專利名稱：?jiǎn)紊珒x的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及單色儀，主要用于分析如分光廣度計(jì)和比色計(jì)的儀器。
廣泛使用的單色儀用于分析儀器，包括如衍射光柵的光散射單元用于相對(duì)于波長(zhǎng)散射光；驅(qū)動(dòng)機(jī)械裝置用于旋轉(zhuǎn)光散射單元；細(xì)縫用于從散射光提取單色光；光檢測(cè)器用于檢測(cè)由細(xì)縫提取的單色光并產(chǎn)生對(duì)應(yīng)檢測(cè)到的單色光波長(zhǎng)的信號(hào)。
在使用這種單色儀的分光光度計(jì)中，通?？捎玫挠袃煞N分析方法波長(zhǎng)掃描分析法和時(shí)間過程分析法。在波長(zhǎng)掃描分析法中，當(dāng)光散射單元在預(yù)置角度旋轉(zhuǎn)時(shí)，來自光檢測(cè)器的信號(hào)被取樣，同時(shí)獲得在預(yù)置波長(zhǎng)范圍(波長(zhǎng)掃描范圍)內(nèi)的光譜。如果需要，重復(fù)數(shù)次這樣的波長(zhǎng)掃描。另一方面，在時(shí)間過程分析法中，光散射單元被固定在對(duì)應(yīng)于對(duì)象波長(zhǎng)的某一角度位置，測(cè)量對(duì)象波長(zhǎng)的光強(qiáng)度相對(duì)于時(shí)間的變化。
實(shí)際上使用了幾種驅(qū)動(dòng)機(jī)械裝置一種使用正弦桿機(jī)械裝置把平移運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成為旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；一種使用步進(jìn)電機(jī)和減速齒輪的開環(huán)回路控制；一種使用直流伺服電機(jī)的閉環(huán)回路控制。當(dāng)使用衍射光柵作為光散射單元時(shí)，它的旋轉(zhuǎn)范圍通常設(shè)定在20-30度。
在上面論述的三種類型的驅(qū)動(dòng)機(jī)械裝置中，使用正弦條和使用步進(jìn)電機(jī)的機(jī)械裝置有一個(gè)共同的缺點(diǎn)，即，波長(zhǎng)掃描要求長(zhǎng)時(shí)間。有時(shí)，需要幾十秒鐘才能完成一周波長(zhǎng)掃描。此外，在這些機(jī)械裝置中，因?yàn)椴荒軝z測(cè)到光散射單元的旋轉(zhuǎn)位置，如果電機(jī)的控制值和電機(jī)的實(shí)際角度位置之間的關(guān)系一旦畸變，例如，由于驅(qū)動(dòng)機(jī)械裝置相對(duì)于時(shí)間的退變，偏差可以容易地在實(shí)際獲得的單色光的波長(zhǎng)和對(duì)象波長(zhǎng)之間發(fā)生。
在直流伺服電機(jī)機(jī)械裝置中，高速波長(zhǎng)掃描是可能的，因?yàn)楣馍⑸鋯卧男D(zhuǎn)位置總是被檢測(cè)到，所以沒有這樣的偏差發(fā)生。但是，通常獲得的直流伺服電機(jī)(或類似的電機(jī))被設(shè)計(jì)為連續(xù)不斷地旋轉(zhuǎn)(即，旋轉(zhuǎn)超過360度)。當(dāng)這種電機(jī)被用來在小角度范圍(即上述20-30度)旋轉(zhuǎn)光散射單元時(shí)，在這樣小的角度范圍內(nèi)，穩(wěn)定光散射單元的旋轉(zhuǎn)速度是困難的。除此之外，在這樣小的范圍內(nèi)，如果電機(jī)前后重復(fù)地旋轉(zhuǎn)，則旋轉(zhuǎn)速度很難正確地再現(xiàn)。
本申請(qǐng)的發(fā)明人已經(jīng)在日本專利申請(qǐng)?zhí)柶?0-124167(公開號(hào)平11-304587)中提出了一種新的單色儀用于解決上述問題，在該申請(qǐng)中，光散射單元由包括線性電機(jī)和位置檢測(cè)器(編碼器)的機(jī)械裝置驅(qū)動(dòng)。由于驅(qū)動(dòng)機(jī)械裝置的緣故，單色儀的波長(zhǎng)掃描分析的效率和準(zhǔn)確性大大改善。新的驅(qū)動(dòng)機(jī)械裝置還有一個(gè)優(yōu)點(diǎn)，即，與常規(guī)機(jī)械裝置比較成本很低。
上面論述的專利申請(qǐng)的單色儀目的是改善波長(zhǎng)掃描分析的效率和準(zhǔn)確性，但不適用時(shí)間過程分析。因此，本發(fā)明的目的是進(jìn)一步改善使用線性電機(jī)驅(qū)動(dòng)光散射單元的單色儀的效率和準(zhǔn)確性。
本發(fā)明的單色儀包括在軸附近旋轉(zhuǎn)的光散射單元；線性電機(jī)，用于旋轉(zhuǎn)環(huán)繞軸的光散射單元；編碼器，用于產(chǎn)生代表光散射單元的旋轉(zhuǎn)位置的信號(hào)，該信號(hào)沒有平坦部分的波形；以及，控制器，用于檢測(cè)基于由編碼器產(chǎn)生的信號(hào)的光散射單元的旋轉(zhuǎn)位置和用于控制線性電機(jī)。
本發(fā)明單色儀的一個(gè)特征是由編碼器產(chǎn)生的信號(hào)波形沒有平坦部分。這意味著在作為光散射單元的旋轉(zhuǎn)位置的橫坐標(biāo)上和作為信號(hào)強(qiáng)度的縱坐標(biāo)上，信號(hào)的圖形沒有平坦的部分。或可以說，如果光散射單元的旋轉(zhuǎn)位置稍微變化一點(diǎn)，信號(hào)的強(qiáng)度肯定變化。
當(dāng)然，檢測(cè)光散射單元的位置等于檢測(cè)固定連接到光散射單元的任何部件。例如，在下面的實(shí)施例中，光散射單元被安裝在一個(gè)軸上，軸被固定到臂的一端，該臂由線性電機(jī)驅(qū)動(dòng)。光散射單元的旋轉(zhuǎn)位置可以在光散射單元和線性電機(jī)之間的任何位置被檢測(cè)到，所以編碼器可以放置在它們之間的任何位置上。
使用線性電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)設(shè)備驅(qū)動(dòng)光散射單元，本發(fā)明的單色儀甚至以高速的穩(wěn)定速度不變地旋轉(zhuǎn)光散射單元。使用上述的編碼器，檢測(cè)光散射單元的旋轉(zhuǎn)位置的準(zhǔn)確性與常規(guī)裝置比較得到了很大的改善。因此，使用本發(fā)明單色義的分光光度計(jì)在波長(zhǎng)掃描分析和時(shí)間過程分析中具有較高的效率和準(zhǔn)確性。


圖1是本發(fā)明單色儀實(shí)施例的平面圖。
圖2是圖1橫切線II-II的單色儀的橫截面圖。
圖3A是碼輪的放大圖。
圖3B顯示在碼輪中的縱向位置和發(fā)射之間的關(guān)系波形。
圖4A是編碼器的輸出信號(hào)的波形。
圖4B是圖4A波形的部分放大波形。
圖5是單色儀的控制系統(tǒng)的方塊圖。
本發(fā)明實(shí)施例的單色儀10顯示在圖1和圖2中。單色儀有一個(gè)基座11，在基座內(nèi)有一深凹槽111，軸承機(jī)構(gòu)12和線性電機(jī)13放置在凹槽111內(nèi)。臂15由軸承機(jī)構(gòu)12支撐，軸承機(jī)構(gòu)12被構(gòu)造為含有圓筒外殼121和一對(duì)滾珠軸承機(jī)構(gòu)122、122的預(yù)加載軸承。軸向的軸14位于臂15的圓形端上，軸14旋轉(zhuǎn)地由該對(duì)滾珠軸承機(jī)構(gòu)122、122支撐。因此，臂15水平地在軸承機(jī)構(gòu)12的中心軸附近旋轉(zhuǎn)。一對(duì)制動(dòng)器112、112位于基座1的上面，用于限定和確定臂15的旋轉(zhuǎn)范圍。
臂15的下表面懸掛線性電機(jī)機(jī)構(gòu)13的可移動(dòng)部件131。可移動(dòng)部件131在它的垂直橫截面是L型，可移動(dòng)部件131的水平部分被插入具有自由接觸方式的線性電機(jī)機(jī)構(gòu)13的固定部件132的水平隙縫133內(nèi)。當(dāng)某些電壓供給到線性電機(jī)機(jī)構(gòu)13時(shí)，可移動(dòng)部件131在水平方向獲得電磁力。該電磁力從可移動(dòng)部件131傳送到臂15，給出臂15的軸向軸14一個(gè)扭矩，水平地旋轉(zhuǎn)臂15。當(dāng)施加到線性電機(jī)機(jī)構(gòu)13的電壓極性被反相時(shí)，臂15在相反的方向旋轉(zhuǎn)。隙縫133的寬度(圖1中的垂直尺寸)設(shè)計(jì)的足夠大以允許可移動(dòng)部分131自由地運(yùn)動(dòng)直到臂15被制動(dòng)器112、112停止。
光柵支撐件17安裝在臂15的圓形端的上面，衍射光柵16固定在光柵支撐件17上。衍射光柵16被固定，所以，它的表面的中心是在軸承機(jī)構(gòu)12或軸向軸14的中心軸上，并且，該表面的法線與臂15的縱向軸平行。因此，當(dāng)臂15如上所述旋轉(zhuǎn)時(shí)，衍射光柵16的方位在水平面改變。衍射光柵16的可移動(dòng)的角度范圍與臂15的旋轉(zhuǎn)范圍相同。
頭18被固定在臂15的另一端(旋轉(zhuǎn)軸的遠(yuǎn)端)上，并與臂15形成T型。臂15和頭18可以在一體內(nèi)形成。頭18的外邊緣是弧形，弧形碼輪181放置在頭18上。碼輪181的中心基本上位于軸向軸14的中心軸上。頭18的外邊緣被插入固定在基座11上的傳感器單元19中形成的隙縫191內(nèi)。
碼輪18和傳感器19組合了(之后稱為編碼器)兩相編碼器的功能，該編碼器產(chǎn)生兩列按照臂15的旋轉(zhuǎn)位置改變強(qiáng)度的波形信號(hào)。通常，已知的常規(guī)的兩相編碼器產(chǎn)生兩個(gè)信號(hào)，每一個(gè)信號(hào)由一系列矩形脈沖組成。這種常規(guī)的兩相編碼器由具有重復(fù)反射和發(fā)射的波形及反射型或發(fā)射型光學(xué)傳感器組成。另一方面，現(xiàn)在的實(shí)施例的編碼器20產(chǎn)生沒有平坦部分的波形(或非矩形波形)，以便提高臂15的位置檢測(cè)準(zhǔn)確性(或位置檢測(cè)分辨率)。
使用附圖1-3B詳細(xì)論述編碼器20。圖3A是碼輪181的放大平面圖，為解釋的方便，其中，弧線被直線地延伸。在這個(gè)例子中，碼輪181被構(gòu)建作為窗口，在該窗口內(nèi)，光的發(fā)射相對(duì)于縱向位置連續(xù)地和周期性地變化。因此，碼輪181在此后也稱為發(fā)射窗口。如圖3B所示，發(fā)射窗口181的光發(fā)射相對(duì)于縱向位置正弦地變化。在傳感器19的隙縫191的內(nèi)部，提供了一個(gè)光發(fā)射單元，用于投射光到發(fā)射窗口181；一個(gè)接受單元，用于產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于通過發(fā)射窗口181的光的強(qiáng)度的信號(hào)。
圖4A是編碼器20的輸出信號(hào)波形，圖4B顯示了波形的放大部分。象在這些波形中顯示的一樣，編碼器20產(chǎn)生了兩個(gè)信號(hào)A和B。兩個(gè)信號(hào)的強(qiáng)度按照臂15的旋轉(zhuǎn)位置變化，但在這兩個(gè)信號(hào)的相位中有90度的差別。從這兩個(gè)正弦信號(hào)A和B，可以獲得有關(guān)臂15的旋轉(zhuǎn)位置和旋轉(zhuǎn)方向的信息。例如，當(dāng)臂15在某些方向從預(yù)置的參考位置被旋轉(zhuǎn)時(shí)，臂15的旋轉(zhuǎn)位置可以基于由編碼器20產(chǎn)生的正弦信號(hào)的脈沖數(shù)(或最小峰值的最大峰值的數(shù)量)來確定?？梢杂脠D4A的R來確定分辨率(或位置準(zhǔn)確性)。臂15的旋轉(zhuǎn)方向可以通過檢測(cè)信號(hào)A和信號(hào)B的峰值哪個(gè)先到達(dá)來確定。除了脈沖數(shù)的信息之外，臂15的旋轉(zhuǎn)位置的分辨率(或確定準(zhǔn)確性)可以通過使用正弦曲線的相位信息(例如，來自每個(gè)信號(hào)的最大峰值的相位位置)來改善。
可以使用各種方法確定參考位置，以檢測(cè)臂15的絕對(duì)旋轉(zhuǎn)位置。在方法之一中，當(dāng)衍射光柵16的表面的法線與入射光線(或衍射光柵16以一正確的角度面對(duì)入射光線)一致時(shí)，確定反射光(瑞利光)的方向作為臂15的參考位置。本實(shí)施例的單色儀10裝備有臂檢測(cè)器21，當(dāng)臂15是在參考位置時(shí)，該檢測(cè)器21產(chǎn)生臂檢測(cè)信號(hào)，通過該信號(hào)確定臂15是否在參考位置上。
最好在某一時(shí)間點(diǎn)上使用信號(hào)A和信號(hào)B之一，信號(hào)A和信號(hào)B在該時(shí)間點(diǎn)上存在較大的變化率，以便在檢測(cè)臂15的旋轉(zhuǎn)位置時(shí)改善準(zhǔn)確性。例如，假設(shè)臂15是在圖4B的點(diǎn)P上。正弦信號(hào)A以大約最大峰值在P點(diǎn)，所以變化率是小的，而同時(shí)信號(hào)B的變化率是大的。因此，最好使用P點(diǎn)的信號(hào)B以高準(zhǔn)確性檢測(cè)臂15的旋轉(zhuǎn)位置。
圖5顯示了單色儀10的控制系統(tǒng)的方塊圖。由對(duì)應(yīng)于臂15旋轉(zhuǎn)的編碼器20產(chǎn)生的兩個(gè)正弦信號(hào)A和B由各自的放大器311和312調(diào)整到預(yù)置電壓幅度的信號(hào)。然后，該信號(hào)由各自的A/D轉(zhuǎn)換器321和322轉(zhuǎn)換為各自的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)，該數(shù)據(jù)通過總線33被發(fā)送到CPU 34。CPU 34處理通過A/D轉(zhuǎn)換器321、322、323發(fā)送的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)以確定如上所述的臂15的旋轉(zhuǎn)方向和旋轉(zhuǎn)位置，以及進(jìn)行基于所確定的結(jié)果的預(yù)置數(shù)據(jù)處理。CPU 34然后產(chǎn)生代表控制值(電壓或極性)的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)，用于控制線性電機(jī)13。由CPU 34產(chǎn)生的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)通過D/A轉(zhuǎn)換器35被轉(zhuǎn)換成為模擬信號(hào)，該模擬信號(hào)然后通過放大器36被調(diào)整到預(yù)置電壓的另一個(gè)模擬信號(hào)。該信號(hào)被送到線性電機(jī)13。
CPU 34以各種方式控制線性電機(jī)13，取決于使用單色儀10的分析儀器的類型和分析的對(duì)象。在此論述的例子中，單色儀10被用在分光光度計(jì)中。如前所述一樣，波長(zhǎng)掃描分析和時(shí)間過程分析可以在分光光度計(jì)中進(jìn)行。分光光度計(jì)的操作員操作輸入裝置39，像CPU 34發(fā)出命令，指定使用哪一種分析。對(duì)應(yīng)操作員指定的分析種類，CPU 34處理和控制如下。必要的程序和數(shù)據(jù)(例如，代表臂15的旋轉(zhuǎn)位置和由單色儀提取的單色光的波長(zhǎng)之間的關(guān)系)事先被存儲(chǔ)在ROM 40和RAM 41中。
當(dāng)指定了波長(zhǎng)掃描分析時(shí)，操作員使用輸入裝置39給出了代表被掃描(即，最小波長(zhǎng)和最大波長(zhǎng)范圍的數(shù)據(jù))的波長(zhǎng)范圍的數(shù)據(jù)到CPU34。CPU 34執(zhí)行線性電機(jī)13的負(fù)反饋控制。根據(jù)臂檢測(cè)器21和編碼器20的輸出信號(hào)監(jiān)視臂15的旋轉(zhuǎn)位置。CPU 34連續(xù)地產(chǎn)生控制值數(shù)據(jù)，用于控制線性電機(jī)13，所以，臂15的旋轉(zhuǎn)位置以恒定的旋轉(zhuǎn)速度從對(duì)應(yīng)最小波長(zhǎng)的位置到對(duì)應(yīng)最大波長(zhǎng)的位置變化。如果波長(zhǎng)掃描被重復(fù)數(shù)次，當(dāng)臂15到達(dá)對(duì)應(yīng)最大波長(zhǎng)(或最小波長(zhǎng))位置時(shí)，CPU 34倒轉(zhuǎn)施加到線性電機(jī)13的電壓極性。
當(dāng)指定時(shí)間過程分析時(shí)，操作員通過輸入裝置39給出了在分析中代表被使用(即，最小波長(zhǎng)和最大波長(zhǎng)范圍的數(shù)據(jù))的對(duì)象波長(zhǎng)的數(shù)據(jù)到CPU 34。當(dāng)根據(jù)臂檢測(cè)器21和編碼器20的輸出信號(hào)檢測(cè)臂15的位置時(shí)，CPU 34產(chǎn)生控制值數(shù)據(jù)，用于驅(qū)動(dòng)線性電機(jī)13把臂15帶到對(duì)應(yīng)對(duì)象波長(zhǎng)的位置。當(dāng)檢測(cè)到臂15到達(dá)對(duì)象旋轉(zhuǎn)位置時(shí)，CPU 34，同時(shí)監(jiān)視來自編碼器20的輸出信號(hào)，連續(xù)地為線性電機(jī)13調(diào)整控制值數(shù)據(jù)，所以，來自編碼器20的輸出信號(hào)保持恒定。因?yàn)橛蒀PU 34控制線性電機(jī)13，臂15停留在對(duì)象旋轉(zhuǎn)位置上。最好在線性電機(jī)13的負(fù)反饋中使用PID(比例積分微分)控制方法，使用該方法，可以使臂15的旋轉(zhuǎn)位置保持在高準(zhǔn)確性和高穩(wěn)定性。
當(dāng)控制臂15的旋轉(zhuǎn)位置或旋轉(zhuǎn)速度的高準(zhǔn)確性不是必要的時(shí)，能夠只使用從正弦信號(hào)A和B獲得的信息中的脈沖數(shù)的信息用于確定臂15的旋轉(zhuǎn)位置。考慮這個(gè)可能性，在圖5中的控制系統(tǒng)中提供了一個(gè)電路，用于從編碼器20的輸出信號(hào)獲得脈沖數(shù)的信息。該電路包括兩個(gè)比較器371和372，當(dāng)來自對(duì)應(yīng)的放大器311或312的信號(hào)達(dá)到預(yù)置水平時(shí)，每一個(gè)比較器產(chǎn)生一個(gè)輸出信號(hào)。比較器371和372的輸出端被連接提供到總線33的輸入端口38的端子上。根據(jù)來自輸入端口38的信號(hào)，CPU34可以檢測(cè)正弦信號(hào)A或B的脈沖的到來。在這個(gè)例子中，臂15的旋轉(zhuǎn)位置時(shí)基于脈沖數(shù)確定的，數(shù)據(jù)處理比使用脈沖數(shù)的信息和相位的信息簡(jiǎn)單。操作員可以事先通過輸入裝置39向CPU 34發(fā)出命令，CPU 34是否使用來自A/D轉(zhuǎn)換器321和322的信號(hào)或來自輸入端口38的信號(hào)。換句話說，在時(shí)間過程分析中，預(yù)先確定使用來自A/D轉(zhuǎn)換器321和322的信號(hào)，和在波長(zhǎng)掃描分析中，預(yù)先確定使用來自輸入端口38的信號(hào)都是可能的。
應(yīng)當(dāng)注意，上面論述的實(shí)施例僅僅是例子，沒有限制，本發(fā)明在它的精神和范圍內(nèi)可以以任何方式實(shí)施。例如，由解碼器20產(chǎn)生的輸出信號(hào)在上面的論述中假定是正弦信號(hào)。波形可以是其它形式，如三角形波形，只要波形不含有平坦部分。上面實(shí)施例的編碼器由相對(duì)于位置的正弦地發(fā)射變化的發(fā)射窗口和發(fā)射型的光傳感器組成。換句話說，用相對(duì)于位置連續(xù)地和周期底變化反射率的反射平板和反射型的光傳感器組成的編碼器是可能的。代替這種光學(xué)型編碼器，在本發(fā)明中也可以使用磁編碼器和光干涉編碼器。
權(quán)利要求
1.一種單色儀，包括在一軸附近旋轉(zhuǎn)的光散射單元；線性電機(jī)，用于旋轉(zhuǎn)環(huán)繞該軸的光散射單元；編碼器，用于產(chǎn)生代表光散射單元的旋轉(zhuǎn)位置的信號(hào)，該信號(hào)沒有平坦部分的波形；以及，控制器，用于檢測(cè)基于由編碼器產(chǎn)生的信號(hào)的光散射單元的旋轉(zhuǎn)位置和用于控制線性電機(jī)。
2.按權(quán)利要求1所述的單色儀，其特征是光散射單元被安裝在一個(gè)臂上，該臂的一端在軸附近旋轉(zhuǎn)，并由線性電機(jī)驅(qū)動(dòng)。
3.按權(quán)利要求2所述的單色儀，其特征是編碼器包括提供在臂的另一端的發(fā)射窗口和提供在單色儀的基座上的發(fā)射型光傳感器，其中，發(fā)射窗口的發(fā)射相對(duì)于臂的旋轉(zhuǎn)位置連續(xù)地和周期地變化。
4.按權(quán)利要求3所述的單色儀，其特征是發(fā)射窗口的發(fā)射正弦地變化。
5.按權(quán)利要求3所述的單色儀，其特征是發(fā)射窗口的發(fā)射重復(fù)地三角形變化。
6.按權(quán)利要求2所述的單色儀，其特征是編碼器包括提供在臂的另一端的反射平板和固定在單色儀的基座上的反射型光傳感器，其中，反射平板的反射率相對(duì)于臂的旋轉(zhuǎn)位置連續(xù)地和周期地變化。
7.按權(quán)利要求6所述的單色儀，其特征是反射平板的反射率正弦地變化。
8.按權(quán)利要求6所述的單色儀，其特征是反射平板的反射率重復(fù)地三角形變化。
9.按權(quán)利要求3所述的單色儀，其特征是編碼器產(chǎn)生在兩個(gè)信號(hào)之間有相位差的兩個(gè)周期信號(hào)，控制器檢測(cè)基于兩個(gè)信號(hào)的光散射單元的旋轉(zhuǎn)方向及旋轉(zhuǎn)位置。
10.按權(quán)利要求3所述的單色儀，其特征是控制器檢測(cè)基于由編碼器產(chǎn)生信號(hào)的脈沖數(shù)的光散射單元的旋轉(zhuǎn)位置。
11.按權(quán)利要求6所述的單色儀，其特征是編碼器產(chǎn)生在兩個(gè)信號(hào)之間有相位差的兩個(gè)周期信號(hào)，控制器檢測(cè)基于兩個(gè)信號(hào)的光散射單元的旋轉(zhuǎn)方向及旋轉(zhuǎn)位置。
12.按權(quán)利要求6所述的單色儀，其特征是控制器檢測(cè)基于由編碼器產(chǎn)生信號(hào)的脈沖數(shù)的光散射單元的旋轉(zhuǎn)位置。
全文摘要
在一種單色儀中,包括在軸附近旋轉(zhuǎn)的光散射單元;線性電機(jī),用于旋轉(zhuǎn)環(huán)繞軸的光散射單元;編碼器,用于產(chǎn)生代表光散射單元的旋轉(zhuǎn)位置的信號(hào),以及,線性電機(jī)控制器,用于檢測(cè)基于由編碼器產(chǎn)生的信號(hào)的光散射單元的旋轉(zhuǎn)位置。由編碼器產(chǎn)生的信號(hào)沒有平坦部分的波形;就是說,如果光散射單元的旋轉(zhuǎn)位置稍微變化一點(diǎn),信號(hào)的強(qiáng)度肯定變化。使用線性電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)設(shè)備驅(qū)動(dòng)光散射單元,單色儀甚至以高速的穩(wěn)定速度恒定地旋轉(zhuǎn)光散射單元。
文檔編號(hào)G01J3/12GK1271851SQ0010611
公開日2000年11月1日 申請(qǐng)日期2000年4月25日 優(yōu)先權(quán)日1999年4月27日
發(fā)明者吉川治 申請(qǐng)人:株式會(huì)社島津制作所