專利名稱：一種氣體安全輸送方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及氣體輸送方法，尤其涉及一種氣體安全輸送方法。
背景技術(shù)：
隨著近年來國內(nèi)半導體，微電子，平面顯示，發(fā)光二極管行業(yè)的迅速發(fā)展， 國內(nèi)對各類特氣的需求日益增加。由于在這些特氣中有相當一部分為危險性氣
體，例如硅垸(SiH4)具有自燃性，磷垸(PH3)具有劇毒性等；因此需配置專門的 閥門組來控制閥門的吹掃。
目前國內(nèi)多采用手動閥門來控制，具有以下潛在缺陷
1. 在出現(xiàn)氣體泄漏等危險情況下需要手動來關(guān)閉閥門，對于操作人員有 極大的危險性；同時由于關(guān)斷動作在時間上的延后，不能保證設(shè)備的實時關(guān)斷，
因此可能造成泄漏等危險的進一步擴散。
2. 在氣瓶內(nèi)氣筒用完后，需要人工吹掃和切換鋼瓶，造成氣體輸送的中 斷，影響生產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷而提供一種能夠極大地 提高特殊氣體輸送安全性的氣體安全輸送方法。
本發(fā)明的目的可以通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn) 一種氣體安全輸送方法，其特
征在于，該方法包括控制器，該控制器改常規(guī)的手動閥為氣動閥，同時由電磁 閥來控制氣動閥的驅(qū)動起源，實現(xiàn)閥門的遠程控制和自動控制，通過可編程邏 輯控制器采集外接的各類傳感器和報警器輸入的型號，按照既定的邏輯控制程 序，自動關(guān)閉氣動闊，停止氣體輸送， 一旦有報警型號輸入，面板上的報警指 示燈會立即工作，同時發(fā)出聲音報警，提示操作人員，可編程邏輯控制器會實 時監(jiān)控氣體余量， 一旦余量低于既定設(shè)置值，將自動切換到另一側(cè)待機狀態(tài)的
鋼瓶進行輸送，同時關(guān)閉本側(cè)氣動閥，停止本側(cè)輸送。
所述的控制器包括報警指示燈、氣體余量顯示、送/停氣按鈕/燈、風壓指 示、緊急切斷按鈕、氣動閥、電磁閥、可編程邏輯控制器、斷路器、輸入輸出 端子、開關(guān)電源、風壓報警；所述的報警指示燈、氣體余量顯示、送/停氣按鈕 /燈、風壓指示、緊急切斷按鈕設(shè)置于控制箱面板上，所述的電磁閥、可編程邏 輯控制器、斷路器、輸入輸出端子、開關(guān)電源、風壓報警設(shè)置于控制器內(nèi)部。 所述的電磁閥與由電磁閥控制驅(qū)動起源的氣動閥相連。 所述的可編程邏輯控制器與外接的各類傳感器和報警器相連。 所述的報警器包括火焰?zhèn)蓽y器，氣體泄漏偵測器，風壓指示。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明采用一種新型控制器能夠極大的提高特殊氣體輸 送的安全性，不但能夠在危險發(fā)生時及時停止氣體輸送，防止危險的進一步擴 散，并且能夠保證氣體輸送和工藝生產(chǎn)的連續(xù)性。


圖1為本發(fā)明控制箱面板結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本發(fā)明控制器內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明作進一步說明。 實施例
如圖1 圖2所示， 一種氣體安全輸送方法，該方法采用一種新型控制器， 該控制器改常規(guī)的手動閥為氣動閥，同時由電磁閥6來控制氣動閥的驅(qū)動起源， 實現(xiàn)閥門的遠程控制和自動控制，通過可編程邏輯控制器7采集外接的各類傳 感器和報警器輸入的型號，按照既定的邏輯控制程序，自動關(guān)閉氣動閥，停止 氣體輸送， 一旦有報警型號輸入，面板上的報警指示燈l會立即工作，同時發(fā)
出聲音報警，提示操作人員，可編程邏輯控制器7會實時監(jiān)控氣體余量， 一旦
余量低于既定設(shè)置值，將自動切換到另一側(cè)待機狀態(tài)的鋼瓶進行輸送，同時關(guān)
閉本側(cè)氣動閥，停止本側(cè)輸送。圖1 圖2中A為系統(tǒng)結(jié)構(gòu)原理簡圖，該控制 閥包括報警指示燈1、氣體余量顯示2、送/停氣按鈕/燈3、風壓指示4、緊急
切斷按鈕5、電磁閥6、可編程邏輯控制器7、斷路器8、輸入輸出端子9、開 關(guān)電源10、風壓報警11;所述的報警指示燈1、氣體余量顯示2、送/停氣按鈕 /燈3、風壓指示4、緊急切斷按鈕5設(shè)置于控制箱面板上，所述的電磁閥6、 可編程邏輯控制器7、斷路器8、輸入輸出端子9、開關(guān)電源10、風壓報警ll 設(shè)置于控制器內(nèi)部。
權(quán)利要求
1.一種氣體安全輸送方法，其特征在于，該方法包括控制器，該控制器改常規(guī)的手動閥為氣動閥，同時由電磁閥來控制氣動閥的驅(qū)動起源，實現(xiàn)閥門的遠程控制和自動控制，通過可編程邏輯控制器采集外接的各類傳感器和報警器輸入的型號，按照既定的邏輯控制程序，自動關(guān)閉氣動閥，停止氣體輸送，一旦有報警型號輸入，面板上的報警指示燈會立即工作，同時發(fā)出聲音報警，提示操作人員，可編程邏輯控制器會實時監(jiān)控氣體余量，一旦余量低于既定設(shè)置值，將自動切換到另一側(cè)待機狀態(tài)的鋼瓶進行輸送，同時關(guān)閉本側(cè)氣動閥，停止本側(cè)輸送。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體安全輸送方法，其特征在于，所述的 控制器包括報警指示燈、氣體余量顯示、送/停氣按鈕/燈、風壓指示、緊急切 斷按鈕、氣動閥、電磁閥、可編程邏輯控制器、斷路器、輸入輸出端子、開關(guān) 電源、風壓報警；所述的報警指示燈、氣體余量顯示、送/停氣按鈕/燈、風壓 指示、緊急切斷按鈕設(shè)置于控制箱面板上，所述的電磁閥、可編程邏輯控制器、 斷路器、輸入輸出端子、開關(guān)電源、風壓報警設(shè)置于控制器內(nèi)部。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體安全輸送方法，其特征在于，所述的電磁閥與由電磁閥控制驅(qū)動起源的氣動閥相連。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體安全輸送方法，其特征在于，所述的 可編程邏輯控制器與外接的各類傳感器和報警器相連。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體安全輸送方法，其特征在于，所述的 報警器包括火焰?zhèn)蓽y器，氣體泄漏偵測器，風壓指示。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種氣體安全輸送方法，該控制閥包括報警指示燈、氣體余量顯示、送/停氣按鈕/燈、風壓指示、緊急切斷按鈕、氣動閥、電磁閥、可編程邏輯控制器、斷路器、輸入輸出端子、開關(guān)電源、風壓報警；所述的報警指示燈、氣體余量顯示、送/停氣按鈕/燈、風壓指示、緊急切斷按鈕設(shè)置于控制箱面板上，所述的電磁閥、可編程邏輯控制器、斷路器、輸入輸出端子、開關(guān)電源、風壓報警設(shè)置于控制器內(nèi)部。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明能夠極大的提高特殊氣體輸送的安全性，不但能夠在危險發(fā)生時及時停止氣體輸送，防止危險的進一步擴散，并且能夠保證氣體輸送和工藝生產(chǎn)的連續(xù)性。
文檔編號F17D3/00GK101358687SQ20071004445
公開日2009年2月4日 申請日期2007年8月1日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月1日
發(fā)明者李東升 申請人:上海正帆超凈技術(shù)有限公司