部件之間的有機(jī)發(fā)光器件(OLED)，在形成OLED之前操作象素，可用來讀出施加在象素電極上的電壓值，還涉及用所述電壓測(cè)量方法來測(cè)試該象素區(qū)工作是否正常的方法。本發(fā)明特別涉及一種非接觸式電測(cè)試方法和采用該方法的一種非接觸式電測(cè)試裝置。
在說明書中將安裝有IC等等并包括一個(gè)控制器的OLED面板稱為一個(gè)OLED模塊。同時(shí)將OLED面板和OLED模塊合起來稱作一個(gè)發(fā)光器件。
現(xiàn)有技術(shù)近年來，在一個(gè)襯底上形成TFT的技術(shù)已經(jīng)有了長足的進(jìn)步。發(fā)展已然進(jìn)展到了可應(yīng)用于有源矩陣電子顯示器。特別是采用多晶硅薄膜的TFT比采用非晶硅薄膜的TFT具有更高的場(chǎng)效應(yīng)遷移性(也叫做遷移性)，因而能夠高速操作。因此，通常是由設(shè)在襯底以外的驅(qū)動(dòng)電路來執(zhí)行的對(duì)象素的控制可以由和象素形成在同一個(gè)襯底上的一個(gè)控制電路來完成。
這種有源矩陣電子顯示器具有許多優(yōu)點(diǎn)和價(jià)值，這其中包括將各種電路和元件制作在同一個(gè)襯底上，以便降低制造成本，縮小電子顯示器尺寸，提高產(chǎn)量和節(jié)省生產(chǎn)能力。
在電子顯示器當(dāng)中，對(duì)具有OLED發(fā)光元件的有源矩陣發(fā)光器件的研究已經(jīng)有了積極的進(jìn)展。
自然發(fā)光的OLED具有高清晰度，由于不需要液晶顯示器(LCD)中所需的背景光而理想地縮小了厚度，并且視角不受限制。因此，采用OLED的發(fā)光器件作為替代CRT和LCD的顯示器件引起了人們的關(guān)注。
OLED具有一個(gè)含有機(jī)化合物(有機(jī)發(fā)光材料)的層(以下稱其為有機(jī)發(fā)光層)，施加一個(gè)電池就能獲得電致發(fā)光，一個(gè)陽極層，和一個(gè)陰極層。在說明書中，設(shè)在一個(gè)OLED的陽極和陰極之間的每一層都被定義為一個(gè)有機(jī)發(fā)光層。有機(jī)發(fā)光層具體包括一個(gè)發(fā)光層，一個(gè)空穴注入層，一個(gè)電子注入層，一個(gè)空穴輸送層，和一個(gè)電子輸送層。有機(jī)化合物的電致發(fā)光包括從單級(jí)激勵(lì)狀態(tài)恢復(fù)到接地狀態(tài)時(shí)的發(fā)光(熒光)和從三級(jí)激勵(lì)狀態(tài)恢復(fù)到接地狀態(tài)時(shí)的發(fā)光(磷光)。
有機(jī)發(fā)光層會(huì)由于熱，光，潮濕和氧氣等等加速劣化。按照制造工藝，在制造有源矩陣發(fā)光器件時(shí)往往都是在一個(gè)象素區(qū)內(nèi)以比較高的處理溫度形成互連和TFT之后才形成OLED。
在形成OLED之后，按照OLED不會(huì)暴露于外部空氣的方式將具有OLED(OLED面板)和一個(gè)蓋部件的襯底粘結(jié)到一起，然后可以用一個(gè)密封件密封(封裝)。
在通過封裝等工藝加強(qiáng)與外界隔絕的密封性之后，連接上一個(gè)連接器(FPC，TAB等等)，連接在由形成在襯底上的元件或電路伸出的端子和一個(gè)外部信號(hào)端子之間。這樣就制成了一個(gè)有源矩陣發(fā)光器件。
在這種有源矩陣發(fā)光器件中，從OLED的一對(duì)電極施加到有機(jī)發(fā)光層上的電壓是由設(shè)置在各象素上的TFT來控制的。因此，如果在一點(diǎn)上出現(xiàn)某種問題(故障點(diǎn))，該象素區(qū)擁有的TFT就不會(huì)起到開關(guān)元件的作用來切斷或者短路相互的連接，預(yù)定的電壓不能施加到該OLED所擁有的有機(jī)發(fā)光層上。在這種情況下，象素就不能按照所需的色調(diào)等級(jí)來顯示。
在這種有源矩陣發(fā)光器件之前已投入批量生產(chǎn)的有源矩陣液晶顯示器中，互連和TFT是在完成一個(gè)液晶顯示器之前在一個(gè)象素區(qū)內(nèi)形成的，將液晶填充在具有一個(gè)象素區(qū)的面板(液晶面板)和具有一個(gè)逆反電極的襯底之間。然后在各象素所擁有的電容上儲(chǔ)存電荷。通過逐個(gè)象素地測(cè)量電荷量來執(zhí)行測(cè)試，以確定該象素區(qū)內(nèi)有無缺陷。
然而，在許多情況下，這種發(fā)光器件的每一個(gè)象素上具有兩個(gè)以上TFT。有時(shí)候OLED的一個(gè)電極(象素電極)和電容是通過TFT連接到一起的。在這種情況下，即使是測(cè)量?jī)?chǔ)存在電容上的電荷量也難以測(cè)試電容和象素電極之間的互連以及所有TFT有沒有缺陷。
同時(shí)，如果在OLED面板連接到連接器之前對(duì)電氣操作進(jìn)行測(cè)試，就需要在OLED面板的端子或互連點(diǎn)上使用一種精密插頭(探針)，以便使電流流動(dòng)或施加電壓。然而，在互連點(diǎn)或端子上直接使用探針可能會(huì)在互連點(diǎn)或端子上造成裂紋而產(chǎn)生細(xì)微的灰塵。測(cè)試步驟中造成的灰塵會(huì)不利地造成后續(xù)加工的產(chǎn)量降低。
由完成的發(fā)光器件制造的實(shí)際顯示器有可能確定有沒有缺陷。然而，即使是對(duì)于尚未實(shí)際形成產(chǎn)品的OLED面板，為了區(qū)別于普通產(chǎn)品，還需要通過形成OLED，封裝，并且接上連接器來完成一個(gè)發(fā)光器件。在OLED面板有缺陷的情況下，不可能節(jié)省時(shí)間和成本，因?yàn)樵贠LED形成步驟，封裝步驟和連接器連接步驟中已經(jīng)造成了浪費(fèi)。同時(shí)，如果采用一種可多次分割的襯底形成OLED面板，封裝和連接連接器的步驟就是一種浪費(fèi)，同樣不可能節(jié)省時(shí)間和成本。
針對(duì)上述問題，本發(fā)明的任務(wù)是提供一種電測(cè)試方法(以下僅稱為測(cè)試方法)，它能夠在完成一個(gè)發(fā)光器件之前確認(rèn)一個(gè)象素區(qū)的互連點(diǎn)或TFT上有沒有缺陷，有利于有源矩陣發(fā)光器件的批量生產(chǎn)，并且提供一種采用該測(cè)試方法的電測(cè)試裝置(以下僅稱其為測(cè)試裝置)。進(jìn)一步的任務(wù)是在發(fā)光器件的制造工藝中提供一種簡(jiǎn)單的測(cè)試方法，在互連點(diǎn)或端子上不需要使用探針，并且提供一種采用該測(cè)試方法的測(cè)試裝置。進(jìn)一步的任務(wù)是用這種電測(cè)試方法提供一種制造半導(dǎo)體器件的方法，以及用這種制造方法制造的半導(dǎo)體器件。
本發(fā)明人考慮到采用電磁感應(yīng)不接觸地對(duì)形成TFT和象素電極的一個(gè)襯底(以下稱其為器件襯底)的象素區(qū)域所擁有的互連點(diǎn)施加電壓，不用在上面使用探針。通過對(duì)互連點(diǎn)施加電壓來操作各個(gè)象素向象素電極施加電壓。
在說明書中，操作象素的意思是對(duì)該象素?fù)碛械脑蚧ミB點(diǎn)施加一個(gè)電壓，也就是控制該象素電極上的電壓。
利用靜電感應(yīng)不接觸地讀出施加給象素電極的電壓值。根據(jù)讀出值就能確定各象素的操作狀態(tài)和正常/異常，換句話說也就是各象素操作是否正常。在說明書中，電壓能夠正常提供給其象素電極的那種象素被確定為正常。反之，電壓不能正常提供給其象素電極的那種象素被確定為異常。
具體地說包括以下兩種方案，可以采用其中之一。
按照第一方案，單獨(dú)制備一個(gè)測(cè)試襯底，用來測(cè)試器件襯底。測(cè)試襯底具有原邊線圈，而作為被測(cè)對(duì)象的器件襯底具有副邊線圈。
可以通過對(duì)形成在襯底上的導(dǎo)電薄膜構(gòu)圖而形成各原邊和副邊線圈。按照本發(fā)明，在原邊和副邊線圈的中心采用沒有磁性件的線圈代替在中心有磁性件的線圈來提供一條磁路。
測(cè)試襯底所擁有的原邊線圈和器件襯底所擁有的副邊線圈通過一個(gè)固定間隔被重疊到一起。對(duì)原邊線圈所擁有的兩個(gè)端子施加一個(gè)交流電壓，就會(huì)在副邊線圈所擁有的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生一個(gè)電磁力。
理想的間隔應(yīng)該很小。只要這一間隔是可以控制的，原邊線圈和副邊線圈就應(yīng)該盡量靠近。
在說明書中，電壓被施加到一個(gè)線圈意味著電壓被施加在該線圈的兩個(gè)端子之間。在說明書中，信號(hào)被施加到一個(gè)線圈意味著將該信號(hào)施加在線圈所擁有的兩個(gè)端子之間。
由副邊線圈上的電磁力造成的交流電壓在器件襯底上整流并隨后被平滑。它被用做直流電壓來操作器件襯底所擁有的驅(qū)動(dòng)電路或象素(以下稱其為電源電壓)。同時(shí)，由副邊線圈上的電動(dòng)勢(shì)產(chǎn)生的交流電壓的波形被一個(gè)波形整形電路整形成理想的波形。這一信號(hào)電壓被用來操作器件襯底所擁有的驅(qū)動(dòng)電路或象素(以下稱其為驅(qū)動(dòng)信號(hào))。副邊線圈上產(chǎn)生的交流電壓可以被用做一個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)，其波形沒有在波形整形電路中經(jīng)過整形。
產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的電壓或電源電壓被提供給在器件襯底上形成的驅(qū)動(dòng)電路或象素。所提供的驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓或電源電壓使驅(qū)動(dòng)電路或象素執(zhí)行一定的動(dòng)作。
驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓或電源電壓值是確定的，當(dāng)驅(qū)動(dòng)電路或象素正常時(shí)，施加到該象素所擁有的象素電極上的電壓是給定的交流電壓。
只要提供一個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓或電源電壓，施加到象素電極上的電壓值就會(huì)受到影響，這取決于驅(qū)動(dòng)電路或象素的工作狀態(tài)。
驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓或電源電壓可以僅僅提供給形成在器件襯底上的象素。在這種情況下，只要提供一個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓或電源電壓，施加到象素電極上的電壓值就會(huì)受到影響，這取決于象素的工作狀態(tài)。
用于非接觸式讀出象素電極上產(chǎn)生的電壓的那個(gè)電極(測(cè)試電極)通過一個(gè)固定間隔重疊在象素電極上面。這一間隔應(yīng)該很小。只要間隔是可以控制的，象素電極和測(cè)試電極就應(yīng)該盡量靠近。測(cè)試襯底可以有一個(gè)測(cè)試電極。
在測(cè)試電極上由于靜電感應(yīng)而產(chǎn)生的電壓會(huì)受到施加在象素電極上的電壓值的影響。這樣就能根據(jù)測(cè)試電極上產(chǎn)生的電壓計(jì)算出施加到象素電極上的電壓。因而不用接觸就能讀出施加到象素電極上的電壓值。另外，利用測(cè)試電極上產(chǎn)生的電壓還可以掌握一個(gè)象素的工作狀態(tài)。這樣就有可能確認(rèn)其工作狀態(tài)并且確定正常/異常。
按照第二種方案，單獨(dú)制備一個(gè)測(cè)試襯底(第一測(cè)試襯底)，不接觸地向器件襯底的象素區(qū)所擁有的互連點(diǎn)施加一個(gè)電壓，還有一個(gè)測(cè)試襯底(第二測(cè)試襯底)，它利用靜電感應(yīng)不接觸地讀出施加到象素電極上的電壓值。
第一測(cè)試襯底有一個(gè)原邊線圈，而作為測(cè)試對(duì)象的器件襯底有一個(gè)副邊線圈。
通過對(duì)形成在一個(gè)絕緣薄膜上的導(dǎo)電薄膜構(gòu)圖就能形成各自的原邊和副邊線圈。按照本發(fā)明，原邊和副邊線圈的中心采用沒有磁性件的線圈代替在中心有磁性件的線圈來提供一條磁路。
第一測(cè)試襯底所擁有的原邊線圈和器件襯底所擁有的副邊線圈通過一個(gè)固定間隔被重疊到一起。對(duì)原邊線圈所擁有的兩個(gè)端子施加一個(gè)交流電壓，就會(huì)在副邊線圈所擁有的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生一個(gè)電動(dòng)勢(shì)。
間隔應(yīng)該很小。只要這一間隔是可以控制的，原邊線圈和副邊線圈就應(yīng)該盡量靠近。
在說明書中，電壓被施加到一個(gè)線圈意味著電壓被施加在該線圈的兩個(gè)端子之間。在說明書中，信號(hào)被施加到一個(gè)線圈意味著將該信號(hào)施加在線圈所擁有的兩個(gè)端子之間。
由副邊線圈上的電磁力造成的交流電壓在器件襯底上整流并隨后被平滑。它被用做直流電壓來操作器件襯底所擁有的驅(qū)動(dòng)電路或象素。同時(shí)，由副邊線圈上的電動(dòng)勢(shì)產(chǎn)生的交流電壓的波形被一個(gè)波形整形電路整形成理想的波形。它被用做具有一定電壓的驅(qū)動(dòng)信號(hào)來操作器件襯底所擁有的驅(qū)動(dòng)電路或象素。副邊線圈上產(chǎn)生的交流電壓可以被用做一個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)，其波形沒有在波形整形電路中經(jīng)過整形。
產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的電壓或電源電壓被提供給在器件襯底上形成的驅(qū)動(dòng)電路或象素。所提供的驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓或電源電壓使驅(qū)動(dòng)電路或象素執(zhí)行一定的動(dòng)作。
驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓或電源電壓值是確定的，當(dāng)驅(qū)動(dòng)電路或象素正常時(shí)，施加到該象素所擁有的象素電極上的電壓是給定的交流電壓。
只要提供一個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓或電源電壓，施加到象素電極上的電壓值就會(huì)受到影響，這取決于驅(qū)動(dòng)電路或象素的工作狀態(tài)。
驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓或電源電壓可以僅僅提供給器件襯底所擁有的象素。在這種情況下，只要提供一個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓或電源電壓，施加到象素電極上的電壓值就會(huì)受到影響，這取決于象素的工作狀態(tài)。
另一方面，第二測(cè)試襯底有一個(gè)電極(測(cè)試電極)，用來不接觸地讀出在象素電極上產(chǎn)生的電壓。該測(cè)試電極通過一個(gè)固定間隔重疊在象素電極上面。這一間隔應(yīng)該很小。只要間隔是可以控制的，象素電極和測(cè)試電極就應(yīng)該盡量靠近。
這種有源矩陣半導(dǎo)體器件具有在象素區(qū)內(nèi)布置成矩陣多個(gè)象素電極。按照本發(fā)明，通過改變第二測(cè)試襯底相對(duì)于器件襯底的位置，就能多次改變和一個(gè)測(cè)試電極重疊的一或多個(gè)象素電極的位置。具體地說，如果在平行于器件襯底的一個(gè)平面上轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)試電極，就能改變與測(cè)試電極重疊的象素電極的位置。每一次監(jiān)測(cè)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的一個(gè)電壓值。
在測(cè)試電極上由于靜電感應(yīng)而產(chǎn)生的電壓可以作為象素各自狀態(tài)的信息，并且會(huì)受到施加在與測(cè)試電極重疊的象素電極上的電壓值的影響。
存儲(chǔ)通過多次監(jiān)測(cè)獲得的在測(cè)試電極上產(chǎn)生的電壓值，以及在監(jiān)測(cè)時(shí)與測(cè)試電極重疊的一或多個(gè)象素電極的位置數(shù)據(jù)。如果利用CT(計(jì)算機(jī)斷層分析)采用恢復(fù)算法(例如是Fourier變換方法)由一維數(shù)據(jù)中恢復(fù)出一個(gè)二維分布，就能根據(jù)存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)獲得被施加到象素上的電壓的相對(duì)值。也就是自然會(huì)考慮到有可能不接觸地讀出被施加到象素電極上的電壓值。根據(jù)被施加給象素的電壓相對(duì)值就有可能確定各象素的工作狀態(tài)。根據(jù)工作狀態(tài)就能確定正常/異常。
有代表性的恢復(fù)算法包括采用連續(xù)近似和投影分段(projectionsection)法則的Fourier變換方法，以及一種重疊積分方法。本發(fā)明也可以采用上述以外的恢復(fù)算法。
值得注意的是，在第一或第二種方案中，可以按照工作狀態(tài)將象素工作狀態(tài)篩選成多個(gè)等級(jí)，代替始終按正常和異常來選擇的方式。
同時(shí)，按照第一或第二種方案，如果驅(qū)動(dòng)電路有缺陷而象素沒有缺陷，就改變施加在象素電極上的電壓值。這樣也能確定驅(qū)動(dòng)電路的正常/異常。
在采用本發(fā)明測(cè)試方法的半導(dǎo)體器件中，象素中使用的晶體管可以是用單晶硅形成的晶體管，或者是采用多晶硅或非晶硅的薄膜晶體管?；蛘咭部梢允遣捎糜袡C(jī)半導(dǎo)體的晶體管。
研制人員有可能根據(jù)象素的工作狀態(tài)區(qū)別于正常象素工作狀態(tài)的程度來正確確定一個(gè)象素被認(rèn)為工作不正常的準(zhǔn)則。
本發(fā)明采用上述結(jié)構(gòu)就能確定缺陷點(diǎn)并確定一個(gè)象素的正常/異常，不需要直接在互連點(diǎn)上使用探針。這樣就能避免在后續(xù)加工中由于使用探針造成的細(xì)微灰塵而降低產(chǎn)量。另外，由于在每個(gè)構(gòu)圖形成步驟中都可以用一個(gè)測(cè)試步驟確定正常/異常，可以簡(jiǎn)化測(cè)試步驟。
本發(fā)明不僅可以應(yīng)用于發(fā)光器件，還可以用于液晶顯示器或其他半導(dǎo)體器件。
以下要解釋本發(fā)明的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明涉及一種測(cè)量電壓的方法，它包括不接觸地對(duì)一個(gè)象素所擁有的互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓，從而將電壓施加在該象素所擁有的象素電極上；以及不接觸地讀出施加在象素電極上的電壓。
本發(fā)明涉及一種測(cè)量電壓的方法，它包括不接觸地對(duì)多個(gè)象素各自擁有的互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓，從而將電壓施加在各象素各自擁有的象素電極上；以及不接觸地讀出施加在各象素各自擁有的象素電極上的電壓之和。
本發(fā)明涉及一種測(cè)量電壓的方法，它包括在第一線圈所擁有的兩個(gè)端子之間施加第一交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將第一線圈和第二線圈重疊在一起；
利用在第二線圈所擁有的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生的第二交流電壓對(duì)一個(gè)象素所擁有的象素電極施加第三交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將象素電極和測(cè)試電極重疊在一起；并且根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的第四交流電壓計(jì)算出施加到象素電極上的電壓。
本發(fā)明涉及一種測(cè)量電壓的方法，它包括在第一線圈所擁有的兩個(gè)端子之間施加第一交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將第一線圈和第二線圈重疊在一起；對(duì)第二線圈所擁有的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生的第二交流電壓執(zhí)行整流或波形整形，并且將其施加在一個(gè)象素所擁有的互連點(diǎn)或電路元件上，從而對(duì)該象素所擁有的象素電極施加第三交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將象素電極和測(cè)試電極重疊在一起；并且根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的第四交流電壓計(jì)算出施加到象素電極上的電壓。
本發(fā)明涉及一種測(cè)量電壓的方法，它包括在第一線圈所擁有的兩個(gè)端子之間施加第一交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將第一線圈和第二線圈重疊在一起；利用在第二線圈所擁有的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生的第二交流電壓對(duì)多個(gè)象素各自擁有的象素電極施加第三交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將這些象素所擁有的象素電極和測(cè)試電極重疊在一起；并且根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的第四交流電壓計(jì)算出施加到各象素各自擁有的象素電極上的電壓之和。
本發(fā)明涉及一種測(cè)量電壓的方法，它包括在第一線圈所擁有的兩個(gè)端子之間施加第一交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將第一線圈和第二線圈重疊在一起；對(duì)第二線圈所擁有的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生的第二交流電壓執(zhí)行整流或波形整形，并且將其施加在多個(gè)象素各自擁有的互連點(diǎn)或電路元件上，從而對(duì)各象素各自擁有的象素電極施加第三交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將各象素各自擁有的象素電極和測(cè)試電極重疊在一起；并且根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的第四交流電壓計(jì)算出施加到各象素各自的象素電極上的電壓之和。
按照本發(fā)明，第一線圈和第二線圈可以有在同一平面上形成的互連點(diǎn)，并且各互連點(diǎn)采取渦旋形狀。
按照本發(fā)明，第一線圈和測(cè)試電極可以形成在第一絕緣面上。
第二線圈和象素電極被形成在第二絕緣面上。
按照本發(fā)明，可以由在第一絕緣面和第二絕緣面之間流動(dòng)的流體來控制第一絕緣面和第二絕緣面之間的間隔。
按照本發(fā)明，利用按這種電壓測(cè)量方法獲得的施加到象素電極上的電壓或是電壓之和就能確定象素正常/異常。
本發(fā)明涉及一種裝置，用于對(duì)半導(dǎo)體器件所擁有的象素執(zhí)行電氣測(cè)試，該電氣測(cè)試裝置包括原邊線圈；通過一個(gè)固定間隔將原邊線圈和半導(dǎo)體器件所擁有的副邊線圈重疊到一起的裝置；通過一個(gè)固定間隔將象素所擁有的象素電極和一個(gè)測(cè)試電極重疊到一起的裝置；在原邊線圈所擁有的兩個(gè)端子之間施加一個(gè)交流電壓的裝置；以及根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓來確認(rèn)該象素工作狀態(tài)的裝置。
本發(fā)明涉及一種裝置，用于對(duì)半導(dǎo)體器件所擁有的象素執(zhí)行電氣測(cè)試，該電氣測(cè)試裝置包括原邊線圈；通過一個(gè)固定間隔將原邊線圈和半導(dǎo)體器件所擁有的副邊線圈重疊到一起的裝置；通過一個(gè)固定間隔將象素所擁有的象素電極和一個(gè)測(cè)試電極重疊到一起的裝置；在原邊線圈所擁有的兩個(gè)端子之間施加一個(gè)交流電壓的裝置；以及根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓來確認(rèn)該象素工作狀態(tài)的裝置；在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓具有該象素工作狀態(tài)的信息。
按照本發(fā)明，可以由在第一線圈和第二線圈之間流動(dòng)的流體來控制第一線圈和第二線圈之間的間隔。
按照本發(fā)明，第一線圈可以有在同一平面上形成的互連點(diǎn)，并且互連點(diǎn)采取渦旋形狀。
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件的制造方法，該方法包括形成一個(gè)象素電極和一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件；不接觸地對(duì)互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓，從而將電壓施加到象素電極上；并且不接觸地讀出施加到象素電極上的電壓。
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件的制造方法，該方法包括形成一個(gè)象素電極，一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件，第一線圈，以及第二線圈；在第一線圈所擁有的兩個(gè)端子之間施加第一交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將第一線圈和第二線圈重疊在一起；利用在第二線圈所擁有的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生的第二交流電壓對(duì)象素電極施加一個(gè)第三交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將象素電極和一個(gè)測(cè)試電極重疊在一起；并且根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的第四交流電壓計(jì)算出施加到象素電極上的電壓。
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件的制造方法，該方法包括形成一個(gè)象素電極，一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件，第一線圈，以及第二線圈；在第一線圈所擁有的兩個(gè)端子之間施加第一交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將第一線圈和第二線圈重疊在一起；對(duì)第二線圈所擁有的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生的第二交流電壓整流或波形整形，并將其施加在互連點(diǎn)或電路元件上，從而對(duì)象素電極施加一個(gè)第三交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將象素電極和一個(gè)測(cè)試電極重疊在一起；并且根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的第四交流電壓計(jì)算出施加到象素電極上的電壓。
本發(fā)明涉及一種測(cè)量電壓的方法，該方法包括對(duì)一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓來控制施加給多個(gè)象素電極的電壓；在通過一個(gè)固定間隔與任意部分或全部象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)測(cè)試電極上的電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置計(jì)算出施加在各象素電極上的電壓。
本發(fā)明涉及一種測(cè)量電壓的方法，該方法包括不接觸地對(duì)一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓來控制施加給多個(gè)象素電極的電壓；在通過一個(gè)固定間隔與任意部分或全部象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)測(cè)試電極上的電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置計(jì)算出施加在各象素電極上的電壓。
本發(fā)明涉及一種測(cè)量電壓的方法，該方法包括在第一線圈所擁有的兩個(gè)端子之間施加第一交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將第一線圈和第二線圈重疊在一起；對(duì)一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件施加在第二線圈所擁有的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生的第二交流電壓，用來控制施加給多個(gè)象素電極的電壓；在通過一個(gè)固定間隔與任意部分或全部象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的第三交流電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置計(jì)算出施加在各象素電極上的電壓。
本發(fā)明涉及一種測(cè)量電壓的方法，該方法包括在第一線圈所擁有的兩個(gè)端子之間施加第一交流電壓；通過一個(gè)間隔將第一線圈和第二線圈重疊在一起；對(duì)第二線圈所擁有的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生的交流電壓整流或波形整形，并且將其施加在一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件上，用于控制施加到多個(gè)象素電極上的電壓；在通過一個(gè)間隔與任意部分或全部象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的第三交流電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置計(jì)算出施加在各象素電極上的電壓。
按照本發(fā)明，第一線圈和第二線圈可以具有形成在同一平面上的互連點(diǎn)，并且互連點(diǎn)采取渦旋形狀。
按照本發(fā)明，可以用在第一線圈和第二線圈之間流動(dòng)的流體來控制第一線圈和第二線圈之間的間隔。
按照本發(fā)明，可以采用Fourier變換方法用連續(xù)近似和投影分段法則或者是一種重疊積分方法計(jì)算出各個(gè)象素電極上的電壓。
本發(fā)明涉及一種電氣測(cè)試方法，該方法包括對(duì)一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓，用于控制施加到多個(gè)象素電極上的電壓；在通過一個(gè)間隔與任意部分或全部象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)測(cè)試電極上的電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置確認(rèn)互連點(diǎn)或電路元件的工作狀態(tài)。
本發(fā)明涉及一種電氣測(cè)試方法，該方法包括不接觸地對(duì)一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓，用于控制施加到多個(gè)象素電極上的電壓；在通過一個(gè)間隔與任意部分或全部象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)測(cè)試電極上的電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置確認(rèn)互連點(diǎn)或電路元件的工作狀態(tài)。
本發(fā)明涉及一種電氣測(cè)試方法，該方法包括對(duì)一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓，用于控制施加到多個(gè)象素電極上的電壓；在通過一個(gè)間隔與任意部分或全部象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)測(cè)試電極上的電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置確定施加到象素電極上的電壓的分布。
本發(fā)明涉及一種電氣測(cè)試方法，該方法包括不接觸地對(duì)一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓，用于控制施加到多個(gè)象素電極上的電壓；在通過一個(gè)間隔與任意部分或全部象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)測(cè)試電極上的電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置確定施加到象素電極上的電壓的分布。
本發(fā)明涉及一種電氣測(cè)試方法，該方法包括對(duì)一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓，用于控制施加到多個(gè)象素電極上的電壓；在通過一個(gè)間隔與任意部分或全部象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；根據(jù)測(cè)試電極上的電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置確定施加到象素電極上的電壓的分布；并且根據(jù)電壓分布確定互連點(diǎn)或電路元件的工作狀態(tài)。
本發(fā)明涉及一種電氣測(cè)試方法，該方法包括不接觸地對(duì)一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓，用于控制施加到多個(gè)象素電極上的電壓；在通過一個(gè)間隔與任意部分或全部象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；根據(jù)測(cè)試電極上的電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置確定施加到象素電極上的電壓的分布；并且根據(jù)電壓分布確定互連點(diǎn)或電路元件的工作狀態(tài)。
本發(fā)明涉及一種電氣測(cè)試方法，該方法包括在第一線圈所擁有的兩個(gè)端子之間施加第一交流電壓；通過一個(gè)間隔將第一線圈和第二線圈重疊在一起；將第二線圈所擁有的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生的第二交流電壓施加在一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件上，用于控制施加到多個(gè)象素電極上的電壓；在通過一個(gè)間隔與任意部分或全部象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的第三交流電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置來確認(rèn)互連點(diǎn)或電路元件的工作狀態(tài)。
本發(fā)明涉及一種電氣測(cè)試方法，該方法包括在第一線圈所擁有的兩個(gè)端子之間施加第一交流電壓；通過一個(gè)間隔將第一線圈和第二線圈重疊在一起；將第二線圈所擁有的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生的第二交流電壓施加在一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件上，用于控制施加到多個(gè)象素電極上的電壓；在通過一個(gè)間隔與任意部分或全部象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的第三交流電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置確定施加到象素電極上的電壓的分布；并且根據(jù)電壓分布確認(rèn)互連點(diǎn)或電路元件的工作狀態(tài)。
本發(fā)明涉及一種電氣測(cè)試方法，該方法包括在第一線圈所擁有的兩個(gè)端子之間施加第一交流電壓；通過一個(gè)間隔將第一線圈和第二線圈重疊在一起；對(duì)第二線圈所擁有的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生的第二交流電壓進(jìn)行整流或波形整形，并將其施加在一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件上，用于控制施加到多個(gè)象素電極上的電壓；在通過一個(gè)間隔與任意部分或全部象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的第三交流電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置來確認(rèn)互連點(diǎn)或電路元件的工作狀態(tài)。
本發(fā)明涉及一種電氣測(cè)試方法，該方法包括在第一線圈所擁有的兩個(gè)端子之間施加第一交流電壓；通過一個(gè)間隔將第一線圈和第二線圈重疊在一起；對(duì)第二線圈所擁有的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生的第二交流電壓進(jìn)行整流或波形整形，并將其施加在一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件上，用于控制施加到多個(gè)象素電極上的電壓；在通過一個(gè)間隔與任意部分或全部象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的第三交流電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置確定施加到象素電極上的電壓的分布；并且根據(jù)電壓分布確認(rèn)互連點(diǎn)或電路元件的工作狀態(tài)。
按照本發(fā)明，第一線圈和第二線圈可以具有形成在同一平面上的互連點(diǎn)，并且互連點(diǎn)采取渦旋形狀。
按照本發(fā)明，可以用在原邊線圈和副邊線圈之間流動(dòng)的流體來控制第一線圈和第二線圈之間的間隔。
本發(fā)明涉及對(duì)一個(gè)器件襯底所擁有的多個(gè)象素進(jìn)行電氣測(cè)試的一種裝置，該電氣測(cè)試裝置包括原邊線圈；
通過一個(gè)間隔將原邊線圈和器件襯底所擁有的副邊線圈重疊到一起的裝置；通過一個(gè)間隔使各象素各自擁有的任意部分或全部象素電極與一個(gè)測(cè)試電極重疊的裝置；用來改變測(cè)試電極相對(duì)于各象素所擁有的象素電極的位置的裝置；在原邊線圈所擁有的兩個(gè)端子之間施加一個(gè)交流電壓的裝置；以及根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓來確認(rèn)各個(gè)象素的工作狀態(tài)的裝置。
本發(fā)明涉及對(duì)一個(gè)器件襯底所擁有的多個(gè)象素進(jìn)行電氣測(cè)試的一種裝置，該電氣測(cè)試裝置包括原邊線圈；通過一個(gè)間隔使原邊線圈和器件襯底所擁有的副邊線圈重疊的裝置；在通過一個(gè)間隔使各象素各自擁有的任意部分或全部象素電極與一個(gè)測(cè)試電極重疊的狀態(tài)下改變測(cè)試電極相對(duì)于各象素所擁有的象素電極的位置的裝置；在原邊線圈所擁有的兩個(gè)端子之間施加一個(gè)交流電壓的裝置；以及根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓來確認(rèn)各個(gè)象素的工作狀態(tài)的裝置。
按照本發(fā)明，可以用在原邊線圈和副邊線圈之間流動(dòng)的流體來控制第一線圈和第二線圈之間的間隔。
按照本發(fā)明，第一線圈可以具有形成在同一平面上的互連點(diǎn)，并且互連點(diǎn)采取渦旋形狀。
本發(fā)明涉及一種制造半導(dǎo)體器件的方法，該方法包括形成一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件，以及可以通過互連點(diǎn)或電路元件提供一個(gè)電壓的象素電極；對(duì)互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓；在通過一個(gè)間隔與任意部分或全部象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)測(cè)試電極上的電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置計(jì)算出因施加在各個(gè)象素電極上的電壓而施加到各象素各自擁有的象素電極上的電壓。
本發(fā)明涉及一種制造半導(dǎo)體器件的方法，該方法包括形成一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件，以及可以通過互連點(diǎn)或電路元件提供一個(gè)電壓的象素電極；不接觸地對(duì)互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓；在通過一個(gè)間隔與任意部分或全部象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)測(cè)試電極上的電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置計(jì)算出因施加在各個(gè)象素電極上的電壓而施加到各象素各自擁有的象素電極上的電壓。
本發(fā)明涉及一種制造器件襯底的方法，該方法包括形成一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件，以及可以通過互連點(diǎn)或電路元件提供一個(gè)電壓的象素電極；對(duì)互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓；在通過一個(gè)間隔與任意部分或全部象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)測(cè)試電極上的電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置計(jì)算出因施加在各個(gè)象素電極上的電壓而施加到各象素各自擁有的象素電極上的電壓。
本發(fā)明涉及一種制造器件襯底的方法，該方法包括形成一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件，以及可以通過互連點(diǎn)或電路元件提供一個(gè)電壓的象素電極；不接觸地對(duì)互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓；在通過一個(gè)間隔與任意部分或全部象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)測(cè)試電極上的電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置計(jì)算出因施加在各個(gè)象素電極上的電壓而施加到各象素各自擁有的象素電極上的電壓。
附圖簡(jiǎn)介

圖1是本發(fā)明的測(cè)試襯底的頂視圖；
圖2是本發(fā)明的器件襯底的頂視圖；圖3是本發(fā)明的測(cè)試襯底和器件襯底的方框圖；圖4A和4B是本發(fā)明的線圈的放大圖；圖5是本發(fā)明的測(cè)試襯底和器件襯底在測(cè)試期間的透視圖；圖6A和6B分別是本發(fā)明中重疊的線圈的放大圖和重疊的象素電極和測(cè)試電極的放大圖；圖7是本發(fā)明的測(cè)試襯底和期間襯底在測(cè)試期間的電路圖；圖8A和8B是本發(fā)明的測(cè)試襯底的頂視圖；圖9是本發(fā)明的測(cè)試襯底和器件襯底的一個(gè)方框圖；圖10是本發(fā)明的測(cè)試襯底和器件襯底在測(cè)試期間的一個(gè)透視圖；圖11A和11B的示意圖表示本發(fā)明的測(cè)試電極和象素電極之間在轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)試電極時(shí)的重疊方式；圖12的示意圖表示一個(gè)有故障象素所擁有的象素電極和本發(fā)明的測(cè)試電極之間的重疊方式；圖13的方框圖表示實(shí)施例1的測(cè)試裝置的構(gòu)造；圖14的方框圖表示實(shí)施例2的測(cè)試裝置的構(gòu)造；圖15是實(shí)施例3的信號(hào)處理電路的電路圖；圖16是實(shí)施例4的信號(hào)處理電路的電路圖；圖17是實(shí)施例5的波形整形電路的電路圖；圖18是實(shí)施例6的一個(gè)整流電路的電路圖；圖19A和19B表示由實(shí)施例6的交流電流整流得到的脈沖信號(hào)隨時(shí)間的變化；圖20A和21B表示和實(shí)施例6一起由增加的脈沖產(chǎn)生的直流信號(hào)隨時(shí)間的變化；圖21A-21C是實(shí)施例6的整流電路的電路圖；圖22是實(shí)施例7的發(fā)光器件的一個(gè)OLED面板的方框圖；圖23是實(shí)施例8的一種大尺寸襯底的頂視圖；圖24是實(shí)施例8的一種大尺寸襯底的頂視圖；圖25的流程圖表示實(shí)施例9的測(cè)試步驟的流程；圖26A-26D分別是實(shí)施例10的線圈的頂視圖和截面圖；以及圖27表示基于實(shí)施例11的象素的一種工作狀態(tài)。
最佳實(shí)施例的說明 圖1表示一個(gè)測(cè)試襯底的頂視圖，按照本發(fā)明用第一種結(jié)構(gòu)在上面執(zhí)行測(cè)試。圖2表示一個(gè)待測(cè)器件襯底的頂視圖。
如圖1所示，測(cè)試襯底在一個(gè)襯底100上具有一個(gè)原邊線圈形成區(qū)101，一個(gè)外部輸入緩沖器102，一個(gè)連接器連接部分103，和一個(gè)測(cè)試電極104。在本文中所述的測(cè)試襯底包括襯底100，原邊線圈形成區(qū)101，以及在襯底100上形成的其他電路或所有電路元件。
測(cè)試襯底所擁有的原邊線圈形成區(qū)101不僅限于圖1所示結(jié)構(gòu)的數(shù)量和布局。設(shè)計(jì)人員可以隨意確定原邊線圈形成區(qū)101的數(shù)量和布局。
盡管圖1所示的測(cè)試襯底具有測(cè)試電極104和原邊線圈形成區(qū)101，本發(fā)明還不僅限于這樣的結(jié)構(gòu)。測(cè)試電極可以和具有原邊線圈形成區(qū)的測(cè)試襯底分開制備。通過單獨(dú)提供具有原邊線圈形成區(qū)的測(cè)試襯底和測(cè)試電極，就能與原邊線圈和副邊線圈之間的距離無關(guān)地確定測(cè)試襯底和測(cè)試電極之間的距離。同時(shí)，在測(cè)試過程中，測(cè)試電極的布局可以相對(duì)于器件襯底隨意改變。
圖2所示的器件襯底在一個(gè)襯底110上具有信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路111，掃描線驅(qū)動(dòng)電路112，象素區(qū)113，延伸的互連點(diǎn)114，連接器連接部分115，波形整形電路或整流器電路116，以及一個(gè)副邊線圈形成區(qū)117。在本文中所述的器件襯底包括襯底110和形成在襯底110上的所有電路或電路元件。延伸的互連點(diǎn)114是為器件襯底所擁有的象素區(qū)和驅(qū)動(dòng)電路提供驅(qū)動(dòng)信號(hào)和電源電壓的互連點(diǎn)。
器件襯底的副邊線圈形成區(qū)117不僅限于圖2所示結(jié)構(gòu)的數(shù)量和布局。設(shè)計(jì)人員可以隨意確定副邊線圈形成區(qū)117的數(shù)量和布局。
在測(cè)試步驟之后的步驟中將一個(gè)FPC，TAB等等連接到連接器連接部分115。在完成測(cè)試步驟之后沿著線A-A’切割器件襯底，使形成在副邊線圈形成區(qū)117內(nèi)的副邊線圈在物理和電氣上與連接器連接部分115分離。
以下要解釋器件襯底和測(cè)試襯底在測(cè)試步驟中的操作。為了便于理解測(cè)試步驟中的信號(hào)流程，采用圖3所示的方框圖來表示圖1和2所示的器件襯底和測(cè)試襯底的構(gòu)造，同時(shí)又參照?qǐng)D1和2來解釋。
在一個(gè)測(cè)試襯底203上，測(cè)試交流信號(hào)從一個(gè)信號(hào)源201或交流電源202通過連接到連接器連接部分103上的一個(gè)連接器輸入到外部輸入緩沖器102。測(cè)試交流信號(hào)在外部輸入緩沖器102中被緩沖-放大并輸入到原邊線圈形成區(qū)101。
在圖1，2和3中，盡管在外部輸入緩沖器102中經(jīng)過緩沖-放大后的輸入交流信號(hào)是輸入到原邊線圈形成區(qū)101，本發(fā)明并非僅限于這種結(jié)構(gòu)。交流信號(hào)可以直接輸入到原邊線圈形成區(qū)101，不用提供外部輸入緩沖器102。
在原邊線圈形成區(qū)101中形成多個(gè)原邊線圈。交流信號(hào)被輸入到原邊線圈的兩個(gè)端子。
同時(shí)，在器件襯底204所擁有的副邊線圈形成區(qū)117內(nèi)，對(duì)應(yīng)著原邊線圈形成區(qū)101所擁有的原邊線圈形成多個(gè)副邊線圈。當(dāng)交流信號(hào)被輸入到原邊線圈時(shí)，由于副邊線圈的兩個(gè)端子之間的電磁感應(yīng)就會(huì)產(chǎn)生一個(gè)電動(dòng)勢(shì)形式的交流電壓。
副邊線圈上產(chǎn)生的交流電壓被提供給波形整形電路116a或整流電路116b。波形整形電路116a或整流電路116b對(duì)交流電壓整形或整流，產(chǎn)生一個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)或電源電壓。
產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)信號(hào)或電源電壓被提供給延伸的互連點(diǎn)114。所提供的驅(qū)動(dòng)信號(hào)或電源電壓通過延伸的互連點(diǎn)114被提供給信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路111，掃描線驅(qū)動(dòng)電路112和象素區(qū)113。
在副邊線圈上產(chǎn)生的交流電壓可以作為驅(qū)動(dòng)信號(hào)直接輸入到象素區(qū)113，而不用通過波形整形電路116a或整流電路116b。
象素區(qū)113中設(shè)有多個(gè)象素，每個(gè)象素設(shè)有一個(gè)象素電極。信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路和掃描線驅(qū)動(dòng)電路不僅限于圖1和2中所示的數(shù)量。
信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路111，掃描線驅(qū)動(dòng)電路112和象素區(qū)113的操作對(duì)各個(gè)象素的象素電極施加一個(gè)電壓。
作為測(cè)試對(duì)象的器件襯底不需要象信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路111和掃描線驅(qū)動(dòng)電路112那樣的驅(qū)動(dòng)電路?？梢詢H僅對(duì)象素區(qū)113施加驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓或電源電壓。
然而必需要將驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓或電源電壓的值設(shè)置在使施加在象素電極上的電壓是一個(gè)交流電壓。
象素的象素電極通過一個(gè)固定間隔與測(cè)試電極104重疊。當(dāng)象素正常工作向象素電極施加一個(gè)交流電壓時(shí)，就會(huì)在測(cè)試電極104上產(chǎn)生一個(gè)電動(dòng)勢(shì)。在測(cè)試電極104上產(chǎn)生的交流電壓或電動(dòng)勢(shì)可以提供象素工作狀態(tài)的信息。根據(jù)在測(cè)試電極104上產(chǎn)生的交流電壓就能確認(rèn)該象素區(qū)所擁有的象素工作狀態(tài)，從而確定其正常/異常，或者是具體的故障點(diǎn)。
以下要解釋原邊線圈和副邊線圈(以下統(tǒng)稱為線圈)的具體結(jié)構(gòu)。
圖4表示線圈的放大圖。圖4A所示的線圈采取的形式是一條螺旋曲線。圖4B所示的線圈采取的形式是一條正方形螺旋線。
關(guān)于本發(fā)明采用的線圈，線圈所擁有的整條線完全形成在同一平面上，并且線圈所擁有的線采取螺旋形式。因此，從垂直于線圈形成平面的方向看，線圈所擁有的線被描繪成一條曲線或者是正方形。
設(shè)計(jì)人員可以適當(dāng)?shù)卮_定線圈的匝數(shù)，線寬，及其在襯底上的面積。然而，需要按照半導(dǎo)體器件標(biāo)準(zhǔn)正確設(shè)置線圈的匝數(shù)和結(jié)構(gòu)。還需要按照半導(dǎo)體器件標(biāo)準(zhǔn)正確設(shè)置輸入到原邊線圈形成區(qū)的測(cè)試用交流信號(hào)的波形，頻率和振幅。
圖5表示與測(cè)試襯底203重疊的器件重疊204的一個(gè)透視圖。圖中表示的情況是圖1所示的測(cè)試襯底203具有一個(gè)原邊線圈，也就是圖4A所示的線圈，而圖2中所示的器件襯底具有一個(gè)副邊線圈，也就是圖4A所示的線圈。連接器205被連接到連接器連接部分103。
如圖5所示，測(cè)試襯底203所擁有的原邊線圈形成區(qū)101通過一個(gè)固定間隔與器件襯底204所擁有的副邊線圈形成區(qū)117重疊。理想的間隔很小。只要該間隔是可以控制的，原邊線圈形成區(qū)101和器件襯底204所擁有的副邊線圈形成區(qū)117越近越好。
同時(shí)，測(cè)試電極104和象素區(qū)113所擁有的象素電極通過一個(gè)固定間隔被重疊在一起。理想的間隔很小。只要該間隔是可以控制的，測(cè)試電極104和象素區(qū)113所擁有的象素電極越近越好。
可以通過固定兩個(gè)襯底來維持測(cè)試襯底203和器件襯底204之間的間隔?；蛘呤峭ㄟ^固定其中一個(gè)器件襯底204或測(cè)試襯底203來保持這一間隔，在測(cè)試襯底203和器件襯底204之間采用恒定流速或壓力的流體。有代表性的流體是氣體或液體。除此之外也可以使用粘膠質(zhì)流體。
圖6A表示重疊在一起的原邊線圈形成區(qū)101和副邊線圈形成區(qū)117的局部放大圖。206代表原邊線圈，而207代表副邊線圈。
盡管圖6A中的原邊線圈206和副邊線圈207的螺旋線是朝同一方向旋轉(zhuǎn)的，本發(fā)明并非僅限于這種結(jié)構(gòu)。原邊線圈和副邊線圈的螺旋方向可以是相反的。同時(shí)，設(shè)計(jì)人員還可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)置原邊線圈和副邊線圈之間的間隔(Lgap)。
圖6B表示象素所擁有的象素電極208和測(cè)試電極104重疊在一起的局部放大圖。在圖6B中，一個(gè)測(cè)試電極104同時(shí)與多個(gè)象素電極重疊?？梢杂靡粋€(gè)導(dǎo)電薄膜或電路上連接的多個(gè)導(dǎo)電薄膜形成測(cè)試電極。
重疊在一起的測(cè)試電極104和象素電極208形成一個(gè)電容。如果在圖6B所示的狀態(tài)下對(duì)象素電極208施加一個(gè)交流電壓，在測(cè)試電極104上就會(huì)產(chǎn)生一個(gè)電動(dòng)勢(shì)。
圖7表示重疊在一起的器件襯底的象素電極208和測(cè)試襯底104的測(cè)試電極104的電路圖。圖7所示的結(jié)構(gòu)僅僅是一個(gè)例子，而象素及其連接點(diǎn)所擁有的互連點(diǎn)和元件的數(shù)量和種類并非僅限于圖7所示的構(gòu)造。同時(shí)，盡管圖7表示的是發(fā)光器件的象素構(gòu)造，本發(fā)明還可以應(yīng)用于其他半導(dǎo)體器件。具體地說，只要能夠通過控制施加在互連點(diǎn)或元件上的交流電壓對(duì)象素電極施加一個(gè)交流電壓，本發(fā)明的測(cè)試方法就可以應(yīng)用于一種半導(dǎo)體器件。
圖7所示的發(fā)光器件具有數(shù)量為x的信號(hào)線S1到Sx，數(shù)量為x的電源線V1到Vx，以及數(shù)量為y的掃描線。每個(gè)象素102有一條信號(hào)線，一條電源線，和一條掃描線。另外，象素802具有一個(gè)開關(guān)TFT803，一個(gè)驅(qū)動(dòng)TFT804和存儲(chǔ)電容805。
806是將測(cè)試電極104和象素電極208重疊在一起形成的電容。
開關(guān)TFT803的柵極電極連接到任意一條掃描線G1到Gy。開關(guān)TFT803的源極和漏極區(qū)之一連接到任意一條信號(hào)線S1到Sx，而另一個(gè)連接到驅(qū)動(dòng)TFT804的柵極電極。驅(qū)動(dòng)TFT804的源極和漏極區(qū)之一連接到任意一條電源線V1到Vx，而另一個(gè)連接到象素電極。
存儲(chǔ)電容805的兩個(gè)電極分別連接到驅(qū)動(dòng)TFT804的柵極電極和電源線。
在圖7所示的象素中，交流驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓被施加給電源線V1到Vx。因此，在象素正常的情況下，控制施加給掃描線的電壓就能使開關(guān)TFT803導(dǎo)通，而控制施加給信號(hào)線的電壓就能使驅(qū)動(dòng)TFT804導(dǎo)通。這樣就能將一個(gè)交流驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓施加在象素電極上。
通過對(duì)象素電極施加一個(gè)交流驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓，就能在與象素電極重疊的測(cè)試電極104上產(chǎn)生一個(gè)交流電壓。產(chǎn)生的交流電壓作為輸出807被提供給后級(jí)電路。
在圖7所示的象素中，具有同一條掃描線的那些象素的象素電極與同一個(gè)測(cè)試電極重疊。然而，測(cè)試電極并非僅限于圖7所示的布局。具有與測(cè)試電極重疊的象素電極的象素可以隨意選擇。以圖7所示的象素為例，具有同一條信號(hào)線的那些象素的象素電極可以連接到同一個(gè)測(cè)試電極。
接收這一輸出807的后級(jí)電路根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓來確定象素的正常/異常。
按照半導(dǎo)體器件驅(qū)動(dòng)方法或測(cè)試電極布局會(huì)有這樣的情況，即同時(shí)對(duì)與一個(gè)測(cè)試電極重疊的多個(gè)象素電極施加電壓，或者是順序施加或隨意施加。
如果同時(shí)對(duì)多個(gè)象素電極施加交流電壓，在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓波形在所有象素都正常工作和至少有一個(gè)象素不能正常工作之間就會(huì)有區(qū)別。也就是說，在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓可以作為具有這些象素電極的所有象素的工作狀態(tài)的信息。
同時(shí)，如果按順序?qū)Χ鄠€(gè)象素電極施加交流電壓，測(cè)試電極就具有按順序增加的交流電壓，每一級(jí)可作為各象素工作狀態(tài)的信息。因此，如果所有象素都正常，按順序操作這些象素就會(huì)在測(cè)試電極上提供一個(gè)單調(diào)變化的交流電壓。因此，如果有任何一個(gè)象素異常，順序操作的象素就會(huì)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓中形成非單調(diào)的變化。因此，在所有象素正常工作和至少一個(gè)象素異常工作之間，在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓波形是不同的。
有時(shí)候，如果將測(cè)試電極上實(shí)際產(chǎn)生的交流電壓與象素已經(jīng)被確認(rèn)為正常的測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓相比較，就能確認(rèn)象素的工作狀態(tài)，并且確定其正常/異常。然而，作為比較參考的交流電壓不需要基于一個(gè)已經(jīng)被確認(rèn)為正常的象素。如果在測(cè)試電極上分別產(chǎn)生的交流電壓之間做比較，就可以確定一個(gè)象素工作狀態(tài)的正常/異常。另外，如果與通過模擬計(jì)算出的一個(gè)交流電壓值相比較，也能確認(rèn)象素的工作狀態(tài)并確定其正常/異常。
盡管在圖7中測(cè)試電極和象素電極是按照象素區(qū)所擁有的每一個(gè)象素重疊在一起的，本發(fā)明并非僅限于此。測(cè)試電極和象素電極可以僅僅和隨意選擇的象素重疊，僅僅對(duì)隨意選擇的象素執(zhí)行工作狀態(tài)測(cè)試。
盡管本例中解釋的這一實(shí)施模式是器件襯底具有信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路和掃描線驅(qū)動(dòng)電路等驅(qū)動(dòng)電路，本發(fā)明的被測(cè)器件襯底不僅限于此。即使器件襯底上只有一個(gè)象素區(qū)，也能用本發(fā)明的測(cè)試方法執(zhí)行測(cè)試。同時(shí)，對(duì)于由單個(gè)器件構(gòu)成的被稱為TEG或評(píng)估電路的單一器件，可以采用本發(fā)明的測(cè)試方法或裝置確認(rèn)其工作狀態(tài)。
本發(fā)明可以用上述結(jié)構(gòu)確定正常/異常，不用直接接觸到互連點(diǎn)的探針。因而就能防止在后續(xù)步驟中因?yàn)槭褂锰结槑淼募?xì)微灰塵而降低產(chǎn)量。另外，由于用一個(gè)測(cè)試步驟就能確定所有構(gòu)圖步驟中的正常/異常，測(cè)試過程可以簡(jiǎn)化。
圖8表示按照本發(fā)明用第二種構(gòu)造執(zhí)行測(cè)試的第一和第二測(cè)試襯底的頂視圖。有關(guān)在本實(shí)施例中采用的器件襯底，可以參見實(shí)施模式1中的圖2。
圖8A中所示的第一測(cè)試襯底在一個(gè)襯底6100上具有一個(gè)原邊線圈形成區(qū)6101，一個(gè)外部輸入緩沖器6102和用于第一測(cè)試襯底的連接器連接部分6103。在說明書中，第一測(cè)試襯底包括襯底6100，原邊線圈形成區(qū)6101和形成在襯底6100上的所有其他電路或電路元件。這其中可能不需要提供外部輸入緩沖器6102。
第一測(cè)試襯底所擁有的原邊線圈形成區(qū)6101不僅限于圖8A所示結(jié)構(gòu)的數(shù)量和布局。設(shè)計(jì)人員有可能隨意確定原邊線圈形成區(qū)6101的數(shù)量和布局。
圖8B中所示的第二測(cè)試襯底在一個(gè)襯底6120上具有多個(gè)測(cè)試電極6121和用于第二測(cè)試襯底的連接器連接部分6122。在說明書中，第二測(cè)試襯底包括襯底6120，用于第二測(cè)試襯底的連接器連接部分6122，和形成在襯底6100上的所有其他電路或電路元件。
第二測(cè)試襯底所擁有的測(cè)試電極6121不僅限于圖8B所示結(jié)構(gòu)的數(shù)量和布局。設(shè)計(jì)人員有可能隨意確定測(cè)試電極6121的數(shù)量和布局。
以下要解釋器件襯底和測(cè)試襯底在測(cè)試步驟中的操作。為了便于理解測(cè)試步驟中的信號(hào)流程，采用圖9所示的方框圖來表示圖8和2所示的器件襯底以及第一和第二測(cè)試襯底的構(gòu)造，同時(shí)又參照?qǐng)D8和2來解釋。
在第一測(cè)試襯底6203上，測(cè)試交流信號(hào)從一個(gè)信號(hào)源201或交流電源202通過連接到連接器連接部分6103上的一個(gè)連接器輸入到外部輸入緩沖器6102。測(cè)試交流信號(hào)在外部輸入緩沖器6102中被緩沖-放大并輸入到原邊線圈形成區(qū)6101。
在圖2，8和9中，有時(shí)候，在外部輸入緩沖器6102中經(jīng)過緩沖-放大后的輸入交流信號(hào)被輸入到原邊線圈形成區(qū)6101。然而，本發(fā)明并非僅限于這種結(jié)構(gòu)。交流信號(hào)可以直接輸入到原邊線圈形成區(qū)6101，不用提供外部輸入緩沖器6102。
在原邊線圈形成區(qū)6101中形成多個(gè)原邊線圈。交流信號(hào)被輸入到原邊線圈的兩個(gè)端子。
同時(shí)，在器件襯底204所擁有的副邊線圈形成區(qū)117內(nèi)，對(duì)應(yīng)著原邊線圈形成區(qū)6101所擁有的原邊線圈形成多個(gè)副邊線圈。當(dāng)交流信號(hào)被輸入到原邊線圈時(shí)，由于副邊線圈所擁有的兩個(gè)端子之間的電磁感應(yīng)就會(huì)產(chǎn)生一個(gè)電動(dòng)勢(shì)形式的交流電壓。
副邊線圈上產(chǎn)生的交流電壓被提供給波形整形電路116a或整流電路116b。波形整形電路116a或整流電路116b對(duì)交流電壓整形或整流，產(chǎn)生一個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)或電源電壓。
產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)信號(hào)或電源電壓被提供給延伸的互連點(diǎn)114。所提供的驅(qū)動(dòng)信號(hào)或電源電壓通過延伸的互連點(diǎn)114被提供給信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路111，掃描線驅(qū)動(dòng)電路112和象素區(qū)113。
在副邊線圈上產(chǎn)生的交流電壓可以作為驅(qū)動(dòng)信號(hào)直接輸入到象素區(qū)113，而不用通過波形整形電路116a或整流電路116b。
象素區(qū)113中設(shè)有多個(gè)象素，每個(gè)象素設(shè)有一個(gè)象素電極。信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路和掃描線驅(qū)動(dòng)電路不僅限于圖2和9中所示的數(shù)量。
信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路111，掃描線驅(qū)動(dòng)電路112和象素區(qū)113的操作對(duì)各個(gè)象素的象素電極施加一個(gè)電壓。
作為測(cè)試對(duì)象的器件襯底不需要象信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路111和掃描線驅(qū)動(dòng)電路112那樣的驅(qū)動(dòng)電路?？梢詢H僅對(duì)象素區(qū)113施加驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓或電源電壓。
然而必需要將驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓或電源電壓的值設(shè)置在使施加在象素電極上的電壓是一個(gè)交流電壓。
象素的象素電極通過一個(gè)固定間隔與測(cè)試電極6121重疊。當(dāng)象素正常工作向象素電極施加一個(gè)交流電壓時(shí)，就會(huì)在測(cè)試電極6121上產(chǎn)生一個(gè)電動(dòng)勢(shì)。在測(cè)試電極6121上產(chǎn)生的交流電壓或電動(dòng)勢(shì)可以提供象素工作狀態(tài)的信息。根據(jù)在測(cè)試電極6121上產(chǎn)生的交流電壓就能確認(rèn)該象素區(qū)所擁有的象素的工作狀態(tài)，從而確定其正常/異常，或者是具體的故障點(diǎn)。
有時(shí)候，本實(shí)施例中使用的第一和第二線圈和實(shí)施例1中的線圈是一樣的，并且可以采用圖4A和4B中所示的線圈。
圖10表示的透視圖是器件襯底204與第一測(cè)試襯底6203和第二測(cè)試襯底6205重疊。圖中所示的情況是圖8A中的第一測(cè)試襯底6203具有一個(gè)原邊線圈，也就是圖4A所示的線圈，而圖2中所示的器件襯底具有一個(gè)副邊線圈，也就是圖4A所示的線圈。連接器6209被連接到第一測(cè)試襯底的連接器連接部分6103。同時(shí)，連接器6210被連接到第二測(cè)試襯底的連接器連接部分6122。
如圖10所示，第一測(cè)試襯底6203所擁有的原邊線圈形成區(qū)6101通過一個(gè)固定間隔與器件襯底204所擁有的副邊線圈形成區(qū)117重疊。理想的間隔很小。只要該間隔是可以控制的，原邊線圈形成區(qū)6101和器件襯底204所擁有的副邊線圈形成區(qū)117越近越好。
同時(shí)，第二測(cè)試襯底6205所擁有的測(cè)試電極6121和象素區(qū)113的象素所擁有的象素電極通過一個(gè)固定間隔被重疊在一起。理想的間隔很小。只要該間隔是可以控制的，測(cè)試電極6121和象素區(qū)113的象素所擁有的象素電極越近越好。
可以通過固定兩個(gè)襯底來維持測(cè)試襯底6203和器件襯底204之間的間隔。或者是通過固定其中一個(gè)器件襯底204或第一測(cè)試襯底6203來保持這一間隔，在第一測(cè)試襯底6203和器件襯底204之間采用恒定流速或壓力的流體。有代表性的流體是氣體或液體。除此之外也可以使用粘膠質(zhì)流體。
與實(shí)施模式1類似，原邊線圈和副邊線圈的螺旋線可以是相同或相反方向的。同時(shí)，設(shè)計(jì)人員還可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)置原邊線圈和副邊線圈之間的間隔(Lgap)。有關(guān)原邊線圈和副邊線圈之間的重疊方式可以參見實(shí)施模式1中的圖6A。
同樣，與實(shí)施模式1中類似，一個(gè)測(cè)試電極6121同時(shí)與多個(gè)象素電極重疊?？梢杂靡粋€(gè)導(dǎo)電薄膜或電路上連接的多個(gè)導(dǎo)電薄膜形成測(cè)試電極。測(cè)試電極和象素電極的重疊方式可以參見實(shí)施模式1中的圖6B。利用重疊的測(cè)試電極6121和象素電極208形成一個(gè)電容。如果對(duì)象素電極208施加一個(gè)交流電壓，由于測(cè)試電極6121上的靜電感應(yīng)就會(huì)產(chǎn)生一個(gè)電動(dòng)勢(shì)。
有時(shí)候，在這種實(shí)施模式下，與測(cè)試電極6121重疊的象素電極208的位置是隨意的。另外，測(cè)試電極6121和象素電極208的位置關(guān)系隨不同的監(jiān)視器而有所不同。
有關(guān)重疊在一起的器件襯底的象素電極208和第二測(cè)試襯底的測(cè)試電極6121的電路圖可以參見實(shí)施模式1的圖7。值得注意的是，在圖7所示的象素中，具有同一條掃描線的象素的象素電極是和同一個(gè)測(cè)試電極重疊的。然而，測(cè)試電極并非僅限于圖7所示的構(gòu)造。有可能隨意選擇象素電極與測(cè)試電極重疊的那些象素。
以下要解釋測(cè)試電極6121和象素電極208在監(jiān)測(cè)期間的位置關(guān)系。
設(shè)計(jì)人員可以隨意設(shè)置對(duì)測(cè)試電極6121上產(chǎn)生的交流電壓的監(jiān)測(cè)次數(shù)。設(shè)計(jì)人員在每次監(jiān)測(cè)過程中還可以隨意設(shè)置測(cè)試電極6121和象素電極208之間的位置關(guān)系。然而，為了監(jiān)測(cè)，必需要固定測(cè)試電極6121和象素電極208之間的位置關(guān)系，并且設(shè)置監(jiān)測(cè)次數(shù)，以便能通過所有監(jiān)測(cè)獲得的測(cè)試電極6121上的交流電壓值來確定各象素的工作狀態(tài)。
圖11A和11B表示象素電極208和測(cè)試電極6121之間在圍繞著作為中心軸線的象素區(qū)中心在一個(gè)與形成象素電極208的平面平行的平面上轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)試電極6121時(shí)的位置關(guān)系。為了便于解釋，此處所述的例子是在象素區(qū)中采用數(shù)量為5×5的象素電極。
圖11A表示在旋轉(zhuǎn)之前(0°)的狀態(tài)，這其中每五個(gè)象素電極208與測(cè)試電極6121重疊。
圖11B表示測(cè)試電極6121圍繞著象素區(qū)的中心從圖11A的狀態(tài)逆時(shí)針轉(zhuǎn)過45度的狀態(tài)。在這種情況下，測(cè)試電極6121和圖11A中不同的一個(gè)象素電極208重疊。
在每個(gè)測(cè)試電極6121上產(chǎn)生的交流電壓的振幅和波形有所不同，這取決于與測(cè)試電極6121重疊的象素電極的數(shù)量，與象素電極重疊的面積，以及施加在象素電極上的交流電壓值。
有可能提前計(jì)算出與測(cè)試電極6121重疊的象素電極的數(shù)量和與象素電極重疊的面積。在所有象素都正常工作的情況下，還能通過計(jì)算或?qū)嶋H測(cè)量提前獲得要施加到象素電極上的交流電壓的振幅和波形。
例如是在圖12所示的情況下，與測(cè)試電極6121重疊的象素電極208中包括一個(gè)劣質(zhì)象素的象素電極208a，在測(cè)試電極6121上產(chǎn)生的交流電壓的振幅和波形與所有象素都正常工作的情況是不同的。
在與測(cè)試電極6121重疊的象素電極當(dāng)中，隨著劣質(zhì)象素的象素電極占有率的增高，在測(cè)試電極6121上產(chǎn)生的交流電壓的振幅和波形就會(huì)遠(yuǎn)離所有象素都正常工作的情況。因此就能計(jì)算出正常工作的象素在和一個(gè)測(cè)試電極6121重疊的那些象素電極當(dāng)中的占有率。
另外，由于測(cè)試電極6121相對(duì)于象素電極208的位置被多次改變，就有可能獲得正常工作的象素在和一個(gè)測(cè)試電極6121重疊的那些象素電極當(dāng)中的占有率。根據(jù)在測(cè)試電極6121的每一個(gè)位置上獲得的正常工作象素的占有率，就能逐個(gè)象素地確定其工作狀態(tài)。根據(jù)工作狀態(tài)就能確定正常/異常。
有時(shí)候，同時(shí)對(duì)與一個(gè)測(cè)試電極重疊的多個(gè)象素電極施加電壓中包括按順序和隨意施加，這取決于半導(dǎo)體器件驅(qū)動(dòng)方法和測(cè)試電極布局。
在同時(shí)選擇和操作多個(gè)象素的情況下，在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓波形在所有象素都正常工作和至少有一個(gè)象素不能正常工作這兩種情況之間是不同的。也就是說，在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓中擁有所有象素工作狀態(tài)的信息。
同時(shí)，如果按順序選擇和操作多個(gè)象素，測(cè)試電極就會(huì)產(chǎn)生按順序增加的交流電壓，每一級(jí)可作為各象素工作狀態(tài)的信息。因此，相對(duì)于工作象素的象素電極和測(cè)試電極之間的重疊區(qū)域，如果按順序操作的所有多個(gè)象素都正常，在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓就會(huì)是單調(diào)的變化率。
否則，如果按順序操作的多個(gè)象素中包括一個(gè)異常象素，相對(duì)于工作象素的象素電極和測(cè)試電極之間的重疊區(qū)域，在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓就不會(huì)有單調(diào)的變化率。因此，在所有象素正常工作和至少一個(gè)象素異常工作這兩種情況之間，在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓波形是不同的。
有時(shí)候，可以通過在使用的象素已經(jīng)被確認(rèn)為正常的情況下在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓與測(cè)試電極上實(shí)際產(chǎn)生的交流電壓之間做比較來確認(rèn)一個(gè)象素的工作狀態(tài)，并確定其正常/異常。然而，作為比較參考的交流電壓一定不要在已經(jīng)被確認(rèn)為正常的那個(gè)象素上。通過在多個(gè)測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓之間做比較，就能確認(rèn)一個(gè)象素的工作狀態(tài)，并確定其正常/異常。在這種情況下做比較時(shí)必需考慮到與測(cè)試電極重疊的象素電極的面積。同時(shí)，通過與模擬計(jì)算出的一個(gè)交流電壓值相比較，就能確認(rèn)一個(gè)象素的工作狀態(tài)，并確定其正常/異常。
有時(shí)候，盡管在圖7，11A和11B中的測(cè)試電極和該象素段所擁有的所有象素的象素電極是重疊在一起的，本發(fā)明還不僅限于這種情況。測(cè)試電極和象素電極可以僅僅在隨意選擇的象素上重疊，僅僅對(duì)隨意選擇的象素執(zhí)行對(duì)工作狀態(tài)的測(cè)試。
盡管這一實(shí)施模式解釋的例子是器件襯底具有作為驅(qū)動(dòng)電路的信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路和掃描線驅(qū)動(dòng)電路，在本發(fā)明中被測(cè)的器件襯底并非僅限于此。如果器件襯底僅有一個(gè)象素，也能用本發(fā)明的方法執(zhí)行測(cè)試。同時(shí)，對(duì)于由單個(gè)器件構(gòu)成的被稱為TEG或評(píng)估電路的單一器件，也能用本發(fā)明的測(cè)試方法或裝置確認(rèn)其工作狀態(tài)。
值得注意的是，不用將測(cè)試電極固定在襯底上就能直接控制和移動(dòng)測(cè)試電極。
本發(fā)明可以用上述結(jié)構(gòu)確定器件襯底的正常/異常，不用直接接觸到互連點(diǎn)的探針。因而就能防止在后續(xù)步驟中因?yàn)槭褂锰结槑淼募?xì)微灰塵而降低產(chǎn)量。另外，由于用一個(gè)測(cè)試步驟就能確定所有構(gòu)圖步驟中的正常/異常，測(cè)試過程可以簡(jiǎn)化。
以下要解釋本發(fā)明的實(shí)施例。
這一實(shí)施例說明一種測(cè)試裝置的構(gòu)造，通過在實(shí)施例1的多個(gè)測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓之間進(jìn)行比較來確認(rèn)象素的工作狀態(tài)，并且確定其正常/異常。
圖13表示這一實(shí)施例的測(cè)試裝置構(gòu)造的方框圖。
從主機(jī)I/F305向測(cè)量控制器306輸入一個(gè)作為信息的測(cè)量開始指令。為了開始測(cè)量，由測(cè)量控制器306向處理器I/F307輸入一個(gè)用以控制作為測(cè)試對(duì)象的器件襯底302和測(cè)試襯底301的位置的指令。處理器I/F307通過一個(gè)固定間隔將器件襯底302所擁有的一個(gè)象素電極(未示出)和測(cè)試襯底301所擁有的一個(gè)測(cè)試電極303重疊在一起。
測(cè)量控制器306向測(cè)量定序器308輸入一個(gè)作為信息的測(cè)量開始指令。由測(cè)量定序器308控制一個(gè)面板顯示定序器309選擇測(cè)試對(duì)象象素的位置，并且作為信息從面板顯示定序器309向線圈驅(qū)動(dòng)器310輸入這一位置。一個(gè)具有信號(hào)源和交流電源的RF載流子可以向后級(jí)電路提供交流電壓。測(cè)量定序器308控制RF載流子311向線圈驅(qū)動(dòng)器310輸入一個(gè)交流電壓。
線圈驅(qū)動(dòng)器310用輸入的交流電壓為外部輸入緩沖器311提供用來操作測(cè)試對(duì)象象素的交流電壓。外部輸入緩沖器311對(duì)供給的交流電壓進(jìn)行緩沖-放大，并將其提供給原邊線圈形成區(qū)304。
為原邊線圈形成區(qū)304提供交流電壓就能使器件襯底302所擁有的測(cè)試對(duì)象象素工作。交流電壓被施加到該象素的象素電極上。附帶地說，器件襯底在為原邊線圈形成區(qū)提供交流電壓時(shí)的操作已經(jīng)在實(shí)施模式中具體解釋過，因而在此處不必多說。
當(dāng)交流電壓被施加到象素電極上時(shí)，就會(huì)在與象素電極重疊的測(cè)試電極303上產(chǎn)生一個(gè)交流電壓。在測(cè)試電極303上產(chǎn)生的交流電壓中包括同一個(gè)象素的工作狀態(tài)信息。
在測(cè)試電極303上產(chǎn)生的交流電壓被提供給一個(gè)信號(hào)處理電路312。由信號(hào)處理電路312處理在各個(gè)象素電極上產(chǎn)生的交流電壓值。具體地說就是計(jì)算出各個(gè)測(cè)試電極上的交流電壓之間的差。在測(cè)試電極303上產(chǎn)生的交流電壓波形是不同的，它取決于象素的工作狀態(tài)。因此，計(jì)算出的交流電壓差中包括了象素工作狀態(tài)的信息。因此，具有信息的信號(hào)，也就是計(jì)算出的交流電壓差(工作信息信號(hào))中包括了象素工作狀態(tài)的信息。這一工作信息信號(hào)被輸入到選擇器電路313。
在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓往往包括各種噪聲。通過計(jì)算在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓值之間的差就能在一定程度上消除在測(cè)試電極上產(chǎn)生的具有比較近的頻率和電壓的這種噪聲。測(cè)試電極彼此的位置靠得越近，噪聲的頻率和電壓就越近。因此，最好是計(jì)算彼此在位置上比較靠近的那些測(cè)試電極之間的交流電壓的差。
通過測(cè)量定序器308向選擇器電路313提供由面板顯示定序器309選擇的一個(gè)象素的位置信息。選擇器電路313向一個(gè)信號(hào)分析器314輸入一個(gè)工作信息信號(hào)，該信號(hào)對(duì)應(yīng)著多個(gè)輸入的工作信息信號(hào)當(dāng)中選定的那一個(gè)象素。
信號(hào)分析器314將輸入的工作信息信號(hào)放大，并A/D轉(zhuǎn)換成數(shù)字形式，然后進(jìn)行處理。A/D轉(zhuǎn)換并不是必要的，也可以按模擬形式執(zhí)行處理操作。執(zhí)行處理操作是為了分析該象素的工作狀態(tài)。因此，設(shè)計(jì)人員可以正確地選擇處理操作的內(nèi)容。
經(jīng)過處理操作后的工作信息信號(hào)被輸入到測(cè)量控制器306。測(cè)量控制器306更加處理操作的工作信息信號(hào)確定一種象素狀態(tài)，并且進(jìn)一步確定象素的正常/異常。
附帶地說，本發(fā)明的發(fā)光器件不僅限于圖13所示的構(gòu)造。只要求發(fā)光器件具有產(chǎn)生交流電壓的裝置，不接觸地向器件襯底的互連點(diǎn)和電路元件提供電壓的裝置，不接觸地讀出施加在器件襯底的象素電極上的電壓的裝置，以及用來控制器件襯底位置的裝置。另外還要根據(jù)交流電壓讀數(shù)不接觸地確定一個(gè)象素狀態(tài)，并且確定該象素的正常/異常。
這一實(shí)施例說明一種測(cè)試裝置的構(gòu)造，利用在實(shí)施例2的多個(gè)測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓來確認(rèn)象素的工作狀態(tài)，并且確定其正常/異常。
圖14表示這一實(shí)施例的測(cè)試裝置構(gòu)造的方框圖。
從主機(jī)I/F6305向測(cè)量控制器6306輸入一個(gè)作為信息的測(cè)量開始指令。為了開始測(cè)量，作為信息，由測(cè)量控制器6306向處理器I/F6307輸入一個(gè)用以控制作為測(cè)試對(duì)象的器件襯底6302，第一測(cè)試襯底6301和第二測(cè)試襯底6315的位置的指令。
處理器I/F6307通過一個(gè)固定間隔將器件襯底6302所擁有的副邊線圈消除區(qū)(未示出)和第一測(cè)試襯底6301所擁有的原邊線圈消除區(qū)6304重疊在一起。同時(shí)處理器I/F6307通過一個(gè)固定間隔將器件襯底6302所擁有的一個(gè)象素電極(未示出)和第二測(cè)試襯底6315所擁有的一個(gè)測(cè)試電極6303重疊在一起。
測(cè)量控制器6306向測(cè)量定序器6308輸入一個(gè)作為信息的測(cè)量開始指令。由測(cè)量定序器6308控制一個(gè)面板顯示定序器6309選擇測(cè)試對(duì)象象素的位置，并且作為信息從面板顯示定序器6309向線圈驅(qū)動(dòng)器6310輸入這一位置。一個(gè)具有信號(hào)源和交流電源的RF載流子6311可以向后級(jí)電路提供交流電壓。測(cè)量定序器6308控制RF載流子6311向線圈驅(qū)動(dòng)器6310輸入一個(gè)交流電壓。
線圈驅(qū)動(dòng)器6310用輸入的交流電壓為外部輸入緩沖器6311提供用來操作測(cè)試對(duì)象象素的交流電壓。外部輸入緩沖器6311對(duì)供給的交流電壓進(jìn)行緩沖-放大，并將其提供給原邊線圈形成區(qū)6304。
為原邊線圈形成區(qū)6304提供交流電壓就能使器件襯底6302所擁有的測(cè)試對(duì)象象素工作。交流電壓被施加到該象素的象素電極上。
當(dāng)交流電壓被施加到象素電極上時(shí)，就會(huì)在與象素電極重疊的測(cè)試電極6303上產(chǎn)生一個(gè)交流電壓。在測(cè)試電極6303上產(chǎn)生的交流電壓中包括同一個(gè)象素的工作狀態(tài)信息。
在測(cè)試電極6303上產(chǎn)生的交流電壓被提供給一個(gè)信號(hào)處理電路6312。由信號(hào)處理電路6312處理在各個(gè)測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓值。具體地說就是計(jì)算出測(cè)試電極之間產(chǎn)生的交流電壓的差。在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓往往包括各種噪聲。通過計(jì)算在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓值之間的差就能在一定程度上消除在測(cè)試電極上產(chǎn)生的具有比較近的頻率和電壓的這種噪聲。測(cè)試電極彼此的位置靠得越近，噪聲的頻率和電壓就越近。因此，最好是計(jì)算彼此在位置上比較靠近的那些測(cè)試電極之間的交流電壓的差。
順便說，在測(cè)試電極6303上產(chǎn)生的交流電壓波形是不同的，它取決于象素的工作狀態(tài)。因此，計(jì)算出的交流電壓差中包括了象素工作狀態(tài)的信息。因此，具有信息的信號(hào)，也就是計(jì)算出的交流電壓差(工作信息信號(hào))中包括了象素工作狀態(tài)的信息。這一工作信息信號(hào)被輸入到選擇器電路6313。
通過測(cè)量定序器6308向選擇器電路6313提供由面板顯示定序器6309選擇的一個(gè)象素的位置信息，與各個(gè)測(cè)試電極6303重疊的一個(gè)象素電極的位置，以及重疊面積的比例。選擇器電路6313向一個(gè)信號(hào)分析器6314輸入一個(gè)工作信息信號(hào)，該信號(hào)對(duì)應(yīng)著多個(gè)輸入的工作信息信號(hào)當(dāng)中選定的那一個(gè)象素。
信號(hào)分析器6314將輸入的工作信息信號(hào)放大，并A/D轉(zhuǎn)換成數(shù)字形式，然后進(jìn)行處理。順便說，A/D轉(zhuǎn)換并不是必要的，也可以按模擬形式執(zhí)行處理操作。執(zhí)行處理操作是為了分析在監(jiān)測(cè)期間與測(cè)試電極重疊的這一象素的工作狀態(tài)。因此，設(shè)計(jì)人員可以正確地選擇處理操作的內(nèi)容。
經(jīng)過處理操作后的工作信息信號(hào)被輸入到測(cè)量控制器6306。
然后，處理器I/F6307改變第二測(cè)試電極6315相對(duì)于器件襯底6302的位置。多次重復(fù)上述操作，向測(cè)量控制器6308輸入多個(gè)經(jīng)過處理操作的工作信息信號(hào)。測(cè)量控制器6308根據(jù)在監(jiān)測(cè)期間與各個(gè)測(cè)試電極重疊的一個(gè)象素電極的位置和面積比例以及輸入的經(jīng)過處理操作的工作信息信號(hào)來確定各象素的狀態(tài)，并且確定該象素的正常/異常。
值得注意的是，本發(fā)明的測(cè)試裝置不僅限于圖14所示的構(gòu)造。只要本發(fā)明的測(cè)試裝置具有產(chǎn)生交流電壓的裝置，不接觸地向器件襯底的互連點(diǎn)和電路元件提供電壓的裝置，不接觸地讀出施加在器件襯底的象素電極上的電壓的裝置，以及用來控制器件襯底位置的裝置。另外還要根據(jù)交流電壓讀數(shù)不接觸地確定一個(gè)象素狀態(tài)，并且確定該象素的正常/異常。
本實(shí)施例要解釋圖13所示測(cè)試裝置的信號(hào)處理電路的具體構(gòu)造。應(yīng)該注意到圖14中所示的測(cè)試裝置也可以采用本實(shí)施例的構(gòu)造。
圖15表示本實(shí)施例的信號(hào)處理電路的電路圖。圖15所示的信號(hào)處理電路具有對(duì)應(yīng)著數(shù)量為y的測(cè)試電極303(E1到Ey)的多個(gè)差分放大器350_1到350_y-1。
在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓分別被輸入到差分放大器的非反相輸入(+)。對(duì)各差分放大器的反相輸入(-)提供與對(duì)應(yīng)著非反相輸入(+)的測(cè)試電極不同的測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓。
在本實(shí)施例中，在測(cè)試電極Ei(i是1到y(tǒng)-1當(dāng)中的任意一個(gè))上產(chǎn)生的交流電壓的電壓被提供給差分放大器350_i的非反相輸入(+)。在測(cè)試電極Ei+1(i是1到y(tǒng)-1當(dāng)中的任意一個(gè))上產(chǎn)生的交流電壓的電壓被提供給差分放大器350_i+1的第二端。
每個(gè)差分放大器的輸出向后級(jí)選擇器電路313輸入一個(gè)工作信息信號(hào)。根據(jù)從差分放大器輸出的工作信息信號(hào)就能確認(rèn)與各個(gè)測(cè)試電極重疊的一個(gè)象素的工作狀態(tài)。具體地說，根據(jù)工作信息信號(hào)所擁有的電壓的值或是波形就能確認(rèn)一個(gè)象素的工作狀態(tài)。然而，可以根據(jù)差分放大器350_y-1輸出的工作信息信號(hào)來確認(rèn)與測(cè)試電極Ey重疊的那一象素的工作狀態(tài)。同樣可以制備一個(gè)虛擬測(cè)試電極，將測(cè)試電極Ey上產(chǎn)生的交流電壓提供給一個(gè)單獨(dú)提供的差分放大器的非反相輸入(+)，而將虛擬測(cè)試電極的電壓提供給第二端。另外還可以在象素區(qū)內(nèi)提供一個(gè)不被實(shí)際用于顯示而是用于測(cè)試目的的虛擬象素，讓虛擬象素能夠與虛擬測(cè)試電極重疊。
與測(cè)試電極E1重疊的一個(gè)象素的工作狀態(tài)信息被包括在差分放大器350_1輸出的工作信息信號(hào)中。與測(cè)試電極E1j(j＝2到y(tǒng)-1)重疊的一個(gè)象素的工作狀態(tài)信息被包括在差分放大器350_j-1和差分放大器350_j輸出的工作信息信號(hào)中。與測(cè)試電極Ey重疊的一個(gè)象素的工作狀態(tài)信息被包括在差分放大器350_y-1輸出的工作信息信號(hào)中。
順便說，設(shè)計(jì)人員還可以正確地設(shè)置一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，根據(jù)一個(gè)象素工作狀態(tài)與正常象素工作狀態(tài)之間差別的程度來確定該象素工作是否正常。
本發(fā)明中使用的信號(hào)處理電路并不僅限于圖15所示的構(gòu)造。
這一實(shí)施例的實(shí)施可以和實(shí)施例1或2自由組合。
本實(shí)施例要解釋圖13所示測(cè)試裝置的信號(hào)處理電路的具體構(gòu)造。應(yīng)該注意到圖14中所示的測(cè)試裝置也可以采用本實(shí)施例的構(gòu)造。
圖16表示本實(shí)施例的信號(hào)處理電路的電路圖。圖16所示的信號(hào)處理電路具有對(duì)應(yīng)著數(shù)量為y的測(cè)試電極303(E1到Ey)的多個(gè)原邊感應(yīng)線圈360_1到360_y-1，多個(gè)副邊感應(yīng)線圈361_1到361_y-1和多個(gè)電容362_1到362_y-1。
本實(shí)施例的每個(gè)原邊和副邊感應(yīng)線圈(以下統(tǒng)稱為感應(yīng)線圈)的中心可以設(shè)有也可以不設(shè)一個(gè)磁性部件。同時(shí)，這些感應(yīng)線圈所擁有的互連點(diǎn)可以處在也可以不在同一平面上。
在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓分別被輸入到原邊感應(yīng)線圈的第一端子。對(duì)各個(gè)原邊感應(yīng)線圈的第二端子提供與對(duì)應(yīng)著第一端子的測(cè)試電極不同的測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓。
在本實(shí)施例中，在測(cè)試電極Ei(i是1到y(tǒng)-1當(dāng)中的任意一個(gè))上產(chǎn)生的交流電壓的電壓被提供給原邊感應(yīng)線圈360_i的第一端子。在測(cè)試電極Ei+1(i是1到y(tǒng)-1當(dāng)中的任意一個(gè))上產(chǎn)生的交流電壓的電壓被提供給原邊感應(yīng)線圈360_i+1的第二端子。
原邊感應(yīng)線圈360_1到360_y-1和副邊感應(yīng)線圈361_1到361_y-1分別被重疊在一起。在副邊感應(yīng)線圈361_1到361_y-1的第一和第二端子之間分別形成電容362_1到362_y-1。
在副邊感應(yīng)線圈361_1到361_y-1的第一端子上產(chǎn)生的電壓全部作為工作信息信號(hào)電壓被提供給選擇器電路313。為副邊感應(yīng)線圈361_1到361_y-1的所有第二端子提供一個(gè)恒定電壓(在圖16中是地電壓)。
根據(jù)在副邊感應(yīng)線圈的第一端子上產(chǎn)生的工作信息信號(hào)就能確認(rèn)與各個(gè)測(cè)試電極重疊的一個(gè)象素的工作狀態(tài)。然而，可以根據(jù)副邊感應(yīng)線圈360_y-1的第一端子上產(chǎn)生的工作信息信號(hào)來確認(rèn)與測(cè)試電極Ey重疊的那一象素的工作狀態(tài)。
同樣可以制備一個(gè)虛擬測(cè)試電極，將測(cè)試電極Ey上產(chǎn)生的交流電壓提供給一個(gè)單獨(dú)提供的原邊感應(yīng)線圈的第一端子，而將虛擬測(cè)試電極的電壓提供給原邊感應(yīng)線圈的第二端。根據(jù)在一個(gè)單獨(dú)提供的副邊感應(yīng)線圈的第一端子上產(chǎn)生的工作信息信號(hào)也可以確認(rèn)其工作狀態(tài)。另外還可以在象素區(qū)內(nèi)提供一個(gè)不被實(shí)際用于顯示而是用于測(cè)試目的的虛擬象素，讓虛擬象素能夠與虛擬測(cè)試電極重疊。
與測(cè)試電極E1重疊的一個(gè)象素的工作狀態(tài)信息被包括在副邊感應(yīng)線圈361_1的第一端子上產(chǎn)生的工作信息信號(hào)中。與測(cè)試電極Ej(j＝2到y(tǒng)-1)重疊的一個(gè)象素的工作狀態(tài)信息被包括在副邊感應(yīng)線圈361_j-1的第一端子和副邊感應(yīng)線圈361_j的第一端子上產(chǎn)生的工作信息信號(hào)中。與測(cè)試電極Ey重疊的一個(gè)象素的工作狀態(tài)信息被包括在副邊感應(yīng)線圈361_y-1的第一端子上產(chǎn)生的工作信息信號(hào)中。
設(shè)計(jì)人員還可以正確地設(shè)置一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，根據(jù)一個(gè)象素工作狀態(tài)與正常象素工作狀態(tài)之間差別的程度來確定該象素工作是否正常。
本發(fā)明中使用的信號(hào)處理電路并不僅限于圖16所示的構(gòu)造。
這一實(shí)施例的實(shí)施可以和實(shí)施例1或2自由組合。
這一實(shí)施例要用圖17來解釋實(shí)施模式1中的波形整形電路的具體構(gòu)造。應(yīng)該注意到實(shí)施模式2的波形整形電路也可以采用本實(shí)施例的構(gòu)造。
圖17表示在圖3中所示的信號(hào)源201，原邊線圈形成區(qū)101，副邊線圈形成區(qū)117和波形整形電路116a之間的一種連接形式。原邊線圈形成區(qū)101中設(shè)有多個(gè)原邊線圈206。副邊線圈形成區(qū)117中設(shè)有多個(gè)副邊線圈207。
從信號(hào)源201向每個(gè)原邊線圈206輸入一個(gè)測(cè)試交流信號(hào)。具體地說，從信號(hào)源201向原邊線圈206所擁有的兩個(gè)端子之間施加測(cè)試交流信號(hào)電壓。當(dāng)一個(gè)交流信號(hào)被輸入到原邊線圈206時(shí)，就會(huì)在對(duì)應(yīng)的副邊線圈207上產(chǎn)生一個(gè)交流電壓或電動(dòng)勢(shì)。該交流電壓被提供給波形整形電路116a。
波形整形電路116a是一個(gè)電子電路，用來對(duì)時(shí)間量有一定變化的電壓或電流波形整形。圖17具有電阻501，502和電容503，504，用電路元件的組合構(gòu)成一個(gè)積分型波形整形電路116a。波形整形電路當(dāng)然不僅限于圖17所示的構(gòu)造。同樣，類似的電源電路，采用二極管的波形檢測(cè)電路也可以用于波形整形。
本發(fā)明中采用的波形整形電路116a根據(jù)輸入的交流電動(dòng)勢(shì)具體產(chǎn)生并輸出一個(gè)時(shí)鐘信號(hào)(CLK)，一個(gè)開始脈沖信號(hào)(SP)或視頻信號(hào)。
波形整形電路116a產(chǎn)生隨意形式的信號(hào)，不僅限于上述信號(hào)。由波形整形電路116a產(chǎn)生的信號(hào)可以用來確認(rèn)象素的工作狀態(tài)。
從波形整形電路116a輸出的信號(hào)被輸入到后級(jí)電路例如是信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路111，掃描線驅(qū)動(dòng)電路112和象素區(qū)113。
這一實(shí)施例的實(shí)施可以和實(shí)施例1到4自由組合。
本實(shí)施例要用圖18來解釋實(shí)施模式2中的整流電路116b的具體構(gòu)造。實(shí)施模式2的整流電路可以采用本實(shí)施例所示的構(gòu)造。
圖18表示在圖3中所示的交流電源202，原邊線圈形成區(qū)101，副邊線圈形成區(qū)117和整流電路116b之間的一種連接形式。原邊線圈形成區(qū)101中設(shè)有多個(gè)原邊線圈206。副邊線圈形成區(qū)117中設(shè)有多個(gè)副邊線圈207。
從交流電源202向每個(gè)原邊線圈206輸入一個(gè)測(cè)試交流信號(hào)。當(dāng)一個(gè)交流信號(hào)被輸入到原邊線圈206時(shí)，就會(huì)在對(duì)應(yīng)的副邊線圈207上產(chǎn)生一個(gè)交流電壓或電動(dòng)勢(shì)。該交流電壓被提供給整流電路116b。
本發(fā)明的整流電路116b是用來從提供的交流電壓產(chǎn)生一種直流電源電壓的電路。直流電源電壓的意思是說提供給電路，電路元件或者是象素的電壓保持在恒定的高度。
圖18所示的整流電路116b具有二極管601，電容602和電阻603。用二極管601對(duì)輸入的交流電壓整流并將其轉(zhuǎn)換成直流電壓。
圖19A表示交流電壓在二極管601中經(jīng)過整流之前隨時(shí)間的變化。圖19B表示整流后的電壓隨時(shí)間的變化。在圖19A和19B之間進(jìn)行比較可見，經(jīng)過整流后的電壓在一半周期的間隔中具有零或單極性的值，也就是一種脈沖電壓。
圖19B所示的脈沖電壓難以被用做電源電壓。因此往往要利用電容的存儲(chǔ)效應(yīng)對(duì)脈沖進(jìn)行平滑并轉(zhuǎn)換成直流電壓。然而，為了用薄膜半導(dǎo)體形成容量足以平滑這種脈沖的電容，就需要不切實(shí)際地大大增加電容的面積。因此，本發(fā)明是在整流之后將相位不同的脈沖電壓組合(相加)到一起而平滑電壓的。即使電容的容量很小，上述構(gòu)造也足以平滑這種脈沖。另外，不需要實(shí)際設(shè)置一個(gè)電容就足以平滑這種脈沖。
在圖18中，相位不同的交流信號(hào)被分別輸入到四個(gè)原邊線圈，在四個(gè)二極管601輸出四個(gè)相位不同的脈沖電壓。這四個(gè)脈沖電壓被加在一起形成一個(gè)高度大致維持恒定的直流電源電壓，可以輸出到后級(jí)電路。
盡管圖18是將四個(gè)二極管601輸出的相位不同的四個(gè)脈沖信號(hào)加在一起形成一個(gè)電源電壓，本發(fā)明不僅限于這種構(gòu)造。相位劃分的數(shù)量不僅限于此。只要能將整流電路的輸出平滑到可以作為一個(gè)電源來使用的程度，相位劃分的數(shù)量就沒有限制。
圖20A-20C表示將多個(gè)整流信號(hào)加在一起獲得的電源電壓隨時(shí)間的變化。圖20A表示的例子是將四個(gè)相位不同的脈沖電壓加在一起產(chǎn)生的電源電壓。
由于本發(fā)明的整流電路是將多個(gè)脈沖加在一起而產(chǎn)生電壓的，電壓中除了直流外還有波動(dòng)成分。波動(dòng)對(duì)應(yīng)著最高電壓和最低電壓之間的差。波動(dòng)越小，直流電路產(chǎn)生的電壓就越接近適合作為電源電壓的直流。
圖20B表示將八個(gè)相位不同的脈沖電壓加在一起獲得的電源電壓隨時(shí)間的變化?？梢钥闯霾▌?dòng)比圖20A所示的電源電壓的時(shí)間變化要小。
圖20C表示將十六個(gè)相位不同的脈沖電壓加在一起獲得的電源電壓隨時(shí)間的變化。可以看出波動(dòng)比圖20B所示的電源電壓的時(shí)間變化還要小。
按照這種方式就可以看出，將相位不同的許多脈沖加在一起就能減少電源電壓的波動(dòng)而變成直流。因此，隨著相位劃分?jǐn)?shù)量的增加，從整流電路輸出的電源電壓越來越平滑。同樣，隨著電容602容量的增加，從整流電路輸出的電源電壓也越來越平滑。
整流電路116b產(chǎn)生的電源電壓通過端子610和611輸出。具體地說，通過端子610輸出接近地電位的電壓，通過端子611輸出具有正極性的電源電壓。如果將二極管的陽極和陰極顛倒連接，就能改變輸出電源電壓的極性。連接到端子610和611上的二極管602的陽極和陰極被顛倒連接到連接在端子612和613上的二極管601上。這樣就能通過端子612輸出接近地電位的電壓，而通過端子613輸出具有負(fù)極性的電源電壓。
順便說，在器件襯底上設(shè)有各種電路或電路元件。提供給電路或電路元件的電源電壓的高度不同，這取決于電路或電路元件的類型和用途。在圖18所示的整流電路中，通過調(diào)節(jié)輸入交流信號(hào)的振幅就能調(diào)節(jié)輸入到各個(gè)端子的電壓高度。另外，也可以通過改變端子連接來改變電源電壓的高度。
本發(fā)明采用的整流電路不僅限于圖18所示的半波整流電路。本發(fā)明采用的整流電路是一種能夠從輸入的交流信號(hào)產(chǎn)生直流電源電壓的電路。
圖21A-21B表示構(gòu)造與圖18所示不同的其它整流電路的電路圖。圖21A所示的整流電路是一種具有兩個(gè)二極管902和903的倍壓全波整流電路901。并且圖21A所示的倍壓全波整流電路具有電容904和905。電容的位置和數(shù)量并不僅限于圖21A所示的情況。
二極管902和陰極和二極管903的陽極都連接到副邊線圈的一個(gè)端子。如果提供多個(gè)倍壓全波整流電路901并將其輸出加在一起，所獲得的直流電壓就能達(dá)到圖18所示的半波整流電路的二倍。
圖21B所示的整流電路是一種具有四個(gè)二極管912，913914和915的橋式整流電路911。四個(gè)二極管912，913914和915形成一個(gè)電橋。圖21B所示的橋式整流電路同樣具有電容916。電容的位置和數(shù)量并不僅限于圖21B所示的情況。
這一實(shí)施例的實(shí)施可以和實(shí)施例1到5自由組合。
本實(shí)施例以普通發(fā)光器件為例詳細(xì)解釋測(cè)試驅(qū)動(dòng)信號(hào)和電源電壓。
圖22表示用于普通發(fā)光器件的一種OLED面板的構(gòu)造。圖22是用數(shù)字視頻信號(hào)來解釋用發(fā)光器件顯示圖像的一種驅(qū)動(dòng)電路的例子。圖22所示的OLED面板具有信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路700，掃描線驅(qū)動(dòng)電路701和象素區(qū)702。
象素區(qū)702設(shè)有許多信號(hào)線，許多掃描線，和許多電源線。被信號(hào)線，掃描線和電源線包圍的區(qū)域?qū)?yīng)著一個(gè)象素。圖22僅僅示意性地表示了眾多象素當(dāng)中具有一條信號(hào)線707，一條掃描線709和一條電源線708的一個(gè)象素。每個(gè)象素有一個(gè)作為開關(guān)元件的開關(guān)TFT703，一個(gè)驅(qū)動(dòng)TFT704，一個(gè)存儲(chǔ)電容705，和一個(gè)OLED象素電極706。
開關(guān)TFT703的柵極電極連接到掃描線709。開關(guān)TFT703的源極和漏極區(qū)之一連接到信號(hào)線707，而另一方連接到驅(qū)動(dòng)TFT704的柵極電極。
驅(qū)動(dòng)TFT704的源極和漏極區(qū)之一連接到電源線708，而另一方連接到象素電極706。驅(qū)動(dòng)TFT704的柵極電極和電源線704形成一個(gè)存儲(chǔ)電容705。有時(shí)候不需要形成存儲(chǔ)電壓705。
信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路700具有移位寄存器710，第一鎖存器711和第二鎖存器712。移位寄存器710，第一鎖存器711和第二鎖存器712各自有一個(gè)電源。同時(shí)將用于信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路的時(shí)鐘信號(hào)(S-CLK)和開始脈沖信號(hào)(S-SP)提供給移位寄存器710。為第一鎖存器711提供一個(gè)鎖存信號(hào)來確定鎖存和視頻信號(hào)的定時(shí)。
當(dāng)時(shí)鐘信號(hào)(S-CLK)和開始脈沖信號(hào)(S-SP)被輸入到移位寄存器710時(shí)，就會(huì)產(chǎn)生一個(gè)用來確定采樣視頻信號(hào)定時(shí)的采樣信號(hào)，并且輸入到第一鎖存器711。
來自移位寄存器710的采樣信號(hào)經(jīng)過緩沖器等等的緩沖-放大之后可以輸入到第一鎖存器711。輸入采樣信號(hào)的互連點(diǎn)被連接到許多電路或電路元件，因而其負(fù)載電容(寄生電容)很大。緩沖器可以有效防止定時(shí)信號(hào)的前沿或后沿因大負(fù)載電容造成的“減弱”。
第一鎖存器711有多級(jí)鎖存器。第一鎖存器711與輸入采樣信號(hào)同步地對(duì)輸入視頻信號(hào)采樣，并且按順序存儲(chǔ)在各級(jí)鎖存器中。
線周期的參考是將一個(gè)視頻信號(hào)寫入第一鎖存器711的所有各級(jí)鎖存器所需的時(shí)間。實(shí)際上，這一線周期在某些情況下還包括加上一個(gè)水平回掃周期的時(shí)間的線周期。
在結(jié)束一個(gè)線周期之后，一個(gè)鎖存信號(hào)被輸入到第二鎖存器712。在本例中，寫入并保持在第一鎖存器711上的視頻信號(hào)立即被傳送到第二鎖存器712，并且被寫入和保持在第二鎖存器712的所有后級(jí)鎖存器上。
按照來自移位寄存器710的采樣信號(hào)按順序?qū)⒁粋€(gè)視頻信號(hào)寫入已經(jīng)將視頻信號(hào)傳送給第二鎖存器712的第一鎖存器711。
在第二線周期內(nèi)，寫入和保持在第二鎖存器712上的視頻信號(hào)被輸入到源極信號(hào)線。
另一方面，掃描線驅(qū)動(dòng)電路701具有一個(gè)移位寄存器721和一個(gè)緩沖器722。為移位寄存器721和緩沖器722提供電源。同時(shí)為移位寄存器721提供用于掃描線驅(qū)動(dòng)電路的時(shí)鐘信號(hào)(G-CLK)和開始脈沖信號(hào)(G-SP)。
在電源線708上施加交流電壓。
當(dāng)時(shí)鐘信號(hào)(G-CLK)和開始脈沖信號(hào)(G-SP)被輸入到移位寄存器721時(shí)，就產(chǎn)生一個(gè)用來確定掃描線選擇定時(shí)的選擇信號(hào)，并且輸入到緩沖器722。輸入到緩沖器722的選擇信號(hào)被緩沖-放大并輸入到掃描線709。
被選中的掃描線709導(dǎo)通柵極電極連接在被選中掃描線709上的那一個(gè)開關(guān)TFT703。輸入到信號(hào)線的視頻信號(hào)通過導(dǎo)通的開關(guān)TFT703輸入到驅(qū)動(dòng)TFT704的柵極電極。
根據(jù)輸入到柵極電極的視頻信號(hào)所擁有的信息1或0來控制驅(qū)動(dòng)TFT704的開關(guān)。當(dāng)驅(qū)動(dòng)TFT704導(dǎo)通時(shí)，電源線上的交流電壓被提供給象素電極。當(dāng)驅(qū)動(dòng)TFT704關(guān)斷時(shí)，電源線上的交流電壓不會(huì)提供給象素電極。
按照這樣的方式，當(dāng)信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路700，掃描線驅(qū)動(dòng)電路701和象素區(qū)702操作時(shí)，有一個(gè)交流電壓被施加在象素電極上，這樣就會(huì)在測(cè)試電極730上產(chǎn)生一個(gè)包括該象素工作信息的交流電壓。根據(jù)在測(cè)試電極730上產(chǎn)生的交流電壓來確認(rèn)象素工作信息，并且確定象素正常/異常。
另外，即使在驅(qū)動(dòng)電路上發(fā)生故障而象素本身并沒有缺陷，施加在象素電極上的電壓值就會(huì)改變。這樣就能確定驅(qū)動(dòng)電路的正常/異常。
對(duì)于圖22所示的OLED面板，S-CLK，S-SP，G-CLK，G-SP，鎖存信號(hào)和視頻信號(hào)都作為測(cè)試驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸入給各個(gè)電路。但測(cè)試驅(qū)動(dòng)信號(hào)不僅限于上述信號(hào)。任何與驅(qū)動(dòng)有關(guān)的信號(hào)都可以用做測(cè)試驅(qū)動(dòng)信號(hào)。例如，除了上述信號(hào)以外，還可以用輸入信號(hào)來確定掃描線上一個(gè)方向的開關(guān)定時(shí)，或者是用來切換掃描線選擇信號(hào)的輸入方向的一個(gè)信號(hào)。然而，重要的是輸入的信號(hào)要能夠確認(rèn)被測(cè)象素的工作狀態(tài)，或者是能夠確定其正常/異常。
在測(cè)試OLED所擁有的一部分象素而不是測(cè)試所有象素的情況下，僅僅輸入用來驅(qū)動(dòng)僅僅一部分象素的驅(qū)動(dòng)信號(hào)就足夠了。不需要輸入所有的上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
值得注意的是，如果是將不同相位的脈沖信號(hào)加在一起產(chǎn)生一個(gè)電源電壓，原邊線圈的數(shù)量隨需要相加的脈沖信號(hào)的數(shù)量而有所不同。
本發(fā)明的測(cè)試裝置和方法不僅限于具有圖22所示構(gòu)造的OLED面板。
這一實(shí)施例的實(shí)施可以和實(shí)施例1到6自由組合。
本實(shí)施例要解釋用一個(gè)大尺寸襯底在測(cè)試之后通過切割襯底而形成多個(gè)顯示器襯底。
圖23表示本實(shí)施例中在切割之前的一個(gè)大尺寸襯底的頂視圖。1001是象素區(qū)，1002是掃描線驅(qū)動(dòng)電路，1003是信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路。在1004所示的區(qū)域還設(shè)有僅僅用于測(cè)試步驟并在完成測(cè)試后不再使用的電路或電路元件，也就是多個(gè)副邊線圈，波形整形電路，整流電路，專用測(cè)試電路等等。
在圖23中，沿著虛線所示的線切割襯底，由一個(gè)襯底形成九個(gè)顯示器襯底。順便說，盡管本實(shí)施例表示的例子是用一個(gè)襯底形成九個(gè)顯示器襯底，本實(shí)施例還不僅限于這一數(shù)量。
切割的意思是在切割過程中從物理和電氣上斷開副邊線圈和連接器。在圖23中，區(qū)域1004被設(shè)在襯底上在切割之后不被用于顯示器的那一側(cè)上。
下面用不同于圖23的一個(gè)實(shí)施例來解釋如何切割大尺寸襯底。在圖24中，1101是象素區(qū)，1102是掃描線驅(qū)動(dòng)電路，1103是信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路。在1104所示的區(qū)域還設(shè)有僅僅用于測(cè)試步驟并在完成測(cè)試后不再使用的電路或電路元件，也就是多個(gè)副邊線圈，波形整形電路，整流電路，專用測(cè)試電路等等。
在圖24中，沿著虛線所示的線切割襯底，由一個(gè)襯底形成九個(gè)顯示器襯底。順便說，盡管本實(shí)施例表示的例子是用一個(gè)襯底形成九個(gè)顯示器襯底，本實(shí)施例還不僅限于這一數(shù)量。
注意到切割和斷開是在切割過程中從物理和電氣上斷開副邊線圈和連接器。在圖24中，區(qū)域1104被設(shè)在襯底的一條切割線上，并且在測(cè)試之后被切斷。由于在測(cè)試后就不再需要形成在區(qū)域1194中的電路或電路元件了，制成的半導(dǎo)體器件在工作中不會(huì)出現(xiàn)故障。
波形整形電路或整流電路在切割后可以留在襯底上當(dāng)作半導(dǎo)體器件使用，或者是留在襯底上不做半導(dǎo)體器件使用。否則，切割后的電路就會(huì)斷裂。
這一實(shí)施例的實(shí)施可以和實(shí)施例1到7自由組合。
本實(shí)施例用一個(gè)流程圖來解釋本發(fā)明的測(cè)試步驟中的操作順序。
圖25表示本發(fā)明的測(cè)試步驟的流程圖。首先，在完成測(cè)試前的制造步驟之后，不接觸地對(duì)器件襯底上的電路或電路元件施加測(cè)試電源電壓或驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓。
作為結(jié)果，讓作為測(cè)試對(duì)象的象素執(zhí)行某種工作，在與象素重疊的測(cè)試電極上產(chǎn)生一個(gè)具有象素工作狀態(tài)信息的交流電壓。在改變測(cè)試電極位置的同時(shí)多次監(jiān)測(cè)這一交流電壓。
根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓來確認(rèn)象素工作狀態(tài)，并且確定象素的正常/異常。象素工作狀態(tài)不一定要篩分成正常和異常兩種，還可以根據(jù)工作狀態(tài)篩分成多個(gè)等級(jí)。
同時(shí)，專業(yè)人員還可以正確地設(shè)置象素正常/異常的確定標(biāo)準(zhǔn)。在有些象素被確定為異常的情況下，專業(yè)人員還能正確地設(shè)置如何來確定器件襯底能不能用。即使有一個(gè)異常象素也能確定異常，或者是在異常象素達(dá)到一定數(shù)量時(shí)確定為異常。
在確定正常的情況下，在測(cè)試步驟之后就考慮結(jié)束測(cè)試并開始裝配步驟。
如果確定有異常，就選擇從產(chǎn)品尚未完成的步驟中除去(放棄)，或者是確定異常的原因。如果是用大尺寸襯底制造多個(gè)產(chǎn)品，可以在切割襯底之后再放棄。
如果確定有異常并且有可能維修，可以在維修之后重復(fù)上述操作而再次執(zhí)行本發(fā)明的測(cè)試步驟。反之，如果確定不可能維修，就在此時(shí)放棄。
這一實(shí)施例的實(shí)施可以和實(shí)施例1到8自由組合。
本實(shí)施例要解釋本發(fā)明中使用的線圈，線圈所擁有的端子，和一個(gè)互連點(diǎn)(線圈互連點(diǎn))之間的具體連接方式。
在圖26A中，線圈1601被形成在一個(gè)絕緣面上，并且形成一個(gè)層間絕緣薄膜1603覆蓋住絕緣面上的線圈1601。在層間絕緣薄膜中形成一個(gè)接觸孔，通過接觸孔在層間絕緣薄膜上形成連接到線圈1601的線圈互連點(diǎn)1602。
圖26B表示沿著圖26A中點(diǎn)劃線C-C′的一個(gè)截面圖。
在圖26C中，在一個(gè)絕緣面上形成線圈互連點(diǎn)1612。形成一個(gè)層間絕緣薄膜1613覆蓋住絕緣面上的線圈互連點(diǎn)1612。在層間絕緣薄膜中形成一個(gè)接觸孔，通過接觸孔在層間絕緣薄膜上形成連接到線圈互連點(diǎn)1612的一個(gè)線圈1611。
圖26D表示沿著圖26C中點(diǎn)劃線D-D′的一個(gè)截面圖。
在本發(fā)明中采用的線圈的制造方法不僅限于上述方法。對(duì)一個(gè)絕緣薄膜構(gòu)圖就能形成一種渦旋槽。形成一個(gè)導(dǎo)電薄膜覆蓋住絕緣薄膜上的槽。然后通過蝕刻或CMP工藝研磨導(dǎo)電薄膜，直至暴露出絕緣薄膜，僅僅留下槽中的導(dǎo)電薄膜。留在槽中的導(dǎo)電薄膜可以用做線圈。
這一實(shí)施例的實(shí)施可以和實(shí)施例1到8自由組合。
本實(shí)施例要解釋如何用實(shí)施模式1中的Walsh函數(shù)執(zhí)行測(cè)試的方法，從而確定各象素工作是否正常。
本實(shí)施例中所述的情況是具有4×4個(gè)象素的發(fā)光器件。對(duì)于具有4×4個(gè)象素的發(fā)光器件要確定數(shù)量為16的十六個(gè)函數(shù)組W00(4，4)到W33(4，4)(以下簡(jiǎn)寫成W00和W33)。
圖27具體表示用這些函數(shù)組W00和W33操作的各象素的位置。用空白表示的象素和用陰影表示的象素施加在測(cè)試電極上的電壓值是不同的。
如果用函數(shù)組W00和W33按順序操作這些象素，數(shù)量為4×4的象素在工作中是彼此不同的。因此，即使是按照具有同一條掃描線的象素使測(cè)試電極與這些象素重疊，也能通過測(cè)試確定每一個(gè)象素工作是否正常。
例如以第一條線上的象素為例，在象素(1，1)中，假設(shè)用0代表表示成空白的象素，用X代表表示成陰影的象素，所有的情況就都是0。以象素(2，1)為例，可以按順序表示成00XX00XX00XX00XX。象素(3，1)可以按順序表示成0XX00XX00XX00XX0。象素(4，1)可以按順序表示成0X0X0X0X0X0X0X。
如果所有象素都正常工作，第一條線上的象素中0的數(shù)量根據(jù)各自的函數(shù)可以按順序表示成4，2，2，2，4，2，2，2，4，2，2，2，4，2，2，2。如果象素(2，1)不能正常工作，從而始終顯示出陰影，第一條線上的象素中0的數(shù)量根據(jù)各自的函數(shù)就可以按順序表示成3，1，2，2，3，1，2，2，3，1，2，2，3，1，2，2。這樣，通過比較所有象素都正常工作的情況，就能確定象素(2，1)不能正常工作。
盡管本實(shí)施例采用了二維的Walsh函數(shù)，也可以用一維Walsh函數(shù)來操作各個(gè)象素。在這種情況下，可以用四個(gè)函數(shù)組測(cè)試具有4×4個(gè)象素的上述發(fā)光器件的工作狀態(tài)。
這一實(shí)施例的實(shí)施可以和實(shí)施例1到9自由組合。
本發(fā)明采用上述的結(jié)構(gòu)就能確定作為測(cè)試對(duì)象的一個(gè)象素的正常/異常，不用直接在互連點(diǎn)或探針端子上使用探針。這樣就能防止因使用探針造成的細(xì)微灰塵而降低后續(xù)加工的產(chǎn)量。另外，由于用一個(gè)測(cè)試步驟就能確定每一構(gòu)圖形成步驟中的正常/異常，能夠簡(jiǎn)化測(cè)試步驟。
權(quán)利要求
1.一種測(cè)量電壓的方法，包括不接觸地對(duì)一個(gè)象素所擁有的互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓，從而將電壓施加在該象素的象素電極上；以及不接觸地讀出施加在象素電極上的電壓。
2.一種測(cè)量電壓的方法，包括不接觸地對(duì)多個(gè)象素各自的互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓，從而將電壓施加在各象素各自的象素電極上；以及不接觸地讀出施加在各象素各自的象素電極上的電壓之和。
3.一種測(cè)量電壓的方法，包括在第一線圈的兩個(gè)端子之間施加第一交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將第一線圈和第二線圈重疊在一起；利用在第二線圈的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生的第二交流電壓對(duì)一個(gè)象素的象素電極施加第三交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將象素電極和測(cè)試電極重疊在一起；并且根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的第四交流電壓計(jì)算出施加到象素電極上的電壓。
4.按照權(quán)利要求3的方法，其特征是對(duì)第二交流電壓執(zhí)行整流或波形整形，并且施加在象素中的互連點(diǎn)或電路元件上，從而將第三交流電壓施加在象素電極上。
5.一種測(cè)量電壓的方法，包括在第一線圈的兩個(gè)端子之間施加第一交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將第一線圈和第二線圈重疊在一起；用第二線圈的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生的第二交流電壓對(duì)多個(gè)象素各自的象素電極施加第三交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將這些象素的象素電極和一個(gè)測(cè)試電極重疊在一起；并且根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的第四交流電壓計(jì)算出施加到各象素各自的象素電極上的電壓之和。
6.按照權(quán)利要求5的方法，其特征是對(duì)第二交流電壓執(zhí)行整流或波形整形，并且施加在多個(gè)象素各自的互連點(diǎn)或電路元件上，從而將第三交流電壓施加在多個(gè)象素各自的象素電極上。
7.按照權(quán)利要求3或5的方法，其特征是第一線圈和第二線圈具有形成在同一平面上的互連點(diǎn)，并且其中的各互連點(diǎn)形成渦旋形狀。
8.按照權(quán)利要求3或5的方法，其特征是第一線圈和測(cè)試電極形成在第一絕緣面上，而第二線圈和象素電極被形成在第二絕緣面上。
9.按照權(quán)利要求8的方法，其特征是由在第一絕緣面和第二絕緣面之間流動(dòng)的流體來控制第一絕緣面和第二絕緣面之間的間隔。
10.按照權(quán)利要求3或5的方法，其特征是利用按這種電壓測(cè)量方法獲得的施加到象素電極上的電壓或電壓之和來確定該象素或各象素的正常/異常。
11.一種用于對(duì)半導(dǎo)體器件的象素執(zhí)行電氣測(cè)試的裝置，該電氣測(cè)試裝置包括原邊線圈；通過一個(gè)固定間隔將原邊線圈和半導(dǎo)體器件中的副邊線圈重疊到一起的裝置；通過一個(gè)固定間隔將象素的象素電極和一個(gè)測(cè)試電極重疊到一起的裝置；在原邊線圈的兩個(gè)端子之間施加一個(gè)交流電壓的裝置；以及根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓來確認(rèn)該象素工作狀態(tài)的裝置。
12.按照權(quán)利要求11的裝置，其特征是在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓中包括象素的工作狀態(tài)的信息。
13.按照權(quán)利要求11的裝置，其特征是利用在原邊線圈和副邊線圈之間流動(dòng)的流體來控制原邊線圈和副邊線圈之間的間隔。
14.按照權(quán)利要求11的裝置，其特征是第一線圈具有形成在同一平面上的互連點(diǎn)，并且其中的互連點(diǎn)形成渦旋形狀。
15.一種半導(dǎo)體器件的制造方法，該方法包括形成一個(gè)象素電極和一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件；不接觸地對(duì)互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓，從而將電壓施加到象素電極上；并且不接觸地讀出施加到象素電極上的電壓。
16.一種半導(dǎo)體器件的制造方法，該方法包括形成一個(gè)象素電極，一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件，第一線圈，以及第二線圈；在第一線圈的兩個(gè)端子之間施加第一交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將第一線圈和第二線圈重疊在一起；利用在第二線圈的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生的第二交流電壓對(duì)象素電極施加一個(gè)第三交流電壓；通過一個(gè)固定間隔將象素電極和一個(gè)測(cè)試電極重疊在一起；并且根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的第四交流電壓計(jì)算出施加到象素電極上的電壓。
17.按照權(quán)利要求16的方法，其特征是對(duì)第二交流電壓執(zhí)行整流或波形整形，并且施加在互連點(diǎn)或電路元件上，從而將第三交流電壓施加在象素電極上。
18.一種測(cè)量電壓的方法，該方法包括對(duì)一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓來控制施加給多個(gè)象素電極的電壓；在通過一個(gè)間隔與至少一部分象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)測(cè)試電極上的電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置計(jì)算出施加在各象素電極上的電壓。
19.按照權(quán)利要求18的方法，其特征是不接觸地對(duì)互連點(diǎn)或電路元件施加電壓。
20.一種測(cè)量電壓的方法，該方法包括在第一線圈的兩個(gè)端子之間施加第一交流電壓；通過一個(gè)間隔將第一線圈和第二線圈重疊在一起；對(duì)一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件施加在第二線圈的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生的第二交流電壓，用來控制施加給多個(gè)象素電極的電壓；在通過一個(gè)間隔與至少一部分象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的第三交流電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置計(jì)算出施加在各象素電極上的電壓。
21.按照權(quán)利要求20的方法，其特征是對(duì)第二交流電壓執(zhí)行整流或波形整形，并且施加在互連點(diǎn)或電路元件上，從而將第二交流電壓施加在互連點(diǎn)或電路元件上。
22.按照權(quán)利要求20的方法，其特征是第一線圈和第二線圈具有形成在同一平面上的互連點(diǎn)，并且其中的各互連點(diǎn)形成渦旋形狀。
23.按照權(quán)利要求20的方法，其特征是利用在第一線圈和第二線圈之間流動(dòng)的流體來控制第一線圈和第二線圈之間的間隔。
24.按照權(quán)利要求18或20的方法，其特征是采用Fourier變換方法用連續(xù)近似和投影分段法則或者是一種重疊積分方法計(jì)算出各個(gè)象素電極上的電壓。
25.一種電氣測(cè)試方法，包括對(duì)一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓，用于控制施加到多個(gè)象素電極上的電壓；在通過一個(gè)間隔與至少一部分象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)測(cè)試電極上的電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置確認(rèn)互連點(diǎn)或電路元件的工作狀態(tài)。
26.按照權(quán)利要求25的方法，其特征是不接觸地將電壓施加在互連點(diǎn)或電路元件上。
27.一種電氣測(cè)試方法，包括對(duì)一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓，用于控制施加到多個(gè)象素電極上的電壓；在通過一個(gè)間隔與至少一部分象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)測(cè)試電極上的電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置來確定施加到象素電極上的電壓的分布。
28.按照權(quán)利要求27的方法，其特征是不接觸地對(duì)互連點(diǎn)或電路元件施加電壓。
29.按照權(quán)利要求27的方法，其特征是進(jìn)一步包括根據(jù)電壓分布來確認(rèn)互連點(diǎn)或電路元件的工作狀態(tài)。
30.一種電氣測(cè)試方法，包括在第一線圈的兩個(gè)端子之間施加第一交流電壓；通過一個(gè)間隔將第一線圈和第二線圈重疊在一起；將第二線圈的兩個(gè)端子之間產(chǎn)生的第二交流電壓施加在一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件上，用于控制施加到多個(gè)象素電極上的電壓；在通過一個(gè)間隔與至少一部分象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的第三交流電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置來確認(rèn)互連點(diǎn)或電路元件的工作狀態(tài)。
31.按照權(quán)利要求30的方法，其特征是進(jìn)一步包括根據(jù)第三交流電壓來確定施加到象素電極上的電壓的分布，在其中根據(jù)電壓分布來確認(rèn)互連點(diǎn)或電路元件的工作狀態(tài)。
32.按照權(quán)利要求30的方法，其特征是對(duì)第二交流電壓執(zhí)行整流或波形整形，并且施加在互連點(diǎn)或電路元件上，從而施加在互連點(diǎn)或電路元件上。
33.按照權(quán)利要求30的方法，其特征是第一線圈和第二線圈具有形成在同一平面上的互連點(diǎn)，并且其中的各互連點(diǎn)采取渦旋形狀。
34.按照權(quán)利要求30的方法，其特征是利用在原邊線圈和副邊線圈之間流動(dòng)的流體來控制第一線圈和第二線圈之間的間隔。
35.一種對(duì)一個(gè)器件襯底中的多個(gè)象素進(jìn)行電氣測(cè)試的裝置，該電氣測(cè)試裝置包括原邊線圈；通過一個(gè)間隔將原邊線圈和器件襯底中的副邊線圈重疊到一起的裝置；通過一個(gè)間隔使這些象素的至少一部分象素電極與一個(gè)測(cè)試電極重疊的裝置；用來改變測(cè)試電極相對(duì)于這些象素的象素電極的位置的裝置；在原邊線圈的兩個(gè)端子之間施加一個(gè)交流電壓的裝置；以及根據(jù)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓來確認(rèn)各個(gè)象素的工作狀態(tài)的裝置。
36.按照權(quán)利要求35的裝置，其特征是在各個(gè)象素的一部分象素電極通過一個(gè)間隔與測(cè)試電極重疊的狀態(tài)下改變測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置。
37.按照權(quán)利要求35的裝置，其特征是利用在原邊線圈和副邊線圈之間流動(dòng)的流體來控制原邊線圈和副邊線圈之間的間隔。
38.按照權(quán)利要求35的裝置，其特征是第一線圈具有形成在同一平面上的互連點(diǎn)，并且其中的互連點(diǎn)形成渦旋形狀。
39.一種制造半導(dǎo)體器件的方法，包括形成一個(gè)互連點(diǎn)或電路元件，以及可以通過互連點(diǎn)或電路元件提供一個(gè)電壓的象素電極；對(duì)互連點(diǎn)或電路元件施加一個(gè)電壓；在通過一個(gè)間隔與至少一部分象素電極重疊的狀態(tài)下移動(dòng)一個(gè)測(cè)試電極；并且根據(jù)測(cè)試電極上的電壓和測(cè)試電極相對(duì)于象素電極的位置計(jì)算出因施加在各個(gè)象素電極上的電壓而施加到各象素各自的象素電極上的電壓。
40.按照權(quán)利要求39的方法，其特征是不接觸地將電壓施加在互連點(diǎn)或電路元件上。
41.按照權(quán)利要求39的方法，其特征是半導(dǎo)體器件包括一個(gè)器件襯底。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種在互連點(diǎn)上不使用探針的簡(jiǎn)單的測(cè)試方法,以及采用這種測(cè)試方法的一種測(cè)試裝置。一個(gè)測(cè)試襯底所擁有的原邊線圈和一個(gè)OLED面板所擁有的副邊線圈通過一個(gè)固定間隔被重疊在一起。對(duì)原邊線圈輸入一個(gè)交流信號(hào),利用電磁感應(yīng)在副邊線圈上產(chǎn)生一個(gè)電動(dòng)勢(shì)。利用這一電動(dòng)勢(shì)來操作OLED面板所擁有的象素。通過一個(gè)固定間隔使一個(gè)象素電極和一個(gè)測(cè)試電極重疊在一起。通過監(jiān)測(cè)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓來檢測(cè)故障點(diǎn)。另外還可以通過在改變測(cè)試電極位置的同時(shí)監(jiān)測(cè)在測(cè)試電極上產(chǎn)生的交流電壓而確認(rèn)各個(gè)象素的工作狀態(tài)。
文檔編號(hào)G01R31/28GK1387246SQ02119359
公開日2002年12月25日 申請(qǐng)日期2002年5月15日 優(yōu)先權(quán)日2001年5月15日
發(fā)明者廣木正明 申請(qǐng)人:株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所