專(zhuān)利名稱(chēng)：片材檢查系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于檢查片材缺陷的檢查系統(tǒng)，尤其涉及一種用于檢查諸如LCD玻璃等玻璃基片中表面和體內(nèi)缺陷的檢查系統(tǒng)。本發(fā)明通過(guò)使用支撐氣臺(tái)，在檢查期間為基片提供穩(wěn)定性，所以其檢查系統(tǒng)特別適于容納相當(dāng)大尺寸的基片，尺寸大約為550mm×650mm，甚至更大。
目前，主要用手工方法檢查這種大尺寸的玻璃板。相應(yīng)地，這些手工過(guò)程會(huì)給檢查后的產(chǎn)品帶來(lái)大量的可變性。公知檢查系統(tǒng)所遇到的一些問(wèn)題包括，要用一種使片材振動(dòng)最小的方式來(lái)保持基片。另外，還要以嚴(yán)格的平面容差保持玻璃片，以便使檢查讀數(shù)一致。另外，很難直接觀(guān)察片材的所有區(qū)域，且不受支撐結(jié)構(gòu)的影響。也就是說(shuō)，大多數(shù)公知檢查系統(tǒng)是在水平或垂直方向上從邊緣保持片材，這種方法會(huì)在檢查過(guò)程中造成玻璃下垂和振動(dòng)。
因此，本發(fā)明的目的是提供一種解決這些問(wèn)題的方案，該方案對(duì)基片的整個(gè)玻璃表面進(jìn)行均勻的空氣支撐，但不與片材表面發(fā)生物體的接觸，同時(shí)阻尼掉任何片材振動(dòng)，并允許片材在檢查期間高速運(yùn)動(dòng)。
本發(fā)明提供了一種用于檢查玻璃基片表面和體內(nèi)缺陷的方法和設(shè)備。該系統(tǒng)包括一個(gè)雙探測(cè)器掃描系統(tǒng)和一個(gè)明視場(chǎng)／暗視場(chǎng)成像系統(tǒng)，兩個(gè)系統(tǒng)一起工作，從而對(duì)不同類(lèi)型的玻璃缺陷進(jìn)行探測(cè)、識(shí)別和分類(lèi)。在檢查過(guò)程中，用一氣臺(tái)支撐玻璃，使玻璃略微偏離垂直方向，從而特別為大尺寸的基片(大約為550mm×650mm，甚至更大)提供穩(wěn)定性。
將要檢查的玻璃片或玻璃基片放置在一個(gè)由三部分組成的氣臺(tái)附近，氣臺(tái)相對(duì)垂直方向傾斜某個(gè)角度。將玻璃片或玻璃基片轉(zhuǎn)位至基本上垂直，但要沿平行于傾斜氣臺(tái)的一個(gè)斜面或一個(gè)軸的方向。將二個(gè)發(fā)光機(jī)構(gòu)和二個(gè)探測(cè)器放在一個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)上，靠近氣臺(tái)內(nèi)所形成的縫隙?；瑒?dòng)機(jī)構(gòu)使發(fā)光機(jī)構(gòu)和探測(cè)器沿橫向于傾斜軸的一條軸水平移動(dòng)。當(dāng)雙探測(cè)器和發(fā)光系統(tǒng)從基片的一個(gè)邊緣掃描到另一個(gè)邊緣時(shí)，玻璃基片位于縫隙上，并且保持靜止。然后，轉(zhuǎn)位玻璃，并重復(fù)該過(guò)程，直到檢查完玻璃基片的整個(gè)區(qū)域。
在此初始檢查過(guò)程之后，可以放置明視場(chǎng)／暗視場(chǎng)光學(xué)系統(tǒng)，用以觀(guān)察先前掃描過(guò)程中檢測(cè)到的任何顆?；蛉毕荨？梢宰R(shí)別和接受或剔除刮痕、顆粒和其它缺陷。


圖1是一側(cè)視示意圖，示出了實(shí)施本發(fā)明的檢查系統(tǒng)。
圖2是一正視示意圖，示出了用于容納并垂直轉(zhuǎn)位玻璃基片的機(jī)構(gòu)。
圖3是沿圖2中直線(xiàn)3—3取得的局部示意圖，示出了用于支撐玻璃基片之底邊的V形槽指。
圖4是正視示意圖，示出了用于以平行于支撐氣臺(tái)的角度進(jìn)行垂直轉(zhuǎn)位的機(jī)構(gòu)，以及用于使發(fā)光機(jī)構(gòu)和攝像機(jī)進(jìn)行水平掃描的機(jī)構(gòu)。
圖5是一透視示意圖，進(jìn)一步示出了使發(fā)光系統(tǒng)和攝像機(jī)協(xié)調(diào)地水平移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。
圖6是一示意圖，示出了氣臺(tái)的幾個(gè)部分。
圖7是一個(gè)氣臺(tái)部分的、放大的局部示意圖，顯示了一個(gè)氣孔圖案。
圖8是一示意圖，示出了玻璃片上實(shí)際掃描圖案是怎樣的。
現(xiàn)在參照?qǐng)D1，該圖示意地示出了檢查系統(tǒng)10的掃描部分。傾斜的氣臺(tái)12由三部分組成上部12a、中部12b和下部12c，最好將氣臺(tái)12放置成與垂直方向成某個(gè)角度。用一對(duì)槽指支撐件18(還可以參見(jiàn)圖2和圖3)支撐諸如玻璃片或玻璃基片14等待檢查樣品的底邊16。用氣臺(tái)提供的氣墊，使待檢查的玻璃樣品或基片14與氣臺(tái)12的傾斜平面保持平行。如以下將詳細(xì)描述的，基片14沿傾斜的Y軸(用箭頭Y表示)上下移動(dòng)，其中Y軸平行于氣臺(tái)12的平面，并且與實(shí)際垂直方向成某個(gè)要求的銳角。
如圖所示，氣臺(tái)12在中部12b和與中部相關(guān)的第一部分12a和第二部分12c之間分別形成縫隙或狹槽20a和20c。檢查系統(tǒng)10的掃描機(jī)構(gòu)22位于玻璃基片14靠近縫隙或狹槽20a和20c的相對(duì)的兩側(cè)。掃描機(jī)構(gòu)包括第一和第二發(fā)光系統(tǒng)24和26，以及經(jīng)光學(xué)對(duì)準(zhǔn)的雙探測(cè)器系統(tǒng)(例如，雙攝像機(jī)系統(tǒng))，其中雙探測(cè)器系統(tǒng)包括第一探測(cè)器28和第二探測(cè)器30。發(fā)光系統(tǒng)24和26位于氣臺(tái)12的一側(cè)，而雙探測(cè)器系統(tǒng)的第一探測(cè)器28和第二探測(cè)器30位于氣臺(tái)12的另一側(cè)。但是，第一發(fā)光系統(tǒng)和第一探測(cè)器沿穿過(guò)狹槽或縫隙20a的光軸OP—1光學(xué)對(duì)準(zhǔn)，而第二發(fā)光系統(tǒng)26和第二攝像機(jī)30沿穿過(guò)較低狹槽或縫隙20c的光軸OP—2光學(xué)對(duì)準(zhǔn)。掃描機(jī)構(gòu)22相對(duì)于玻璃基片14和Y軸，協(xié)調(diào)地沿X軸作橫向水平移動(dòng)(如圖4中箭頭X所示)，下文將參照?qǐng)D4和圖5對(duì)此作更具體地?cái)⑹觥呙铏C(jī)構(gòu)22還包括第三探測(cè)器32，例如具有明視場(chǎng)／暗視場(chǎng)光學(xué)系統(tǒng)的攝像機(jī)。在用雙探測(cè)器系統(tǒng)進(jìn)行初始掃描后，使用該第三探測(cè)器可以進(jìn)一步對(duì)雙探測(cè)器系統(tǒng)初始定位的缺陷進(jìn)行分類(lèi)。第三探測(cè)器的分辨率最好比第一和第二探測(cè)器的分辨率高。
現(xiàn)在參照?qǐng)D2、圖3和圖4，由圖可見(jiàn)，槽指支撐件18固定在滑板34上，滑板34可以借助于導(dǎo)軌36沿傾斜的Y軸移動(dòng)。一對(duì)置中墊38和40也固定在滑板34上。左置中墊38起定位墊的作用，用于容納不同尺寸的玻璃基片14，并可以用致動(dòng)器(例如，旋轉(zhuǎn)氣力致動(dòng)器)將其放在所希望的位置上。
現(xiàn)在更具體地參照?qǐng)D4，諸如線(xiàn)性電動(dòng)機(jī)等電動(dòng)機(jī)通過(guò)定時(shí)帶、滑輪和導(dǎo)臂系統(tǒng)，驅(qū)動(dòng)玻璃基片傳輸機(jī)構(gòu)和掃描機(jī)構(gòu)22，其中玻璃基片傳輸機(jī)構(gòu)用于沿平行于氣臺(tái)12的傾斜的Y軸上下移動(dòng)玻璃基片，而掃描機(jī)構(gòu)22用于沿X軸水平移動(dòng)發(fā)光系統(tǒng)和雙探測(cè)系統(tǒng)。玻璃基片傳輸組件包括指狀支撐件18、滑板34、導(dǎo)軌36以及置中墊38和40。線(xiàn)性電動(dòng)機(jī)42通過(guò)驅(qū)動(dòng)滑輪46和定時(shí)帶48驅(qū)動(dòng)玻璃基片傳輸組件，其中定時(shí)帶48與滑板34的臂44相連。制動(dòng)器50與驅(qū)動(dòng)滑輪46相連，當(dāng)線(xiàn)性電動(dòng)機(jī)42斷電時(shí)，制動(dòng)器50可以防止滑板34沿Y軸落下。同樣，還有一個(gè)分立的線(xiàn)性電動(dòng)機(jī)(未圖示)與驅(qū)動(dòng)滑輪52和驅(qū)動(dòng)軸52a相連，用于操作掃描機(jī)構(gòu)22。
現(xiàn)在更具體地參照?qǐng)D4和圖5，由圖可見(jiàn)，掃描機(jī)構(gòu)22相對(duì)于玻璃基片14作橫向水平移動(dòng)。掃描機(jī)構(gòu)22位于玻璃基片傳輸組件的相對(duì)的兩側(cè)，所述傳輸組件使玻璃基片14基本上沿Y軸作垂直移動(dòng)。第一探測(cè)器28和第二探測(cè)器30由探測(cè)器固定件54支撐，而第一發(fā)光系統(tǒng)24和第二發(fā)光系統(tǒng)26由發(fā)光系統(tǒng)固定件56支撐。固定件54和56相對(duì)于片材14在導(dǎo)軌58上沿X軸橫向移動(dòng)，如圖4對(duì)攝像機(jī)固定件54所示的那樣。一對(duì)定時(shí)帶60和62分別與探測(cè)器固定件54和發(fā)光系統(tǒng)固定件56相連，用于協(xié)調(diào)地使發(fā)光系統(tǒng)和探測(cè)器沿X軸移動(dòng)。用于驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)滑輪52和定時(shí)帶60以便使攝像機(jī)沿X軸移動(dòng)的線(xiàn)性電動(dòng)機(jī)，還通過(guò)連接驅(qū)動(dòng)軸52a和用于操作定時(shí)帶62的驅(qū)動(dòng)滑輪52b沿X軸驅(qū)動(dòng)發(fā)光系統(tǒng)。一對(duì)惰輪53位于定時(shí)帶60和62的另一端，用于保持定時(shí)帶張緊。
現(xiàn)在參照?qǐng)D6和圖7，該圖更詳細(xì)地示出了氣臺(tái)及其孔的圖案。圖6示出了氣臺(tái)12、其上部12a、中部12b、下部12c，以及縫隙20a和20c，而圖7在氣臺(tái)12的一部分中示出了供氣孔64和排氣孔66。為氣臺(tái)特別設(shè)計(jì)孔的圖案，以便使玻璃片14離開(kāi)氣臺(tái)，提供所要求浮起，并且保持玻璃片平面度。由于與玻璃片的中心部分相比，玻璃片的邊緣部分會(huì)從片材表面失去或排出更多的氣體，所以在要在玻璃片的中心提供排氣孔，以便使片材表面的氣流均勻，并且防止片材在其中心部分發(fā)生彎曲。因此，通過(guò)壓力和排氣孔的圖案來(lái)提供片材的平面度，根據(jù)在氣臺(tái)上所處的位置，對(duì)排氣孔制定大小，從而在氣臺(tái)的整個(gè)表面上對(duì)片材的背面保持均勻的壓力。如圖6具體指出的，在靠近縫隙20a和縫隙20b的地方有一個(gè)錐形的縫隙界面68。每個(gè)縫隙界面都有附加的供氣孔64，用以補(bǔ)償壓力在縫隙20a和20b附近的損失。
如前所述，傾斜的氣臺(tái)12相對(duì)垂直方向傾斜某個(gè)角度，它與傾斜的Y軸平行。最好，與垂直方向成大約5°和15°之間的銳角。如果與垂直方向的夾角大大地小于5°，那么必須非常小心地控制壓力，否則不足以將玻璃片保持在離開(kāi)氣臺(tái)的浮動(dòng)位置上。因?yàn)槿绻┘犹蟮膲毫?，片材?huì)被吹離氣臺(tái)。盡管可以使用大于15°的角度，但角度越接近于90°，并且玻璃片事實(shí)上呈水平，那么關(guān)于下垂的問(wèn)題就越嚴(yán)重。盡管不是作限定，但與垂直方向成71／2°角度會(huì)提供極佳的結(jié)果。
在操作中，對(duì)玻璃片或基片14定位，使其底邊14位于滑板34上的槽指支撐件18內(nèi)。置中墊38和40用來(lái)將片材14置于滑板34的中心。用凸輪運(yùn)動(dòng)操縱左置中墊38，以使相對(duì)于所用薄片的大小，將該置中墊置于一固定的位置。右置中墊40是彈簧控制的，用以將玻璃置中。將空氣提供給傾斜氣臺(tái)12的供氣孔64，以便沿平行于氣臺(tái)12的、按要求傾斜的Y軸定位和支撐玻璃片14。線(xiàn)性電動(dòng)機(jī)42通過(guò)驅(qū)動(dòng)滑輪46和定時(shí)帶48使滑板34沿導(dǎo)軌36移動(dòng)，從而使玻璃片14沿平行于氣臺(tái)12的Y軸移動(dòng)。線(xiàn)性電動(dòng)機(jī)使玻璃片14沿Y軸移動(dòng)一段預(yù)定的距離，然后將其保持在適當(dāng)?shù)奈恢?。然后，開(kāi)動(dòng)用于驅(qū)動(dòng)X軸的線(xiàn)性電動(dòng)機(jī)，使掃描機(jī)構(gòu)22掃過(guò)玻璃的寬度。當(dāng)掃描機(jī)構(gòu)掃描結(jié)束時(shí)，使玻璃沿Y軸移動(dòng)另一個(gè)預(yù)定的距離，以便掃描機(jī)構(gòu)的探測(cè)器和光學(xué)系統(tǒng)可以再次通過(guò)玻璃。重復(fù)該過(guò)程，直到掃描完整個(gè)玻璃片。在掃描期間，可以向上或向下移動(dòng)玻璃。圖8示出了當(dāng)向上移動(dòng)玻璃時(shí)的實(shí)際掃描圖案。盡管掃描圖案的軌跡70被示作直線(xiàn)，但攝像機(jī)的實(shí)際視場(chǎng)覆蓋了平行軌跡線(xiàn)之間的整個(gè)表面。利用市場(chǎng)上可以買(mǎi)到的光學(xué)系統(tǒng)，并使掃描機(jī)構(gòu)在每次掃描間沿Y軸移動(dòng)大約1．5cm，這樣便覆蓋了整個(gè)片材。用移動(dòng)控制電子器件控制沿X和Y軸的移動(dòng)。
在對(duì)片材進(jìn)行初始掃描之后，可以對(duì)玻璃片進(jìn)行更細(xì)致的掃描。于是，放置明視場(chǎng)／暗視場(chǎng)光學(xué)系統(tǒng)，以便進(jìn)一步觀(guān)察初始掃描過(guò)程中檢測(cè)到的顆?；蛉秉c(diǎn)。為了定位在特定的X，Y坐標(biāo)上，可以使玻璃沿Y軸垂直移動(dòng)Y距離，并使探測(cè)器沿X軸水平移動(dòng)X距離。第三探測(cè)器32之光學(xué)系統(tǒng)的放大倍率大于初始掃描探測(cè)器的放大倍率，致使系統(tǒng)可以查明顆粒在哪個(gè)表面上，它的大小如何，并且還顯示顆粒的圖像，以便對(duì)其作進(jìn)一步的特征描述。如本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員將體會(huì)到的，可以用本領(lǐng)域公知的算法規(guī)則識(shí)別位于被掃描片材上的諸如刮痕和顆粒等缺陷，并對(duì)其進(jìn)行特征描述。本領(lǐng)域的熟練技術(shù)人員將理解，用來(lái)接受或剔除缺陷的算法規(guī)則將由被掃描材料以及特殊應(yīng)用中可接受缺陷的大小來(lái)確定。
盡管揭示了本發(fā)明的較佳實(shí)施例，但本領(lǐng)域的熟練技術(shù)人員應(yīng)該理解，不脫離后附權(quán)利要求書(shū)敘述的本發(fā)明的精神和范圍，可以對(duì)較佳實(shí)施例作各種改變和變化。
權(quán)利要求
1．一種片材檢查設(shè)備，其特征在于，包括傾斜的氣臺(tái)，其所在的平面平行于第一軸，而第一軸與垂直方向成某個(gè)角度；用于使所述片材沿所述第一軸并且平行于所述氣臺(tái)移動(dòng)，并且只沿所述片材的底邊部分接觸支撐所述片材的裝置；供氣裝置，用于支撐所述片材，使其平行于所述氣臺(tái)，并離開(kāi)所述氣臺(tái)一段所需的距離，從而避免與所述片材的表面部分發(fā)生物體接觸；掃描裝置；和用于使所述掃描裝置沿第二軸移動(dòng)的裝置，其中第二軸橫向越過(guò)所述片材的至少一個(gè)表面。
2．如權(quán)利要求1所述的片材檢查設(shè)備，其特征在于，所述傾斜的氣臺(tái)具有第一縫隙和第二縫隙，這二條縫隙穿過(guò)氣臺(tái)的表面，并與所述第二軸平行。
3．如權(quán)利要求2所述的片材檢查設(shè)備，其特征在于，所述掃描裝置包括與第一縫隙對(duì)準(zhǔn)的第一探測(cè)器和第一光源，以及與第二縫隙對(duì)準(zhǔn)的第二探測(cè)器和第二光源。
4．如權(quán)利要求1所述的片材檢查設(shè)備，其特征在于，所述氣臺(tái)具有一個(gè)供氣孔圖案，用以向片材提供氣壓，還有一個(gè)排氣孔圖案，用于有選擇地排出所提供的空氣，以便保持片材基本上與氣臺(tái)平行。
5．如權(quán)利要求1所述的片材檢查設(shè)備，其特征在于，在物體上支撐所述片材之底邊部分的所述裝置包括用于將所述片材放在所述支撐裝置上的裝置。
6．如權(quán)利要求1所述的片材檢查設(shè)備，其特征在于，所述傾斜的氣臺(tái)包括橫向穿過(guò)氣臺(tái)表面部分的開(kāi)口部分，所述片材是透明的，并且所述掃描裝置包括位于所述氣臺(tái)兩側(cè)并且與一個(gè)所述開(kāi)口部分對(duì)準(zhǔn)的第一發(fā)光系統(tǒng)和第一攝像機(jī)，以及位于所述氣臺(tái)兩側(cè)并且與另一個(gè)所述開(kāi)口部分對(duì)準(zhǔn)的第二發(fā)光系統(tǒng)和第二攝像機(jī)。
7．如權(quán)利要求1所述的片材檢查設(shè)備，其特征在于，包括明視場(chǎng)／暗視場(chǎng)光學(xué)系統(tǒng)裝置，該裝置形成所述掃描裝置的一部分，用于觀(guān)察在掃描所述片材期間檢測(cè)到的任何缺陷。
8．一種片材檢查方法，其特征在于，包括以下步驟用氣壓沿一傾斜的軸支撐要檢查的片材；階段性地使所述片材沿所述傾斜的軸移動(dòng)一段預(yù)定的距離；以及沿橫截于所述傾斜軸的軸掃描所述片材中的至少一個(gè)表面。
9．如權(quán)利要求8所述的片材檢查方法，其特征在于，包括下述步驟，即只沿片材的底邊部分接觸支撐所述片材。
10．如權(quán)利要求8所述的片材檢查方法，其特征在于，包括以下步驟提供具有多個(gè)縫隙的氣臺(tái)，所述縫隙橫向延伸，至少通過(guò)一部分氣臺(tái)；對(duì)氣臺(tái)定位，使其平行于傾斜的軸；以及通過(guò)氣臺(tái)提供氣壓，以便沿平行于氣臺(tái)的傾斜軸支撐所述片材。
11．如權(quán)利要求10所述的片材檢查方法，其特征在于，包括以下步驟提供要檢查的玻璃片；在所述氣臺(tái)的一側(cè)至少提供一個(gè)光源；在所述氣臺(tái)的另一側(cè)至少提供一個(gè)探測(cè)器；將至少一個(gè)光源和至少一個(gè)探測(cè)器與所述氣臺(tái)內(nèi)多個(gè)縫隙中的一條縫隙對(duì)準(zhǔn)；以及移動(dòng)所述經(jīng)對(duì)準(zhǔn)的光源和探測(cè)器，橫向穿過(guò)由所述氣臺(tái)支撐的片材，并且由此掃描和檢查所述片材上的缺陷。
12．如權(quán)利要求8所述的片材檢查方法，其特征在于，包括以下步驟提供明視場(chǎng)／暗視場(chǎng)光學(xué)系統(tǒng)，這些光學(xué)系統(tǒng)的放大倍率比掃描時(shí)用的系統(tǒng)高，并且所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)掃描期間找到的缺陷進(jìn)行定位和識(shí)別。
13．一種對(duì)玻璃基片中表面和體內(nèi)缺陷進(jìn)行檢查和定位的改進(jìn)方法，其特征在于，包括提供要檢查的玻璃片；將一氣臺(tái)定位，使其與垂直方向傾斜一要求的角度，所述氣臺(tái)至少具有兩條橫向延伸至少穿過(guò)一部分氣臺(tái)的平行縫隙；向氣臺(tái)提供氣壓，以便沿平行于氣臺(tái)的一個(gè)傾斜軸支撐玻璃片；以階段性的間隔沿所述傾斜軸移動(dòng)所述玻璃片；在所述氣臺(tái)的一側(cè)提供一對(duì)光源，在氣臺(tái)的另一相對(duì)側(cè)提供一對(duì)探測(cè)器；將每個(gè)光源與一個(gè)探測(cè)器對(duì)準(zhǔn)，以便使一套光源和探測(cè)器與一條平行的縫隙對(duì)準(zhǔn)，并且使另一套光源和探測(cè)器與另一條縫隙對(duì)準(zhǔn)；以及在階段性移動(dòng)所述玻璃片之間，移動(dòng)兩套對(duì)準(zhǔn)的光源和探測(cè)器，使其橫向穿過(guò)玻璃片，并由此檢查玻璃片的缺陷。
14．如權(quán)利要求13所述的對(duì)玻璃基片中表面和體內(nèi)缺陷進(jìn)行檢查和定位的改進(jìn)方法，其特征在于，包括下述步驟，即用明視場(chǎng)／暗視場(chǎng)光學(xué)系統(tǒng)來(lái)識(shí)別在檢查玻璃片期間找到的缺陷。
全文摘要
提供了一種檢查系統(tǒng),該系統(tǒng)用于檢查玻璃基片的表面和體內(nèi)缺陷。在檢查期間,用一傾斜的氣臺(tái)支撐玻璃,以使平面穩(wěn)定,并使振動(dòng)最小。沿平行于氣臺(tái)的傾斜軸使玻璃片轉(zhuǎn)位一給定的距離,然后靜止玻璃片。掃描機(jī)構(gòu)在氣臺(tái)的兩側(cè)有相應(yīng)的部分。掃描機(jī)構(gòu)對(duì)準(zhǔn)氣臺(tái)中的縫隙,相對(duì)于玻璃片作橫向移動(dòng)。重復(fù)上述過(guò)程,直到玻璃片掃描完畢。
文檔編號(hào)G01N21/89GK1279398SQ0012004
公開(kāi)日2001年1月10日 申請(qǐng)日期2000年6月29日 優(yōu)先權(quán)日1999年6月29日
發(fā)明者J·A·阿里格里奧, T·A·布朗利, V·W·豪威爾, J·C·邁克克里尼, A·G·賴(lài)德, S·A·謝夫曼, P·M·沃伊特 申請(qǐng)人:康寧股份有限公司