氣體供應(yīng)裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提出了一種氣體供應(yīng)裝置，用于向需求設(shè)備提供氣體，包括：供應(yīng)設(shè)備，連接供應(yīng)設(shè)備和需求設(shè)備的供氣管路，設(shè)置在供氣管路上的氣動(dòng)閥，與氣動(dòng)閥通過(guò)第二驅(qū)動(dòng)氣管相連的電磁閥組，與電磁閥組相連的第一驅(qū)動(dòng)氣管，與電磁閥組信號(hào)相連的控制單元以及設(shè)置在第一驅(qū)動(dòng)氣管上并與控制單元信號(hào)連接的感應(yīng)器；傳感器能夠監(jiān)測(cè)到第一驅(qū)動(dòng)氣管內(nèi)有無(wú)流量變化，由于驅(qū)動(dòng)氣體驅(qū)動(dòng)打開(kāi)氣動(dòng)閥只需1～2秒，若第一驅(qū)動(dòng)氣管內(nèi)長(zhǎng)時(shí)間有流量，則說(shuō)明第一驅(qū)動(dòng)氣管、電磁閥組或者第二驅(qū)動(dòng)氣管出現(xiàn)了漏氣，因此本實(shí)用新型提出的氣體供應(yīng)裝置能夠監(jiān)測(cè)是否存在漏氣的現(xiàn)象，便于確保氣體供應(yīng)裝置是否正常工作。
【專(zhuān)利說(shuō)明】氣體供應(yīng)裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種氣體供應(yīng)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體行業(yè)中，制造半導(dǎo)體芯片的工藝需要用到大量的氣體，不同的工藝用到的氣體也不盡相同，所需的氣體量也由微量到大量不等。所有的氣體均由廠務(wù)統(tǒng)一分配，廠務(wù)通過(guò)控制供應(yīng)設(shè)備與需求設(shè)備之間氣動(dòng)閥的開(kāi)關(guān)來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)需求設(shè)備提供氣體或者斷供氣體。
[0003]請(qǐng)參考圖1，在現(xiàn)有技術(shù)中，氣體供應(yīng)裝置包括:控制單元10、第一驅(qū)動(dòng)氣管20、電磁閥組30、信號(hào)線40、第二驅(qū)動(dòng)氣管50以及氣動(dòng)閥60;其中，所述控制單元10通過(guò)信號(hào)線40信號(hào)控制所述電磁閥組30，所述控制單元10能夠控制所述電磁閥組30的開(kāi)關(guān)；所述第一驅(qū)動(dòng)氣管20與電磁閥組30相連，用于提供一定氣壓的啟動(dòng)氣體，所述電磁閥組30還包括氣動(dòng)閥排氣口 31，用于排出多余的氣體，所述氣動(dòng)閥60設(shè)于所述供應(yīng)設(shè)備與需求設(shè)備之間的氣體管路61上，所述氣動(dòng)閥60打開(kāi)，所述供應(yīng)設(shè)備就通過(guò)所述氣體管路61對(duì)所述需求設(shè)備進(jìn)行供氣；所述第二驅(qū)動(dòng)氣管50連接所述電磁閥組30和氣動(dòng)閥60，用于對(duì)所述氣動(dòng)閥60提供打開(kāi)所述氣動(dòng)閥60的氣體。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中的氣體供應(yīng)裝置在具體使用中時(shí)，第一驅(qū)動(dòng)氣管20連接有一供供應(yīng)設(shè)備(圖未示出)，持續(xù)不斷的提供一定壓強(qiáng)的氣體至電磁閥組30，若所述控制單元10發(fā)出控制信號(hào)將所述電磁閥組30打開(kāi)，則氣體會(huì)由所述第二驅(qū)動(dòng)氣管50中流入至所述氣動(dòng)閥60中，并將所述氣動(dòng)閥60打開(kāi)，此時(shí)供應(yīng)設(shè)備就能夠?qū)π枨笤O(shè)備進(jìn)行供氣。
[0005]然而，由于所述第一驅(qū)動(dòng)氣管20 —直存在一定壓強(qiáng)的氣體，并且持續(xù)不斷的對(duì)所述電磁閥組30進(jìn)行供氣，因此會(huì)加速第一驅(qū)動(dòng)氣管20和電磁閥組30的老化，隨著時(shí)間的推移，可能會(huì)存在漏氣，從而導(dǎo)致氣動(dòng)閥60打開(kāi)的延遲，嚴(yán)重時(shí)，漏氣會(huì)致使氣動(dòng)閥60無(wú)法打開(kāi)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型的目的在于提供一種氣體供應(yīng)裝置，能夠監(jiān)測(cè)是否存在漏氣現(xiàn)象，便于確保氣體供應(yīng)裝置是否正常工作。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出了一種氣體供應(yīng)裝置，用于向需求設(shè)備提供氣體，包括:
[0008]供應(yīng)設(shè)備、氣動(dòng)閥、電磁閥組、供氣管路、第一驅(qū)動(dòng)氣管、第二驅(qū)動(dòng)氣管、控制單元以及感應(yīng)器；其中，所述供應(yīng)設(shè)備和需求設(shè)備通過(guò)供氣管路相連，所述氣動(dòng)閥設(shè)置于所述供氣管路上，所述第二驅(qū)動(dòng)氣管連接所述電磁閥組和氣動(dòng)閥，所述控制單元與所述電磁閥組信號(hào)連接，所述第一驅(qū)動(dòng)氣管與所述電磁閥組相連，所述感應(yīng)器設(shè)置于所述第一驅(qū)動(dòng)氣管上，所述感應(yīng)器與所述控制單元信號(hào)連接。
[0009]進(jìn)一步的，所述氣體供應(yīng)裝置還包括一調(diào)壓閥，所述調(diào)壓閥設(shè)置于所述第一驅(qū)動(dòng)氣管上。
[0010]進(jìn)一步的，所述氣體供應(yīng)裝置還包括驅(qū)動(dòng)氣源，所述驅(qū)動(dòng)氣源連接所述第一驅(qū)動(dòng)氣管。
[0011]進(jìn)一步的，所述電磁閥組上設(shè)有一排氣端口。
[0012]進(jìn)一步的，所述氣體供應(yīng)裝置還包括一第一信號(hào)線，所述控制單元與所述電磁閥組通過(guò)所述第一信號(hào)線進(jìn)行信號(hào)連接。
[0013]進(jìn)一步的，所述氣體供應(yīng)裝置還包括一第二信號(hào)線，所述感應(yīng)器與所述控制單元通過(guò)所述第二信號(hào)線進(jìn)行信號(hào)連接。
[0014]進(jìn)一步的，所述電磁閥組包括多個(gè)電磁閥。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果主要體現(xiàn)在:在第一驅(qū)動(dòng)氣管上設(shè)置一傳感器，并與控制單元連接，傳感器能夠監(jiān)測(cè)到第一驅(qū)動(dòng)氣管內(nèi)有無(wú)流量變化，由于驅(qū)動(dòng)氣體驅(qū)動(dòng)打開(kāi)氣動(dòng)閥只需I?2秒，若第一驅(qū)動(dòng)氣管內(nèi)長(zhǎng)時(shí)間有流量，則說(shuō)明第一驅(qū)動(dòng)氣管、電磁閥組或者第二驅(qū)動(dòng)氣管出現(xiàn)了漏氣，因此本實(shí)用新型提出的氣體供應(yīng)裝置能夠監(jiān)測(cè)是否存在漏氣的現(xiàn)象，便于確保氣體供應(yīng)裝置是否正常工作。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中氣體供應(yīng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例中氣體供應(yīng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型的氣體供應(yīng)裝置進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型，而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
[0019]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開(kāi)發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。
[0020]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書(shū)，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0021 ] 請(qǐng)參考圖2，在本實(shí)施例中，提出了 一種氣體供應(yīng)裝置，用于向需求設(shè)備提供氣體，包括:
[0022]供應(yīng)設(shè)備、氣動(dòng)閥600、電磁閥組300、供氣管路610、第一驅(qū)動(dòng)氣管200、第二驅(qū)動(dòng)氣管500、控制單元100以及感應(yīng)器220 ;其中，所述電磁閥組300、第一驅(qū)動(dòng)氣管200、第二驅(qū)動(dòng)氣管500、控制單元100以及感應(yīng)器220組成了驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，如圖虛線框所示，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)用于驅(qū)動(dòng)所述氣動(dòng)閥的打開(kāi)與關(guān)閉；所述供應(yīng)設(shè)備和需求設(shè)備通過(guò)供氣管路610相連，所述氣動(dòng)閥600設(shè)置于所述供氣管路610上，所述第二驅(qū)動(dòng)氣管500連接所述電磁閥組300和氣動(dòng)閥600，所述控制單元100與所述電磁閥組300信號(hào)連接，所述第一驅(qū)動(dòng)氣管200與所述電磁閥組300相連，所述感應(yīng)器220設(shè)置于所述第一驅(qū)動(dòng)氣管200上，所述感應(yīng)器220與所述控制單元100信號(hào)連接。
[0023]其中，所述電磁閥組300由多個(gè)電磁閥組成，每個(gè)電磁閥均可以控制不同的氣動(dòng)閥600，所述控制單元100與所述電磁閥組300通過(guò)所述第一信號(hào)400線進(jìn)行信號(hào)連接，所述控制單元100能夠控制所述電磁閥組300中的電磁閥的開(kāi)關(guān)；所述感應(yīng)器220與所述控制單元100通過(guò)所述第二信號(hào)線410進(jìn)行信號(hào)連接，所述傳感器220能夠監(jiān)測(cè)到所述第一驅(qū)動(dòng)氣管200內(nèi)有無(wú)流量變化，并將變化量通過(guò)第二信號(hào)線410反饋至控制單元100中，其中，所述控制單元100可以為PLC。
[0024]在本實(shí)施例中，所述氣體供應(yīng)裝置還包括一調(diào)壓閥210，所述調(diào)壓閥210設(shè)置于所述第一驅(qū)動(dòng)氣管200上，用于調(diào)節(jié)所述第一驅(qū)動(dòng)氣管200內(nèi)的驅(qū)動(dòng)氣體的壓力，；所述氣體供應(yīng)裝置還包括驅(qū)動(dòng)氣源700，所述驅(qū)動(dòng)氣源700連接所述第一驅(qū)動(dòng)氣管200，用于提供驅(qū)動(dòng)氣體，所述驅(qū)動(dòng)氣體可以為氮?dú)饣蚱渌栊詺怏w；通常情況下，驅(qū)動(dòng)氣源700能夠提供8公斤的驅(qū)動(dòng)氣體，得通過(guò)調(diào)節(jié)閥210進(jìn)行壓力調(diào)節(jié)，將驅(qū)動(dòng)氣體的壓力調(diào)節(jié)符合打開(kāi)氣動(dòng)閥600的壓力，例如是4公斤至5.5公斤；所述電磁閥組300上設(shè)有一排氣端口 310，當(dāng)需要將氣動(dòng)閥600關(guān)閉時(shí)，可以通過(guò)所述排氣端口 310排出在所述電磁閥組300內(nèi)多余的驅(qū)動(dòng)氣體，從而關(guān)閉所述氣動(dòng)閥600。
[0025]在具體的使用過(guò)程中，當(dāng)所述控制單元100發(fā)出信號(hào)打開(kāi)電磁閥組300中的電磁閥時(shí)，驅(qū)動(dòng)氣源700中的驅(qū)動(dòng)氣體能夠通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)氣管200、電磁閥以及第二驅(qū)動(dòng)氣管500傳輸至所述氣動(dòng)閥600中，并將所述氣動(dòng)閥600打開(kāi)，此時(shí)，供應(yīng)設(shè)備中的氣體便能夠由所述供氣管路600傳輸至需求設(shè)備供其使用。
[0026]綜上，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的氣體供應(yīng)裝置中，傳感器能夠監(jiān)測(cè)到第一驅(qū)動(dòng)氣管內(nèi)有無(wú)流量變化，由于驅(qū)動(dòng)氣體驅(qū)動(dòng)打開(kāi)氣動(dòng)閥只需I?2秒，若第一驅(qū)動(dòng)氣管內(nèi)長(zhǎng)時(shí)間有流量，例如超過(guò)10秒依然還有流量變化，則說(shuō)明第一驅(qū)動(dòng)氣管、電磁閥組或者第二驅(qū)動(dòng)氣管出現(xiàn)了漏氣，因此本實(shí)用新型提出的氣體供應(yīng)裝置能夠監(jiān)測(cè)是否存在漏氣的現(xiàn)象，便于確保氣體供應(yīng)裝置是否正常工作。
[0027]上述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對(duì)本實(shí)用新型起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對(duì)本實(shí)用新型揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種氣體供應(yīng)裝置，用于向需求設(shè)備提供氣體，其特征在于，包括: 供應(yīng)設(shè)備、氣動(dòng)閥、電磁閥組、供氣管路、第一驅(qū)動(dòng)氣管、第二驅(qū)動(dòng)氣管、控制單元以及感應(yīng)器；其中，所述供應(yīng)設(shè)備和需求設(shè)備通過(guò)供氣管路相連，所述氣動(dòng)閥設(shè)置于所述供氣管路上，所述第二驅(qū)動(dòng)氣管連接所述電磁閥組和氣動(dòng)閥，所述控制單元與所述電磁閥組信號(hào)連接，所述第一驅(qū)動(dòng)氣管與所述電磁閥組相連，所述感應(yīng)器設(shè)置于所述第一驅(qū)動(dòng)氣管上，所述感應(yīng)器與所述控制單元信號(hào)連接。
2.如權(quán)利要求1所述的氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述氣體供應(yīng)裝置還包括一調(diào)壓閥，所述調(diào)壓閥設(shè)置于所述第一驅(qū)動(dòng)氣管上。
3.如權(quán)利要求1所述的氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述氣體供應(yīng)裝置還包括一驅(qū)動(dòng)氣源，所述驅(qū)動(dòng)氣源連接所述第一驅(qū)動(dòng)氣管。
4.如權(quán)利要求1所述的氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述電磁閥組上設(shè)有一排氣端口。
5.如權(quán)利要求1所述的氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述氣體供應(yīng)裝置還包括一第一信號(hào)線，所述控制單元與所述電磁閥組通過(guò)所述第一信號(hào)線進(jìn)行信號(hào)連接。
6.如權(quán)利要求1所述的氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述氣體供應(yīng)裝置還包括一第二信號(hào)線，所述感應(yīng)器與所述控制單元通過(guò)所述第二信號(hào)線進(jìn)行信號(hào)連接。
7.如權(quán)利要求1所述的氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述電磁閥組包括多個(gè)電磁閥。
【文檔編號(hào)】F17D5/02GK203533217SQ201320672685
【公開(kāi)日】2014年4月9日 申請(qǐng)日期:2013年10月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月29日
【發(fā)明者】張文武, 張禎, 刁春華, 周鵬, 楊洪, 廖偉杰 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司